CN2468059Y - Ic测试处理机的ic递送装置 - Google Patents
Ic测试处理机的ic递送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2468059Y CN2468059Y CN 01203826 CN01203826U CN2468059Y CN 2468059 Y CN2468059 Y CN 2468059Y CN 01203826 CN01203826 CN 01203826 CN 01203826 U CN01203826 U CN 01203826U CN 2468059 Y CN2468059 Y CN 2468059Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- slide
- step motor
- holding device
- groups
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
本实用新型为一种IC测试处理机的IC递送装置,尤指一种可由程序控制吸持晶片的二吸真空吸嘴间距,并使双吸嘴同时吸持IC晶片的结构,主要是于一主滑轨杆设置一悬臂,并在悬臂上设置有立板与平板,在平板上设Y滑轨杆供二组吸持装置在上滑动,并由立板上所设的二组步进马达齿轮与皮带来带动该二组吸持装置,在吸持单元的吸真空吸嘴夹持的L型板上设置至少一组为L型弯角板,以取得两吸嘴的最小间距。
Description
本实用新型是一种IC测试处理机的IC递送装置，尤指一种具备双臂同时作吸取IC晶片动作的结构，并可由程序设定变更二吸持嘴的间距，主要是于一主滑轨杆设置一悬臂，并在悬臂上设置有立板与平板，在平板上设一滑轨杆供二组吸持单元在上滑动，并由立板上所设的二组步进马达齿轮与皮带来带动该二组吸持单元，在吸持单元的吸嘴管夹持器上设置至少一组为L型弯角板，以取得两吸嘴的最小间距。
IC产品对测试的需求分晶片测试(Circuit Probe或称wafer Sort)与成品测试(Final Test或称Package Test)两个阶段，而在成品测试阶段为封装之后执行，以确定在封装过程之后，该晶片仍符合规格。在目前使用的成品测试用IC测试处理机的IC晶片递送装置如图1所示：由一IC晶片递送装置(1’)上的轴向移动机构(11’)来担任整个IC晶片递送装置(1’)的移动作用，并在轴向移动机构(11’)上设置固定间距的吸持单元(2’)，并由吸嘴(21’)来吸起IC承置盘(3’)上的IC晶片(31’)。但是，上述现有的IC递送装置的吸持单元(2’)的间距固定，导致该吸嘴之间距亦为单一规格，倘若测试另一种不同尺寸大小的晶片时，就需要更换另一尺寸吸持单元(2’)，造成不便，这在目前半导体业走向尺寸多元化(整合晶片-System on achip、RF-Radio Frequency、日规、美规等不同的尺寸规格)产品时，往往会因为频频更换该吸持单元(一部机器往往有数组吸持单元)，而无法有效提升生产力。
本创作人有感于上述现有机构技术的缺点，乃经长期研发，反复测试，遂得本实用新型。
本实用新型首要目的是提供一种IC测试处理机的IC递送装置，用一纵轴单元、横轴单元、及吸持单元上的垂直轴单元的结构，达成三个轴向运动的功能。
本实用新型的次要目的是提供一种IC测试处理机的IC递送装置，该装置具有可程序化的三轴定位装置。
本实用新型的目的可以通过以下措施来达到：
本实用新型相比现有技术具有如下优点：该装置具有二组吸持单元，单元的滑座至少有一组设有L型弯板，以置放吸嘴，以能使二吸嘴获得最小间距，使能有更大范围的晶片尺寸测试能力；该装置具有三轴定位装置，可由程序改变其轴向路径定位，更能使吸持单元的二吸嘴的间距作适当的改变，完全不需手动更换、校调该吸持单元的间距，大为增加生产效率。
为了更进一步了解本实用新型的应用技术与原理，兹配合简单附图说明如后：
附图说明
图1是现有IC测试处理机的IC输送结构。
图2是本实用新型的立体示意图。
图3是本实用新型的纵轴(Y轴)移动示意图。
图4是本实用新型的吸持头横轴(x轴)调节间距及吸持IC晶片的垂直轴(z轴)动作示意图。
附图符号说明
先前技术部份
1’.IC晶片递送装置
11’.轴向移动机构
21’.真空吸嘴
3’.IC晶片承盘
31’.IC晶片
本实用新型部份
1.IC晶片递送装置
2.纵轴单元
21.主滑轨杆
22.步进马达组
23.鸠尾糟块
24.夹持块
3，横轴单元
30.n型块
31.悬臂
32.立板
321.第一步进马达组
322.第二步进马达组
33平板
331.公用滑轨杆
4.吸持单元
41第一吸持装置
411.滑座
4111.鸠尾槽
412.L型板
413，齿条
414.步进马达
415.吸真空吸嘴
42.第二吸持装置
421.滑座
4211.鸠尾槽
422.L型弯角板
423.齿条
424.步进马达
425.吸真空吸嘴
5.A区
6.B区
7.IC晶片承置盘
8.IC晶片
具体实施例：
本实用新型是一种IC测试处理机的IC递送装置，主要是由一纵轴单元、一横轴单元及一可将IC晶片吸嘴定位至细间距的吸持单元所组成，并可以由程序来设定(或变更)并控制各轴的来回移动的距离，其中：
纵轴单元：由一足够延伸至所输送IC晶片的距离的主滑轨杆及在该主滑轨杆前后端的步进马达组所组成，并在该主滑轨杆上套嵌一鸠尾槽块，在该鸠尾槽块上设一夹持块，并于鸠尾槽块的夹持块上固设一n型块。
横轴单元：在纵轴单元的n型块上锁固一悬臂，该悬臂设一立板与一平板，其立板的垂直面上设有第一步进马达组与第二步进马达组；平板上设有一公用滑轨杆，供第一步进马达组与第二步进马达组所带动的第一吸持装置与第二吸持装置左右移动。
吸持单元：计有第一吸持装置及第二吸持装置，第一吸持装置由一底部开设有一鸠尾槽的L型滑座，其滑座垂直部分固定于第一步进马达组的一条皮带上，由该皮带来带动整个滑座在悬臂上左右移动，滑座的外侧并固设一步进马达，又在滑座上固设一L型板及与步进马达啮合的齿条，在L型板末端则设有一吸真空吸嘴来吸附晶片；第二吸持装置由一底部开设有一鸠尾槽的L型滑座，其滑座垂直部分固定于第二步进马达组的一条皮带上，由该皮带来带动整个滑座在悬臂上左右移动，滑座的外侧并固设一步进马达，又在滑座上固设一L型弯角板及与步进马达啮合的齿条，在L型弯角板末端则设有一吸真空吸嘴来吸附晶片。
根据以上各构件，由程序控制纵轴进马达以在适当时间、适当移动距离来回移动于放置晶片承置盘的A区与B区之间；而横轴单元上的第一步进马达组与第二步进马达组则可接受电脑程序控制，将其第一吸持装置与第二吸持装置的间距作适当的定位调节后，由二组吸持装置内的步进马达与齿条的带动，将A区内的晶片由吸真空吸嘴吸出，并由纵轴单元移至B区适当位置处放入。
另，本实用新型在吸持单元的滑座上设置至少一组为L型杆片，以取得两吸嘴的最小间距，使可更能吸持更小晶片间距范围，使其应用更为广泛。
由上可知，本实用新型应用可程序的吸持单元，以能有效地修改二吸持装置的间距，完全不需在变更晶片尺寸时另外更换吸持单元，并整个吸持单元采一对吸真空吸嘴同步作吸持晶片，到定位同步放置晶片的作动摸式，更能有效增进其晶片递送效率。
虽然本实用新型以一较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，凡依本实用新型技术方案所作的等效替换，均应包含在本实用新型技术方案的保护范围内
Claims (1)
1.一种IC测试处理机的IC递送装置，其特征是：主要由一纵轴单元、一横轴单元及一吸持单元所组成、且可以由电脑程序来设定、变更并控制各步进马达的来回移动距离以准确定位，其中：
纵轴单元，由一主滑轨杆及其前后端的步进马达组所组成，在该主滑轨杆上套嵌一鸠尾槽块，在该鸠尾槽块上设一夹持块，并于鸠尾糟块的夹持块上固设一n型块；
横轴单元，在纵轴单元的n型块上锁固一悬臂，该悬臂设有一立板与一平板，其立板的垂直面上设有第一步进马达组与第二步进马达组；平板上设有一公用滑轨杆，供第一步进马达组与第二步进马达组所带动的第一吸持装置与第二吸持装置左右移动；
吸持单元，有第一吸持装置及第二吸持装置，第一吸持装置由一底部开设有一鸠尾槽的L型滑座，其滑座垂直部分固定于第一步进马达组的一条皮带上，滑座的外侧并固设一步进马达，又在滑座上固设一L型板及与步进马达啮合的齿条，在L型板尾端设有一吸真空吸嘴来吸附晶片；第二吸持装置由一底部开设有一鸠尾糟的L型滑座，其滑座垂直部分固定于第二步进马达组的一条皮带上，由该皮带来带动整个滑座在悬臂上左右移动，滑座的外侧并固设一步进马达，又在滑座上固设一L型弯角板及与步进马达啮合的齿条，在L型弯角板末端则设有一吸真空吸嘴来吸附晶片。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 01203826 CN2468059Y (zh) | 2001-02-23 | 2001-02-23 | Ic测试处理机的ic递送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 01203826 CN2468059Y (zh) | 2001-02-23 | 2001-02-23 | Ic测试处理机的ic递送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2468059Y true CN2468059Y (zh) | 2001-12-26 |
Family
ID=33625191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 01203826 Expired - Fee Related CN2468059Y (zh) | 2001-02-23 | 2001-02-23 | Ic测试处理机的ic递送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2468059Y (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101344536B (zh) * | 2008-03-19 | 2010-12-01 | 崇贸科技股份有限公司 | 等间距移动的ic取放装置 |
| TWI395648B (zh) * | 2009-03-16 | 2013-05-11 | Tesec Kk | Manipulator |
| TWI452310B (zh) * | 2012-05-03 | 2014-09-11 | Chroma Ate Inc | Test device for stacked wafers |
| CN105300333A (zh) * | 2015-11-24 | 2016-02-03 | 杭州士兰微电子股份有限公司 | 芯片测试机、芯片测试机的监控装置及监控方法 |
| CN106426889A (zh) * | 2016-11-15 | 2017-02-22 | 苏州亨达尔工业材料有限公司 | 一种吸塑机上的机头改进型导引装置 |
| CN107942222A (zh) * | 2017-11-21 | 2018-04-20 | 德淮半导体有限公司 | 测试机台及测试方法 |
-
2001
- 2001-02-23 CN CN 01203826 patent/CN2468059Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101344536B (zh) * | 2008-03-19 | 2010-12-01 | 崇贸科技股份有限公司 | 等间距移动的ic取放装置 |
| TWI395648B (zh) * | 2009-03-16 | 2013-05-11 | Tesec Kk | Manipulator |
| TWI452310B (zh) * | 2012-05-03 | 2014-09-11 | Chroma Ate Inc | Test device for stacked wafers |
| CN105300333A (zh) * | 2015-11-24 | 2016-02-03 | 杭州士兰微电子股份有限公司 | 芯片测试机、芯片测试机的监控装置及监控方法 |
| CN106426889A (zh) * | 2016-11-15 | 2017-02-22 | 苏州亨达尔工业材料有限公司 | 一种吸塑机上的机头改进型导引装置 |
| CN107942222A (zh) * | 2017-11-21 | 2018-04-20 | 德淮半导体有限公司 | 测试机台及测试方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1168365C (zh) | 表面安装机上的印刷电路板的输送装置 | |
| CN101127301A (zh) | 全自动ic料条激光打标机 | |
| US11993466B2 (en) | Material integrating device | |
| CN108882674A (zh) | 一种视觉引导自动贴装机及其使用方法 | |
| CN2468059Y (zh) | Ic测试处理机的ic递送装置 | |
| CN103659884A (zh) | 一种万向真空吸盘滑台 | |
| CN201435404Y (zh) | 太阳能硅片自动化分拣装置 | |
| CN216084827U (zh) | 一种晶圆移动机构 | |
| CN108680851A (zh) | 一种大尺寸电路板自动测试机 | |
| CN201952003U (zh) | 料盒循环装置及系统 | |
| CN201435402Y (zh) | 太阳能硅片自动化定位装置 | |
| CN109061436A (zh) | 一种全自动测试机 | |
| CN208256712U (zh) | 一种太阳能电池片整体放置玻璃板设备 | |
| CN208234126U (zh) | 一种玻璃高速转移装置 | |
| CN215046554U (zh) | 一种机械式自动导向扫码装置 | |
| CN211870785U (zh) | 一种钢背码垛装置 | |
| CN211594204U (zh) | 自动化清洗系统 | |
| CN203622537U (zh) | 一种万向真空吸盘滑台 | |
| CN211045403U (zh) | 一种检测机的上下料机构 | |
| CN210824390U (zh) | 一种用于工件转移的活动治具板 | |
| CN106711069A (zh) | 全自动硅片插片机 | |
| CN216747472U (zh) | 一种芯片背面检测装置 | |
| CN206442614U (zh) | 一种贴片机 | |
| CN209493063U (zh) | 一种用于液晶显示模组检测设备的自动送料装置 | |
| CN206203382U (zh) | 一种自动化叉子传送拉体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |