CN221092918U - 一种极超薄玻璃输送旋转移载设备 - Google Patents

一种极超薄玻璃输送旋转移载设备 Download PDF

Info

Publication number
CN221092918U
CN221092918U CN202323316429.5U CN202323316429U CN221092918U CN 221092918 U CN221092918 U CN 221092918U CN 202323316429 U CN202323316429 U CN 202323316429U CN 221092918 U CN221092918 U CN 221092918U
Authority
CN
China
Prior art keywords
rotating
plates
lifting
frame
glass
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202323316429.5U
Other languages
English (en)
Inventor
江延悦
李生维
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hefei Sineva Intelligent Machine Co Ltd
Original Assignee
Hefei Sineva Intelligent Machine Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hefei Sineva Intelligent Machine Co Ltd filed Critical Hefei Sineva Intelligent Machine Co Ltd
Priority to CN202323316429.5U priority Critical patent/CN221092918U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN221092918U publication Critical patent/CN221092918U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本实用新型适用于半导体显示行业玻璃基板输送领域,提供一种极超薄玻璃输送旋转移载设备包括固定框架、设置于固定框架上用于输送玻璃板的滚轮输送组件,所述滚轮输送组件包括相对设置于所述固定框架上的两个固定板、可转动设置于所述固定板上且等距设置的用于在转动时输送玻璃板的若干个转动轮组、设置于所述固定板与若干个所述转动轮组之间的用于驱动转动轮组进行转动的转动装置,在需要对玻璃板进行输送时,将玻璃板放置在若干个转动轮组上,并通过转动装置驱动转动轮组进行转动,在若干个转动轮组转动时对玻璃板进行输送,设备成本低,耗能低,输送过程中不容易导致极超薄玻璃发生抖动,从而使得破片率低。

Description

一种极超薄玻璃输送旋转移载设备
技术领域
本实用新型属于半导体显示行业玻璃基板输送领域,尤其涉及一种极超薄玻璃输送旋转移载设备。
背景技术
近年来,由于电子产品的发展,平板显示技术也随之飞速发展,且电子显示屏朝着轻量化轻薄化发展,因此对极超薄玻璃需求量与日俱增。在极超薄玻璃基板加工、应用、组装及输送过程中,均会涉及到极超薄玻璃的输送旋转移载,由于极超薄玻璃密度大,质量重和易碎等特性,要求输送极超薄玻璃基板的设备轻拿轻放轻运输,来确保玻璃的安全取放输送,目前现有技术对极超薄玻璃输送,采用的是气浮传输机构,原理是气浮块将玻璃吹起输送,例如中国专利申请号为201610753607.6公开了一种气浮真空吸附搬送装置,采用气浮原理将玻璃吹起搬送,但是这种方式,设备成本高,耗能大,且由于极超薄玻璃柔软性高,气浮传输过程中,玻璃无法形成气幕,容易导致极超薄玻璃发生抖动,从而使得破片率高。
实用新型内容
本实用新型实施例的目的在于提供一种极超薄玻璃输送旋转移载设备,旨在解决极超薄玻璃输送过程中破片率高的问题,本发明对极超薄玻璃传输环节进行开发,通过对滚轮的排布设计以及真空吸盘的抓取,可对极超薄玻璃进行重复定位归正,减少极超薄玻璃在传输过程的破片率的问题,降低设备生产成本,减少耗能。
本实用新型实施例是这样实现的,一种极超薄玻璃输送旋转移载设备,包括固定框架、设置于固定框架上用于输送玻璃板的滚轮输送组件、设置于所述固定框架上位于所述滚轮输送组件下方的用于在滚轮输送组件输送玻璃板至预定位置时将滚轮输送组件上的玻璃板进行顶升的顶升支撑组件、设置于所述固定框架上位于所述滚轮输送组件上方的用于在顶升支撑组件将滚轮输送组件上的玻璃板进行顶升后对玻璃板进行吸附并进行旋转的吸附旋转组件,所述滚轮输送组件包括相对设置于所述固定框架上的两个固定板、可转动设置于所述固定板上且等距设置的用于在转动时输送玻璃板的若干个转动轮组、设置于所述固定板与若干个所述转动轮组之间的用于驱动转动轮组进行转动的转动装置。
进一步的是,所述转动轮组包括分别设置于两个所述固定板上的安装板、可转动设置于所述安装板上且等距设置的用于在受外力驱动时可在安装板上进行转动的若干个转动辊、设置于各所述转动辊上的用于在转动辊于安装板上转动时对玻璃板进行输送的若干个滚轮、设置于所述转动辊与固定板之间的用于驱动转动辊在安装板上进行转动的转动装置。
进一步的是,所述转动装置包括等距设置于所述固定板上的若干个支撑板、可转动设置于所述若干个支撑板之间的用于在受外力驱动时可在各支撑板上进行转动的转动杆、设置于所述转动杆与所述转动辊之间的用于在转动杆转动时带动转动辊在安装板上进行转动的联动件、固定端设置于所述固定板上且输出端与所述转动杆相连接的用于驱动转动杆在各支撑板上进行转动的减速电机。
进一步的是,所述联动件包括设置于所述转动杆与所述转动辊之间的用于在转动杆转动时带动转动辊在安装板上进行转动的磁力轮组。
进一步的是,所述顶升支撑组件包括可升降设置于所述固定框架上位于所述滚轮输送组件的下方的用于在受外力驱动时可在滚轮输送组件的下方上升或下降的升降板、固定端设置于所述固定框架上且输出端与升降板相连接的用于驱动升降板于滚轮输送组件的下方上升或下降的伸缩气缸、设置于所述升降板上端面的用于在伸缩气缸驱动升降板于滚轮输送组件的下方上升时将滚轮输送组件上的玻璃板进行顶升的若干个顶升杆。
进一步的是,所述吸附旋转组件包括设置于所述固定框架上位于所述滚轮输送组件上方的固定架、可升降设置于所述固定架上位于所述滚轮输送组件的上方的用于在受外力驱动时可在固定架上上升或下降的升降框架、设置于所述固定架与所述升降框架之间的用于驱动升降框架于固定架上上升或下降的升降装置、设置于所述升降框架下端的用于在顶升支撑组件将滚轮输送组件上的玻璃板进行顶升且升降框架于固定架上下降后对玻璃板进行吸附的吸附件、设置于所述吸附件与所述升降框架之间的用于在吸附件对玻璃板进行吸附后带动玻璃板进行旋转的旋转件。
进一步的是,所述吸附件包括设置于所述升降框架下端的吸盘框架、设置于所述吸盘框架上的用于对玻璃板进行吸附的若干个吸附杆,所述旋转件设置于所述吸盘框架与所述升降框架之间。
进一步的是,所述旋转件包括固定端设置于所述升降框架上且输出端与所述吸盘框架的上端相连接的用于驱动吸盘框架转动的转动电机。
进一步的是,所述固定框架上位于滚轮输送组件的下方设置有用于在顶升支撑组件将玻璃板进行顶升前调整玻璃板在滚轮输送组件上的位置的纠正组件。
进一步的是,所述纠正组件包括矩形阵列设置于所述滚轮输送组件的下方四个连接板、固定端设置于所述固定框架上且输出端与所述连接板的下端相连接的用于同时驱动四个连接板在滚轮输送组件的下方上升或下降的升降气缸、矩形阵列设置于所述滚轮输送组件的下方位于所述连接板那端的四个活动板、固定端设置于所述连接板的上端且输出端与所述活动板相连接的用于同时驱动四个活动板在滚轮输送组件的下方相互靠近或远离的归正气缸、设置于各所述活动板的上端的若干个归正杆。
本实用新型实施例提供的一种极超薄玻璃输送旋转移载设备,带来的有益效果是:
在需要对玻璃板进行输送时,将玻璃板放置在若干个转动轮组上,并通过转动装置驱动转动轮组进行转动,在若干个转动轮组转动时对玻璃板进行输送,设备成本低,耗能低,输送过程中不容易导致极超薄玻璃发生抖动,从而使得破片率低。
进一步产生的效果:在需要对玻璃板的位置进行归正调整,以使得玻璃板的位置位于滚轮输送组件的中间位置时,通过升降气缸同时驱动四个连接板在滚轮输送组件的下方上升,且在升降气缸驱动的同时,归正气缸驱动以使得同时驱动四个活动板在滚轮输送组件的下方相互靠近,从而带动活动板在向上升起时保持相互靠近的运动状态,在该过程中归正杆逐渐顶起玻璃板以对玻璃板的位置进行调节,在调节完毕后则通过升降气缸和归正气缸同时驱动四个连接板在滚轮输送组件的下方下降并相互远离,从而使调整后的玻璃板放置于滚轮输送组件上。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的极超薄玻璃输送旋转移载设备正等轴测图;
图2为本实用新型实施例提供的极超薄玻璃输送旋转移载设备正视图;
图3为本实用新型实施例提供的超薄玻璃输送旋转移载设备滚轮输送组件轴测图;
图4为本实用新型实施例提供的超薄玻璃输送旋转移载设备顶升支撑组件正视图;
图5为本实用新型实施例提供的超薄玻璃输送旋转移载设备吸附旋转组件正等轴测图;
图6为本实用新型实施例提供的超薄玻璃输送旋转移载设备纠正组件正等轴测图;
图7为本实用新型实施例提供的超薄玻璃输送旋转移载设备俯视图。
图中标号:滚轮输送组件100、固定框架200、顶升支撑组件300、吸附旋转组件400、纠正组件500、减速电机102、固定板103、支撑板105、磁力轮组107、转动杆108、安装板109、转动辊110、滚轮111、伸缩气缸303、升降板304、顶升杆306、固定架401、升降框架404、吸盘框架405、转动电机406、减速机407、吸附杆408、升降气缸501、连接板502、归正气缸503、活动板504、归正帽505、归正杆506。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
可以理解,本申请所使用的术语“第一”、“第二”等可在本文中用于描述各种元件,但除非特别说明,这些元件不受这些术语限制。这些术语仅用于将第一个元件与另一个元件区分。
如图1、图2、图3所示,一种极超薄玻璃输送旋转移载设备,包括固定框架200、设置于固定框架200上用于输送玻璃板的滚轮输送组件100、设置于所述固定框架200上位于所述滚轮输送组件100下方的用于在滚轮输送组件100输送玻璃板至预定位置时将滚轮输送组件上的玻璃板进行顶升的顶升支撑组件300、设置于所述固定框架200上位于所述滚轮输送组件100上方的用于在顶升支撑组件300将滚轮输送组件100上的玻璃板进行顶升后对玻璃板进行吸附并进行旋转的吸附旋转组件400,所述滚轮输送组件100包括相对设置于所述固定框架上的两个固定板103、可转动设置于所述固定板103上且等距设置的用于在转动时输送玻璃板的若干个转动轮组、设置于所述固定板103与若干个所述转动轮组之间的用于驱动转动轮组进行转动的转动装置。
所述转动轮组包括分别设置于两个所述固定板103上的安装板109、可转动设置于所述安装板109上且等距设置的用于在受外力驱动时可在安装板109上进行转动的若干个转动辊110、设置于各所述转动辊110上的用于在转动辊110于安装板上转动时对玻璃板进行输送的若干个滚轮111、设置于所述转动辊110与固定板103之间的用于驱动转动辊110在安装板109上进行转动的转动装置,转动辊110沿固定框架200的长度方向等距设置,各转动辊110之间的间距如图3所示,滚轮111沿固定框架200的宽度方向等距设置在各转动辊110上。
所述转动装置包括等距设置于所述固定板103上的若干个支撑板105、可转动设置于所述若干个支撑板105之间的用于在受外力驱动时可在各支撑板105上进行转动的转动杆108、设置于所述转动杆108与所述转动辊110之间的用于在转动杆108转动时带动转动辊110在安装板109上进行转动的联动件、固定端设置于所述固定板上且输出端与所述转动杆108相连接的用于驱动转动杆在各支撑板105上进行转动的减速电机102,各支撑板105之间形成有间距,联动件设置于各支撑板之间的间距内,减速电机为公知常识,在此不再赘述。
所述联动件包括设置于所述转动杆108与所述转动辊110之间的用于在转动杆108转动时带动转动辊110在安装板109上进行转动的磁力轮组107,磁力轮组107为公知常识,在此不再赘述,联动件也可为在转动杆上设置螺杆,在转动辊上设置齿轮,形成涡轮蜗杆的结构。
如图5所示,所述顶升支撑组件300包括可升降设置于所述固定框架200上位于所述滚轮输送组件100的下方的用于在受外力驱动时可在滚轮输送组件100的下方上升或下降的升降板304、固定端设置于所述固定框架200上且输出端与升降板相连接的用于驱动升降板304于滚轮输送组件的下方上升或下降的伸缩气缸303、设置于所述升降板304上端面的用于在伸缩气缸303驱动升降板304于滚轮输送组件的下方上升时将滚轮输送组件上的玻璃板进行顶升的若干个顶升杆306。
如图4所示,所述吸附旋转组件400包括设置于所述固定框架200上位于所述滚轮输送组件100上方的固定架401、可升降设置于所述固定架401上位于所述滚轮输送组件100的上方的用于在受外力驱动时可在固定架401上上升或下降的升降框架404、设置于所述固定架401与所述升降框架404之间的用于驱动升降框架404于固定架401上上升或下降的升降装置、设置于所述升降框架404下端的用于在顶升支撑组件300将滚轮输送组件100上的玻璃板进行顶升且升降框架于固定架上下降后对玻璃板进行吸附的吸附件、设置于所述吸附件与所述升降框架之间的用于在吸附件对玻璃板进行吸附后带动玻璃板进行旋转的旋转件。升降装置为设置在固定架内的丝杆和设置在升降框架上的螺套,通过丝杆运动控制升降框架在固定架上进行升降的动作,该结构为公知常识,在此不再赘述。所述吸附件包括设置于所述升降框架404下端的吸盘框架405、设置于所述吸盘框架405上的用于对玻璃板进行吸附的若干个吸附杆408,所述旋转件设置于所述吸盘框架与所述升降框架之间。顶升杆306与吸附杆408的位置相对应,在顶升杆306上设置有在顶升杆306将玻璃板顶起时,所述顶升杆上设有防止对玻璃板产生损伤的橡胶套。各吸附杆408之间均通过真空管路与外界的真空发生器相连接,以使得吸附杆408通过真空对玻璃板进行吸附。也可在吸附杆408的下端设置吸盘。所述旋转件包括固定端设置于所述升降框架上且输出端与所述吸盘框架的上端相连接的用于驱动吸盘框架转动的转动电机406。在转动电机406与升降框架404之间设置有减速机407,该结构为减速电机结构。
如图6、7所示,所述固定框架200上位于滚轮输送组件的下方设置有用于在顶升支撑组件300将玻璃板进行顶升前调整玻璃板在滚轮输送组件100上的位置的纠正组件500。所述纠正组件500包括矩形阵列设置于所述滚轮输送组件的下方四个连接板502、固定端设置于所述固定框架200上且输出端与所述连接板的下端相连接的用于同时驱动四个连接板502在滚轮输送组件100的下方上升或下降的升降气缸501、矩形阵列设置于所述滚轮输送组件100的下方位于所述连接板502那端的四个活动板504、固定端设置于所述连接板502的上端且输出端与所述活动板504相连接的用于同时驱动四个活动板504在滚轮输送组件100的下方相互靠近或远离的归正气缸503、设置于各所述活动板504的上端的若干个归正杆506。归正气缸503为伸缩气缸,归正杆506的端部设置有归正帽505,归正帽505为橡胶帽。在需要对玻璃板的位置进行归正调整,以使得玻璃板的位置位于滚轮输送组件100的中间位置时,通过升降气缸501同时驱动四个连接板502在滚轮输送组件100的下方上升,且在升降气缸501驱动的同时,归正气缸503驱动以使得同时驱动四个活动板504在滚轮输送组件100的下方相互靠近,从而带动活动板504在向上升起时保持相互靠近的运动状态,在该过程中归正杆506逐渐顶起玻璃板以对玻璃板的位置进行调节,在调节完毕后则通过升降气缸501和归正气缸503同时驱动四个连接板在滚轮输送组件的下方下降并相互远离,从而使调整后的玻璃板放置于滚轮输送组件100上。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种极超薄玻璃输送旋转移载设备,其特征在于,包括固定框架、设置于固定框架上用于输送玻璃板的滚轮输送组件、设置于所述固定框架上位于所述滚轮输送组件下方的用于在滚轮输送组件输送玻璃板至预定位置时将滚轮输送组件上的玻璃板进行顶升的顶升支撑组件、设置于所述固定框架上位于所述滚轮输送组件上方的用于在顶升支撑组件将滚轮输送组件上的玻璃板进行顶升后对玻璃板进行吸附并进行旋转的吸附旋转组件,所述滚轮输送组件包括相对设置于所述固定框架上的两个固定板、可转动设置于所述固定板上且等距设置的用于在转动时输送玻璃板的若干个转动轮组、设置于所述固定板与若干个所述转动轮组之间的用于驱动转动轮组进行转动的转动装置。
2.根据权利要求1所述的一种极超薄玻璃输送旋转移载设备,其特征在于:所述转动轮组包括分别设置于两个所述固定板上的安装板、可转动设置于所述安装板上且等距设置的用于在受外力驱动时可在安装板上进行转动的若干个转动辊、设置于各所述转动辊上的用于在转动辊于安装板上转动时对玻璃板进行输送的若干个滚轮、设置于所述转动辊与固定板之间的用于驱动转动辊在安装板上进行转动的转动装置。
3.根据权利要求2所述的一种极超薄玻璃输送旋转移载设备,其特征在于:所述转动装置包括等距设置于所述固定板上的若干个支撑板、可转动设置于所述若干个支撑板之间的用于在受外力驱动时可在各支撑板上进行转动的转动杆、设置于所述转动杆与所述转动辊之间的用于在转动杆转动时带动转动辊在安装板上进行转动的联动件、固定端设置于所述固定板上且输出端与所述转动杆相连接的用于驱动转动杆在各支撑板上进行转动的减速电机。
4.根据权利要求3所述的一种极超薄玻璃输送旋转移载设备,其特征在于:所述联动件包括设置于所述转动杆与所述转动辊之间的用于在转动杆转动时带动转动辊在安装板上进行转动的磁力轮组。
5.根据权利要求1所述的一种极超薄玻璃输送旋转移载设备,其特征在于:所述顶升支撑组件包括可升降设置于所述固定框架上位于所述滚轮输送组件的下方的用于在受外力驱动时可在滚轮输送组件的下方上升或下降的升降板、固定端设置于所述固定框架上且输出端与升降板相连接的用于驱动升降板于滚轮输送组件的下方上升或下降的伸缩气缸、设置于所述升降板上端面的用于在伸缩气缸驱动升降板于滚轮输送组件的下方上升时将滚轮输送组件上的玻璃板进行顶升的若干个顶升杆。
6.根据权利要求1所述的一种极超薄玻璃输送旋转移载设备,其特征在于:所述吸附旋转组件包括设置于所述固定框架上位于所述滚轮输送组件上方的固定架、可升降设置于所述固定架上位于所述滚轮输送组件的上方的用于在受外力驱动时可在固定架上上升或下降的升降框架、设置于所述固定架与所述升降框架之间的用于驱动升降框架于固定架上上升或下降的升降装置、设置于所述升降框架下端的用于在顶升支撑组件将滚轮输送组件上的玻璃板进行顶升且升降框架于固定架上下降后对玻璃板进行吸附的吸附件、设置于所述吸附件与所述升降框架之间的用于在吸附件对玻璃板进行吸附后带动玻璃板进行旋转的旋转件。
7.根据权利要求6所述的一种极超薄玻璃输送旋转移载设备,其特征在于:所述吸附件包括设置于所述升降框架下端的吸盘框架、设置于所述吸盘框架上的用于对玻璃板进行吸附的若干个吸附杆,所述旋转件设置于所述吸盘框架与所述升降框架之间。
8.根据权利要求7所述的一种极超薄玻璃输送旋转移载设备,其特征在于:所述旋转件包括固定端设置于所述升降框架上且输出端与所述吸盘框架的上端相连接的用于驱动吸盘框架转动的转动电机。
9.根据权利要求1或2所述的一种极超薄玻璃输送旋转移载设备,其特征在于:所述固定框架上位于滚轮输送组件的下方设置有用于在顶升支撑组件将玻璃板进行顶升前调整玻璃板在滚轮输送组件上的位置的纠正组件。
10.根据权利要求9所述的一种极超薄玻璃输送旋转移载设备,其特征在于:所述纠正组件包括矩形阵列设置于所述滚轮输送组件的下方四个连接板、固定端设置于所述固定框架上且输出端与所述连接板的下端相连接的用于同时驱动四个连接板在滚轮输送组件的下方上升或下降的升降气缸、矩形阵列设置于所述滚轮输送组件的下方位于所述连接板那端的四个活动板、固定端设置于所述连接板的上端且输出端与所述活动板相连接的用于同时驱动四个活动板在滚轮输送组件的下方相互靠近或远离的归正气缸、设置于各所述活动板的上端的若干个归正杆。
CN202323316429.5U 2023-12-06 2023-12-06 一种极超薄玻璃输送旋转移载设备 Active CN221092918U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202323316429.5U CN221092918U (zh) 2023-12-06 2023-12-06 一种极超薄玻璃输送旋转移载设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202323316429.5U CN221092918U (zh) 2023-12-06 2023-12-06 一种极超薄玻璃输送旋转移载设备

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN221092918U true CN221092918U (zh) 2024-06-07

Family

ID=91312901

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202323316429.5U Active CN221092918U (zh) 2023-12-06 2023-12-06 一种极超薄玻璃输送旋转移载设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN221092918U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108502543B (zh) 一种基板传输装置及方法
CN206050319U (zh) 一种基于机械手的分类码垛设备
CN211496019U (zh) 一种用于玻璃板的转移及放置装置
CN211168915U (zh) 一种工件翻转机构
CN221092918U (zh) 一种极超薄玻璃输送旋转移载设备
CN107352267A (zh) 旋转移载机构及其带有该机构的升降移载机
CN212049385U (zh) 一种龙门架式翻转机构
CN207078716U (zh) 旋转移载机构及其带有该机构的升降移载机
CN210084356U (zh) 一种板材移载装置
CN210943621U (zh) 一种旋转移载机
CN116653097A (zh) 一种乳浊青釉瓷器的生产工艺及其制备设备
CN109160210B (zh) 板材存储输送系统及其使用方法
CN111942897A (zh) 一种用于待加工玻璃的输送装置
CN212831433U (zh) 一种载有贴片电阻的陶瓷基板输送装置
CN211337941U (zh) 翻转晶圆的装置
CN207896071U (zh) 硅片托举装置
CN221521279U (zh) 一种玻璃板输送装置
CN221739211U (zh) 一种升降转盘式玻璃转片装置
TW202041449A (zh) 高效率物料傳送方法
CN217437074U (zh) 一种硅片搬运装置及硅片丝网印刷生产线
CN221149970U (zh) 一种硅片转运装置
CN221707887U (zh) 一种玻璃基板在线曝光吸附平台
CN218538469U (zh) 运输装置用升降机构
CN213621708U (zh) 一种多向移载机
CN220055338U (zh) 片材翻转装置

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant