CN221036797U - 立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置 - Google Patents
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Abstract
一种立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，包括用于与立式氧化炉底部配合的主体支撑架，在主体支撑架上安装有竖向设置的支撑筒和用于驱动支撑筒竖向往复移动的竖向驱动设备，在主体支撑架与支撑筒的连接处还安装有往复式动密封；在支撑筒内转动安装有支撑轴，支撑轴的上下两端分别从支撑筒的上下两侧伸出，在支撑筒的内侧安装有与支撑轴配合的旋转式动密封，在支撑筒的外侧安装有用于驱动支撑轴转动的旋转驱动设备，在支撑轴的上端还固定安装有横向设置的支撑板，在支撑板上设置有便于石英舟放置的支撑凹槽。本申请能够使硅片进行全面均匀充分受热，有助于保证硅片产品质量，满足对硅片的生产要求。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片生产技术领域，特别是一种立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置。
背景技术
目前，在硅片的生产过程中，一般都需要对硅片进行退火处理，即通过加热和冷却的方式来改善硅片电学性能；硅片的加热通常是将硅片卡装到石英舟上，然后将石英舟放置到立式氧化炉内，利用立式氧化炉对硅片进行加热处理，但是，现有的立式氧化炉结构相对固定，在硅片随石英舟放置到立式氧化炉内后，硅片是保持不动的，很容易使得硅片各处受热不够均匀，从而影响硅片的产品质量，现有技术中，虽然也有能够实现硅片在立式氧化炉内进行旋转的装置，但是，其也只是实现硅片在固定位置的转动，仍不利于硅片的全面、均匀、充分受热，还是会对硅片的产品质量产生影响，越来越不能满足对硅片的生产要求。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种能够使硅片进行全面均匀充分受热，有助于保证硅片产品质量的立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置。
本实用新型所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本实用新型是一种立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，包括用于与立式氧化炉底部配合的主体支撑架，在主体支撑架上安装有竖向设置的支撑筒和用于驱动支撑筒竖向往复移动的竖向驱动设备，在主体支撑架与支撑筒的连接处还安装有往复式动密封；在支撑筒内转动安装有支撑轴，支撑轴的上下两端分别从支撑筒的上下两侧伸出，在支撑筒的内侧安装有与支撑轴配合的旋转式动密封，在支撑筒的外侧安装有用于驱动支撑轴转动的旋转驱动设备，在支撑轴的上端还固定安装有横向设置的支撑板，在支撑板上设置有便于石英舟放置的支撑凹槽。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，所述竖向驱动设备设置有2个，2个竖向驱动设备以倒置的方式安装在主体支撑架上，2个竖向驱动设备的驱动端均与支撑筒的下部固定连接。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，所述竖向驱动设备为气缸、液压缸或者电动推杆。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，在往复式动密封处主体支撑架上还安装有耐高温隔热垫。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，所述旋转驱动设备为驱动电机，驱动电机安装在支撑筒上， 驱动电机的输出端与支撑轴的底部传动连接。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，所述往复式动密封的密封圈为陶瓷密封圈。
本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，所述旋转式动密封的密封环为陶瓷密封环。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果：
1、本申请利用支撑板对石英舟进行支撑，方便硅片的放置，通过支撑筒、支撑轴带动石英舟在转动的同时还能够进行上下移动，以使得硅片的全面、均匀、充分受热，避免硅片受热不均而影响产品质量；
2、本申请可直接与现有的立式氧化炉进行配合使用，只需要在立式氧化炉的底部开孔，然后将本申请的装置安装到开孔处即可，实用方便，适应性好。
附图说明
图1为本实用新型的一种结构示意图；
图2为本实用新型的支撑板的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参照图1至图2，一种立式氧化炉1用石英舟旋转支撑装置，包括用于与立式氧化炉1底部配合的主体支撑架2，用于固定安装到立式氧化炉1的底壁上，从而实现整个装置的固定支撑，在主体支撑架2上安装有竖向设置的支撑筒3和用于驱动支撑筒3竖向往复移动的竖向驱动设备5，在主体支撑架2与支撑筒3的连接处还安装有往复式动密封4；支撑筒3的一端伸入立式氧化炉1内，以便于在立式氧化炉1内进行竖向往复移动，从而便于后续实现石英舟带动硅片在立式氧化炉1内的竖向往复移动，有助于硅片的均匀受热；当然，为配合支撑筒3的安装，在立式氧化炉1的底壁上要开设通孔，方便支撑筒3伸入立式氧化炉1内，往复式动密封4设置在通孔处的主体支撑架2上，既能够配合支撑筒3的移动，又能够对通孔起到一定的密封作用，同时，还可在往复式动密封4处主体支撑架2上还安装有耐高温隔热垫，进一步对通孔起到密封作用，减少立式氧化炉1内热量的散失；优选的，耐高温隔热垫可采用硅酸铝保温棉针刺毯，耐高温可达1260℃；
优选的，所述竖向驱动设备5设置有2个，2个竖向驱动设备5以倒置的方式安装在主体支撑架2上，2个竖向驱动设备5的驱动端均与支撑筒3的下部固定连接；所述竖向驱动设备5为气缸、液压缸或者电动推杆，为支撑筒3的竖向往复移动提高动力，便于根据需要驱动支撑筒3进行移动；
在支撑筒3内转动安装有支撑轴6，支撑轴6的上下两端分别从支撑筒3的上下两侧伸出，在支撑筒3的内侧安装有与支撑轴6配合的旋转式动密封7，在支撑筒3的外侧安装有用于驱动支撑轴6转动的旋转驱动设备8，支撑轴6既能够随着支撑筒3进行竖向往复移动，又能够在旋转驱动设备8的驱动下与支撑筒3之间进行相对转动，既便于实现利用石英舟带动硅片在立式氧化炉1内进行竖向移动和转动，有助于实现硅片的全面、均匀、充分受热，保证硅片的产品质量；旋转式动密封7用于实现支撑轴6安装于支撑筒3，并且可以辅助支撑轴6进行转动；
优选的，所述旋转驱动设备8为驱动电机，驱动电机安装在支撑筒3上， 驱动电机的输出端与支撑轴6的底部传动连接，便于根据需求利用驱动电机驱动支撑轴6进行转动；
为了实现石英舟的支撑，在支撑轴6的上端还固定安装有横向设置的支撑板9，在支撑板9上设置有便于石英舟放置的支撑凹槽10，支撑凹槽10的形状和大小可根据具体的石英舟的情况而设定，便于石英舟稳定的放置于支撑凹槽10内，从而实现了硅片通过石英舟放置于立式氧化炉1内，也便于后续利用支撑板9带动石英舟、硅片进行移动和转动；
实际使用时，考虑到立式氧化炉1内的高温，一般硅片的退火温度在1000℃左右，因而支撑板9、支撑轴6、支撑筒3均需要采用耐高温的材质，如石墨、陶瓷等，以保证其在立式氧化炉1内能够正常使用；当然，所述往复式动密封4的密封圈为陶瓷密封圈，所述旋转式动密封7的密封环为陶瓷密封环，能够经受1200℃的高温，便于配合支撑筒3、支撑轴6的安装与移动，保证二者的正常稳定动作。
本申请用于与立式氧化炉1配合使用，现有技术中的立式氧化炉1的进料口一般设在顶部，因而使用本申请时，需要在立式氧化炉1的底部开设通孔进行安装，将主体支撑架2固定于立式氧化炉1的底壁上，并且在立式氧化炉1的底壁上开设与支撑筒3配合的通孔，支撑板9可通过立式氧化炉1的进料口安装于延伸至立式氧化炉1内部的支撑轴6上；
使用时，先将硅片卡装到石英舟上，然后通过立式氧化炉1的进料口将石英舟放置到支撑凹槽10内，接着关闭立式氧化炉1的进料口，开启立式氧化炉1，实现对硅片的加热操作，同时，可开启旋转驱动设备8驱动支撑轴6带动石英舟进行转动，开启竖向驱动设备5驱动支撑筒3带动石英舟进行竖向移动，进而有助于实现石英舟上的硅片的全面、均匀、充分受热，保证硅片的产品质量；
注意：实际操作时，支撑轴6的转动速度、支撑筒3的上下移动速度均为缓慢运动，一方面有助于硅片的均匀受热，一方面也避免石英舟从支撑板9上掉落；在需要取出石英舟时，可打开立式氧化炉1的进料口，利用竖向驱动设备5驱动支撑筒3通过支撑板9带石英舟移动至立式氧化炉1的进料口处，以方便石英舟的取放操作，既方便操作，又有助于提高效率。
Claims (7)
1.一种立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，其特征在于：包括用于与立式氧化炉底部配合的主体支撑架，在主体支撑架上安装有竖向设置的支撑筒和用于驱动支撑筒竖向往复移动的竖向驱动设备，在主体支撑架与支撑筒的连接处还安装有往复式动密封；在支撑筒内转动安装有支撑轴，支撑轴的上下两端分别从支撑筒的上下两侧伸出，在支撑筒的内侧安装有与支撑轴配合的旋转式动密封，在支撑筒的外侧安装有用于驱动支撑轴转动的旋转驱动设备，在支撑轴的上端还固定安装有横向设置的支撑板，在支撑板上设置有便于石英舟放置的支撑凹槽。
2.根据权利要求1所述的立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，其特征在于：所述竖向驱动设备设置有2个，2个竖向驱动设备以倒置的方式安装在主体支撑架上，2个竖向驱动设备的驱动端均与支撑筒的下部固定连接。
3.根据权利要求1或2所述的立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，其特征在于：所述竖向驱动设备为气缸、液压缸或者电动推杆。
4.根据权利要求1所述的立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，其特征在于：在往复式动密封处主体支撑架上还安装有耐高温隔热垫。
5.根据权利要求1所述的立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，其特征在于：所述旋转驱动设备为驱动电机，驱动电机安装在支撑筒上， 驱动电机的输出端与支撑轴的底部传动连接。
6.根据权利要求1所述的立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，其特征在于：所述往复式动密封的密封圈为陶瓷密封圈。
7.根据权利要求1或6所述的立式氧化炉用石英舟旋转支撑装置，其特征在于：所述旋转式动密封的密封环为陶瓷密封环。
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