CN2504282Y - 平板电镀装置 - Google Patents
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Abstract
平板电镀装置,包括电镀槽,在槽体内安装工作电极,其中一组工作电极装在电镀槽的侧面,另一组工作电极与平板工件电接触,电镀槽侧与平板工件面之间设有平面绝缘栅。绝缘栅的栅孔是矩形,栅的占空比是0.5—10∶1,绝缘栅架设在一对传动辊上。绝缘栅的栅孔是矩形,栅的占空比是0.5—10∶1,绝缘栅架设在一对传动辊上。本实用新型提供了一种无需移动电极且电镀均匀性好的平板电镀装置,尤其提供一种适用于普通电镀电源、用一般功率和电流就能保证大面积钢模板表面电镀的装置。
Description
一、技术领域
本实用新型涉及一种电镀装置。尤其是一种用于大表面积平板电镀或电解金属的设备。
二、背景技术
现有的电镀(或电解)技术是将工件和电极浸没在电镀(或电解)液中进行的，如果工件的面积或表面积太大且要镀层均匀，那么对电镀设备的要求是较高的，例如电镀电源的功率和电流均要很大，例如钢模板表面电镀时，钢模板的表面积可能达到十几平方米，必须保证单位面积相当的电流才能保证电镀的质量，电流过小时，会影响镀层的结合力和效果。电流过大时，难以保证接触处导电的良好接触，加上如果是不锈钢材质时，材料的导热和导电性均较差，导致被电镀对象发烫乃至被烧焦。
有报导利用流体头装置即移动电极来进行电镀，逐渐覆盖整个需要的电镀面。但面板的端部较难均匀电镀好，均匀性较难控制。电极移动相对较复杂，要连带导线一道运动。对金属平板进行电镀的装置还有如中国专利95212793，包括电镀槽等构成，在槽体内安装多个V型传动辊上、下辊、平镀传动辊、V镀阳极板、给出的金属平板行进式电镀机平镀阳极板，在平镀传动辊上方安装有压辊及挡板，上述传动辊均由一个电机减速器通过链轮、链条传动，传动辊还可作为给电辊，槽体外侧还具有放卷装置和溶液收集槽。适用于连续金属板的电镀工艺。装置比较复杂。
三、发明内容
本实用新型的目的是提供一种无需移动电极且电镀均匀性好的平板电镀装置，尤其提供一种适用于普通电镀电源、用一般功率和电流就能保证大面积钢模板表面电镀的装置。
本实用新型的技术方案如下述：平板电镀装置，包括电镀槽，在槽体内安装工作电极，其中一组工作电极装在电镀槽的侧面，另一组工作电极与平板工件电接触，其特征是电镀(或电解)槽侧与平板工件面之间设有平面绝缘栅。平面绝缘栅一般绝缘栅或工件是往返滑动的，手动或电机控制均可。其工作过程是：电镀(或电解)是将工件和电极浸没在电镀(或电解)液中进行的，因而大型工件必需要与之相适应的大型设备。本实用新型的绝缘栅能让电流从栅孔处获得正常的工作电流分布，栅格处阻止了工作电流，从而保证了电镀质量。本实用新型可以用小型电力设施电镀大型平面工件。滑动绝缘栅使被栅格阻挡处与栅孔位置互换，可以使整个平面均匀电镀(或电解)。
本实用新型的进一步改进是：绝缘栅的栅孔是矩形，栅的占空比是0.5-10∶1，意味着工作电流可以是2/3-1/11。绝缘栅架设在一对传动辊上，传动辊均由一个电机减速器传动通过曲柄连杆机械装置使绝缘栅滑动。本实用新型设计合理、巧妙、技术性能优良。
在工件的两个面均进行电镀时，则在工件的两个侧面均安装绝缘栅。
四、附图说明
图1为本实用新型截面结构示意图，其中上图为截面结构示意图，下图为本实用新型绝缘栅平面结构示意图，电镀槽1，工作电极2，绝缘栅3、栅孔4，平面工件5。
五、具体实施方式
平板电镀装置，包括电镀槽1，在槽体内安装工作电极2，其中一组工作电极2装在电镀槽的侧面，在侧面均匀分布，如两侧均要电镀，在两侧均安装工作电极。另一组电极与平板工件进行电接触，电镀槽侧与平板工件面之间设有滑动绝缘栅3且往返滑动，手动或电机控制均可。滑动绝缘栅的栅孔是矩形，本实施例栅的占空比是5-6∶1，即工作电流可以是1/6-1/7即可，滑动绝缘栅可以通过一支撑辊架设在一对传动辊上，传动辊均由一个电机减速器通过链轮、链条传动，并通过如曲柄连杆机械装置使绝缘栅滑动。
本实用新型另一实施例是：为了调节绝缘栅的占空比，在栅孔贴近位置设有调节片。调节片是一块整体面积与绝缘栅相同或近似的栅板，一般栅孔大于栅格，且一栅孔和一栅格的周期长度与绝缘栅相同，调节片遮盖绝缘栅的不同位置可以调节占空比。当工件的两个侧面均需要电镀时，在工件的两个侧面均可安装调节绝缘栅的占空比的绝缘栅。如图所示。
值得指出的是，如果绝缘栅不动，而设一往复移动的工件架，也可以取得同样的效果，这种结构也没有超出本实用新型讨论的范围。
Claims (3)
1、平板电镀装置，包括电镀槽，在槽体内安装工作电极，其中一组工作电极装在电镀槽的侧面，另一组工作电极与平板工件电接触，其特征是电镀槽侧与平板工件面之间设有平面绝缘栅。
2、由权利要求1所述的平板电镀装置，其特征是绝缘栅的栅孔是矩形，栅的占空比是0.5-10∶1，绝缘栅架设在一对传动辊上。
3、由权利要求1所述的平板电镀装置，其特征是在栅孔贴近位置设有调节片，调节片是一块整体面积与绝缘栅相同或近似的栅板，且一栅孔和一栅格的周期长度与绝缘栅相同。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN 01263399 CN2504282Y (zh) | 2001-10-25 | 2001-10-25 | 平板电镀装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN 01263399 CN2504282Y (zh) | 2001-10-25 | 2001-10-25 | 平板电镀装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2504282Y true CN2504282Y (zh) | 2002-08-07 |
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| CN 01263399 Expired - Fee Related CN2504282Y (zh) | 2001-10-25 | 2001-10-25 | 平板电镀装置 |
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| CN (1) | CN2504282Y (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100439571C (zh) * | 2002-07-18 | 2008-12-03 | 株式会社荏原制作所 | 电镀装置 |
| CN102337578A (zh) * | 2010-07-19 | 2012-02-01 | 北大方正集团有限公司 | 一种双面电镀槽、板件及电镀方法 |
| CN109518244A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-26 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 可削弱镀层边缘效应的晶圆镀铜工艺 |
| CN109518245A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-26 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 可削弱镀层边缘效应的晶圆镀铜工艺槽 |
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2001
- 2001-10-25 CN CN 01263399 patent/CN2504282Y/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100439571C (zh) * | 2002-07-18 | 2008-12-03 | 株式会社荏原制作所 | 电镀装置 |
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| CN109518245A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-26 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 可削弱镀层边缘效应的晶圆镀铜工艺槽 |
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