CN221079978U - 一种用于晶片封装的取料吸盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶片封装的取料吸盘，包括空心管，空心管的底部固定连接有吸盘主体，吸盘主体的底部固定连接有密封垫，述吸盘主体的底部正中位置开设有吸口，空心管的一侧固定连接有应急开关，空心管的顶部开设有收纳口，空心管的顶部通过收纳口活动连接有连接管，连接管的底端固定连接有伸缩簧，收纳口的内部固定连接有重量传感器，通过设置的应急开关、重量传感器和伸缩簧，当连接管顶住重量传感器后，重量传感器因压力的作用就会对重力进行识别，此时应急开关因重力的作用就会关闭取料设备，避免取料设备带动取料吸盘用过大的压力出现压坏需要取的晶片。

Description

一种用于晶片封装的取料吸盘

技术领域

本实用新型涉及吸盘技术领域，具体为一种用于晶片封装的取料吸盘。

背景技术

在半导体设备制造行业，存在晶片加工的多个工艺流程，在这些工艺流程中都需要一个吸附晶片的工作台面；以保证晶片在加工的过程中不发生位移或变形损坏。在晶片加工处理过程中，对晶片的固定方式通常采用吸盘抽真空吸附的方式。在满足制程所必须的真空吸附的前提下，还需要保证其吸附的稳定性。

现有技术公开号为CN207587714U的专利文献提供了一种晶片吸盘及晶片吸附装置。晶片吸盘包括背胶、树脂板、用于吸附晶片的纤维层，背胶与树脂板连接，纤维层与树脂板远离背胶的一侧连接，纤维层远离树脂板的一面为平面。晶片放置于纤维层，纤维层对晶片的吸附力能够将晶片进行固定，使晶片被加工的过程中不会移动或者滑落。纤维层远离树脂板的一面为平面。晶片平铺于纤维层表面即可，纤维层表面不会限制晶片的形状和尺寸大小，因此，同一个晶片吸盘可以适用于多种不同尺寸大小、不同形状的晶片，晶片吸盘不对晶片的形状和尺寸大小限制的同时，也不对晶片的厚度进行限制，很大程度地增加了晶片吸盘的通用性。

但现有的晶片封装取料吸盘在使用过程中，由于取料吸盘在取晶片时，取料吸盘会位于晶片的上方，而后取料吸盘就会压住晶片从而起到吸附作用，然而取料吸盘在压住晶片时，当设备的机械臂出现损坏无法控制挤压力时，因取料吸盘无法检测挤压力并关闭设备运行，而取料吸盘在取晶片时，就会出现压坏晶片的问题，为此我们提出一种用于晶片封装的取料吸盘。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于晶片封装的取料吸盘，以解决上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种用于晶片封装的取料吸盘，包括空心管，空心管的底部固定连接有吸盘主体，吸盘主体的底部固定连接有密封垫，述吸盘主体的底部正中位置开设有吸口，空心管的一侧固定连接有应急开关，空心管的顶部开设有收纳口，空心管的顶部通过收纳口活动连接有连接管，连接管的底端固定连接有伸缩簧，收纳口的内部固定连接有重量传感器。

进一步优选的，连接管的底端外侧活动连接有密封圈，连接管的底端正中位置开设有通气道。

进一步优选的，连接管的一侧固定连接有气管接头，气管接头的外侧开设有卡槽。

进一步优选的，空心管与吸盘主体为一体式结构，空心管和吸盘主体的外表面光滑。

进一步优选的，重量传感器与应急开关电性连接。

进一步优选的，密封垫由橡胶材料加工而成，密封垫呈椭圆结构。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种用于晶片封装的取料吸盘，具备以下有益效果：

(1)、该种用于晶片封装的取料吸盘，通过设置的应急开关、重量传感器和伸缩簧，在使用晶片封装的取料吸盘时，工作人员将连接管安装在设备上，而后将设备的气管安装在气管接头上，此时卡槽就会卡接气管，当设备带动取料吸盘位于晶片的上方时，由密封垫与晶片接触，而后设备通过气管就会产生吸力，吸力通过通气道作用到吸口上，此时密封垫与晶片之间的空隙就会形成真空状态，从而吸附晶片，当设备出现损坏时，且设备施加向下的挤压力时，连接管因压力就会压缩伸缩簧，此时伸缩簧就会收缩起来，从而起到缓冲挤压力的作用，当连接管顶住重量传感器后，重量传感器因压力的作用就会对重力进行识别，此时应急开关因重力的作用就会关闭取料设备，避免取料设备带动取料吸盘用过大的压力出现压坏需要取的晶片。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型吸盘主体的局部结构示意图；

图3是本实用新型连接管的局部结构示意图；

图4是本实用新型空心管的剖视图。

图中：1、连接管；101、密封圈；102、通气道；2、气管接头；3、卡槽；4、空心管；401、应急开关；5、收纳口；6、吸盘主体；7、密封垫；8、吸口；9、重量传感器；10、伸缩簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种用于晶片封装的取料吸盘，包括空心管4，空心管4的底部固定连接有吸盘主体6，吸盘主体6的底部固定连接有密封垫7，述吸盘主体6的底部正中位置开设有吸口8，空心管4的一侧固定连接有应急开关401，空心管4的顶部开设有收纳口5，空心管4的顶部通过收纳口5活动连接有连接管1，连接管1的底端固定连接有伸缩簧10，收纳口5的内部固定连接有重量传感器9。

本实施例中，具体的，连接管1的底端外侧活动连接有密封圈101，连接管1的底端正中位置开设有通气道102，通过密封圈101避免连接管1与空心管4之间产生缝隙，出现进气或漏气的现象。

本实施例中，具体的，连接管1的一侧固定连接有气管接头2，气管接头2的外侧开设有卡槽3，通过将连接管1安装在设备上，而后将设备的气管安装在气管接头2上，此时卡槽3就会卡接气管。

本实施例中，具体的，空心管4与吸盘主体6为一体式结构，空心管4和吸盘主体6的外表面光滑，便于取料吸盘的生产。

本实施例中，具体的，重量传感器9与应急开关401电性连接，当连接管1顶住重量传感器9后，重量传感器9因压力的作用就会对重力进行识别，此时应急开关401因重力的作用就会关闭取料设备。

本实施例中，具体的，密封垫7由橡胶材料加工而成，密封垫7呈椭圆结构，由橡胶材料加工而成的密封垫7具有形变功能，使得密封垫7能密封与晶片接触所产生的缝隙。

工作原理：本实用新型安装好过后，首先检查本实用新型的安装固定以及安全防护，在使用晶片封装的取料吸盘时，工作人员将连接管1安装在设备上，而后将设备的气管安装在气管接头2上，此时卡槽3就会卡接气管，当设备带动取料吸盘位于晶片的上方时，由密封垫7与晶片接触，而后设备通过气管就会产生吸力，吸力通过通气道102作用到吸口8上，此时密封垫7与晶片之间的空隙就会形成真空状态，从而吸附晶片，当设备出现损坏时，且设备施加向下的挤压力时，连接管1因压力就会压缩伸缩簧10，此时伸缩簧10就会收缩起来，从而起到缓冲挤压力的作用，当连接管1顶住重量传感器9后，重量传感器9因压力的作用就会对重力进行识别，此时应急开关401因重力的作用就会关闭取料设备，这样就完成了对本实用新型的使用过程，本实用新型结构简单，使用安全方便。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于晶片封装的取料吸盘，包括空心管（4），其特征在于：所述空心管（4）的底部固定连接有吸盘主体（6），所述吸盘主体（6）的底部固定连接有密封垫（7），述吸盘主体（6）的底部正中位置开设有吸口（8），所述空心管（4）的一侧固定连接有应急开关（401），所述空心管（4）的顶部开设有收纳口（5），所述空心管（4）的顶部通过收纳口（5）活动连接有连接管（1），所述连接管（1）的底端固定连接有伸缩簧（10），所述收纳口（5）的内部固定连接有重量传感器（9）。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶片封装的取料吸盘，其特征在于：所述连接管（1）的底端外侧活动连接有密封圈（101），所述连接管（1）的底端正中位置开设有通气道（102）。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶片封装的取料吸盘，其特征在于：所述连接管（1）的一侧固定连接有气管接头（2），所述气管接头（2）的外侧开设有卡槽（3）。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶片封装的取料吸盘，其特征在于：所述空心管（4）与吸盘主体（6）为一体式结构，所述空心管（4）和吸盘主体（6）的外表面光滑。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶片封装的取料吸盘，其特征在于：所述重量传感器（9）与应急开关（401）电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶片封装的取料吸盘，其特征在于：所述密封垫（7）由橡胶材料加工而成，所述密封垫（7）呈椭圆结构。