CN217437074U - 一种硅片搬运装置及硅片丝网印刷生产线 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，具体公开了一种硅片搬运装置及硅片丝网印刷生产线。本实用新型提供的硅片搬运装置中的转运机构用于接驳传送硅片方向不同的进片接驳传送机构和出片接驳传送机构，转运机构通过旋转在进片接驳传送机构和出片接驳传送机构之间往复运动，使第一传动机构和出片接驳传送机构的传送间距紧凑；转运机构能顶升进片接驳传送机构上的硅片的下表面并且能下放硅片，使硅片的下表面与出片接驳传送机构接触，在顶升、传送及下放硅片时，均不会损坏硅片上表面的印刷层，且硅片下表面与转运机构的接触面积大，进而降低了转运机构对硅片的顶升位置的要求，易于定位，提高了硅片搬运的效率。

Description

一种硅片搬运装置及硅片丝网印刷生产线

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及一种硅片搬运装置及硅片丝网印刷生产线。

背景技术

现有技术中，直线排布的硅片丝网印刷生产线比较长，占用空间大，一些生产车间满足不了较长的硅片丝网印刷生产线的摆放需求。因此，为了适应生产车间的空间大小，需要将硅片丝网印刷生产线呈U型排布，以减少空间的占用率。

对于U型排布的硅片丝网印刷生产线，在传送硅片的过程中需要转弯，单一使用传送带输送的方式满足不了硅片的转弯传送，如果使用机械手将硅片从一个传送带输送机构搬运至另一个传送带输送机构上，由于硅片的上表面印刷未烘干，机械手在抓取硅片时存在损坏硅片表面印刷层的问题，并且使用机械手抓取硅片的位置要求高，不易定位。

因此，亟需提供一种硅片搬运装置以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片搬运装置及硅片丝网印刷生产线，接驳传送间距紧凑，对硅片的吸附位置要求低，在传送硅片过程中，不会损坏硅片上表面的印刷层。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种硅片搬运装置，包括：

转运机构；

进片接驳传送机构，用于向所述转运机构传送硅片；

出片接驳传送机构，用于传送所述转运机构转运送出的所述硅片，且所述出片接驳传送机构与所述进片接驳传送机构的传送方向呈夹角设置；

所述转运机构被配置为能升降且能在所述进片接驳传送机构和所述出片接驳传送机构之间往复运动，以顶升所述进片接驳传送机构上的所述硅片的下表面并将所述硅片下放到所述出片接驳传送机构上。

作为上述的硅片搬运装置的一种可选技术方案，所述进片接驳传送机构和所述出片接驳传送机构均具有镂空结构，所述转运机构能够升降穿过所述镂空结构以顶升或下放所述硅片。

作为上述的硅片搬运装置的一种可选技术方案，所述进片接驳传送机构和所述出片接驳传送机构均包括至少一组传送带单元，每组所述传送带单元分别包括两根间隔且平行设置的传送带，所述转运机构能够升降在两根所述传送带之间穿过以顶升或下放所述硅片。

作为上述的硅片搬运装置的一种可选技术方案，所述转运机构包括：

吸附单元，用于吸附所述硅片；

旋转单元，与所述吸附单元连接，用于驱动所述吸附单元在所述进片接驳传送机构和所述出片接驳传送机构之间往复运动；

升降单元，用于驱动所述旋转单元升降以吸附举升或下放所述硅片。

作为上述的硅片搬运装置的一种可选技术方案，所述升降单元包括：

升降驱动器；

直线传动组件，所述直线传动组件的移动副与所述旋转单元连接，所述升降驱动器驱动所述移动副升降以带动所述旋转单元升降。

作为上述的硅片搬运装置的一种可选技术方案，所述转运机构还包括导向单元，所述导向单元被配置为用于导向所述旋转单元升降。

作为上述的硅片搬运装置的一种可选技术方案，所述导向单元包括：

滑轨，与所述旋转单元连接；

滑块，与所述升降单元连接，所述滑块滑动设置于所述滑轨上。

作为上述的硅片搬运装置的一种可选技术方案，所述旋转单元包括：

第一安装支座，与所述直线传动组件的移动副固定连接；

旋转驱动器；

减速器，与所述旋转驱动器驱动连接，所述减速器固定设置于所述第一安装支座上；

旋转轴，一端与所述吸附单元连接，另一端转动设置于所述第一安装支座上；

旋转传动组件，传动连接所述减速器和所述旋转轴，所述减速器通过所述旋转传动组件驱动所述旋转轴转动。

作为上述的硅片搬运装置的一种可选技术方案，所述直线传动组件包括丝杆和旋接于所述丝杆上的丝母，所述升降驱动器与所述丝杆驱动连接，所述第一安装支座与所述丝母连接；

所述旋转轴与所述丝杆同轴设置，所述旋转轴沿轴向设有供所述丝杆穿设的避让孔。

作为上述的硅片搬运装置的一种可选技术方案，所述旋转传动组件包括：

主动轮，与所述减速器驱动连接；

从动轮，套设于所述旋转轴上，所述从动轮与所述主动轮的模数和齿数均相同；

同步带，传动连接所述从动轮和所述主动轮。

作为上述的硅片搬运装置的一种可选技术方案，所述旋转单元还包括两个呈夹角设置的旋转检测件，所述主动轮上设有旋转被检测件，所述旋转被检测件与两个所述旋转检测件配合以限定所述吸附单元旋转的范围。

作为上述的硅片搬运装置的一种可选技术方案，所述旋转单元还包括两个旋转极限位置限位件，两个所述旋转极限位置限位件设置于所述吸附单元往复运动的两个极限位置处，所述旋转轴上设有与所述旋转极限位置检测件配合的极限位置被检测件。

作为上述的硅片搬运装置的一种可选技术方案，所述吸附单元包括：连接支架，一端与所述旋转单元连接，所述连接支架上设有减重孔；

吸附支架，一端与所述连接支架的另一端连接，所述吸附支架上设有多个吸附孔，多个所述吸附孔均与真空发生器连接。

提供一种硅片丝网印刷生产线，用于对硅片的上表面进行丝网印刷，所述硅片丝网印刷生产线包括上述任一项所述的硅片搬运装置。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的硅片搬运装置中的转运机构用于接驳传送硅片方向不同的进片接驳传送机构和出片接驳传送机构，转运机构通过旋转在进片接驳传送机构和出片接驳传送机构之间往复运动，且顶升硅片的下表面并下放硅片至出片接驳传送机构上，相较现有技术中从侧边抓取硅片，接驳传送间距较小，节省了装置占用的厂房空间，且转运机构不需要水平伸缩，与出片接驳传送机构和进片接驳传送机构的对位精度要求低；此外，转运机构能顶升进片接驳传送机构上的硅片的下表面并下放硅片，使硅片的下表面与出片接驳传送机构接触，在顶升、传送及下放硅片时，均不会损坏硅片上表面的印刷层，且硅片下表面与转运机构的接触面积大，进而降低了转运机构对硅片的顶升位置的要求，易于定位，提高了硅片搬运的效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的硅片转运装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的转运机构的立体结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的转运机构的主视图；

图4是本实用新型实施例提供的转运机构的俯视图。

图中：

1、进片接驳传送机构；2、出片接驳传送机构；3、转运机构；

11、传送带单元；111、传送带；

31、吸附单元；32、旋转单元；33、升降单元；34、导向单元；

311、连接支架；312、减重孔；313、吸附支架；314、第一安装支座；315、气管；316、轴承座；

321、旋转驱动器；322、减速器；323、旋转轴；324、旋转传动组件；3241、主动轮；3242、从动轮；3243、同步带；325、旋转检测件；326、旋转被检测件；327、旋转极限位置限位件；328、极限位置被检测件；

331、升降驱动器；332、直线传动组件；333、第二安装支座；334、下降位置检测件；335、下降被检测件；

341、滑块；342、滑轨。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

针对现有技术中，对于U型排布的硅片丝网印刷生产线，如果使用机械手将硅片从一个传送带输送机构搬运至另一个传送带输送机构上，机械手在抓取硅片时存在损坏硅片表面印刷层的问题，并且使用机械手抓取硅片的位置要求高，不易定位的问题，本实施例提供了一种硅片搬运装置及硅片丝网印刷生产线以解决上述技术问题。

具体地，如图1、图2和图3所示，本实施例提供的硅片搬运装置包括转运机构3、进片接驳传送机构1和出片接驳传送机构2，进片接驳传送机构1用于向转运机构3传送硅片，出片接驳传送机构2均用于传送转运机构3转运送出的硅片，为了满足硅片丝网印刷生产线呈U型排布，节省占地空间，进片接驳传送机构1传送硅片的方向与出片接驳传送机构2传送硅片的方向呈夹角设置。

为了衔接进片接驳传送机构1和出片接驳传送机构2，使进片接驳传送机构1上的硅片顺利传送至出片接驳传送机构2上，本实施例中在进片接驳传送机构1和出片接驳传送机构2之间设置了转运机构3。转运机构3被配置为能升降且能在进片接驳传送机构1和出片接驳传送机构2之间往复运动，以顶升进片接驳传送机构1上的硅片的下表面并将硅片下放到出片接驳传送机构2上，使硅片的下表面与出片接驳传送机构2接触。在顶升、传送及下放硅片时，均不会损坏硅片上表面的印刷层，且硅片下表面与转运机构3的接触面积大，进而降低了转运机构3对硅片的顶升位置的要求，易于定位，提高了硅片搬运的效率。

本实施例中转运机构3顶升硅片的下表面并下放硅片至出片接驳传送机构上，相较现有技术中从侧边抓取硅片，接驳传送间距较小，节省了装置占用的厂房空间，且转运机构不需要水平伸缩，与出片接驳传送机构和进片接驳传送机构的对位精度要求低。

转运机构3能水平旋转以在进片接驳传送机构1和出片接驳传送机构2之间往复运动，转运机构3能顶升进片接驳传送机构1上的硅片并将硅片下放到出片接驳传送机构2上，为了实现上述功能，如图1和图2所示，本实施例提供的转运机构3包括吸附单元31、旋转单元32和升降单元33。吸附单元31用于吸附硅片。旋转单元32与吸附单元31连接，旋转单元32用于驱动吸附单元31在进片接驳传送机构1和出片接驳传送机构2之间往复运动。升降单元33用于驱动旋转单元32升降以吸附举升或下放硅片。

进片接驳传送机构1和出片接驳传送机构2均具有镂空结构，转运机构3能够升降穿过镂空结构以顶升或下放硅片。

具体地，进片接驳传送机构1和出片接驳传送机构2均包括至少一组传送带单元11，每组传送带单元11分别包括两根间隔且平行设置的传送带111，吸附单元31能在两根传送带111之间升降。硅片放置在两根传送带111上，且硅片的下表面与传送带111接触，传送带111带动硅片移动。吸附单元31能在两根传送带111之间升降，吸附单元31能吸附硅片下表面的中间部位，硅片的两边能搭接于传送带111上，进一步降低了转运机构3对硅片的吸附位置的要求，且易于定位，吸附稳定性好。此外，两根传送带111之间为吸附单元31的升降提供了避让空间。

在实际应用中，对于HJT丝网印刷线及PERK印刷线等均是采用双片传送方式，即同时传送两个硅片，进片接驳传送机构1和出片接驳传送机构2均包括两组传送带单元11，吸附单元31能同时吸附两个硅片且同时释放两个硅片。在其他实施例中，吸附单元31、进片接驳传送机构1和出片接驳传送机构2可以根据实际传送硅片的数量进行设定，在此不作具体限定。

在本实施例中，吸附单元31包括连接支架311和吸附支架313，连接支架311的一端与旋转单元32连接，吸附支架313的一端与连接支架311的另一端连接。吸附支架313上设有多个吸附孔，多个吸附孔均通过气管315与真空发生器连接。真空发生器工作，使吸附孔处产生负压吸附硅片，不会损伤硅片的表面。吸附单元31上的吸附支架313的数量可以匹配需要同时搬运的硅片的数量来设置。如对应HJT丝网印刷线及PERK印刷线等均是采用双片传送方式，此时吸附单元31需设置两个吸附支架313。连接支架311上设有减重孔312，以减轻吸附单元31的重量，实现吸附单元31的轻量化设计，降低吸附单元31的转动惯量。

针对进片接驳传送机构1和出片接驳传送机构2均包括两组传送带单元11的情况，吸附单元31的连接支架311上设有两个吸附支架313，两个吸附支架313间隔设置，两个吸附支架313与两组传送带单元11一一对应设置，吸附支架313能从传送带单元11的两根传送带111之间穿过。两个吸附支架313的吸附孔与同一个真空发生器连接，以实现两个硅片吸附的同步性。

在其他实施例中，吸附支架313上可以设置多个吸盘，吸盘通过气管与真空发生器连接。真空发生器工作，使吸盘产生负压以吸附硅片。

吸附支架313与连接支架311可以为一体连接，也可以为分体式设计。如果吸附支架313与连接支架311为分体式设计，通过螺栓连接吸附支架313和连接支架311，结构简单，便于操作。

在本实施例中，为了简化转运机构3的结构，吸附单元31与旋转单元32连接，升降单元33能驱动吸附单元31和旋转单元32同时升降。

在本实施例中，旋转单元32包括第一安装支座314和旋转驱动器321，第一安装支座314与直线传动组件322的移动副固定连接。旋转驱动器321驱动连接有减速器322，减速器322固定设置于第一安装支座314上，以增加扭矩，进一步降低吸附单元31的旋转惯量。第一安装支座314上转动设有旋转轴323，旋转轴323与吸附单元31连接。升降单元33能驱动第一安装支座314升降，进而带动旋转轴323升降。减速器322和旋转轴323之间传动连接有旋转传动组件324，减速器322通过旋转传动组件324驱动旋转轴323转动，进而带动吸附单元31转动。旋转驱动器321优选为驱动电机。

可选地，旋转传动组件324包括主动轮3241和从动轮3242，主动轮3241与减速器322驱动连接，从动轮3242套设于旋转轴323上。从动轮3242和主动轮3241通过同步带3243传动连接。为了实现主动轮3241和从动轮3242的同步运动，旋转驱动器321与吸附单元31的转动角度相同，以降低控制难度，使从动轮3242和主动轮3241具有相同的模数和齿数。

在其他实施例中，旋转传动组件324包括主动链轮和从动链轮，主动链轮与减速器322驱动连接，从动链轮套设于旋转轴323上，从动链轮和主动链轮通过链条传动连接。

参见图4所示，旋转单元32还包括用于控制吸附单元31旋转角度的两个旋转检测件325，两个旋转检测件325呈夹角设置。具体地，其中一个旋转检测件325设置于吸附单元31转动的原点位置，另一个旋转检测件325设置于吸附单元31旋转的终点位置，旋转传动组件324的主动轮3241上设有供旋转检测件325检测的旋转被检测件326，两者配合以限定吸附单元31旋转的范围。在本实施例中，进片接驳传送机构1与出片接驳传送机构2呈直角设置，那么需要旋转单元32驱动吸附单元31转动90°以实现硅片的传送，因此两个旋转检测件325呈90°夹角设置。

旋转检测件325优选对射式光电传感器，旋转被检测件326与对射式光电传感器配合使用控制吸附单元31转动的角度。

进一步地，为了提高吸附单元31转动的可靠性，针对吸附单元31的转动还设置了两个旋转极限位置限位件327，两个旋转极限位置限位件327设置于吸附单元31往复运动的两个极限位置处，旋转单元32的旋转轴323上设有极限位置被检测件328，极限位置被检测件328与旋转极限位置限位件327配合避免在旋转检测件325失效时，吸附单元31转动角度过大而导致吸附不了硅片或者将硅片放置不到出片接驳传送机构2上，甚至吸附单元31旋转角度过大会损坏其他部件。

具体地，本实施例提供的旋转极限位置的限位件327为限位立柱，且两个限位立柱对称设置于旋转轴323的两侧，极限位置被检测件328包括两根呈夹角设置于旋转轴323上的限位杆，由于进片接驳传送机构1与出片接驳传送机构2呈直角设置，因此，两根限位杆呈90°夹角设置，其中一根限位柱可以与其中的一个限位立柱设置于吸附单元31转动的原点极限位置，另一个限位立柱设置于吸附单元31转动的终点极限位置。在其他实施例中，旋转极限位置限位件327还可以为限位开关，限位开关与控制器电连接。限位开关与控制器的连接电路均为现有技术，在此不再详细赘述。

在本实施例中，继续参见图3和图4所示，升降单元33包括升降驱动器331和直线传动组件332，直线传动组件332的移动副与旋转单元32连接，升降驱动器331驱动移动副升降以带动旋转单元32升降。

可选地，本实施例提供的升降驱动器331为驱动电机，直线传动组件332包括丝杆和旋接于丝杆上的丝母，驱动电机与丝杆驱动连接，丝母作为移动副与旋转单元32连接。具体地，丝母与旋转单元32的第一安装支座314连接。

为了提高转运机构的结构紧凑性，在本实施例中，旋转单元32的旋转轴323与丝杆同轴设置，但是在旋转轴323升降时为了避让丝杆，将旋转轴323沿轴向开设避让孔，以供丝杆穿设。

旋转轴323转动安装于第一安装支座314上，丝杆穿设第一安装支座314和旋转轴323的避让孔。具体地，在第一安装支座314上设置轴承座316，轴承座316内安装有轴承，轴承的外圈与轴承座316固定连接，轴承的内圈与旋转轴323连接。

在另一实施例中，直线传动组件332为同步带传动结构，旋转单元32安装于同步带上，升降驱动器331为驱动电机，驱动电机驱动同步带轮带动同步带传动，以实现旋转单元32的升降。

在另一实施例中，升降单元33为直线电机，直线电机的移动副与旋转单元32连接，以实现旋转单元32的升降。

为了提高旋转单元32升降的稳定性，转运机构3还包括导向单元34，导向单元34被配置为用于导向旋转单元32升降。

具体地，本实施例提供的导向单元34包括滑轨342和滑块341。优选地，滑轨342与旋转单元32连接，滑块341与升降单元33连接，滑块341滑动设置于滑轨342上，该种设置方式可以使滑轨342和滑块341设置在有限的空间内，滑块341的位置固定，滑轨342随旋转单元32升降，对吸附单元31的升降起到了有效的导向作用。

进一步地，滑轨342安装于第一安装支座314上，升降单元33还包括第二安装支座333，滑块341和升降驱动器331均安装于第二安装支座333上。

在另一实施例中，导向单元34包括滑轨和滚轮，滑轨与旋转单元32连接，滚轮与升降单元33连接，滚轮能沿滑轨滚动。

在本实施例中，升降单元33还包括下降位置检测件334，下降位置检测件334设置于旋转单元32下降的最低位置处，以控制吸附单元31下降的位移。可选地，下降位置检测件334为对射式光电开关，旋转单元32上设置下降被检测件335，下降被检测件335与对射式光电开关配合使用。

本实施例中升降单元33的升降驱动器331为驱动电机，可以在驱动电机上设置编码器，编码器与下降位置检测件334配合控制旋转单元32上升的位移。由于下降位置检测件334和编码器与控制器的连接电路均为现有技术，在此不再详细赘述。

在使用本实施例提供的硅片搬运装置传送硅片时，转运机构3在初始位置置于进片接驳传送机构1的下方，待进片接驳传送机构1的末端有硅片，转运机构3顶升硅片的下表面，并携带该硅片旋转至出片接驳传送机构2的上方，然后转运机构3将硅片下放到出片接驳传送机构2上，硅片的下表面与出片接驳传送机构2接触，转运机构3继续下降至预设位置，然后旋转至进片接驳传送机构1的下方，依此循环实现将进片接驳传送机构1上的硅片传送至出片接驳传送机构2上，并且在顶升、传送及下放硅片时，均不会损坏硅片上表面的印刷层，不仅提高了硅片的搬运效率，还提高了成品率。

示例性的，硅片的传送如果为U形路径，那么需要在出片接驳传送机构2的两端均设置进片接驳传送机构1，两个进片接驳传送机构1分别与出片接驳传送机构2呈夹角设置，以形成U形的传输路径，每个进片接驳传送机构1与出片接驳传送机构2之间均设有转运机构3。当然在其他实施例中，硅片的传输路径还可以为其他形状，根据进片接驳传送机构1和出片接驳传送机构2之间需要接驳的位置设置转运机构3。本实施例还提供了一种硅片丝网印刷生产线，用于对硅片的上表面进行丝网印刷。该硅片丝网印刷生产线包括上述的硅片搬运装置。接驳传送间距紧凑，生产线占用厂房空间减少，对硅片的吸附位置要求低，在传送硅片过程中，不会损坏硅片上表面的印刷层，提高了成品率和生产效率。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (14)

1.一种硅片搬运装置，其特征在于，包括：

转运机构(3)；

进片接驳传送机构(1)，用于向所述转运机构(3)传送硅片；

出片接驳传送机构(2)，用于传送所述转运机构(3)转运送出的硅片，且所述出片接驳传送机构(2)与所述进片接驳传送机构(1)的传送方向呈夹角设置；

所述转运机构(3)被配置为能升降且能在所述进片接驳传送机构(1)和所述出片接驳传送机构(2)之间往复运动，以顶升所述进片接驳传送机构(1)上的所述硅片的下表面并将所述硅片下放到所述出片接驳传送机构(2)上。

2.根据权利要求1所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述进片接驳传送机构(1)和所述出片接驳传送机构(2)均具有镂空结构，所述转运机构(3)能够升降穿过所述镂空结构以顶升或下放所述硅片。

3.根据权利要求2所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述进片接驳传送机构(1)和所述出片接驳传送机构(2)均包括至少一组传送带单元(11)，每组所述传送带单元(11)分别包括两根间隔且平行设置的传送带(111)，所述转运机构(3)能够升降在两根所述传送带(111)之间穿过以顶升或下放所述硅片。

4.根据权利要求1所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述转运机构(3)包括：

吸附单元(31)，用于吸附所述硅片；

旋转单元(32)，与所述吸附单元(31)连接，用于驱动所述吸附单元(31)在所述进片接驳传送机构(1)和所述出片接驳传送机构(2)之间往复运动；

升降单元(33)，用于驱动所述旋转单元(32)升降以吸附举升或下放所述硅片。

5.根据权利要求4所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述升降单元(33)包括：

升降驱动器(331)；

直线传动组件(332)，所述直线传动组件(332)的移动副与所述旋转单元(32)连接，所述升降驱动器(331)驱动所述移动副升降以带动所述旋转单元(32)升降。

6.根据权利要求5所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述转运机构(3)还包括导向单元(34)，所述导向单元(34)被配置为用于导向所述旋转单元(32)升降。

7.根据权利要求6所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述导向单元(34)包括：

滑轨(342)，与所述旋转单元(32)连接；

滑块(341)，与所述升降单元(33)连接，所述滑块(341)滑动设置于所述滑轨(342)上。

8.根据权利要求5所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述旋转单元(32)包括：

第一安装支座(314)，与所述直线传动组件(332)的移动副固定连接；

旋转驱动器(321)；

减速器(322)，与所述旋转驱动器(321)驱动连接，所述减速器(322)固定设置于所述第一安装支座(314)上；

旋转轴(323)，一端与所述吸附单元(31)连接，另一端转动设置于所述第一安装支座(314)上；

旋转传动组件(324)，传动连接所述减速器(322)和所述旋转轴(323)，所述减速器(322)通过所述旋转传动组件(324)驱动所述旋转轴(323)转动。

9.根据权利要求8所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述直线传动组件(332)包括丝杆和旋接于所述丝杆上的丝母，所述升降驱动器(331)与所述丝杆驱动连接，所述第一安装支座(314)与所述丝母连接；

所述旋转轴(323)与所述丝杆同轴设置，所述旋转轴(323)沿轴向设有供所述丝杆穿设的避让孔。

10.根据权利要求8所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述旋转传动组件(324)包括：

主动轮(3241)，与所述减速器(322)驱动连接；

从动轮(3242)，套设于所述旋转轴(323)上，所述从动轮(3242)与所述主动轮(3241)的模数和齿数均相同；

同步带(3243)，传动连接所述从动轮(3242)和所述主动轮(3241)。

11.根据权利要求10所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述旋转单元(32)还包括两个呈夹角设置的旋转检测件(325)，所述主动轮(3241)上设有旋转被检测件(326)，所述旋转被检测件(326)与两个所述旋转检测件(325)配合以限定所述吸附单元(31)旋转的范围。

12.根据权利要求11所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述旋转单元(32)还包括两个旋转极限位置限位件(327)，两个所述旋转极限位置限位件(327)设置于所述吸附单元(31)往复运动的两个极限位置处，所述旋转轴(323)上设有与所述旋转极限位置限位件(327)配合的极限位置被检测件(328)。

13.根据权利要求4所述的硅片搬运装置，其特征在于，所述吸附单元(31)包括：连接支架(311)，一端与所述旋转单元(32)连接，所述连接支架(311)上设有减重孔(312)；

吸附支架(313)，一端与所述连接支架(311)的另一端连接，所述吸附支架(313)上设有多个吸附孔，多个所述吸附孔均与真空发生器连接。

14.一种硅片丝网印刷生产线，用于对硅片的上表面进行丝网印刷，其特征在于，包括权利要求1-13任一项所述的硅片搬运装置。

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