CN207896071U - 硅片托举装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片托举装置，包括底框、滑移块、第一升降组件、托架和第二升降组件；滑移块滑动安装于底框上；且能在底框上沿X方向移动；第一升降组件滑动安装于滑移块上；且能在滑移块上沿Y方向移动，第一升降组件包括能在第一升降组件上沿Z方向移动的第一升降板；托架的第一端与第一升降板固定连接，第二端沿X方向延伸；第二升降组件固定于底框上，第二升降板支撑在托架的第二端上，且包括能与第一升降板同步沿Z方向移动的第二升降板。本实用新型中，托架的两端分别被第一和第二升降组件支撑，且第一和第二升降组件同步运行，保证托架的两端同步移动的前提下，增加托架的支撑点，避免托架移动过程中的晃动，增加托盘平稳性。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种硅片托举装置。
背景技术
太阳能电池是未来公认的可大规模推广应用的清洁能源之一，随着能源不断减少，且其他能源的使用会带来不可估量的环境污染，人们对清洁能源越来的呼声越来越高，并伴随着国家环保意识的加强，我国也是大力支持这一发电方式，尤其对高效电池方面支持力度逐年上升，而高效异质结电池作为高效电池发电效率前列，在高效电池领域中占据很大的比重。
制备该类电池中最为关键的工序和设备就是PECVD制备工艺与设备，而其中硅片的传送作为该工序的一个重要环节，即由传送装置将硅片原片传送到PECVD腔室前，再通过移载机构带动已排布好硅片原片的托盘放置到PECVD的腔室中。由于托盘对应的托架约2.5米左右，并且其尺寸有严格的控制，由于自身刚性和长度原因，很容易造成移载机构托举和下降时产生晃动，那么如何实现托盘的平稳升降，是摆在设计人员面前一大难题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种硅片托举装置，以解决上述问题，保证硅片在托盘上的位置准确，不受升降、输送过程的颤抖和摆动情况的影响，确保硅片的精确输送。
本实用新型提供的硅片托举装置，包括：
底框；
滑移块，所述滑移块滑动安装于所述底框上；且所述滑移块能在所述底框上沿X方向移动；
第一升降组件，滑动安装于所述滑移块上；且所述第一升降组件能在所述滑移块上沿Y方向移动；所述第一升降组件包括第一升降板，所述第一升降板能在所述第一升降组件上沿Z方向移动；
托架，所述托架的第一端与所述第一升降板固定连接，所述托架的第二端沿X方向延伸；
第二升降组件，固定于所述底框上，所述第二升降组件包括第二升降板，所述第二升降板支撑所述托架的第二端，所述第二升降板能在所述升降组件上沿Z方向移动，且所述第二升降板与所述第一升降板的移动保持同步。
如上所述的硅片托举装置，其中，优选的是，所述底框上设有两相互平行且沿X方向的第一轨道；所述滑移块的两端滑动安装于两所述第一轨道上；
所述滑移块上设置有沿Y方向的第二轨道；所述第一升降组件滑动安装于所述第二轨道上。
如上所述的硅片托举装置，其中，优选的是，所述第一升降组件还包括第一安装板；所述第一安装板滑动安装于所述第二轨道上；
所述第一安装板设置有沿Z方向的第三轨道，所述第一升降板滑动安装于所述第三轨道上。
如上所述的硅片托举装置，其中，优选的是，所述第一升降组件还包括第一驱动装置，所述第一驱动装置设置于所述第一安装板上，所述第一驱动装置与所述第一升降板传动连接，用于驱动所述第一升降板沿所述第三轨道滑动。
如上所述的硅片托举装置，其中，优选的是，所述第二升降组件还包括第二安装板，所述第二安装板设置于所述底框上，所述第二安装板设置有沿Z方向的第四轨道，所述第二升降板滑动安装于所述第四轨道上。
如上所述的硅片托举装置，其中，优选的是，所述第二升降组件还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置设置于所述第二安装板上，所述第二驱动装置与所述第二升降板传动连接，用于驱动所述第二升降板沿所述第四轨道滑动。
如上所述的硅片托举装置，其中，优选的是，所述第二升降板包括连接板和支撑板，所述连接板和所述支撑板成L形固定连接，所述连接板与所述第四轨道滑动连接，所述支撑板上设置有导轮，所述导轮支撑所述托架的第二端。
如上所述的硅片托举装置，其中，优选的是，所述托架包括固定板和托举板，所述固定板与所述托举板成L形固定连接，所述固定板与所述第一升降板固定连接，所述托举板沿X方向延伸。
如上所述的硅片托举装置，其中，优选的是，所述托举板上设置有U形槽。
如上所述的硅片托举装置，其中，优选的是，还包括滑移驱动装置，所述滑移驱动装置连接于所述底框上，用于驱动所述滑移块沿X方向滑动。
本实用新型提供的硅片托举装置，包括底框、滑移块、第一升降组件、托架和第二升降组件；其中，滑移块滑动安装于底框上；且能在底框上沿X方向移动；第一升降组件滑动安装于滑移块上；且能在滑移块上沿Y方向移动，第一升降组件包括能在第一升降组件上沿Z方向移动的第一升降板；托架的第一端与第一升降板固定连接，第二端沿X方向延伸；第二升降组件固定于底框上，第二升降板支撑在托架的第二端上，且包括能与第一升降板同步沿Z方向移动的第二升降板。本实用新型中，托架的两端分别被第一和第二升降组件支撑，且第一和第二升降组件同步运行，保证托架的两端同步移动的前提下，增加托架的支撑点，避免托架移动过程中的晃动，增加托盘平稳性。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的硅片托举装置的结构示意图；
图2为本实用新型实施例提供的硅片托举装置的局部放大图；
图3为本实用新型实施例提供的硅片托举装置的第二升降组件的结构示意图；
图4为本实用新型实施例提供的硅片托举装置的托架的结构示意图。
附图标记说明：
10-底框 11-第一轨道 20-滑移块 21-第二轨道
30-第一升降组件 31-第一升降板 32-第一安装板 321-第三轨道
33-第一驱动装置 331-第一丝杠 40-托架 41-固定板
42-托举板 421-U形槽 50-第二升降组件 51-第二升降板
511-连接板 512-支撑板 513-导轮 52-第二安装板
521-第四轨道 53-第二驱动装置 54-第二丝杠 60-滑移驱动装置
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。
如图1至图4所示，本实用新型实施例提供的硅片托举装置，包括底框10、滑移块20、第一升降组件30、托架40和第二升降组件50。
其中，滑移块20滑动安装于底框10上，且滑移块20能在底框10上沿X方向移动，第一升降组件30滑动安装于滑移块20上，且第一升降组件30能在滑移块20上沿Y方向移动；第一升降组件30包括第一升降板31；第一升降板31能在第一升降组件30上沿Z方向移动；托架40的第一端与第一升降板31固定连接，第二端沿X方向延伸；第二升降组件50固定于底框10上，第二升降组件50包括第二升降板51，第二升降板51支撑在托架40的第二端，且第二升降板51能与第一升降板31的移动保持同步。
优选地，还包括滑移驱动装置60，滑移驱动装置60连接于底框10上，用于驱动滑移块20沿X方向滑动。该滑移驱动装置60可以为气缸或者伺服电机等部件，本领域技术人员可以根据实际需要进行选择。
进一步地，底框10上设有两相互平行且沿X方向的第一轨道11；滑移块20的两端滑动安装于两第一轨道11上；且滑移块20上设置有沿Y方向的第二轨道21；第二升降组件50滑动安装于第二轨道21上。第一轨道11和第二轨道21用于引导底框10和滑移块20顺利滑动，以便于精确控制托盘的位置。
请参考图1，本实用新型所有的X、Y、Z方向均以图1中标记的坐标轴为参考，从图1中可见，滑移块20可以沿着第一轨道11在X方向滑动，第一升降组件30可以沿着第二轨道21在Y方向滑动，同时第一升降组件30还可以带动托架40沿Z方向移动，因此，本实施例中，托架40可以同时自X、Y和Z三个方向进行移动。
而托架40的两端分别被第一升降组件30和第二升降组件50所支撑，并且第一升降组件30和第二升降组件50同步运行，保证托架40的两端同步上升或者下降的前提下，增加了托架40的支撑点，从而避免托架40上升和下降过程中的晃动，增加托盘的平稳性。
当硅片需要从传送带上运输至PECVD的腔室中时，可以将放置有硅片的托盘置于托架40上，然后调整根据运输情况调整托架40的X、Y、Z方向位置，从而将硅片精确运输至PECVD腔室中。
具体地，请参考图3，第一升降组件30还包括第一安装板32；第一安装板32滑动安装于第二轨道21上；第一安装板32设置有沿Z方向的第三轨道321，第一升降板31滑动安装于第三轨道321上。
为了增加操作便利性，实现自动化操作，第一升降组件30还包括第一驱动装置33，第一驱动装置33设置于第一安装板32上，第一驱动装置33与第一升降板31传动连接，用于驱动第一升降板31沿第三轨道321滑动。该第一驱动装置33可以为伺服电机，并且伺服电机的转子连接第一丝杠331，而在第一升降板31上连接有第一丝杠螺母，伺服电机启动时，带动第一丝杠331在第一丝杠螺母中旋转，从而驱动第一升降板31沿着第二轨道21上升或者下降。本领域技术人员可以理解的是，上述第一驱动装置33也可以为气缸，其中气缸的缸体固定在第一安装板32上，气缸的连杆驱动第一升降板31上升或者下降。
具体地，第二升降组件50还包括第二安装板52，第二安装板52固定于底框10上，第二安装板52设置有沿Z方向的第四轨道521，第二升降板51滑动安装于第四轨道521上。
为了增加操作便利性，实现自动化操作，第二升降组件50还包括第二驱动装置53，第二驱动装置53连接于第二安装板52上，第二驱动装置53与第二升降板51传动连接，用于驱动第二升降板51沿第四轨道521滑动。该第二驱动装置53可以为伺服电机，并且伺服电机的转子连接第二丝杠54，而在第二升降板51上连接有第二丝杠螺母，伺服电机启动时，带动第二丝杠54在第二丝杠螺母中旋转，从而驱动第二升降板51沿着第三轨道321上升或者下降。本领域技术人员可以理解的是，上述第二驱动装置53也可以为气缸，其中气缸的缸体固定在第二安装板52上，气缸的连杆驱动第二升降板51上升或者下降。
并且优选地，第二升降板51包括连接板511和支撑板512，连接板511和支撑板512成L形固定连接，连接板511与第四轨道521滑动连接，支撑板512上设置有导轮513，导轮513支撑托架40的第二端。当托架40沿着Y方向移动时，托架40可以在导轮513上滚动，导轮513一方面为托架40提供支撑，保证托架40平稳，不会出现晃动的情况；另一方面托架40沿着导轮513移动，可以增加托架40移动时的稳定性。
本领域技术人员可以理解的是，连接板511和支撑板512可以为一体加工成型，也可以采用焊接方式固定，或者采用螺栓等紧固件进行固定，本领域技术人员可以根据实际需要进行选择。
可以理解的是，由于托架40的两端需要同步上升和下降，因此主控制系统应当控制第一驱动装置33和第二驱动装置53同时启动或者同时停止，以确保托架40的两端同步上升或者下降。
进一步地，请参考图4，托架40包括固定板41和托举板42，固定板41与托举板42成L形固定连接，固定板41与第一升降板31固定连接，托举板42沿X方向延伸。优选地，托举板42上设置有U形槽421。固定板41主要用于将整个托架40固定在第一升降组件30上，而托举板42主要用于托举装载有硅片的托盘，设置U形槽421则可以降低托架40的整体重量，并且有利于节约成本。
本领域技术人员可以理解的是，固定板41和托举板412可以为一体加工成型，也可以采用焊接方式固定，或者采用螺栓等紧固件进行固定，本领域技术人员可以根据实际需要进行选择。
优选地，上述底框10可以为立方体框架，第一轨道11设置在底框10的上方，其余组件依次均设置在底框10的上方。
以上依据图式所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，以上仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种硅片托举装置，其特征在于，包括：
底框；
滑移块，所述滑移块滑动安装于所述底框上；且所述滑移块能在所述底框上沿X方向移动；
第一升降组件，滑动安装于所述滑移块上；且所述第一升降组件能在所述滑移块上沿Y方向移动；所述第一升降组件包括第一升降板，所述第一升降板能在所述第一升降组件上沿Z方向移动；
托架，所述托架的第一端与所述第一升降板固定连接，所述托架的第二端沿X方向延伸；
第二升降组件，固定于所述底框上，所述第二升降组件包括第二升降板，所述第二升降板支撑所述托架的第二端，所述第二升降板能在所述升降组件上沿Z方向移动，且所述第二升降板与所述第一升降板的移动保持同步。
2.根据权利要求1所述的硅片托举装置，其特征在于，所述底框上设有两相互平行且沿X方向的第一轨道；所述滑移块的两端滑动安装于两所述第一轨道上；
所述滑移块上设置有沿Y方向的第二轨道；所述第一升降组件滑动安装于所述第二轨道上。
3.根据权利要求2所述的硅片托举装置，其特征在于，所述第一升降组件还包括第一安装板；所述第一安装板滑动安装于所述第二轨道上；
所述第一安装板设置有沿Z方向的第三轨道，所述第一升降板滑动安装于所述第三轨道上。
4.根据权利要求3所述的硅片托举装置，其特征在于，所述第一升降组件还包括第一驱动装置，所述第一驱动装置设置于所述第一安装板上，所述第一驱动装置与所述第一升降板传动连接，用于驱动所述第一升降板沿所述第三轨道滑动。
5.根据权利要求1所述的硅片托举装置，其特征在于，所述第二升降组件还包括第二安装板，所述第二安装板设置于所述底框上，所述第二安装板设置有沿Z方向的第四轨道，所述第二升降板滑动安装于所述第四轨道上。
6.根据权利要求5所述的硅片托举装置，其特征在于，所述第二升降组件还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置设置于所述第二安装板上，所述第二驱动装置与所述第二升降板传动连接，用于驱动所述第二升降板沿所述第四轨道滑动。
7.根据权利要求5所述的硅片托举装置，其特征在于，所述第二升降板包括连接板和支撑板，所述连接板和所述支撑板成L形固定连接，所述连接板与所述第四轨道滑动连接，所述支撑板上设置有导轮，所述导轮支撑所述托架的第二端。
8.根据权利要求1所述的硅片托举装置，其特征在于，所述托架包括固定板和托举板，所述固定板与所述托举板成L形固定连接，所述固定板与所述第一升降板固定连接，所述托举板沿X方向延伸。
9.根据权利要求8所述的硅片托举装置，其特征在于，所述托举板上设置有U形槽。
10.根据权利要求1-9中任一项所述的硅片托举装置，其特征在于，还包括滑移驱动装置，所述滑移驱动装置连接于所述底框上，用于驱动所述滑移块沿X方向滑动。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820379256.1U CN207896071U (zh) | 2018-03-20 | 2018-03-20 | 硅片托举装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201820379256.1U CN207896071U (zh) | 2018-03-20 | 2018-03-20 | 硅片托举装置 |
Publications (1)
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| CN207896071U true CN207896071U (zh) | 2018-09-21 |
Family
ID=63541779
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| CN201820379256.1U Active CN207896071U (zh) | 2018-03-20 | 2018-03-20 | 硅片托举装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN207896071U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108447817A (zh) * | 2018-03-20 | 2018-08-24 | 君泰创新（北京）科技有限公司 | 硅片托举装置 |
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2018
- 2018-03-20 CN CN201820379256.1U patent/CN207896071U/zh active Active
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Legal Events
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