CN103195713A - 一种真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种真空泵，属于机械技术领域。它解决了现有的真空泵的排气阀阀片磨损以及腐蚀后损坏所产生的碎片容易掉入泵体的腔体内，损坏整个真空泵的问题。本一种真空泵，包括泵体和泵轴，泵体内设有缸体，缸体是由大缸和小缸组成，小缸内设有连接件，大缸内设有滑阀，滑阀包括阀体和偏心轮，泵轴一端与偏心轮连接，阀体上具有滑杆，滑杆与连接件滑动连接，泵轴另一端与一动力机构相连，大缸与小缸的连接处固定有排气阀，排气阀的出口朝向下方。本真空泵有利于降低真空泵的振动，减少摩擦力，降低返油、漏气的可能性，降低能耗，延长真空泵的使用寿命的优点。

Description

一种真空泵

技术领域

本发明属于机械技术领域，涉及一种真空设备，特别是一种真空泵。

背景技术

真空泵是一种能够不断的将气体吸入和排出，以达到抽气目的的设备，广泛的应用于冶金、石油、化工、医药、食品、电子电器、空间模拟和高端物理等行业。真空泵种类繁多，包括分子泵、扩散泵、罗茨泵、干泵、往复真空泵、旋片真空泵、水环真空泵、滑阀真空泵等等，其中滑阀式真空泵同旋片式真空泵一样，是一种容积式真空泵，适用在真空冶炼、真空干燥、真空蒸馏、真空蒸发、真空浓缩、真空结晶、真空焊接、真空镀膜、真空浸渍、真空模拟等工艺过程中。

滑阀真空泵具有一个腔体，腔体内装有滑阀与偏心轮，腔体上装有排气阀，通过偏心轮在腔体内的转动来改变腔体内空间的大小，从而达到将气体从滑阀吸入并从排气阀排出的目的。如中国实用型新专利申请（96211136.8）公开了一种滑阀式真空泵，在泵体中装有滑阀，滑阀内装有偏心旋转的偏心轮，偏心轮由轴带动旋转，轴通过传动机构由电机带动，电机安装在底座上面，使得整体呈立式结构，电机轴联接的皮带轮经皮带带动偏心轮轴。该结构结构紧凑，占地面积小，动平衡性能好，振动小。但是从该结构中可以看出，排气口是设置在泵体的上方并朝上开设，排气口内安装有排气阀，在长期的使用过程中，排气阀阀片磨损以及腐蚀后损坏所产生的碎片极容易掉入泵体的腔体内，这将直接损坏整个真空泵。再者，由于重力作用，滑阀滑杆的下表面紧贴连接件的表面，使间隙上方多、下方无，加上滑阀运转时产生的油气压力导致连接件与滑阀杆以及小缸的润滑不充分，上部由于间隙偏大而引起油气返流至进气口，影响系统的真空度和油气污染。且排气压力与重力的叠加增加轴承的负荷。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种真空泵，该真空泵能够有效避免排气阀阀片破碎后进入泵体内，提高滑动的部件的润滑效果，减少返油和轴承的负荷，降低运行功耗，降低振动，极大提高运行安全可靠性。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种真空泵，包括具有进口和出口的泵体和设置在泵体内的泵轴，其特征在于，所述的泵体内设有缸体，所述的缸体是由大缸和与大缸连为一体的小缸组成，所述的进口与小缸相连通，所述小缸内设有能摆动的连接件，所述大缸内还设有滑阀，所述的滑阀包括阀体和位于阀体内偏心轮，所述的泵轴一端位于大缸中且与偏心轮连接，所述的阀体上具有滑杆，所述的滑杆穿过上述连接件并与连接件滑动连接，泵轴另一端穿出所述的泵体与一能带动泵轴转动的动力机构相连，所述的大缸与小缸的连接处固定有倾斜向下设置的排气阀，所述排气阀的进口与大缸相连通，排气阀的出口朝向下方。

进口开设在泵体的上方，出口开设在泵体的侧壁上；缸体在泵体内，泵体内充有油液，油液起到润滑密封的作用，同时当排出的气体较少时，油液可以帮助气体一起顶开排气阀。气体经过压缩后与油一起从出口排出。滑阀包括滑杆和阀体，滑杆穿插在连接件中，与进口相连通，能够在连接件中往复伸缩运动，阀体套设在偏心轮上，通过偏心轮的旋转带动滑杆做往复摆动，从而达到将空气从滑杆吸入缸体内，并从排气阀排入泵体。排气阀设置在缸体上，排气阀的出口倾斜朝下，因此在排气阀的阀片磨损或腐蚀损坏后，其碎片会直接掉入泵体的油液中，不会进入缸体内影响滑阀的运转，使得该真空泵的运行安全可靠。

在上述的真空泵中，所述排气阀的阀体中心线与泵体底面的夹角为锐角。排气阀一般包括弹簧座和阀片，呈柱状，该排气阀的中心线倾斜向下，与泵体的底面的夹角保持锐角以防止阀片的碎片掉入缸体内，同时该结构设计使得真空泵在压缩过程中气体对滑阀的作用力与滑阀及偏心轮的重力相互抵消一部分，有利于降低真空泵的振动、减轻轴承的负荷，同时使滑阀杆与连接件的间隙更均匀，减少摩擦力，降低返油、漏气的可能性，降低能耗，延长泵的使用寿命。

在上述的真空泵中，所述的连接件包括呈板状的本体，所述的本体与小缸内壁的接触面为弧面，所述的连接件本体中部开设有矩形通道，上述滑阀的滑杆设置在该通道中，所述连接件通道两侧的本体上均开设有减重通孔。减重通孔既减少重量，又能够储存润滑油，改善连接件与滑阀滑杆之间的润滑。

在上述的真空泵中，所述滑杆为中空结构，所述滑阀的阀体靠近滑杆的一侧的重量小于另一侧的重量，所述偏心轮靠近滑阀滑杆的一侧的重量小于另一侧的重量。滑阀的滑杆中空，以减少重量，同时缩短滑杆的长度，使得滑阀滑杆的运动更加平衡；滑阀的阀体靠近滑杆的一侧的重量小于另一侧的重量，使得滑阀的质心与泵轴的轴心重合；偏心轮靠近滑阀滑杆的一侧的重量小于另一侧的重量，使得偏心轮的质心与泵轴的轴心重合，这些设计能够使偏心轮以及滑阀运转时更加平衡，减少振动。

在上述的真空泵中，所述的动力机构包括电机、泵皮带轮、电机皮带轮和三角皮带，所述的电机固定在泵体外，所述的泵皮带轮固定在上述的泵轴上，所述的电机皮带轮固定在电机的输出轴上，所述的三角皮带设置在泵皮带轮和电机皮带轮之间。电机设置在泵体上方的外壁上，使结构紧凑；通过三角皮带将电机的动力输送给泵轴，结构简单、稳定。

在上述的真空泵中，所述的泵体外还固定有油气分离器，所述的泵体上还开设有回油孔，所述的回油孔处于泵体出口的下方，所述油气分离器的进口与泵体的出口相连通，所述油气分离器的集油口通过回油管与回油孔相连通。泵所排出的气体中，随着工作压力的高低会含有不同量的油滴，经过油气分离器分离后的油液通过回油管送回泵体内。

在上述的真空泵中，所述的泵体的腔室内还设有冷却器，所述冷却器多组并联。排入泵体外腔室内的含温气体使该处油温升高，浸泡在油液中的冷却器使油温降低，冷却后的油再次进入泵内，以作密封和润滑之用，并降低泵体内温度。

与现有技术相比，本真空泵具有以下优点：

1、由于排气阀的出气端端口倾斜朝下，因此在排气阀的阀片磨损或腐蚀损坏后，其碎片会直接掉入泵体的油液中，不会进入缸体内影响滑阀的运转，使得该真空泵的运行安全可靠。气体与滑阀的作用力与滑阀及偏心轮的重力相互抵消一部分，有利于降低真空泵的振动、减轻轴承的负荷，同时使滑阀杆与连接件的间隙更均匀，减少摩擦力，降低返油、漏气的可能性，降低能耗，延长泵的使用寿命。

2、由于滑阀的滑杆中空，同时缩短滑杆的长度，因此滑阀的重量更轻，滑阀滑杆的运动更加平衡，减少振动。

3、由于滑阀的质心与泵轴的轴心重合，偏心轮的质心与泵轴的轴心重合，因此能够使偏心轮以及滑阀运转时更加平衡，减少振动。

4、由于真空泵安装了油气分离器，因此排出的气体油液分离更加彻底，节省油液的同时能够保护环境。

附图说明

图1是本真空泵的结构剖视图。

图2是本真空泵的结构正视图。

图3是本发明中油气分离器的结构示意图。

图4是本发明中油气分离器的一级分离器和二级分离器连接的剖视示意图。

图5是本发明中油气分离器的一级分离器的剖视结构示意图。

图6是本发明中油气分离器的二级分离器的剖视结构示意图。

图中，1、泵体；11、进口；12、出口；13、回油孔；2、缸体；3、泵轴；4、动力机构；41、电机；42、电机皮带轮；43、泵皮带轮；44、三角皮带；5、连接件；51、减重通孔；6、滑阀；7、偏心轮；8、排气阀；9、油气分离器；91、回油管；10、冷却器；111、壳体；112、排气口；121、进气管；131、挡油环；132、弯钩部；141、回油管；211、一级分离器；221、支撑板一；222、板体一；223、通孔一；224、固定环一；225、固定环二；226、固定部一；227、固定环三；231、顶盖一；232、盖板一；233、挡板一；234、间隙一；241、分离板一；251、分离板二；261、分离板三；311、二级分离器；321、支撑板二；322、板体二；323、通孔二；324、固定环四；325、固定环五；326、固定部二；327、固定环六；331、顶盖二；332、盖板二；333、挡板二；334、间隙二；341、分离板四；351、分离板五；361、分离板六；411、导流罩；421、罩体；431、导流部；432、金属丝网一；511、导油板；521、金属丝网二；611、固定杆。

具体实施方式

以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。

如图1所示，一种真空泵，包括泵体1和泵轴3，泵体1具有进口11和出口12，进口11开设在泵体1的上方，出口12开设在泵体1的侧壁上，泵轴3设置在泵体1内。泵体1内部具有腔室，腔室内充有油液，油液起到润滑密封的作用，同时当排出的气体较少时，油液可以帮助气体一起顶开排气阀8。泵体1内设有缸体2，缸体是由大缸和与大缸连为一体的小缸组成，进口11与小缸相连通，小缸内设有能摆动的连接件，大缸内还设有滑阀，滑阀包括阀体和位于阀体内偏心轮，泵轴一端位于大缸中且与偏心轮连接，所述的阀体上具有滑杆，滑杆穿过连接件，与进口11相连通，能够在连接件5中往复伸缩运动，泵轴另一端穿出泵体与一动力机构相连，动力机构4能够带动泵轴3旋转，阀体套设在偏心轮7上，通过偏心轮7的旋转带动滑杆做往复摆动，从而达到将气体从滑杆吸入缸体2的大缸内，并从排气阀8排入泵体1的外腔室中。大缸与小缸的连接处固定有倾斜向下设置的排气阀，排气阀的进口与大缸相连通，排气阀8浸没在油液中，贯通泵体1的外腔室与缸体2的大缸，排气阀8朝向缸体2外的一端，出口倾斜向下，因此在排气阀8的阀片磨损或腐蚀损坏后，其碎片会直接掉入泵体1的外腔室油液中，不会进入缸体2内影响滑阀6的运转，使得该真空泵的运行安全可靠。

具体来说，结合图2所示，排气阀8包括弹簧座和阀片，呈柱状，该排气阀8的中心线倾斜向下，与泵体1底面的夹角太小时，无法保证碎片全部掉到缸体2外，因此本实施案例中排气阀8的中心线与泵体1的底面的夹角为40°，同时该结构设计使得真空泵在压缩过程中气体对滑阀6的作用力与滑阀6及偏心轮7的重力相互抵消一部分，有利于降低真空泵的振动。滑阀的作用力与滑阀及偏心轮的重力相互抵消一部分，有利于降低真空泵的振动、减轻轴承的负荷，同时使滑阀杆与连接件的间隙更均匀，减少摩擦力，降低返油、漏气的可能性，降低能耗，延长泵的使用寿命。

连接件5本体中部开设有通道，上述滑阀6的滑杆设置在该通道中，本体与小缸内壁的接触面为弧面，通道两侧的本体上均开设有减重通孔51，既减少重量，又能够储存润滑油，改善连接件5与滑阀6滑杆之间的润滑。滑阀6的滑杆为中空结构，同时缩短滑杆的长度，使得滑阀6滑杆的运动更加平衡。滑阀6的阀体靠近滑杆的一侧的内壁挖空，使得该侧的重量小于另一侧的重量，滑阀6的质心与泵轴3的轴心重合。偏心轮7靠近滑阀6滑杆的一侧也挖空，使该侧的重量小于另一侧的重量，偏心轮7的质心与泵轴3的轴心重合，因此滑阀6的质心、偏心轮7的质心以及泵轴3的轴心相重合，能够使偏心轮7以及滑阀6运转时更加平衡，减少振动。

泵体1外还固定有油气分离器9，在泵体1的侧壁上还开设有回油孔13，回油孔13处于泵体1出口的下方，油气分离器9的进口与泵体的出口12相连通，油气分离器9的出口通过一根回油管91与回油孔13相连通。泵排出的气体中，随着工作压力的高低，会含有不同量的油滴，经过油气分离器9后能够将分离所收集的油液通过回油管91送回泵体1。泵体1的腔室内还设有冷却器10，冷却器可以多组并联。排入泵体外腔室内的含温气体使该处油温升高，浸泡在油液中的冷却器使油温降低，冷却后的油再次进入泵内，以作密封和润滑之用，并降低泵体内温度。

动力机构4包括电机41、泵皮带轮43、电机皮带轮42和三角皮带44，电机41固定设置在泵体1上方的外壁上，泵皮带轮43固定在泵轴3上，电机皮带轮42固定在电机41的输出轴上，三角皮带44设置在泵皮带轮43和电机皮带轮42之间，通过三角皮带44将电机41的动力输送给泵轴3，结构紧凑、简单、稳定。

如图3、图4、图5、图6所示，油气分离器9包括具有回油口与排气口112的壳体111和进气管121，进气管121穿入到壳体111内并固定在壳体111上，进气管121的出气口位于壳体111内且朝上设置，进气管121的出气口端固定有能分离油气的一级分离器211，一级分离器211与出气口相连通，一级分离器211正上方固定有能分离油气的二级分离器311，一级分离器211和二级分离器311之间设有导流罩411，导流罩411具有开口和与开口相连通的导流口，开口朝下设置且一级分离器211位于开口内，导流口与二级分离器311相连通。

一级分离器211包括支撑板一221和顶盖一231，支撑板一221具有板体一222，所述的板体一222的中部开设有通孔一223，板体一222固定在进气管121上，且进气管121的出气口与通孔一223相连通，顶盖一231具有盖板一232和位于盖板一232边沿相对盖板垂直凸起的挡板一233，板体一222与盖板一232平行且位于挡板一233内，板体一222和挡板一233之间具有间隙一234，间隙一234的朝向向下，板体一222和盖板一232之间沿径向依次设有若干呈弧形的分离板一241、分离板二251和分离板三261，本实施例中分离板一241、分离板二251和分离板三261均为八个，分离板一241、分离板二251和分离板三261垂直固定在板体一222上，板体一222上焊接固定有固定环一224、固定环二225和固定环三227，固定环一224的直径小于固定环二225的直径，固定环二225的直径小于固定环三227的直径，固定环一224、固定环二225、固定环三227与通孔一223同心，固定环一224与分离板一241、分离板二251的一侧焊接，固定环二225与分离板二251的另一侧、分离板三261的一侧焊接，固定环三227与分离板三261的另一侧焊接，且分离板一241、分离板二251和分离板三261的另一端与盖板一232抵靠，分离板一241、分离板二251和分离板三261沿周向等间距排列，相邻分离板一241形成的通道均朝向其中一块分离板二251，相邻分离板二251形成的通道均朝向其中一块分离板三261。而且分离板二251的弧形方向与分离板一241、分离板三261的弧形方向相反，因此分离板一241组成的流道方向与分离板二251组成的流道方向相反，分离板二251组成的流道方向与分离板三261组成的流道方向相反，油气混合气体通过通孔一223进入板体一222和盖板一232之间，油气混合气体经过弧形的分离板一241、分离板二251和分离板三261，可以使得油气混合气体呈旋风式的运行轨迹，达到油气的旋风分离效果；在此同时油气混合气体依次撞击在分离板一241、分离板二251、分离板三261和挡板一233上，由于油滴的质量大于气体的质量，因此在撞击时油滴能量的损失远远大于气体，所以在经过三次旋风分离和四次撞击后大部分油滴被分离出来。

二级分离器311包括支撑板二321和顶盖二331，支撑板二321具有板体二322，所述的板体二322的中部开设有通孔二323，导流罩411的导流口与通孔二323相连通，顶盖二331具有盖板二332和位于盖板二332边沿相对盖板垂直凸起的挡板二333，板体二322与盖板二332平行且位于挡板二333内，板体二322和挡板二333之间具有间隙二334，间隙二334的朝向向下，板体二322和盖板二332之间沿径向依次设有若干呈弧形的分离板四341、分离板五351和分离板六361，本实施例中分离板四341、分离板五351和分离板六361均为八个，分离板四341、分离板五351和分离板六361垂直固定在板体二322上，

板体二322上焊接固定有固定环四324、固定环五325和固定环六327，固定环四324的直径小于固定环五325的直径，固定环五325的直径小于固定环六327的直径，固定环四324、固定环五325、固定环六327与通孔二323同心，固定环四324与分离板四341的一侧、分离板五351的一侧焊接，固定环五325与分离板五351的另一侧、分离板六361的一侧焊接，固定环六327与分离板六361的另一侧焊接，且分离板四341、分离板五351和分离板六361的另一端与盖板二332抵靠，分离板四341、分离板五351和分离板六361沿周向等间距排列，相邻分离板四341形成的通道均朝向相对应的分离板五351，相邻分离板五351形成的通道均朝向相对应的分离板六361。分离板五351的弧形方向与分离板四341、分离板六361的弧形方向相反，因此分离板四341所组成的流道与分离板五351所组成的流道方向相反，分离板五351所组成的流道与分离板六361所组成的流道方向相反；油气混合气体通过通孔二323进入板体二322和盖板二332之间，流经分离板组成的三个弧形流道时，油气将进行三次旋风分离；在此同时，由于三个弧形流道相互之间方向相反，油气混合气体将依次与分离板四341、分离板五351、分离板六361和挡板二333发生撞击，由于油滴的质量大于气体的质量，因此在撞击时油滴的能量损耗远远大于气体，所以在经过二级分离器311的三次旋风分离和四次撞击后，油气混合气体中所含的油滴被完全分离出来。

导流罩411具有罩体421和位于罩体421一端呈圆台形的导流部431，开口位于罩体421内，导流口位于导流部431的上端，导流部431外侧面固定有金属丝网一432。从二级分离器311中分离的油滴会从间隙二334上滴落下来，金属丝网一432能防止滴落下来的油滴飞溅，以免重新与气体混合。

支撑板一221还具有固定部一226，固定部一226呈管状与通孔一223相连通，固定部一226的内侧壁上开设有内螺纹，固定部一226与进气管121螺纹连接固定。支撑板二321还具有固定部二326，固定部二326呈管状与通孔二323相连通，固定部二326的一端与导流罩411的导流部431焊接固定且与导流口相连通。固定部一226的外侧壁上还固定有导油板511，导油板511位于导流罩411的罩体421的下方，导油板511呈伞形，导油板511的上侧面上固定有金属丝网二521。从一级分离器211中分离的油滴会从间隙一234上滴落下来，金属丝网二521能防止滴落下来的油滴飞溅，以免重新与气体混合。

导流罩411、支撑板一221和顶盖一231之间穿设固定有若干固定杆611，本实施例中固定杆611为四个，四个固定杆611轴向均匀设置，固定杆611上开设有螺纹，固定杆611的一端螺纹连接有螺母一，螺母一与板体一222抵靠，固定杆611的另一端螺纹连接有螺母二，螺母二与导流部431的外侧面抵靠，固定杆611的中部螺纹连接有螺母三，螺母三与盖板一232的上侧面抵靠。导流罩411通过固定杆611与支撑板一221和顶盖一231固定，二级分离器311通过支撑板二321与导流罩411固定。

壳体111的排气口112处还固定有挡油环131，挡油环131的一端固定在壳体111的内侧壁上，挡油环131的另一端具有朝向挡油环131外侧面弯曲的弯钩部132。从二级分离器311分离出来的气体在进入排气口112时会撞击在挡油环131的外侧面及弯钩部132上，能将气体中最后剩余的油滴分离出来。壳体111上固定有回油管141，回油管141朝向壳体111外部与回油口相连通。

进气管121的进气口与真空泵相连通，油气混合气体经过进气管121输送至一级分离器211进行一级油气分离，一级油气分离后的气体通过导流罩411引导至二级分离器311进行二级油气分离，经过两次油气分离后油气混合气体的油滴被完全分离出气体，被分离出的油滴经过壳体111的回油口回收再利用，节约了成本，没有油滴的气体经过挡油环131的撞击后最终从壳体111的排气口112排出，不会对空气产生污染。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

尽管本文较多地使用了泵体1、进口11、出口12、回油孔13、缸体2、泵轴3、动力机构4、电机41、电机皮带轮42、泵皮带轮43、三角皮带44、连接件5、减重通孔51、；滑阀6、偏心轮7、排气阀8、油气分离器9、回油管91、冷却器10等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本发明的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本发明精神相违背的。

Claims (7)

1.一种真空泵，包括具有进口（11）和出口（12）的泵体（1）和设置在泵体（1）内的泵轴（3），其特征在于，所述的泵体（1）内设有缸体（2），所述的缸体（2）是由大缸和与大缸连为一体的小缸组成，所述的进口（11）与小缸相连通，所述小缸内设有能摆动的连接件（5），所述大缸内还设有滑阀（6），所述的滑阀（6）包括阀体和位于阀体内偏心轮（7），所述的泵轴（3）一端位于大缸中且与偏心轮（7）连接，所述的阀体上具有滑杆，所述的滑杆穿过上述连接件（5）并与连接件（5）滑动连接，泵轴（3）另一端穿出所述的泵体（1）与一能带动泵轴（3）转动的动力机构（4）相连，所述的大缸与小缸的连接处固定有倾斜向下设置的排气阀（8），所述排气阀（8）的进口与大缸相连通，排气阀（8）的出口朝向下方。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述排气阀（8）的阀体中心线与泵体（1）底面的夹角为锐角。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述连接件（5）包括呈板状的本体，所述的本体与小缸内壁的接触面为弧面，所述本体中部开设有矩形通道，上述滑阀（6）的滑杆设置在该通道中，所述通道两侧的本体上均开设有减重通孔（51）。

4.根据权利要求3所述的真空泵，其特征在于，所述滑阀（6）的滑杆为中空结构，所述滑阀（6）的阀体靠近滑杆的一侧的重量小于另一侧的重量，所述偏心轮（7）靠近滑阀（6）滑杆的一侧的重量小于另一侧的重量。

5.根据权利要求3或4所述的真空泵，其特征在于，所述动力机构（4）包括电机（41）、泵皮带轮（43）、电机皮带轮（42）和三角皮带（44），所述的电机（41）固定在泵体（1）外，所述的泵皮带轮（43）固定在上述的泵轴（3）上，所述的电机皮带轮（42）固定在电机（41）的输出轴上，所述的三角皮带（44）设置在泵皮带轮（43）和电机皮带轮（42）之间。

6.根据权利要求5所述的真空泵，其特征在于，所述泵体(1)外还固定有油气分离器(9)，所述的泵体(1)上还开设有回油孔(13)，所述的回油孔(13)处于泵体(1)出口(12)的下方，所述油气分离器(9)的进口与泵体(1)的出口(12)相连通，所述油气分离器(9)的集油口通过回油管(91)与回油孔(13)相连通。

7.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，所述泵体(1)的腔室内还设有冷却器(10)，所述冷却器(10)多组并联。

Images