CN2361879Y - 低振动滑阀式真空泵 - Google Patents

低振动滑阀式真空泵 Download PDF

Info

Publication number
CN2361879Y
CN2361879Y CN 98250010 CN98250010U CN2361879Y CN 2361879 Y CN2361879 Y CN 2361879Y CN 98250010 CN98250010 CN 98250010 CN 98250010 U CN98250010 U CN 98250010U CN 2361879 Y CN2361879 Y CN 2361879Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
guiding valve
valve
slide
guide rail
vacuum pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN 98250010
Other languages
English (en)
Inventor
李志远
陈心昭
胡焕林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hefei University of Technology
Hefei Polytechnic University
Original Assignee
Hefei University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hefei University of Technology filed Critical Hefei University of Technology
Priority to CN 98250010 priority Critical patent/CN2361879Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN2361879Y publication Critical patent/CN2361879Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

一种低振动滑阀式真空泵,其缸体运动部件在现有技术的基础上做了较大的改进。它的滑阀导轨的横截面形状是半弓形;滑阀转子的滑阀杆缩短,短至杆顶接近导轨的转动中轴线;滑阀转子的滑阀环内腔,正对滑阀杆的一侧加配重;偏心轮内腔的偏心的一侧加配重。这一改进,使其振动的减少非常明显,因而外部不需再加平衡轮配重;可实现电动机直接驱动,而不需要减速;且结构简化,加工和安装方便容易。

Description

低振动滑阀式真空泵
本实用新型涉及一种滑阀式(又称滚动活塞式)机械泵和压缩机,特别是一种低振动的滑阀式真空泵。
滑阀式真空泵广泛应用于核真空技术、稀有金属冶炼、半导体器件制造,等离子技术、真空模拟等方面。这些应用场合都对泵的振动提出了很高的要求。为了解决滑阀转子组件(滑阀转子、导轨、偏心轮)的惯性力和惯性力矩引起的振动,国内外真泵生产厂家都采取了不少措施。
德国莱宝(Leybold)公司将滑阀转子组件分为大小两部分(见图1),其质心反向配置,并在外部加装一个平衡轮,构成双缸形式。但此法仅可平衡掉奇数项惯性力。由于这种结构的不平衡性,它还产生一个附加力矩作用在泵体上,另外它的加工要求很高。
美国金尼(Kinney)公司将滑阀转子组件分为一大两小三个部分,将它们对称的质心反向的布置(见图2),构成三缸形式。此种泵也没有把惯性力、惯性力矩合理地平衡掉,并且它的加工要求、安装要求都很高。
我国目前主要是在泵体外部转轴的两端加装两个平衡轮的方法,来减小振动,这种结构形式称为单缸形式(图3)。外部所加的平衡块无论怎样优化仅能平衡掉转子组件惯性力的基频部分,而对大量的高次谐频惯性力和惯性力矩毫无办法。但此法结构简单、安装要求不太高。
英国学者N.S.Harris等认为:滑阀式真空泵必然存在着不平衡惯性力。日本机械学会编写的《机械技术手册》中也写道:“滑阀真空泵所产生的振动是不可避免的。”
本实用新型的目的是提供一种能将缸件的运动部件的惯性力、惯性力矩合理地平衡,使泵的振动较小、整体结构相对简单的滑阀式真空泵。
本实用新型的目的是采用了下述技术方案实现的:
本实用新型滑阀式真空泵缸体的运动部件由泵腔、滑阀转子(由滑阀杆和滑阀环构成)、偏心轮、轮轴以及滑阀导轨和导轨轴承构成,主要是对滑阀转子组件等运动部件进行了改进。
①导轨的横截面形状是半弓形;
②滑阀杆的杆顶接近滑阀导轨的转动中轴线;
③滑阀环内腔正对滑阀杆的一侧加配重;
④在偏心轮内腔偏心的一侧加配重;
滑阀转子的最大长度L应是泵腔内圆半径R和泵腔中心与导轨转动中心的距离A、滑阀杆伸长余量δ之和,即L=R+A+δ。δ应远小于导轨半径r,即δ<0.1r。
本实用新型的优点在于,振动小,外部下需加平衡轮配重;可以实现电机直接驱动,而不需减速;并且结构简单,加工和安装要求不高。
下面结合附图和实施例对本实用新型作详细描述。
图1是现有滑阀式真空泵双缸结构形式简化示意图。
图2是现有滑阀式真空泵三缸结构形式简化示意图。
图3是现有滑阀式真空泵单缸结构形式简化示意图。
图4是现有滑阀式真空泵缸体内部结构示意图。
图5是本实用新型的缸体内部结构示意图。
图中,本实施例由导轨轴承1、导轨2、滑阀杆3、排气孔4、排气腔5、泵腔6、滑阀环7、偏心轮配重8、转轴(驱动轴)9、偏心轮10、滑阀环11配重、吸气腔(进气腔)12、滑阀杆杆顶13、进气口14构成。
图4所示是现有滑阀式真空泵的缸体运动部件结构。偏心轮10沿箭头方向转动时,滑阀转子即滑阀环7和滑阀杆3也随之运动,并使吸气腔12变大,排气腔5变少,气体从排气孔4排出,从而完成抽气功能。在工作中,偏心轮10作匀速转动,它的惯性力极易通过缸体外部的平衡轮所平衡。滑阀转子作平面一般运动,导轨2作非匀速转动,它们的惯性力无法用平衡轮进行平衡,因而造成很大的振动。
本实用新型如图5所示,为减小振动,对缸体的运动部件作了较大的改进。
滑阀转子的滑阀杆运动导轨2,由现有的靠近进气口14侧的一半除去,其横截面由现有的半月形或称弓形,改进成截面为半弓形。
滑阀转子的滑阀环7内腔,正对滑阀杆3的一侧,加滑阀环配重11;滑阀转子的滑阀杆3,其长度相应缩短。滑阀杆3的长度,控制在其杆顶13接近滑阀导轨2的转动中轴线,即滑阀转子的最大长度L应是泵腔6内圆半径R加泵腔6中心与导轨2转动中心的距离A加滑阀杆3伸长余量δ,亦即:L=R+A+δ。而δ应远小于导轨2半径r,即δ<0.1r。
偏心轮10的内腔中加配重,即在偏心轮10内腔的偏心的一侧加配重8。
由于本实用新型做了上述的改进,泵的缸体运动部件的综合惯性力能够相互抵消,使振动减小,同时泵的外部也省去了平衡轮配重;从而有效地解决了滑阀式真空泵振动过大这一难题。本实用新型与现有的H-150型单缸滑阀式真空泵的对比试验表示,在其他技术性能参数相当的情况下,本实用新型的进气口处水平振幅仅为0.15毫米,竖直振幅为0.1毫米;而H-150型滑阀泵进气口处的水平振幅为0.42毫米,竖直振幅为0.15毫米。

Claims (2)

1、一种低振动滑阀式真空泵,其缸体运动部件由泵腔(6)、滑阀转子、偏心轮(10)、转轴(9)以及滑阀导轨(2)和导轨轴承(1)构成,所说的滑阀转子由滑阀杆(3)和滑阀环(7)构成,其特征在于:
(a)滑阀导轨(2)的横截面形状是半弓形;
(b)滑阀转子的滑阀杆(3)的杆顶(13)接近滑阀导轨(2)的转动中轴线;
(c)滑阀转子的滑阀环(7)内腔正对滑阀杆(3)的一侧加配重(11);
(d)在偏心轮(10)内腔偏心的一侧加配重(8)。
2、按权利要求1所述的低振动滑阀式真空泵,其特征在于,滑阀转子即滑阀环(7)和滑阀杆(3)的最大长度L应是泵腔(6)内圆半径R与泵腔(6)中心和导轨(2)转动中心的距离A、滑阀杆(3)伸长余量δ之和,即L=R+A+δ,δ应远小于导轨(2)半径r,即δ<0.1r。
CN 98250010 1998-12-11 1998-12-11 低振动滑阀式真空泵 Expired - Fee Related CN2361879Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 98250010 CN2361879Y (zh) 1998-12-11 1998-12-11 低振动滑阀式真空泵

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 98250010 CN2361879Y (zh) 1998-12-11 1998-12-11 低振动滑阀式真空泵

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN2361879Y true CN2361879Y (zh) 2000-02-02

Family

ID=33994611

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 98250010 Expired - Fee Related CN2361879Y (zh) 1998-12-11 1998-12-11 低振动滑阀式真空泵

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN2361879Y (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102162447A (zh) * 2011-05-27 2011-08-24 南通金坤机械设备有限公司 一种适用于砖瓦真空挤出机的滑阀式真空泵
CN102953970A (zh) * 2012-11-16 2013-03-06 上海零澜机械科技有限公司 一种用于单级多级滑阀泵的三偏心滑阀装置
CN103195713A (zh) * 2013-04-01 2013-07-10 浙江真空设备集团有限公司 一种真空泵
WO2015161678A1 (zh) * 2014-04-26 2015-10-29 摩尔动力(北京)技术股份有限公司 容积型流体机构
CN109026700A (zh) * 2018-08-22 2018-12-18 中北大学 一种电机直联的并联式滑阀真空泵
CN109281835A (zh) * 2018-10-24 2019-01-29 中北大学 一种基于滑阀泵的自动平衡转子组

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102162447A (zh) * 2011-05-27 2011-08-24 南通金坤机械设备有限公司 一种适用于砖瓦真空挤出机的滑阀式真空泵
CN102162447B (zh) * 2011-05-27 2013-05-22 南通金坤机械设备有限公司 一种适用于砖瓦真空挤出机的滑阀式真空泵
CN102953970A (zh) * 2012-11-16 2013-03-06 上海零澜机械科技有限公司 一种用于单级多级滑阀泵的三偏心滑阀装置
CN103195713A (zh) * 2013-04-01 2013-07-10 浙江真空设备集团有限公司 一种真空泵
WO2015161678A1 (zh) * 2014-04-26 2015-10-29 摩尔动力(北京)技术股份有限公司 容积型流体机构
CN109026700A (zh) * 2018-08-22 2018-12-18 中北大学 一种电机直联的并联式滑阀真空泵
CN109281835A (zh) * 2018-10-24 2019-01-29 中北大学 一种基于滑阀泵的自动平衡转子组
CN109281835B (zh) * 2018-10-24 2024-04-12 中北大学 一种基于滑阀泵的自动平衡转子组

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN2361879Y (zh) 低振动滑阀式真空泵
CN1721699A (zh) 线性压缩机
CN104963868A (zh) 旋转压缩机及其曲轴
CN206338170U (zh) 一种制冷压缩机气缸座
CN1548733A (zh) 密封式往复压缩机
CN1184893A (zh) 活塞式压缩机及活塞
CN1029418C (zh) 具有可变排出量机构的倾斜板型压缩机
GB2314603A (en) Wobble piston and cylinder arrangement
CN2937647Y (zh) 一种平衡轴
CN1173452C (zh) 电梯用提升机
CN110392784B (zh) 用于对压缩空气供应设备进行压缩空气输送的压缩机设施
CN213064044U (zh) 具有高临界转速的压缩机转子、压缩机及空调
US6098520A (en) Swash plate compressor in which a swash plate has a sliding surface non-parallel to a reference surface thereof
CN2789206Y (zh) 电梯平衡补偿链导向装置
CN214533419U (zh) 一种活塞及线性压缩机
CN1456809A (zh) 全平衡无振动微型无油润滑压缩机
CN1701180A (zh) 封闭式压缩机
CN2656664Y (zh) 对称平衡式无油润滑压缩机
CN1170827A (zh) 柱塞式压缩机
CN204783677U (zh) 旋转压缩机及其曲轴
CN102392809A (zh) 基于马耳他十字机芯机构的容积式真空泵
CN2791304Y (zh) 摆板滚环式压缩机
CN1030814A (zh) 一种涡旋式压缩机的改进结构
CN1451876A (zh) 压缩机转轴支撑结构
CN1580569A (zh) 旋转式压缩机储液罐的固定结构

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C19 Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee