CN102434461B

CN102434461B - 滑阀真空泵

Info

Publication number: CN102434461B
Application number: CN201110366400.0A
Authority: CN
Inventors: 王德顺
Original assignee: ZHEJIANG SHENGONG VACUUM EQUIPMENT MAKE CO Ltd
Current assignee: Zhejiang Kailite Vacuum Technology Co., Ltd.
Priority date: 2011-11-17
Filing date: 2011-11-17
Publication date: 2016-03-23
Anticipated expiration: 2031-11-17
Also published as: CN102434461A

Abstract

本发明提供了一种滑阀真空泵，属于机械工程技术领域。它解决了现有的滑阀真空泵结构更复杂，生产成本提高等问题。本滑阀真空泵，包括泵体、油箱和电机，泵体具有泵腔、与泵腔相连通的进气通道和连通泵腔与油箱的排气通道，排气通道上设有排气阀总成，所述的泵体的泵腔中心处穿设有一主轴；主轴的一端通过连接机构与电机转轴相连，泵腔分隔呈三个腔室，三个腔室沿着主轴从一端到另一端的长度比例为1∶2∶1；主轴上串联有三个与三个腔室一一对应设置的滑阀偏心轮机构，位于两端腔室内的滑阀偏心轮机构与位于中间腔室内的滑阀偏心轮机构均相对于主轴呈180°对称分布。本滑阀真空泵属于三缸结构，具有结构设计合理，结构紧凑的优点。

Description

滑阀真空泵

技术领域

本发明属于机械工程技术领域，涉及一种真空泵，特别是一种滑阀真空泵。

背景技术

滑阀真空泵是滑阀式油封机械泵的简称。它是一种变容式气体传输泵。

滑阀真空泵一般与罗茨泵组成罗茨滑阀真空机组，具有显著的节能效果，真空度高，高真空区间抽气量大等优点。被广泛地应用于电力工业的变压器、电线电缆、电容器的真空浸渍、真空干燥工艺中。是真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空滤油、冷冻干燥；航空模拟试验较理想的真空设备。

关于滑阀真空泵的技术文献较多，如中国专利文献公开的一种滑阀真空泵减振装置【专利号：ZL200820218587.3；授权公告号：CN201241834Y】，包括泵体和底座，在底座上设有减振弹簧；通过设在底座上的减振弹簧可起到减振作用。又如低振动低能耗电机顶置式单级滑阀真空泵【中国专利号：ZL200820038865.7；授权公告号：CN201241829Y】，包括泵体，泵体泵体上设置有导轨，腔体内设有泵轴，顶部连接有油箱，泵体的泵壳顶部壳壁上有排气阀总成，排气阀总成上方有排气阀腔，排气阀腔顶部向上连接有排气管，泵体内腔被分隔成二个腔室，一个为封闭端腔室，另一个为出轴端腔室；泵轴上装置有二套滑阀偏心轮机构，一套为封闭端滑阀偏心轮机构，另一套为出轴端滑阀偏心轮机构，二套滑阀偏心轮机构在泵轴呈180°对称分布；排气阀总成有两件，分别设置在泵体的二个腔室顶部壳壁上，电动机设置在油箱顶部。本滑阀真空泵虽然能够实现气体传输，与单缸相比平衡性和振动性是有所提升，但是该滑阀真空泵总体来说平衡性仍然较差。目前，为了克服该技术问题都是采用设置平衡块以提高阀真空泵的平衡性，但是这会使滑阀真空泵产生结构更复杂，生产成本提高等问题。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种结构简单且紧凑、平衡性高的滑阀真空泵。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种滑阀真空泵，包括泵体、油箱和电机，所述的泵体具有泵腔、与泵腔相连通的进气通道和连通泵腔与油箱的排气通道，所述的排气通道上设有排气阀总成，所述的泵体的泵腔中心处穿设有一主轴；主轴的一端通过连接机构与电机转轴相连，其特征在于，所述的泵腔分隔呈三个腔室，三个腔室沿着主轴从一端到另一端的长度比例为1∶2∶1；所述的主轴上串联有三个与三个腔室一一对应设置的滑阀偏心轮机构，位于两端腔室内的滑阀偏心轮机构与位于中间腔室内的滑阀偏心轮机构均相对于主轴呈180°对称分布。

本滑阀真空泵的电机带动主轴旋转，主轴带动三个滑阀偏心轮机构同步运动，位于两端腔室内的滑阀偏心轮机构与位于中间腔室内的滑阀偏心轮机构均相对于主轴呈180°对称分布；因此位于两端腔室内的滑阀偏心轮机构产生的惯性力正好与位于中间腔室内的滑阀偏心轮机构产生的惯性力相反。且由于位于两端腔室的长度之和与中间腔室的长度相等，可以更好地控制滑阀偏心轮机构的质量及质心，即可以保证位于两端腔室内的滑阀偏心轮机构产生的惯性力与位于中间腔室内的滑阀偏心轮机构产生的惯性力相等。由此惯性力相互抵消，具有极高地平衡性。

在上述的滑阀真空泵中，所述的滑阀偏心轮机构包括偏心轮、滑阀和导轨；所述的偏心轮与主轴固定连接，所述的导轨穿设在泵体内；所述的滑阀包括滑环部和位于滑环部外侧的连杆部，所述的滑环部套设在偏心轮上，所述的连杆部穿设在导轨上；所述的连杆部上具有连通通道，所述的进气通道与泵腔通过连通通道相连通。

在上述的滑阀真空泵中，三个所述的滑阀偏心轮机构之间的惯性力关系同时满足式①、式②和式③，

m₁r₁-m₂r₂+m₃r₃＝0①；m₁-m₂+m₃＝0②；m₁＝m₃③；

其中：m₁为位于一端腔室内的滑阀偏心轮机构中的偏心轮和滑阀的滑环部的总质量；r₁为上述的m₁的质心与主轴轴心之间的垂直距离；m₃为位于另一端腔室内的滑阀偏心轮机构中的偏心轮和滑阀的滑环部的总质量；r₃为上述的m₃的质心与主轴轴心之间的垂直距离；m₂为位于中间腔室内的滑阀偏心轮机构中的偏心轮和滑阀的滑环部的总质量；r₂为上述的m₂的质心与主轴轴心之间的垂直距离。

在实际生产中，位于两端腔室内的滑阀偏心轮机构结构完全相同，也就是说可以相互替换，这即可以保证m₁＝m₃，又可以降低生产滑阀偏心轮机构的成本及维修成本。同时，由于腔室长度的限制，在实际生产中，更易控制m₂与m₃之间的关系，且可以保证位于一端腔室内的滑阀偏心轮机构与位于中间腔室内的滑阀偏心轮机构的结构和形状均一一对应。

在上述的滑阀真空泵中，三个所述的滑阀偏心轮机构之间的惯性力矩关系满足式④、式⑤和式⑥，

m₁r₁l₁-m₂r₂l₂+m₃r₃l₃＝0④；m₁-m₂+m₃＝0⑤；m₁＝m₃⑥；

其中：m₁为位于一端腔室内的滑阀偏心轮机构中的偏心轮和滑阀的滑环部的总质量；r₁为上述的m₁的质心与主轴轴心之间的垂直距离；l₁为上述的m₁的质心与主轴轴心任意一点直线距离；m₃为位于另一端腔室内的滑阀偏心轮机构中的偏心轮和滑阀的滑环部的总质量；r₃为上述的m₃的质心与主轴轴心之间的垂直距离；l₃为上述的m₃的质心与上述的主轴轴心任意一点直线距离；m₂为位于中间腔室内的滑阀偏心轮机构中的偏心轮和滑阀的滑环部的总质量；r₂为上述的m₂的质心与主轴轴心之间的垂直距离；l₂为上述的m₂的质心与上述的主轴轴心任意一点直线距离。同时满足上述的条件进一步保证了本滑阀真空泵的稳定性。

在上述的滑阀真空泵中，所述的主轴的轴心处具有通油孔，所述的泵体上固定有油泵，油泵的输入轴与主轴的另一端相连接；所述的油泵的进油口与油箱相连通，油泵的出口油与通油孔相连通，所述的滑阀偏心轮机构具有连通通油孔与对应腔室的连通结构。本滑阀真空泵的转轴转动时便同步带动油泵工作，定量且稳定地向泵腔内供油，由此可以避免采用负压供油而造成供油不足的情况。

在上述的滑阀真空泵中，所述的连通结构包括位于偏心轮与主轴相连的连接部上连通通油孔和滑阀的滑环部内腔的连通孔、滑阀的滑环部端面与腔室端面之间的过油间隙。通油孔位于偏心轮的中部，由此可知，油相对于偏心轮是从中部向两端流动的，这样可以使偏心轮、主轴、滑阀之间运动产生的杂质更易排出，尤其是相对于偏心轮位于中部处的杂质。同时油按该流动方式流动更易将各个部件之间摩擦产生的热量带出，提高散热效率。除此之外也保证了各个部件之间的润滑效果。

在上述的滑阀真空泵中，所述的泵腔内具有两块隔板，所述的隔板将泵腔分隔呈三个腔室；一个所述的隔板与泵体连为一体，另一个所述的隔板通过可拆卸结构固定在泵体上。一个隔板与泵体连为一体不会影响泵体的正常加工，反而因减少了一个隔板的加工及装配，便的更为方便。同时，一体式结构还提高了隔板与泵体之间连接的牢固性，提高了泵体的强度。可拆卸结构保证了中间腔室内的部件能够安装及维护。

在上述的滑阀真空泵中，所述的泵腔呈圆柱状，位于中间的腔室的直径略小于位于两端的腔室中任意一个的直径；位于两端的腔室的直径相同；所述的中间的腔室和一端的腔室之间具有一台阶面，可拆卸的隔板抵靠在台阶面上。该结构方便了隔板的定位和定位的准确性及稳定性，即方便了本滑阀真空泵的装配。

在上述的滑阀真空泵中，所述的位于中间的腔室的直径与位于一端的腔室的直径之间的差值为3mm～8mm。

在上述的滑阀真空泵中，所述的可拆卸结构包括若干个沿着隔板周向均匀分布的锁紧销和与锁紧销一一对应的锁紧螺钉，所述的锁紧销相对于隔板径向设置，所述的锁紧螺钉的头部和锁紧销的尾部均呈锥形，所述的锁紧螺钉的头部锥面与锁紧销的尾部锥面相抵靠。

与现有技术相比，本滑阀真空泵具有以下优点：

1、本滑阀真空泵的泵腔分隔呈三个腔，也就是说本滑阀真空泵属于三缸结构，所述的三个腔从一端到另一端的长度为1∶2∶1；显然，这样布置符合多种几个关系，如轴对称，中心对称，具有结构设计合理，结构紧凑的优点。

2、相对于泵腔两端的滑阀偏心轮机构结构相同，因此可以互换使用，这样既提高了零件的通用性，又保证了m₁与m₃之间和r₁与r₃之间数值的精确性。

3、本滑阀真空泵从理论上相对于泵腔中间的滑阀偏心轮机构产生的惯性力方向与两端的滑阀偏心轮机构产生的惯性力方向相反，且中间的滑阀偏心轮机构产生的惯性力等于两端的滑阀偏心轮机构产生的惯性力之和，因此有效地保证了本滑阀真空泵的稳定性，具有振动幅度小和噪音低的优点。

4、本滑阀真空泵从理论上各个滑阀偏心轮机构之间还满足惯性力矩关系，因此也保证了本滑阀真空泵的稳定性，具有振动幅度小和噪音低的优点。

5、本滑阀真空泵因润滑效果和散热好等因素，还具有性能稳定、使用寿命长的优点。

附图说明

图1是本滑阀真空泵的剖视结构示意图。

图2是本滑阀真空泵的另一视角的剖视结构示意图。

图3是图1的局部结构放大图。

图4是图2的局部结构放大图。

图中，1、泵体；1a、泵腔；1b、腔室；1c、吸气腔；1d、排气腔；1e、进气通道；1f、排气通道；1g、辅助进气通道；2、油箱；2a、排气口；3、电机；4、主轴；4a、通油孔；5、滑阀偏心轮机构；5a、偏心轮；5b、滑阀；5c、滑环部；5d、连杆部；5e、连通通道；5f、导轨；5g、连通孔；6、气镇阀组件；6a、单向阀；6b、流量调节阀；7、排气阀总成；8、泵涨圈；9、带轮；10、皮带；11、油泵；12、轴承座；13、球轴承；14、机械密封组件；15、隔板；16、锁紧销；17、锁紧螺钉。

具体实施方式

以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。

如图1至图4所示，本滑阀真空泵包括泵体1、油箱2、电机3、排气阀总成7、主轴4和滑阀偏心轮机构5。

具体来说，泵体1具有一呈圆柱状的泵腔1a，泵腔1a内具有两块隔板15，隔板15将泵腔1a沿轴向分隔呈三个腔室1b。一个隔板15与泵体1连为一体，另一个隔板15通过可拆卸结构固定在泵体1上。

三个腔室1b沿轴向从一端到另一端的长度比例为1∶2∶1。且位于中间的腔室1b的直径略小于位于两端的腔室1b中任意一个的直径。位于中间的腔室1b的直径与位于一端的腔室1b的直径之间的差值为3mm～8mm。位于两端的腔室1b的直径相同。中间的腔室1b和一端的腔室1b之间具有一台阶面，可拆卸的隔板15抵靠在台阶面上。

可拆卸结构包括若干个沿着隔板15周向均匀分布的锁紧销16和与锁紧销16一一对应的锁紧螺钉17，锁紧销16相对于隔板15径向设置，锁紧螺钉17的头部和锁紧销16的尾部均呈锥形，锁紧螺钉17的头部锥面与锁紧销16的尾部锥面相抵靠。通过拧动锁紧螺钉17进而推动锁紧销16使锁紧销16的头部抵靠在泵腔1a腔壁上，进而实现对隔板15的固定。

油箱2固定在泵体1的顶面上，电机3固定在油箱2的顶面上。主轴4穿设在泵腔1a的轴心处，主轴4的两端部通过滑动轴承与泵体1相连。主轴4的一端穿出泵体1，依次套设有轴承座12和泵涨圈8。轴承轴与主轴4之间设有球轴承13和机械密封组件14。泵涨圈8固定在主轴4上，泵涨圈8上套设固定有带轮9，带轮9通过皮带10与电机3的转轴相连。

泵体1上具有与泵腔1a的三个腔室1b均连通的进气通道1e；三条与三个腔室1b一一对应设置且相连通道的排气通道1f，每条排气通道1f均与油箱2的顶部相连通。每条排气通道1f上均设有排气阀总成7。油箱2的顶部上开有排气口2a。从泵腔1a进入油箱2内的气体经过滤后从排气口2a排出。

主轴4上串联有三个与三个腔室1b一一对应设置的滑阀偏心轮机构5，位于两端腔室1b内的滑阀偏心轮机构5与位于中间腔室1b内的滑阀偏心轮机构5均相对于主轴4呈180°对称分布。

滑阀偏心轮机构5包括偏心轮5a、滑阀5b和导轨5f；偏心轮5a与主轴4固定连接，导轨5f穿设在泵体1内；滑阀5b包括滑环部5c和位于滑环部5c外侧的连杆部5d，滑环部5c套设在偏心轮5a上，连杆部5d穿设在导轨5f上；连杆部5d上具有连通通道5e，进气通道1e与泵腔1a通过连通通道5e相连通。

三个滑阀偏心轮机构5之间的惯性力关系同时满足式①、式②和式③，m₁r₁-m₂r₂+m₃r₃＝0①；m₁-m₂+m₃＝0②；m₁＝m₃③；其中：m₁为位于一端腔室1b内的滑阀偏心轮机构5中的偏心轮5a和滑阀5b的滑环部5c的总质量；r₁为上述的m₁的质心与主轴4轴心之间的垂直距离；m₃为位于另一端腔室1b内的滑阀偏心轮机构5中的偏心轮5a和滑阀5b的滑环部5c的总质量；r₃为上述的m₃的质心与主轴4轴心之间的垂直距离；m₂为位于中间腔室1b内的滑阀偏心轮机构5中的偏心轮5a和滑阀5b的滑环部5c的总质量；r₂为上述的m₂的质心与主轴4轴心之间的垂直距离。

三个滑阀偏心轮机构5之间的惯性力矩关系满足式④、式⑤和式⑥，m₁r₁l₁-m₂r₂l₂+m₃r₃l₃＝0④；m₁-m₂+m₃＝0⑤；m₁＝m₃⑥；其中：m₁为位于一端腔室1b内的滑阀偏心轮机构5中的偏心轮5a和滑阀5b的滑环部5c的总质量；r₁为上述的m₁的质心与主轴4轴心之间的垂直距离；l₁为上述的m₁的质心与主轴4轴心任意一点直线距离；m₃为位于另一端腔室1b内的滑阀偏心轮机构5中的偏心轮5a和滑阀5b的滑环部5c的总质量；r₃为上述的m₃的质心与主轴4轴心之间的垂直距离；l₃为上述的m₃的质心与上述的主轴4轴心任意一点直线距离；m₂为位于中间腔室1b内的滑阀偏心轮机构5中的偏心轮5a和滑阀5b的滑环部5c的总质量；r₂为上述的m₂的质心与主轴4轴心之间的垂直距离；l₂为上述的m₂的质心与上述的主轴4轴心任意一点直线距离。同时满足上述的条件进一步保证了本滑阀真空泵的稳定性。

本滑阀真空泵中位于两端腔室1b内的滑阀偏心轮机构5结构完全相同，位于中间腔室1b内的滑阀偏心轮机构5中的偏心轮5a和滑阀5b与位于一端腔室1b内的滑阀偏心轮机构5中的偏心轮5a和滑阀5b的结构和形状均一一对应。简单来说，长度明显不同，其余基本相同。

本滑阀真空泵的工作原理为：电机3带动主轴4转动，主轴4依次带动偏心轮5a、滑阀5b的滑环部5c绕着主轴4转动，滑阀5b的滑环部5c带动滑阀5b的连杆部5d沿着导轨5f摆动且往复纵向移动。滑阀5b的滑环部5c外侧面与泵腔1a的侧壁通过油形成密封；将腔室1b分隔成吸气腔1c和排气腔1d，排气通道1f与排气腔1d相连通，吸气腔1c与排气腔1d相连通。在滑阀5b的滑环部5c过程中，吸气腔1c和排气腔1d随之改变，吸气腔1c逐渐增大则气体进入吸气腔1c；排气腔1d逐渐变小，则气体压力变大将排气阀总成7打开，气体进入油箱2内经过滤或油气分离后，从排气口2a排出。

在排气口2a处设有一油气分离器，进而对排出的气体再次过滤，降低排气气体中的含油量，以降低油的损耗。

在泵体1内环设有一与每个腔室1b的排气腔1d相连通的辅助进气通道1g，在辅助进气通道1g的进口处设有气镇阀组件6。气镇阀组件6包括单向阀6a和流量调节阀6b，单向阀6a的进口与流量调节阀6b的出口相连通，单向阀6a的出口与辅助进气通道1g相连通。当需要辅助进气时，操作流量调节阀6b使其处于开启状态且保持适当的通量。当排气腔1d的压力低于大气压时，单向阀6a在气压差作用下自动打开，空气进入排气腔1d内，由此能中止气体中的水分在水珠与水汽之间依次循环转换，便于气体中的水分排出。

上述的油气分离器的回油口通过软管与流量调节阀6b的进口相连通，这样当需要辅助进气时将油气分离器分离出的油抽回至泵腔1a内，实现油的循环。显然，油气分离器的回油有效地利用了本滑阀真空泵中的部件，具有结构紧凑的优点。

主轴4的轴心处具有通油孔4a，泵体1上固定有油泵11，油泵11的输入轴与主轴4的另一端相连接；油泵11的进油口与油箱2相连通，油泵11的出口油与通油孔4a相连通，滑阀偏心轮机构5内设有连通通油孔4a与对应腔室1b的连通结构。连通结构包括位于偏心轮5a与主轴4相连的连接部上连通通油孔4a和滑阀5b的滑环部5c内腔的连通孔5g、滑阀5b的滑环部5c端面与腔室1b端面之间的过油间隙。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

尽管本文较多地使用了泵体1；泵腔1a；腔室1b；吸气腔1c；排气腔1d；进气通道1e；排气通道1f；辅助进气通道1g；油箱2；排气口2a；电机3；主轴4；通油孔4a；滑阀偏心轮机构5；偏心轮5a；滑阀5b；滑环部5c；连杆部5d；连通通道5e；导轨5f；气镇阀组件6；单向阀6a；流量调节阀6b；排气阀总成7；泵涨圈8；带轮9；皮带10；油泵11；轴承座12；球轴承13；机械密封组件14；隔板15；锁紧销16；锁紧螺钉17等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本发明的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本发明精神相违背的。

Claims

1.一种滑阀真空泵，包括泵体(1)、油箱(2)和电机(3)，所述的泵体(1)具有泵腔(1a)、与泵腔(1a)相连通的进气通道(1e)和连通泵腔(1a)与油箱(2)的排气通道(1f)，所述的排气通道(1f)上设有排气阀总成(7)，所述的泵体(1)的泵腔(1a)中心处穿设有一主轴(4)；主轴(4)的一端通过连接机构与电机(3)转轴相连，其特征在于，所述的泵腔(1a)分隔呈三个腔室(1b)，三个腔室(1b)沿着主轴(4)从一端到另一端的长度比例为1∶2∶1；所述的主轴(4)上串联有三个与三个腔室(1b)一一对应设置的滑阀偏心轮机构(5)，主轴(4)带动三个滑阀偏心轮机构(5)同步运动；位于两端腔室(1b)内的滑阀偏心轮机构(5)与位于中间腔室(1b)内的滑阀偏心轮机构(5)均相对于主轴(4)呈180°对称分布；在泵体(1)内环设有一与每个腔室(1b)的排气腔(1d)相连通的辅助进气通道(1g)，在辅助进气通道(1g)的进口处设有气镇阀组件(6)；所述气镇阀组件(6)包括单向阀(6a)和流量调节阀(6b)，单向阀(6a)的进口与流量调节阀(6b)的出口相连通，单向阀(6a)的出口与辅助进气通道(1g)相连通；油箱(2)的顶部上开有排气口(2a)；在排气口(2a)处设有一油气分离器；油气分离器的回油口通过软管与流量调节阀(6b)的进口相连通；所述的泵腔(1a)内具有两块隔板(15)，所述的隔板(15)将泵腔(1a)分隔呈三个腔室(1b)；一个所述的隔板(15)与泵体(1)连为一体，另一个所述的隔板(15)通过可拆卸结构固定在泵体(1)上；所述的泵腔(1a)呈圆柱状，位于中间的腔室(1b)的直径略小于位于两端的腔室(1b)中任意一个的直径；位于两端的腔室(1b)的直径相同；所述的中间的腔室(1b)和一端的腔室(1b)之间具有一台阶面，可拆卸的隔板(15)抵靠在台阶面上；所述的可拆卸结构包括若干个沿着隔板(15)周向均匀分布的锁紧销(16)和与锁紧销(16)一一对应的锁紧螺钉(17)，所述的锁紧销(16)相对于隔板(15)径向设置，所述的锁紧螺钉(17)的头部和锁紧销(16)的尾部均呈锥形，所述的锁紧螺钉(17)的头部锥面与锁紧销(16)的尾部锥面相抵靠。

2.根据权利要求1所述的滑阀真空泵，其特征在于，所述的滑阀偏心轮机构(5)包括偏心轮(5a)、滑阀(5b)和导轨(5f)；所述的偏心轮(5a)与主轴(4)固定连接，所述的导轨(5f)穿设在泵体(1)内；所述的滑阀(5b)包括滑环部(5c)和位于滑环部(5c)外侧的连杆部(5d)，所述的滑环部(5c)套设在偏心轮(5a)上，所述的连杆部(5d)穿设在导轨(5f)上；所述的连杆部(5d)上具有连通通道(5e)，所述的进气通道(1e)与泵腔(1a)通过连通通道(5e)相连通。

3.根据权利要求2所述的滑阀真空泵，其特征在于，所述的三个所述的滑阀偏心轮机构(5)之间的惯性力关系同时满足式①、式②和式③，

m₁r₁-m₂r₂+m₃r₃＝0①；m₁-m₂+m₃＝0②；m₁＝m₃③；

其中：m₁为位于一端腔室(1b)内的滑阀偏心轮机构(5)中的偏心轮(5a)和滑阀(5b)的滑环部(5c)的总质量；r₁为上述的m₁的质心与主轴(4)轴心之间的垂直距离；m₃为位于另一端腔室(1b)内的滑阀偏心轮机构(5)中的偏心轮(5a)和滑阀(5b)的滑环部(5c)的总质量；r₃为上述的m₃的质心与主轴(4)轴心之间的垂直距离；m₂为位于中间腔室(1b)内的滑阀偏心轮机构(5)中的偏心轮(5a)和滑阀(5b)的滑环部(5c)的总质量；r₂为上述的m₂的质心与主轴(4)轴心之间的垂直距离。

4.根据权利要求2所述的滑阀真空泵，其特征在于，所述的三个所述的滑阀偏心轮机构(5)之间的惯性力矩关系满足式④、式⑤和式⑥，

其中：m₁为位于一端腔室(1b)内的滑阀偏心轮机构(5)中的偏心轮(5a)和滑阀(5b)的滑环部(5c)的总质量；r₁为上述的m₁的质心与主轴(4)轴心之间的垂直距离；l₁为上述的m₁的质心与主轴(4)轴心任意一点直线距离；m₃为位于另一端腔室(1b)内的滑阀偏心轮机构(5)中的偏心轮(5a)和滑阀(5b)的滑环部(5c)的总质量；r₃为上述的m₃的质心与主轴(4)轴心之间的垂直距离；l₃为上述的m₃的质心与上述的主轴(4)轴心任意一点直线距离；m₂为位于中间腔室(1b)内的滑阀偏心轮机构(5)中的偏心轮(5a)和滑阀(5b)的滑环部(5c)的总质量；r₂为上述的m₂的质心与主轴(4)轴心之间的垂直距离；l₂为上述的m₂的质心与上述的主轴(4)轴心任意一点直线距离。

5.根据权利要求2或3或4所述的滑阀真空泵，其特征在于，所述的主轴(4)的轴心处具有通油孔(4a)，所述的泵体(1)上固定有油泵(11)，油泵(11)的输入轴与主轴(4)的另一端相连接；所述的油泵(11)的进油口与油箱(2)相连通，油泵(11)的出口油与通油孔(4a)相连通，所述的滑阀偏心轮机构(5)具有连通通油孔(4a)与对应腔室(1b)的连通结构。

6.根据权利要求5所述的滑阀真空泵，其特征在于，所述的连通结构包括位于偏心轮(5a)与主轴(4)相连的连接部上连通通油孔(4a)和滑阀(5b)的滑环部(5c)内腔的连通孔(5g)、滑阀(5b)的滑环部(5c)端面与腔室(1b)端面之间的过油间隙。