CN220981919U - 一种用于芯片烧结炉的传输装置及芯片烧结炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及芯片真空烧结炉技术领域，一种用于芯片烧结炉的传输装置，包括多个导向机构、多个传输机构、导向机构安装板、腔体和多个动力组件；所述导向机构安装板设置在所述腔体的内部两侧，所述多个导向机构对称设置在所述腔体的内部两侧并且固定在所述导向机构安装板上，所述多个传输机构设置在所述腔体的进口端和出口端，所述多个动力组件设置在所述腔体两侧并且固定在所述导向机构安装板上，能够防止工件打滑及卡板。

Description

一种用于芯片烧结炉的传输装置及芯片烧结炉

技术领域

本实用新型涉及芯片真空烧结炉技术领域，尤其涉及一种用于芯片烧结炉的传输装置及芯片烧结炉。

背景技术

现有技术一种可实现连续生产的真空烧结炉公开了一种可实现连续生产的真空烧结炉，包括炉体、进料置换舱与出料置换舱，进料置换舱包括通向外界的第一舱门与通向炉体的第二舱门，出料置换舱包括通向外界的第三舱门与通向炉体的第四舱门，第一舱门、第二舱门、第三舱门与第四舱门可独立启闭，其中，第一舱门和/或第二舱门与第三舱门和/或第四舱门同时处于关闭状态，以保证炉体的内部空间在工作过程中维持真空状态。工件的传输容易打滑及卡板。

发明内容

本实用新型提供一种用于芯片烧结炉的传输装置，用以解决现有技术中工件打滑，工作效率比较低的问题。

本实用新型提供一种用于芯片烧结炉的传输装置，包括多个导向机构、多个传输机构、导向机构安装板、腔体和多个动力组件；所述导向机构安装板设置在所述腔体的内部两侧，所述多个导向机构对称设置在所述腔体的内部两侧并且固定在所述导向机构安装板上，所述多个传输机构设置在所述腔体的进口端和出口端，所述多个动力组件设置在所述腔体两侧并且固定在所述导向机构安装板上。

根据本实用新型的芯用于芯片烧结炉的传输装置，所述传输机构为3个。

根据本实用新型的用于芯片烧结炉的传输装置，所述传输机构设置在所述腔体的进口端和出口端的中间和两侧。

根据本实用新型的用于芯片烧结炉的传输装置，所述传输机构的传输轮为滚花传输轮。

根据本实用新型的用于芯片烧结炉的传输装置，所述导向机构安装板的上部设置多个导向机构安装槽，所述导向机构安装板下部设置多个加热管孔，所述加热管孔的上方设置多个动力轮安装孔。

根据本实用新型的用于芯片烧结炉的传输装置，还包括升降组件，所述升降组件设置在所述腔体的下方。

根据本实用新型的用于芯片烧结炉的传输装置，所述导向机构包括导向轮安装座、紧固件、导向轮和导向轮安装轴，所述导向轮固定在所述导向轮安装轴上，所述导向轮安装轴设置在所述导向机构安装板的导向机构安装槽内，所述导向轮安装座固定在所述导向机构安装板的上部，所述导向轮安装轴连接所述紧固件。

根据本实用新型的用于芯片烧结炉的传输装置，还包括升降垫片，所述升降垫片设置在所述紧固件的下方。

根据本实用新型的芯片烧结炉，包括上述的用于芯片烧结炉的传输装置。

传输机构为陶瓷轴承，并且可以为滚花等防打滑设置，该设置能够防止工件打滑。

通过导向轮的上下移动调整能够防止工件打滑。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为用于芯片烧结炉的传输装置的结构示意图1；

图2为用于芯片烧结炉的传输装置的结构示意图2；

图3为导向机构安装板的主视图结构示意图1；

图4为导向机构安装板的主视图结构示意图2；

图5为第一实施例的导向机构结构示意图1；

图6为第一实施例的导向机构结构示意图2；

图7为第二实施例的导向机构结构示意图；

图8为芯片烧结炉的结构示意图；

附图标记：1、第一传输机构；2、第二传输机构；3、第三传输机构；4、第一密封板；5、升降组件；6、第一水平动力组件；7、第二水平动力组件；8、第二密封板；9、第一导向机构；10、第二导向机构；11、第三导向机构；12、第四导向机构；13、第一动力轮；14、第二动力轮；15、第三动力轮；16、第四动力轮；17、导向机构安装板；18、下加热板；19、第一插板阀；20、第二插板阀；21、腔体；101、第一导向轮安装座；102、螺母；103、导向轮；104、通孔；105、第一导向轮安装轴；106、升降垫片；107、第二导向轮安装座；108、第二导向轮安装轴；171、加热管孔；172、导向机构安装槽；173、动力轮安装孔。

实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。

在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

下面结合图1-7描述本实用新型实施例的一种用于芯片烧结炉的传输装置，包括多个导向机构、多个传输机构、导向机构安装板17、腔体21和多个动力组件；传输机构为3个，分别为第一传输机构1、第二传输机构2和第三传输机构3。第一传输机构1和第三传输机构3设置在腔体21的进口端和出口端的两侧，第二传输机构2设置在腔体21的进口端和出口端的中间。传输机构的传输轮为滚花传输轮或能够增大摩擦的传输轮，为了防止工件在进来或出去打滑。

导向机构安装板17设置在腔体21的内部两侧，导向机构安装板17的上部设置多个导向机构安装槽172，导向机构安装板17下部设置多个加热管孔171，加热管孔171的上方设置多个动力轮安装孔173。该导向机构安装板17既保证了导向机构安装槽172安装导向机构的稳定性，又通过加热管孔171保证了加热管的稳定。动力轮安装孔173用于安装动力组件的动力轮，简化了结构，节省成本。

多个导向机构对称设置在腔体21的内部两侧并且固定在导向机构安装板17上，导向机构可以为一侧4个，2侧8个，分别为第一导向机构9、第二导向机构10、第三导向机构11和第四导向机构12，在对侧对称也设置4个导向机构。

多个动力组件设置在腔体21两侧并且固定在导向机构安装板17上。动力组件可以为一侧4个，2侧8个，分别为第一动力轮13、第二动力轮14、第三动力轮15和第四动力轮16，在对侧对称也设置4个动力轮。第一动力轮13、第二动力轮14、第三动力轮15和第四动力轮16设置在导向机构安装板17的动力轮安装孔上。在腔体21两侧设置有第一水平动力组件6和第二水平动力组件7，第一水平动力组件6和第二水平动力组件7驱动第一动力轮13、第二动力轮14、第三动力轮15和第四动力轮16及对侧的。

还包括升降组件5，升降组件5设置在腔体21的下方。

在腔体21的进口端设置有第一密封板4，在腔体21的出口端设置有第二密封板8。在腔体21内部设置有下加热板18，在下加热板18两侧设置有两组动力轮。

如图5-6所示，导向机构的第一实施例，导向机构包括第二导向轮安装座107、螺母102、导向轮103和第二导向轮安装轴108，导向轮103固定在第二导向轮安装轴108上，第二导向轮安装轴108设置在导向机构安装板17的导向机构安装槽173内，第二导向轮安装座107固定在导向机构安装板17的上部，第二导向轮安装轴108穿过通孔105连接螺母102。螺母102也可以是其他的紧固件。第二导向轮安装座107可以左右进行对导向轮103进行调整。

如图7所示，导向机构的第二实施例，导向机构包括第一导向轮安装座101、螺母102、导向轮103和第一导向轮安装轴105，导向轮103固定在第一导向轮安装轴105上，第一导向轮安装轴105设置在导向机构安装板17的导向机构安装槽173内，第一导向轮安装座101固定在导向机构安装板17的上部，第一导向轮安装轴105穿过通孔105连接螺母102。螺母102也可以是其他的紧固件。第一导向轮安装座101可以左右进行对导向轮103进行调整。还包括升降垫片106，升降垫片106设置在螺母102的下方。第一导向轮安装座101比第二导向轮安装座107长，通过在螺母102下方的升降垫片106可以调整导向轮103的高度。

如图8所示，为芯片烧结炉，在腔体21的进口端通过第一密封板4与第一插板阀19密封连接，腔体21的出口端通过第二密封板20与第二插板阀20密封连接。有4个腔体，每个腔体的进口端和出口端都是通过插板阀进行密封的，每个腔体都有用于芯片烧结炉的传输装置。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (9)

1.一种用于芯片烧结炉的传输装置，其特征在于，包括多个导向机构、多个传输机构、导向机构安装板、腔体和多个动力组件；所述导向机构安装板设置在所述腔体的内部两侧，所述多个导向机构对称设置在所述腔体的内部两侧并且固定在所述导向机构安装板上，所述多个传输机构设置在所述腔体的进口端和出口端，所述多个动力组件设置在所述腔体两侧并且固定在所述导向机构安装板上。

2.根据权利要求1所述的用于芯片烧结炉的传输装置，其特征在于，所述传输机构为3个。

3.根据权利要求2所述的用于芯片烧结炉的传输装置，其特征在于，所述传输机构设置在所述腔体的进口端和出口端的中间和两侧。

4.根据权利要求3所述的用于芯片烧结炉的传输装置，其特征在于，所述传输机构的传输轮为滚花传输轮。

5.根据权利要求1所述的用于芯片烧结炉的传输装置，其特征在于，还包括升降组件，所述升降组件设置在所述腔体的下方。

6.根据权利要求1所述的用于芯片烧结炉的传输装置，其特征在于，所述导向机构安装板的上部设置多个导向机构安装槽，所述导向机构安装板下部设置多个加热管孔，所述加热管孔的上方设置多个动力轮安装孔。

7.根据权利要求1所述的用于芯片烧结炉的传输装置，其特征在于，所述导向机构包括导向轮安装座、紧固件、导向轮和导向轮安装轴，所述导向轮固定在所述导向轮安装轴上，所述导向轮安装轴设置在所述导向机构安装板的导向机构安装槽内，所述导向轮安装座固定在所述导向机构安装板的上部，所述导向轮安装轴连接所述紧固件。

8.根据权利要求7所述的用于芯片烧结炉的传输装置，其特征在于，还包括升降垫片，所述升降垫片设置在所述紧固件的下方。

9.一种芯片烧结炉，其特征在于，包括：权利要求1至8中任意一项所述的用于芯片烧结炉的传输装置。