CN221079020U - 一种遮光镜支架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种遮光镜支架，涉及半导体检测设备的相关技术领域。本实用新型包括L型支座以及两个分别用于固定滤光片的滤光片支架，在所述L型支座的一侧设置有伺服电机，在所述L型支座的另一侧转动连接有从动同步带轮，所述伺服电机的输出轴连接有主动同步带轮，所述主动同步带轮与从动同步带轮之间配合有同步带，在所述同步带的前端皮带上设置有一个所述的滤光片支架，在所述同步带的后端皮带上设置有一个所述的滤光片支架，且两个滤光片支架的活动方向相反设置，在L型支座上设置有位于两个滤光片支架之间的透光孔，两个滤光片移动时能够将所述的透光孔进行遮挡。本结构实现对滤光片进行自动调节。

Description

一种遮光镜支架

技术领域

本实用新型属于半导体检测的相关技术领域，特别是涉及一种遮光镜支架。

背景技术

在半导体检测领域中，随着检测的精度以及自动化程度不断提高，对光的过滤以及遮挡也有了更高的要求。受检测空间以及检测光度限制，更要根据要求进行自动化光路遮挡以及过滤，然而目前半导体检测设备中的滤光以及遮光的方式大多数采用气动、单个滤光片运动为主，而采用气动滤光以及遮光存在以下缺点：1、对光路遮挡的位置只是固定位置，只能后期进行调整无法自动调整，导致自动能力差；2、目前单个滤光片运动时所需要的结构运动空间比较大，而且零件多，成本较高的问题，因此如何设计一款即能够实现自动遮光又能够实现多各滤光片同时控制的结构显得尤为重要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种遮光镜支架，解决了现有的半导体检测设备中的滤光以及遮光的方式存在对光路遮挡的位置只是固定位置，只能后期进行调整无法自动调整，导致自动能力差；同时单个滤光片运动时所需要的结构运动空间比较大，而且零件多，成本较高的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种遮光镜支架，包括L型支座以及两个分别用于固定滤光片的滤光片支架，在所述L型支座的一侧设置有伺服电机，在所述L型支座的另一侧转动连接有从动同步带轮，所述伺服电机的输出轴连接有主动同步带轮，所述主动同步带轮与从动同步带轮之间配合有同步带，在所述同步带的前端皮带上设置有一个所述的滤光片支架，在所述同步带的后端皮带上设置有一个所述的滤光片支架，且两个滤光片支架的活动方向相反设置，在L型支座上设置有位于两个滤光片支架之间的透光孔，两个滤光片移动时能够将所述的透光孔进行遮挡。

进一步地，为了方便组装，所述的L型支座包括纵向设置的左支座以及横向放置的横支座，所述横支座的一侧与左支座的一侧固定连接，所述伺服电机固定在左支座上，所述从动同步带轮通过转动轴转动连接在所述横支座另一侧的上方，所述透光孔位于横支座的中心位置。

进一步地，为了实现导向作用，而且避免移动时位置出现偏移，在所述的横支座上固定有一根直线滑轨，在所述同步带的前端皮带上固定有前连接座，所述前连接座的前端固定有一个第一连接块，所述第一连接块的下方与其中一个滤光片支架固定连接，所述前连接座的底部固定有一个第一滑块，所述第一滑块滑动连接在所述直线滑轨上，在所述同步带的后端皮带上固定有后连接座，所述后连接座的前端固定有一个第二连接块，所述第二连接块的下方与另一个滤光片支架固定连接，所述后连接座的底部固定有一个第二滑块，所述第二滑块滑动连接在所述直线滑轨上，且第二连接块与第一连接块平行设置，两个滤光片支架左右平行设置。

进一步地，为了对左侧滤光片支架移动时位置的限定，在所述第二连接块上还设置有一块感应片，在所述横支座的底部设置有与感应片配合的限位传感器一。

进一步地，为了实现拉升时的张力，方便后期复位，在所述后连接座上方固定有一根连接杆一，在所述横支座靠近从动同步带轮通的一侧设置有一个定位座，所述定位座上方固定有连接杆二，所述连接杆二与连接杆一之间连接有拉伸弹簧。

进一步地，为了对右侧滤光片支架移动时位置的限定，在所述的定位座的侧边设置有对右侧滤光片支架的移动位置进行限位的限位感应器二。

进一步地，为了方便后期拆卸，所述的前连接座以及后连接座的结构均一致，均包括一块L型压板以及定位压板，所述L型压板与定位压板之间配合并通过螺丝锁紧在同步带上。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型通过伺服电机带动同步带进行对两个滤光片的精确位置把控，以实现检测所需的光路内的透光的要求；

同时整个过程实现自动化操作，无需人工手动操作，提高工作效率。

附图说明

图1为一种遮光镜支架的结构立体图；

图2为一种遮光镜支架无安装左支座时的结构示意图一；

图3为一种遮光镜支架无安装左支座时的结构示意图二；

图4为一种遮光镜支架无安装左支座、伺服电机、主动同步带轮以及同步带时的结构示意图；

图5为实施例1中前连接座、第一滑块、第一连接块以及滤光片支架组合后的结构示意图；

图6为实施例1中横支座的结构示意图。

附图标记：

L型支座1、左支座101、横支座102、转动轴103、滤光片支架2、伺服电机3、从动同步带轮4、主动同步带轮5、透光孔6、同步带7、直线滑轨8、前连接座9、第一连接块10、第一滑块11、后连接座12、第二连接块13、第二滑块14、感应片15、连接杆一16、定位座17、连接杆二18、拉伸弹簧19、限位感应器二20、L型压板131、定位压板132、滤光片21、限位感应器二一22。

实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

请参阅图1-6所示，本实用新型为一种遮光镜支架，包括L型支座1以及两个分别用于固定滤光片21的滤光片支架2，在所述L型支座1的一侧设置有伺服电机3，在所述L型支座1的另一侧转动连接有从动同步带轮4，所述伺服电机3的输出轴连接有主动同步带轮5，所述主动同步带轮5与从动同步带轮4之间配合有同步带7，在所述同步带7的前端皮带上设置有一个所述的滤光片支架2，在所述同步带7的后端皮带上设置有一个所述的滤光片支架2，且两个滤光片支架2的活动方向相反设置，在L型支座1上设置有位于两个滤光片支架2之间的透光孔6，两个滤光片21移动时能够将所述的透光孔6进行遮挡。

进一步地，为了方便组装，所述的L型支座1包括纵向设置的左支座101以及横向放置的横支座102，所述横支座102的一侧与左支座101的一侧固定连接，所述伺服电机3固定在左支座101上，所述从动同步带轮4通过转动轴103转动连接在所述横支座102另一侧的上方，所述透光孔6位于横支座102的中心位置，同时为了实现导向作用，而且避免移动时位置出现偏移，在所述的横支座102上固定有一根直线滑轨8，在所述同步带7的前端皮带上固定有前连接座9，所述前连接座9的前端固定有一个第一连接块10，所述第一连接块10的下方与其中一个滤光片支架2固定连接，所述前连接座9的底部固定有一个第一滑块11，所述第一滑块11滑动连接在所述直线滑轨8上，在所述同步带7的后端皮带上固定有后连接座12，所述后连接座12的前端固定有一个第二连接块13，所述第二连接块13的下方与另一个滤光片支架2固定连接，所述后连接座12的底部固定有一个第二滑块14，所述第二滑块14滑动连接在所述直线滑轨8上，且第二连接块13与第一连接块10平行设置，两个滤光片支架2左右平行设置，同时为了对左侧滤光片支架2移动时位置的限定，在所述第二连接块13上还设置有一块感应片15，在所述横支座102的底部设置有与感应片15配合的限位传感器一22，上述结构中通过在横支座102上设置直线滑轨8，在前连接座9以及后连接座12底部均固定与直线滑轨8配合的滑块（即第一滑块11、第二滑块14），实现前连接座9以及后连接座12移动过程中始终能够沿着直线滑轨8移动，不会出现位置偏差的问题，最终保证两片滤光片支架2在横支座102的前后进行前后水平移动，实现双从遮光的作用。

进一步地，为了实现拉升时的张力，方便后期复位，在所述后连接座12上方固定有一根连接杆一16，在所述横支座102靠近从动同步带轮4通的一侧设置有一个定位座17，所述定位座17上方固定有连接杆二18，所述连接杆二18与连接杆一16之间连接有拉伸弹簧19，在本实施例中通过在后连接座12上设置一根连接杆一16，在横支座102上设置一根连接杆二18，且连接杆二18与连接杆一16之间设一个由三根独立弹簧收尾相连构成的拉伸弹簧19，保证后连接座12移动时，能够将拉伸弹簧19进行拉升，保证移动过程的张力，而且一旦作用下小时，可以在弹簧作用下复位，也保证拉升过程的紧张感，进一步，为了对右侧滤光片支架2移动时位置的限定，在所述的定位座17的侧边设置有对右侧滤光片支架2的移动位置进行限位的限位感应器二20，通过设置限位感应器二20对右侧滤光片支架2移动的位置进行限定，避免由于滤光片支架2移动过头而碰撞到支架周围而损坏；如图5所示，同时为了方便后期拆卸，所述的前连接座9以及后连接座12的结构均一致，均包括一块L型压板131以及定位压板132，所述L型压板131与定位压板132之间配合并通过螺丝锁紧在同步带7上，且L型压板131底部与对应的滑块（即第一滑块11、第二滑块14）固定连接，图5是以前连接座9的结构为参考，为了避免前连接座9与后连接座12在移动时不相互影响，因此前连接座9上的L型压板131以及后连接座12上的L型压板131镜像设置，且后连接座12上的定位压板132位于L型压板131的后面，而第二连接块13位于L型压板131的前方，这个连接关系与前连接座9中L型压板131与第一连接块10的连接方向一致，同时为了方便安装，在L型压板131上对应设置4个安装通孔，在定位压板132上设置有与安装通孔对应的螺丝孔，并在同步带7对应位置也设置通孔，通过螺丝穿过L型压板131上的安装通孔以及同步带7上的通孔后与定位压板132上的螺丝孔螺纹连接实现将前连接座9或后连接座12固定在同步带7的对应位置上，而且也方便后期拆卸，若需要使用一个了滤光片时，可以直接拆除另一个即可。

本结构的具体工作原理如下：将两片滤光片21预先固定对应的两个滤光片支架2上，然后在直线滑轨8以及滑块的配合作用下，通过驱动伺服电机3带动主动同步带轮5与从动同步带轮4动力配合实现两块滤光片21相反方向运动，从而达到对透光孔6里面的光被两个滤光片遮挡以及放开的作用，而且整个过程实现自动化操作，无需人工手动操作，提高工作效率。

综上所述，本结构通过伺服电机带动同步带进行对两个滤光片的精确位置把控，以实现检测所需的光路内的透光的要求（或是遮挡或是过滤的作用），最终实现两个滤光片位置的精确把控以及对光路影响外部自动化调节，实现自己想要的出光效果的达成。

以上仅为本实用新型的优选实施例，并不限制本实用新型，任何对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，对其中部分技术特征进行等同替换，所作的任何修改、等同替换、改进，均属于在本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种遮光镜支架，包括L型支座（1）以及两个分别用于固定滤光片的滤光片支架（2），其特征在于：在所述L型支座（1）的一侧设置有伺服电机（3），在所述L型支座（1）的另一侧转动连接有从动同步带轮（4），所述伺服电机（3）的输出轴连接有主动同步带轮（5），所述主动同步带轮（5）与从动同步带轮（4）之间配合有同步带（7），在所述同步带（7）的前端皮带上设置有一个所述的滤光片支架（2），在所述同步带（7）的后端皮带上设置有一个所述的滤光片支架（2），且两个滤光片支架（2）的活动方向相反设置，在L型支座（1）上设置有位于两个滤光片支架（2）之间的透光孔（6），两个滤光片移动时能够将所述的透光孔（6）进行遮挡。

2.根据权利要求1所述的一种遮光镜支架，其特征在于：所述的L型支座（1）包括纵向设置的左支座（101）以及横向放置的横支座（102），所述横支座（102）的一侧与左支座（101）的一侧固定连接，所述伺服电机（3）固定在左支座（101）上，所述从动同步带轮（4）通过转动轴（103）转动连接在所述横支座（102）另一侧的上方，所述透光孔（6）位于横支座（102）的中心位置。

3.根据权利要求2所述的一种遮光镜支架，其特征在于：在所述的横支座（102）上固定有一根直线滑轨（8），在所述同步带（7）的前端皮带上固定有前连接座（9），所述前连接座（9）的前端固定有一个第一连接块（10），所述第一连接块（10）的下方与其中一个滤光片支架（2）固定连接，所述前连接座（9）的底部固定有一个第一滑块（11），所述第一滑块（11）滑动连接在所述直线滑轨（8）上，在所述同步带（7）的后端皮带上固定有后连接座（12），所述后连接座（12）的前端固定有一个第二连接块（13），所述第二连接块（13）的下方与另一个滤光片支架（2）固定连接，所述后连接座（12）的底部固定有一个第二滑块（14），所述第二滑块（14）滑动连接在所述直线滑轨（8）上，且第二连接块（13）与第一连接块（10）平行设置，两个滤光片支架（2）左右平行设置。

4.根据权利要求3所述的一种遮光镜支架，其特征在于：在所述第二连接块（13）上还设置有一块感应片（15），在所述横支座（102）的底部设置有与感应片（15）配合的限位传感器一（22）。

5.根据权利要求4所述的一种遮光镜支架，其特征在于：在所述后连接座（12）上方固定有一根连接杆一（16），在所述横支座（102）靠近从动同步带轮（4）通的一侧设置有一个定位座（17），所述定位座（17）上方固定有连接杆二（18），所述连接杆二（18）与连接杆一（16）之间连接有拉伸弹簧（19）。

6.根据权利要求5所述的一种遮光镜支架，其特征在于：在所述的定位座（17）的侧边设置有对右侧滤光片支架（2）的移动位置进行限位的限位感应器二（20）。

7.根据权利要求6所述的一种遮光镜支架，其特征在于：所述的前连接座（9）以及后连接座（12）的结构均一致，均包括一块L型压板（131）以及定位压板（132），所述L型压板（131）与定位压板（132）之间配合并通过螺丝锁紧在同步带（7）上。