CN221224786U - 探针固定臂 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供探针固定臂，包括主臂以及紧固组件，主臂的一端的端面上具有圆槽，圆槽的两侧还设有条形孔，圆槽的底部固定连接臂的一端，连接臂的另一端固定有锁紧束，紧固组件包括套管和弹簧，弹簧套设在连接臂的外侧，弹簧的一端固定圆槽的槽底，弹簧的另一端连接套管的一端，套管套设在锁紧束的外侧；套管的外侧固定有凸块，凸块自条形孔露出主臂的外侧。本实用新型在使用时，通过设置锁紧束和套筒将探针固定，使用方便并且简单快速，避免探针的安装浪费时间。

Description

探针固定臂

技术领域

本实用新型涉及半导体测试设备技术领域，尤其涉及一种探针固定臂。

背景技术

探针台是半导体行业重要的测试装备之一，其广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台上通常通过探针座固定探针，在使用时通过探针精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。探针是探针台最不可或缺的组件。

现有技术中，通过在探针座上安装探针臂，探针通过螺纹连接的方式旋拧固定在探针臂的顶端，但是现有的探针由于其体积较小，固定起来及其不便，并且现有的探针台上常会设置多个探针，在使用通过此方式安装探针，常会浪费较多的时间。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了探针固定臂。

为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：探针固定臂，包括主臂以及紧固组件，所述主臂的一端的端面上具有圆槽，所述圆槽的两侧还设有条形孔，所述圆槽的底部固定连接臂的一端，所述连接臂的另一端固定有锁紧束，所述紧固组件包括套管和弹簧，所述弹簧套设在所述连接臂的外侧，所述弹簧的一端固定所述圆槽的槽底，所述弹簧的另一端连接所述套管的一端，所述套管套设在所述锁紧束的外侧；所述套管的外侧固定有凸块，所述凸块自所述条形孔露出主臂的外侧。

优选地，所述锁紧束至少为两个，所述锁紧束沿所述连接臂的圆周等分设置。

优选地，一个所述锁紧束上具有通孔，所述通孔内设置弹性压杆，所述通孔包括大孔段和小孔段，所述大孔段位于所述小孔段的外侧，所述弹性压杆包括压块、压杆主体以及伸缩弹簧，所述压块固定在所述压杆主体的一端，所述伸缩弹簧套设在所述压杆主体的外侧，所述伸缩弹簧的一端固定在所述大孔段的内底部，所述伸缩弹簧的另一端固定在所述压块的底部，所述压块的上端露出所述锁紧束的外侧，所述压杆主体的下端穿入所述通孔的小孔段，所述压杆主体的下端与所述锁紧束的内侧面平齐。

优选地，所述压块的上端为斜坡面，所述斜坡面自靠近所述弹簧的一侧开始向远离所述弹簧的一侧向上倾斜设置。

优选地，所述锁紧束远离所述连接臂的一端的端面上还具有定位凸起，所述定位凸起与所述通孔相对应。

优选地，所述锁紧束的内壁设有防滑凸起。

优选地，所述锁紧束远离所述连接臂的一端露出所述主臂的外侧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：本实用新型通过设置锁紧束和套筒，在使用时，首先通过滑动套筒将锁紧束外露，接着将探针的末端插入锁紧束内，并通过弹簧的作用下使套筒向锁紧束的一侧移动并套设在锁紧束外，从而将锁紧束收紧固定该探针，仅需一推一插，便可将探针固定，使用方便并且简单快速，避免探针的安装浪费时间。

附图说明

图1为本实用新型的探针固定臂的立体结构示意图；

图2为本实用新型的探针固定臂的结构示意图。

图3为本实用新型的探针固定臂的局部a放大图。

实施方式

为使对本实用新型的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。

请结合参照图1、图2和图3，本实用新型一实施例的一种探针固定臂，包括主臂100以及紧固组件200，所述主臂100的一端的端面上具有圆槽110，所述圆槽110的两侧还设有条形孔120，所述圆槽110的底部固定连接臂130的一端，所述连接臂130的另一端固定有锁紧束140，所述紧固组件200包括套管210和弹簧220，所述弹簧220套设在所述连接臂130的外侧，所述弹簧220的一端固定所述圆槽110的槽底，所述弹簧220的另一端连接所述套管210的一端，所述套管210套设在所述锁紧束140的外侧；所述套管210的外侧固定有凸块211，所述凸块211自所述条形孔120露出主臂100的外侧。使用时，通过向弹簧220一侧推动凸块211，带动套管210向弹簧220的一侧滑动，使得弹簧220压缩，锁紧束140露出套筒210外，将探针的末端插入锁紧束140内，松脱凸块211，使套筒220在弹簧220的作用下向锁紧束140的一侧移动并套设在锁紧束140外，从而将锁紧束140收紧固定该探针，使用简单快速，避免探针的安装浪费时间。

所述锁紧束140至少为两个，所述锁紧束140沿所述连接臂130的圆周等分设置。保证多个锁紧束140固定牢固，同时等分设置的锁紧束140使得探针的圆周方向的受力较为均匀，避免探针受损，影响测试结果。

一个所述锁紧束140上具有通孔300，所述通孔300内设置弹性压杆400，所述通孔300包括大孔段310和小孔段320，所述大孔段310位于所述小孔段320的外侧，所述弹性压杆400包括压块410、压杆主体420以及伸缩弹簧430，所述压块410固定在所述压杆主体420的一端，所述伸缩弹簧430套设在所述压杆主体420的外侧，所述伸缩弹簧430的一端固定在所述大孔段310的内底部，所述伸缩弹簧430的另一端固定在所述压块410的底部，所述压块410的上端露出所述锁紧束140的外侧，所述压杆主体420的下端穿入所述通孔300的小孔段320，所述压杆主体420的下端与所述锁紧束140的内侧面平齐。探针包括针主体和固定端，固定端上还可对应压杆主体420设置凹槽，在使用时，当弹簧220正常状态下，套筒210套设在锁紧束140的外侧时，套筒210的内壁会抵触压块410的上端，使得压块410向内移动，伸缩弹簧430收缩，压杆主体420的下端能够抵触在凹槽内，从而将探针进一步固定，保证探针主体固定牢固，不易发生转动，避免探针脱落。

所述压块410的上端为斜坡面，所述斜坡面自靠近所述弹簧220的一侧开始向远离所述弹簧220的一侧向上倾斜设置。斜坡面的下端位于通孔300内；保证在使用时套筒210在弹簧220的作用下向锁紧束140的一侧滑动时，能够更容易的将压块410向锁紧束140内压，使得弹性压杆400锁紧探针更加简单方便。

优选地，所述锁紧束140远离所述连接臂130的一端的端面上还具有定位凸起141，所述定位凸起141与所述通孔300相对应。定位凸起141位于通孔300在锁紧束140的长度方向的直线上。保证在使用时，能够将探针固定端的凹槽对应该定位凸起141的位置向锁紧束140内插入，从而使得该凹槽能够更准确的放入到通孔300的内侧，保证压块内压时压杆主体420的下端抵触在凹槽内，使得安装更加快捷，避免安装时还需要手动寻找凹槽与通孔对应的位置，减少安装耗费的时间。

优选地，所述锁紧束140的内壁设有防滑凸起。增大了锁紧束140内侧的摩擦力，保证探针安装牢固，避免探针在固定在锁紧束140内侧时发生滑动偏移影响检测的准确性。

优选地，所述锁紧束140远离所述连接臂130的一端露出所述主臂100的外侧。保证在使用时，当将套筒210向靠近弹簧220的一侧滑动时，锁紧束140的端部能够外露，更容易将探针的末端从锁紧束140的端部插入锁紧束140内，使用起来更加简单方便。

本实用新型已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本实用新型的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本实用新型的范围。相反地，在不脱离本实用新型的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本实用新型的专利保护范围。

Claims (7)

1.探针固定臂，其特征在于：包括主臂以及紧固组件，所述主臂的一端的端面上具有圆槽，所述圆槽的两侧还设有条形孔，所述圆槽的底部固定连接臂的一端，所述连接臂的另一端固定有锁紧束，所述紧固组件包括套管和弹簧，所述弹簧套设在所述连接臂的外侧，所述弹簧的一端固定所述圆槽的槽底，所述弹簧的另一端连接所述套管的一端，所述套管套设在所述锁紧束的外侧；所述套管的外侧固定有凸块，所述凸块自所述条形孔露出主臂的外侧。

2.如权利要求1所述的探针固定臂，其特征在于：所述锁紧束至少为两个，所述锁紧束沿所述连接臂的圆周等分设置。

3.如权利要求2所述的探针固定臂，其特征在于：一个所述锁紧束上具有通孔，所述通孔内设置弹性压杆，所述通孔包括大孔段和小孔段，所述大孔段位于所述小孔段的外侧，所述弹性压杆包括压块、压杆主体以及伸缩弹簧，所述压块固定在所述压杆主体的一端，所述伸缩弹簧套设在所述压杆主体的外侧，所述伸缩弹簧的一端固定在所述大孔段的内底部，所述伸缩弹簧的另一端固定在所述压块的底部，所述压块的上端露出所述锁紧束的外侧，所述压杆主体的下端穿入所述通孔的小孔段，所述压杆主体的下端与所述锁紧束的内侧面平齐。

4.如权利要求3所述的探针固定臂，其特征在于：所述压块的上端为斜坡面，所述斜坡面自靠近所述弹簧的一侧开始向远离所述弹簧的一侧向上倾斜设置。

5.如权利要求3所述的探针固定臂，其特征在于：所述锁紧束远离所述连接臂的一端的端面上还具有定位凸起，所述定位凸起与所述通孔相对应。

6.如权利要求1所述的探针固定臂，其特征在于：所述锁紧束的内壁设有防滑凸起。

7.如权利要求1所述的探针固定臂，其特征在于：所述锁紧束远离所述连接臂的一端露出所述主臂的外侧。