CN207281103U - 全自动探针台及其转料装置 - Google Patents

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CN207281103U CN201721170544.8U CN201721170544U CN207281103U CN 207281103 U CN207281103 U CN 207281103U CN 201721170544 U CN201721170544 U CN 201721170544U CN 207281103 U CN207281103 U CN 207281103U
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刘振辉
林生财
王胜利
杨波
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Silicon electric semiconductor equipment (Shenzhen) Co., Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种全自动探针台及其转料装置,解决了常见探针台采用吸盘吸附待测件,易由于吸盘疲劳损伤导致待测件掉落的问题,其技术方案要点是,包括:固定于一机架上的转料导轨;滑动式装配于所述转料导轨的、往返于所述全自动探针台的各工位之间以转移待测件的机械手,所述机械手包括:若干用于承托所述待测件的承托板,以及,若干凸出设置于所述承托板上的、当所述待测件放置于所述承托板上时以限制所述待测件相对于所述承托板移动的限位销组;以及,设于所述机架上的、驱使所述机械手相对于所述转料导轨往复运动的动力组件,达到该转料装置不易导致待测件掉落的目的。

Description

全自动探针台及其转料装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及电子元器件检测技术领域,特别涉及一种全自动探针台及其转料 装置。
背景技术
[0002]全自动探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及电子元器件的质 量测试。随着科技的发展,电子元器件的体积越来越小,通常将多个电子元器件集成于一片 状的底板上以形成待测件,方便后续进行检测。
[0003]现有的全自动探针台中,为了实现自动化转移待测件,通常采用连通于一负压系 统的吸盘来实现吸附固定待测件。
[0004]但是,由于吸盘通常为橡胶材质制得,在反复吸附待测件后会由于疲劳损伤而存 在待测件掉落的现象,不利于待测件的安全检测及提升全自动探针台的工作效率,故有待 改进。 实用新型内容
[0005i本实用新型实施例的目的是提供一种全自动探针台及其转料装置,解决了常见探 针台采用吸盘吸附待测件,易由于吸盘疲劳损伤导致待测件掉落的问题。
[0006]本实用新型第一方面提供一种全自动探针台的转料装置,包括:
[0007]固定于一机架上的转料导轨;滑动式装配于所述转料导轨的、往返于所述全自动 探针台的各工位之间以转移待测件的机械手,所述机械手包括:若干用于承托所述待测件 的承托板,以及,若干凸出设置于所述承托板上的、当所述待测件放置于所述承托板上时以 限制所述待测件相对于所述承托板移动的限位销组;以及,设于所述机架上的、驱使所述机 械手相对于所述转料导轨往复运动的动力组件。
[0008]实现上述方案的转料装置,当待测件放置于承托板上时,限位销组对待测件具有 一定的隔挡作用,继而动力组件驱使机械手相对于转料导轨往复运动时,可以通过限位销 组将待测件推出原来工位,以实现转移待测件至下一工位;这种通过承托板承载以及限位 销组限位待测件的方式,与常见的吸盘结构相比,承托板以及限位销组均不易疲劳损伤,从 而在反复转移待测件的过程中,待测件更加稳定而不易掉落,有效提升全自动探针台的工 作效率。
[0009]结合第一方面,在第一方面的第一种可能的实现方式中,所述限位销组包括:设于 所述承托板端部的第一销,以及,设于所述承托板中间位置的第二销,所述第二销的长度大 于所述第一销的长度。
[0010]实现上述方案的转料装置,将第一销的长度设计得相对较短,有利于待测件从第 一销附近位置快速被放置到承托板上;在待测件被检测完毕后,需要将待测件从承托板上 取下时,将第二销的长度设计得相对较长,有利于第二销将待测件从承托板上沿着第一销 的方向推落。 L〇〇11]结合第一方面,在第一方面的弟二种可能的实现方式中,所述机械手还包括:滑动 式装配于所述转料导轨的、一端供所述承托板固定的连接件。
[0012]实现上述方案的转料装置,连接件设于转料导轨和承托板之间,且连接件滑动式 装配于转料导轨,有利于增加承托板与转料导轨之间的距离,从而在转移待测件的过程中, 待测件不易和转料导轨接触,有利于待测件的安全运输。
[0013]结合第一方面的第二种可能的实现方式,在第一方面的第三种可能的实现方式 中,所述连接件及所述承托板沿同一轴线对称布置。
[0014]实现上述方案的转料装置,连接件及承托板的重心在同一轴线上,进而在转料过 程中,连接件作用于转料导轨上的力更加均匀,从而有利于稳定输送待测件。
[0015]结合第一方面的第二种可能的实现方式,在第一方面的第四种可能的实现方式 中,所述承托板设有供所述待测件被顶出以从所述承托板上取出所述待测件的让位缺口。 [0016]实现上述方案的转料装置,让位缺口既可以确保待测件被顶出,实现待测件被顶 高以脱离限位销组的隔挡范围,进而实现快速从承托板上取下待测件;同时让位缺口减轻 了承托板的重量,有效避免转料过程中因承托板的重量过大而做太多的无用功,更加节能。 [0017]结合第一方面的第二种可能的实现方式,在第一方面的第五种可能的实现方式 中,所述转料装置还包括:分设于所述转料导轨的两端的光电传感器,以及,当所述机械手 运动到极限位置时与所述光电传感器配合使用以关闭所述动力组件的极限挡片。
[0018]实现上述方案的转料装置,当动力组件驱使机械手运动到极限位置时,极限挡片 会隔挡光电传感器的光电信号,以实现控制动力组件继续工作,增加了机械手的安全性。
[0019] 结合第一方面的第二种可能的实现方式,在第一方面的第六种可能的实现方式 中,所述动力组件包括:设于所述机架上的转料电机;两个转动连接于所述机架上的同步 轮;设于所述转料电机的输出轴和一所述同步轮之间的传动件;以及,设于两个所述同步轮 之间的、与所述连接件的另一端固定装配的同步带。
[0020] 实现上述方案的转料装置,转料电机工作通过传动件带动一同步轮转动,进而带 动同步带在两个同步轮之间转动,连接件与同步带固定连接,即可实现带动连接件沿转料 导轨滑移;这种结构稳定,易于控制、实现及维修。
[0021] 结合第一方面的第六种可能的实现方式,在第一方面的第七种可能的实现方式 中,所述传动件为带轮传动结构、齿轮传动结构或链轮传动结构。
[0022] 实现上述方案的转料装置,带轮传动结构、齿轮传动结构或链轮传动结构易于制 作安装且传动稳定。
[0023] 本实用新型第二方面提供一种全自动探针台,包括:机架;两组分设于所述机架两 侧的、带动所述待测件相对于所述机架升降的上下料装置;以及,如上述的转料装置;当所 述承托板移动至所述上下料装置内的对应位置时所述待测件在所述上下料装置的带动下 放置于所述限位销组之间,承载有所述待测件的所述承托板被所述动力组件驱动以将所述 待测件转移至下一工位。
[0024] 实现上述方案的全自动探针台,转料装置通过承托板承载以及限位销组限位待测 件的方式,实现了待测件的稳定转移;同时一组上下料装置带动待测件相对于机架下降,以 实现将待测件放置于承托板上,自动化输送待测件;另一组上下料装置带动检测完毕后的 待测件相对于机架上升,以利于腾出空间供下一个检测完毕后的待测件放置,以实现自动 化收集检测完毕的待测件。
[0025]综上所述,本实用新型实施例具有以下有益效果:
[0026]其一,转料装置结构简单,易于制作,稳定性高,使用寿命长,有利于待测件的稳定 输送;
[0027]其二,自动化程度高,易于控制。
附图说明
[0028]图1是本实用新型实施例一视角的结构示意图;
[0029]图2是本实用新型实施例另一视角的结构示意图;
[0030]图3是本实用新型实施例中转料装置的结构示意图;
[0031 ]图4是本实用新型实施例中待测件、承托板及连接件之间的连接关系示意图;
[0032]图5是本实用新型实施例中承托板的结构示意图;
[0033]图6是本实用新型实施例中上下料装置的结构示意图。
[0034]附图标记:1、机架;2、上下料装置;21、放置平台;22、料盒;24、驱动组件;241、安装 座;2似、升降导轨;2似、滑套;244、升降丝杆;245、升降电机;3、转料装置;31、转料导轨;32、 机械手;321、承托板;Mil、让位缺口; 322、限位销组;3221、第一销;3222、第二销;323、连接 件;33、动力组件;331、转料电机;332、同步轮;33:3、传动件;334、同步带;34、光电传感器; 35、极限挡片;4、检测装置;9、待测件。
具体实施方式
[0035]下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的 实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0036] 实施例:一种全自动探针台,如图1所示,包括:机架1,检测装置4,转料装置3,两组 上下料装置2以及处理器(本实施例中的处理器未在图中示出)。
[0037]检测装置4安装于机架1上以对待测件9进行检测;两组上下料装置2分别安装于机 架1两侧,其中一组上下料装置2用于输送待测件9以进行检测,另一组上下料装置2用于收 集检测后的待测件9;转料装置3安装于机架1的一侧,转料装置3将其中一组上下料装置2上 的待测件9输送至检测装置4进行检测,再将检测装置4上检测完毕的待测件9输送至另一组 上下料装置2,这种结构更加合理,易于实现自动化输送及收集待测件9,易于控制,制作成 本低。在其他实施例中,上下料装置2可以为一组,且其同时用于输送待测件9以进行检测且 收集检测后的待测。
[0038]结合图2和图3所示,转料装置3包括:固定装配于机架1上的转料导轨31;滑动式装 配于转料导轨31的、往返于全自动探针台的各工位之间以转移待测件9的机械手32,机械手 32包括:一用于承托待测件9的承托板321 (在其他实施例中,承托板321的数量可以为多个, 以增加该探针台的工作效率),以及,两组凸出设置于承托板321上的、当待测件9放置于承 托板321上时以限制待测件9相对于承托板321移动的限位销组322;以及,安装于机架1上 的、驱使机械手32相对于转料导轨31往复运动的动力组件33。
[0039] 机械手32还包括:滑动式装配于转料导轨31的、一端供承托板321固定的连接件 323。本实施例中连接件323呈板状,在其他实施例中连接件323还可以为杆状或者块状等。
[0040] 动力组件33包括:安装于机架1上的转料电机3:31;两个转动连接于机架1 一侧的同 步轮332;套设于转料电机3:31的输出轴和一同步轮332之间的传动件333;以及,套设于两个 同步轮332之间的、与连接件323的另一端固定装配的同步带334。转料电机331工作通过传 动件333带动一同步轮332转动,进而带动同步带334在两个同步轮332之间转动,连接件323 与同步带334固定连接,B卩可实现带动连接件323沿转料导轨31滑移;这种结构稳定,易于控 制、实现及维修。
[0041] 传动件333为带轮传动结构,在其他实施例中,传动件333还可以为齿轮传动结构 或链轮传动结构或者其组合。
[0042] 连接件323及承托板321沿同一轴线对称布置,连接件323及承托板3M的重心在同 一轴线上,进而在转料过程中,连接件323作用于转料导轨31上的力更加均匀,从而有利于 稳定输送待测件9。
[0043] 转料装置3还包括:两组分设于转料导轨31的两端的光电传感器34,以及,两组当 机械手32运动到极限位置时与光电传感器34配合使用以关闭动力组件33的极限挡片35。当 动力组件33驱使机械手32运动到极限位置时,极限挡片35会隔挡光电传感器34的光电信 号,以实现控制动力组件33继续工作,增加了机械手32的安全性。
[0044] 结合图2、图4和图5所示,限位销组322包括:焊接于承托板321端部的第一销3221, 以及,螺纹连接于承托板321中间位置的第二销3222,第二销3222的长度大于第一销3221的 长度,第一销3221设有供待测件9滑出限位销组322之间的斜面。将第一销3221的长度设计 得相对较短,有利于待测件9从第一销3221附近位置快速被放置到承托板321上;在待测件9 被检测完毕后,需要将待测件9从承托板321上取下时,将第二销3222的长度设计得相对较 长,有利于第二销3222将待测件9从承托板321上沿着第一销3221的方向推落。
[0045] 承托板321开有供待测件9被顶出以从承托板321上取出待测件9的让位缺口 3211, 让位缺口3211既可以确保待测件9被顶出,实现待测件9被顶高以脱离限位销组322的隔挡 范围,进而实现快速从承托板321上取下待测件9;同时让位缺口3211减轻了承托板321的重 量,有效避免转料过程中因承托板321的重量过大而做太多的无用功,更加节能。
[0046]如图6所示,上下料装置2包括:安装于机架1 一侧的驱动组件24,被驱动组件24驱 使以相对于机架1升降的放置平台21以及用于叠放待测件9的、与放置平台21可拆卸式装配 的料盒22,驱动组件24和处理器电连接。
[0047] 驱动组件24包括:固定装配于放置平台21的安装座241;安装于机架1上的、与安装 座241的一端滑动式装配的升降导轨242;固定装配于安装座241的另一端的滑套243;转动 连接机架1上的、与滑套243螺纹式装配的升降丝杆244;以及,安装于升降丝杆244—端的、 与处理器电连接的、驱使升降丝杆244自由转动的升降电机245。
[0048] 工作过程及原理:当料盒22与放置平台21相装配后,升降电机245接受处理器的控 制信息后,通过驱使升降丝杆244转动,以实现滑套243的升降,从而带动安装座241沿升降 导轨242升降,以使放置平台21及料盒22相对于机架1升降;在放置平台21相对于机架1升降 的过程中,料盒22会带动待测件9逐个接近放置平台21;当转料装置3的承托板321放置于待 测件9相应的下方时,待测件9水平方向被限位销组322限制于承托板321上,此时转料电机 331工作通过传动件3M带动一同步轮332转动,进而带动同步带334在两个同步轮332之间 转动,连接件323与同步带334固定连接,即可带动连接件323沿转料导轨M滑移,从而将料 盒22中的待测件9通过限位销组322推出来,自动化转移待测件9。
[0049]这种通过承托板321承载以及限位销组322限位待测件9的方式,与常见的吸盘结 构相比,承托板321以及限位销组322均不易疲劳损伤,从而在反复转移待测件9的过程中, 待测件9更加稳定而不易掉落,有效提升全自动探针台的工作效率。
[0050]以上的实施方式,并不构成对该技术方案保护范围的限定。任何在上述实施方式 的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等,均应包含在该技术方案的保护范围之 内。

Claims (9)

1. 一种全自动探针台的转料装置,其特征在于,包括: 固定于一机架⑴上的转料导轨(31); 滑动式装配于所述转料导轨(31)的、往返于所述全自动探针台的各工位之间以转移待 测件(9)的机械手(32),所述机械手(32)包^舌:若干用于•承托:所述待测件(9)的承托板_ (321),以及,若干凸出设置于所述承托板(321)上的、当所述待测件(9)放置于所述承托板 (321)上时以限制所述待测件(9)相对于所述承托板(321)移动的限位销组(322);以及, 设于所述机架(1)上的、驱使所述机械手(32)相对于所述转料导轨(31)往复运动的动 力组件(33)。
2. 根据权利要求1所述的转料装置,其特征在于,所述限位销组(322)包括:设于所述承 托板(321)端部的第一销(3221),以及,设于所述承托板(321)中间位置的第二销(3222),所 述第二销(3222)的长度大于所述第一销(3221)的长度。
3. 根据权利要求1所述的转料装置,其特征在于,所述机械手(32)还包括:滑动式装酉己 于所述转料导轨(31)的、一端供所述承托板(321)固定的连接件(323)。
4. 根据权利要求3所述的转料装置,其特征在于,所述连接件(323)及所述承托板(321) 沿同一轴线对称布置。
5. 根据权利要求3所述的转料装置,其特征在于,所述承托板(321)设有供所述待测件 ⑼被顶出以从所述承托板(321)上取出所述待测件⑼的让位缺口(3211)。
6. 根据权利要求3所述的转料装置,其特征在于,所述转料装置(3)还包括:分设于所述 转料导轨(31)的两端的光电传感器(34),以及,当所述机械手(3¾运动到极限位置时与所 述光电传感器(34)配合使用以关闭所述动力组件C33)的极限挡片C35)。
7. 根据权利要求3所述的转料装置,其特征在于,所述动力组件(33)包括: 设于所述机架⑴上的转料电机(331); 两个转动连接于所述机架⑴上的同步轮(332); 设于所述转料电机(331)的输出轴和一所述同步轮(332)之间的传动件(333);以及, 设于两个所述同步轮(332)之间的、与所述连接件(323)的另一端固定装配的同步带 (334) 〇
8. 根据权利要求7所述的转料装置,其特征在于,所述传动件(333)为带轮传动结构、齿 轮传动结构或链轮传动结构。
9. 一种全自动探针台,其特征在于,包括: 机架⑴; 两组分设于所述机架(1)两侧的、带动所述待测件(9)相对于所述机架(1)升降的上下 料装置(2);以及, 如权利要求1-8中任一项所述的转料装置(3); 当所述承托板(321)移动至所述上下料装置(2)内的对应位置时所述待测件(9)在所述 上下料装置(2)的带动下放置于所述限位销组(322)之间,承载有所述待测件(9)的所述承 托板(321)被所述动力组件(33)驱动以将所述待测件(9)转移至下一工位。
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