CN217894432U

CN217894432U - 真空驱动车

Info

Publication number: CN217894432U
Application number: CN202221478554.9U
Authority: CN
Inventors: 赵嘉峰; 陈飞; 王天邻; 周文灿
Original assignee: Fermi Instruments Shanghai Co ltd
Current assignee: Fermi Instruments Shanghai Co ltd
Priority date: 2022-06-14
Filing date: 2022-06-14
Publication date: 2022-11-25
Anticipated expiration: 2032-06-14

Abstract

本公开提供了一种真空驱动车，包括：底座；至少一个车架，设置在底座上；至少一个磁体容纳盒，磁体容纳盒设置在至少一个车架的顶部；至少一个磁体，设置在至少一个磁体容纳盒内；至少一个磁体升降装置，磁体升降装置设置在磁体容纳盒上，用于调节磁体在磁体容纳盒内的高度。

Description

真空驱动车

技术领域

本公开涉及真空传样技术领域，特别涉及一种真空驱动车。

背景技术

真空运输管道是连接各个真空设备、建立真空系统的重要桥梁，能够连接样品从进样、生长、处理、到表征等各个设备，通过手动控制或者程序化自动控制样品传输装置在真空运输腔道中沿不同路径运行，实现不同设备的互联互通，产生良好的协同效应，为促进材料研究提供了更为丰富的手段。

目前，常见的运输方式是通过在真空内外侧设置一组或多组极性相异的磁体，磁体分别安装在对应的载样装置(例如，载样车)和驱动装置上，外侧磁体运动驱动真空内侧磁体运动，从而带动所需载样装置在腔道内实现线性运动。但是，外侧磁体在能够带动载样装置(例如，载样车)运动的情况下，不能对载样装置(例如，载样车)产生过高的径向拉力，否则会增大载样装置(例如，载样车)轴承的下压力，降低轴承寿命，增加设备成本。且在真空系统除气的过程中，必须经过烘烤步骤，内侧磁体在经过烘烤以及长时间运动后，磁力会衰减，必须通过更换内侧磁体来解决其与外侧磁体耦合变差而造成动力不足的问题，提高了整体设备维修和维护成本。且如果检修不及时，会提高运输过程中的掉样风险，降低整体生产效率。

实用新型内容

本公开提供了一种真空驱动车，其特征在于，包括：底座；至少一个车架，设置在底座上；至少一个磁体容纳盒，磁体容纳盒设置在至少一个车架的顶部；至少一个磁体，设置在至少一个磁体容纳盒内；至少一个磁体升降装置，磁体升降装置设置在磁体容纳盒上，用于调节磁体在磁体容纳盒内的高度。

在一些实施例中，真空驱动车还包括：滑动组件，设置在底座上，用于使底座能够滑动。

在一些实施例中，车架包括：车架主体，设置在底座上；回弹机构，设置车架主体上，用于可回弹地支撑磁体容纳盒。

在一些实施例中，回弹机构包括：至少一个弹簧，一端与车架主体固定连接，另一端与磁体容纳盒固定连接；至少一个套杆，套设在至少一个弹簧上，以可回弹地支撑磁体容纳盒。

在一些实施例中，磁体容纳盒顶部设有多个滑轮。

在一些实施例中，磁体升降装置包括：至少一个垫片，设置在磁体容纳盒内且位于磁体下。

在一些实施例中，磁体升降装置包括：至少一个调节螺杆，穿设在磁体容纳盒的底部，用于可调节地支撑磁体。

在一些实施例中，磁体升降装置还包括：支撑盘，设置在至少一个调节螺杆顶部且位于磁体下方，用于可调节地支撑磁体。

在一些实施例中，车架还包括：调节组件，与回弹机构连接，用于调节磁体容纳盒的高度。

在一些实施例中，真空驱动车还包括：至少一个调节滑轨，设置在底座上；至少一个调节滑块，滑动设置在至少一个调节滑轨上，车架设置在调节滑块上，调节滑块用于调节车架的位置。

根据本公开一些实施例的真空驱动车能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的真空驱动车能够解决常规技术中外侧磁体与内侧磁体的耦合程度不可调节、设备维护不方便、设备使用寿命缩短、成本增加等问题，能够实现调整外侧磁体与内侧磁体的距离调整耦合程度、方便设备检修维护、降低设备成本的技术效果。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出根据本公开一些实施例的真空驱动车的结构示意图；

图2示出根据本公开一些实施例的车架的主视图；

图3示出根据本公开一些实施例的磁体升降装置的爆炸图；以及

图4示出根据本公开一些实施例的磁体升降装置的主视图。

在上述附图中，各附图标记分别表示：

100真空驱动车

10底座

11a、11b调节滑轨

12a、12b调节滑块

20a、20b车架

21a车架主体

22a回弹机构

221a、221b弹簧

222a、222b套杆

223a、223b

23a调节组件

231a安装座

232a、232b滑杆

30a、30b磁体容纳盒

31a、31b、31c滑轮

40a、40b磁体

50a磁体升降装置

51a、51b垫片

60滑动组件

具体实施方式

下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。

在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。在本公开的描述中，远端或远侧是指深入真空环境(例如，真空腔)的一端或一侧，近端或近侧是与远端或远侧相对的一端或一侧(例如，远离真空腔的一端或一侧，或者真空腔内靠近真空腔壁的一端或一侧等等)。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。

图1示出根据本公开一些实施例的真空驱动车100的结构示意图。

如图1所示，真空驱动车100可以包括底座10、至少一个车架(例如，车架20a、车架20b)、至少一个磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a、磁体容纳盒30b)、至少一个磁体(例如，磁体40a、40b)以及至少一个磁体升降装置(例如，磁体升降装置50a)。车架(例如，车架20a、车架20b)设置在底座10上。磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a、磁体容纳盒30b)设置在车架(例如，车架20a、车架20b)的顶部。磁体(例如，磁体40a、40b)设置在磁体容纳盒内(例如，磁体容纳盒30a、磁体容纳盒30b)。磁体升降装置(例如，磁体升降装置50a)设置在磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a、磁体容纳盒30b)上，能够用于调节磁体(例如，磁体40a、40b)在磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a、磁体容纳盒30b)内的高度。

如图1所示，在本公开的一些实施例中，真空驱动车100还可以包括滑动组件60，设置在底座10上，能够用于使底座10能够滑动。滑动组件可以包括滑块，能够滑动连接在与其相配合的滑轨(图中未示出)上，从而带动真空驱动车100运动，以带动真空内的传样装置运动。例如，本公开中的滑轨可以设置在真空系统中由真空传输腔连接的两个真空处理腔之间，且位于真空传输腔下方。

本领域技术人员可以理解，虽然图1以及以下的图2-图4中示出两个车架20a、20b，每个车架上设置一个磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a设置在车架20a上，磁体容纳盒30b设置在车架20b上)，每个磁体容纳盒容纳一个磁体(例如，磁体容纳盒30a容纳磁体40a，磁体容纳盒30b容纳磁体40b)，但是本公开并不受限于此。本公开的其他实施例可以采用其他数量的车架、磁体容纳盒和磁体，并且车架、磁体容纳盒和磁体之间可以采用不同的数量对应关系。例如，每个车架上可设置两个磁体容纳盒。

本公开中以车架20a、磁体容纳盒30a、磁体40a以及磁体升降装置50a为例，对车架、磁体容纳盒、磁体以及磁体升降装置的结构进行说明。

图2示出根据本公开一些实施例的车架20a的主视图。图3示出根据本公开一些实施例的磁体升降装置50a的爆炸图。图4示出根据本公开一些实施例的磁体升降装置50a的主视图。

如图2～4所示，在本公开的一些实施例中，车架20a可以包括车架主体21a和回弹机构22a。车架主体21a设置在底座10上，能够随底座10的运动而运动，例如沿真空系统中样品的运输方向(例如，真空传输腔的延伸方向)运动，从而带动真空内的传样装置运动。

如图2～4所示，在本公开的一些实施例中，回弹机构22a可以设置车架主体21a上，能够用于可回弹地支撑磁体容纳盒30a。回弹机构22a可以包括弹簧(例如，弹簧221a、弹簧221b)、套杆(例如，套杆222a、套杆222b)以及弹簧安装座(例如，弹簧安装座223a、弹簧安装座223b)。

如图2～4所示，在本公开的一些实施例中，弹簧安装座(例如，弹簧安装座223a、弹簧安装座223b)设置在车架主体21a的顶部，弹簧(例如，弹簧221a、弹簧221b)一端固定在弹簧安装座(例如，弹簧安装座223a、弹簧安装座223b)内，另一端与磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a)的底部固定连接，使磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a)在真空驱动车100运行过程中遇到障碍可以被下压避障，顺利通过，避免卡顿，缩短通过时间，以提高真空内的传样装置的样品转移效率。

如图2～4所示，在本公开的一些实施例中，套杆(例如，套杆222a、套杆222b)套设在弹簧(例如，弹簧221a、弹簧221b)上，能够可回弹地支撑磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a)，在磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a)受到外力作用下降时，限制其下降幅度，防止弹簧(例如，弹簧221a、弹簧221b)被过度压弯而导致磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a)偏向两侧。

本领域技术人员可以理解，虽然图2～4仅示出了两个弹簧、两个套杆和两个弹簧安装座，但是弹簧、套杆和弹簧安装座的数量可以小于两个也可以大于两个。

如图2～4所示，在本公开的一些实施例中，磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a)顶部设有多个滑轮(例如，滑轮31a、滑轮31b、滑轮31c、滑轮31d(未示出))，能够用于减小磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a)与上方障碍物之间的摩擦力，使得磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a)能够更顺利地通过障碍物，更进一步地提高真空内传样装置的传样效率。在一些实施例中，真空驱动车100的上方可以设置两条导轨，多个滑轮(例如，滑轮31a、滑轮31b、滑轮31c、滑轮31d)可以与滑轨滑动连接，以增强真空驱动车100的运动稳定性和流畅度。

如图3和图4所示，在本公开的一些实施例中，磁体升降装置50a可以包括垫片(例如，垫片51a、垫片51b)，设置在磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a)内且位于磁体(例如，磁体40a)下。通过调整垫片(例如，垫片51a、垫片51b)的厚度和/或数量，可以调整磁体(例如，磁体40a)与真空内侧传样装置上的磁体的距离，以调整外侧磁体与内侧磁体的距离调整耦合程度、方便设备检修维护、降低设备成本。

本领域领域技术人员可以理解，虽然本公开中示出了通过垫片调整磁体(例如，磁体40a)与真空内侧传样装置上的磁体的距离，但这仅是一个示例性结构。在在本公开的另一些实施例中，磁体升降装置也可以包括其他结构。例如，磁体升降装置也可以包括至少一个调节螺杆，穿设在磁体容纳盒的底部，用于可调节地支撑磁体。磁体升降装置还可以包括：支撑盘，设置在至少一个调节螺杆顶部且位于磁体下方，用于可调节地支撑磁体。

如图1～4所示，在本公开的一些实施例中，车架20a还可以包括调节组件23a。调节组件23a可以包括安装座231a和滑杆(例如，滑杆232a、滑杆232b)。安装座231a与滑杆(例如，滑杆232a、滑杆232b)的一端固定连接。滑杆(例如，滑杆232a、滑杆232b)与车架主体21a的调节孔(图中未示出)可调节地滑动连接，且另一端与弹簧安装座(例如，弹簧安装座223a、弹簧安装座223b)固定连接，用于支撑弹簧安装座(例如，弹簧安装座223a、弹簧安装座223b)并调节磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a)与真空内侧传样装置的距离。

如图1～4所示，在本公开的一些实施例中，滑杆(例如，滑杆232a、滑杆232b)可以包括螺纹，与车架主体21a的调节孔螺纹连接，可以通过螺纹调节弹簧安装座(例如，弹簧安装座223a、弹簧安装座223b)，以调节磁体容纳盒(例如，磁体容纳盒30a)与真空内侧传样装置的距离。

在本公开的另一些实施例中，弹簧安装座也可以包括线性轴承，滑杆穿过线性轴承与弹簧的一端固定在一起，通过滑动滑杆调节磁体容纳盒与真空内侧传样装置的距离。

如图3所示，在本公开的一些实施例中，车架主体(例如，车架主体21a或车架主体21b)可以为C型结构，一侧具有开口。如图1所示，底座10可以为矩形板体(在垂直于直面的平面上)，底座10上设置有调节滑轨(例如，调节滑轨11a、调节滑轨11b)和调节滑块(例如，调节滑块12a、调节滑块12b)。调节滑轨(例如，调节滑轨11a、调节滑轨11b)可以分别设置在底座10的两条短边处，调节滑块(例如，调节滑块12a、调节滑块12b)设置在调节滑轨(例如，调节滑轨11a、调节滑轨11b)上。车架主体(例如，车架主体21a、车架主体21b)设置在调节滑块(例如，调节滑块12a、调节滑块12b)上，能够在调节滑块(例如，调节滑块12a、调节滑块12b)的带动下沿调节滑轨(例如，调节滑轨11a、调节滑轨11b)前后移动，从而调节车架(例如，车架20a、车架20b)的位置。

需要指出的是，以上仅为本公开的示例性实施例而已，并不用以限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。

Claims

1.一种真空驱动车，其特征在于，包括：

底座；

至少一个车架，设置在所述底座上；

至少一个磁体容纳盒，所述磁体容纳盒设置在所述至少一个车架的顶部；

至少一个磁体，设置在所述至少一个磁体容纳盒内；

至少一个磁体升降装置，所述磁体升降装置设置在所述磁体容纳盒上，用于调节所述磁体在所述磁体容纳盒内的高度。

2.根据权利要求1所述的真空驱动车，其特征在于，还包括：

滑动组件，设置在所述底座上，用于使所述底座能够滑动。

3.根据权利要求2所述的真空驱动车，其特征在于，所述车架包括：

车架主体，设置在所述底座上；

回弹机构，设置所述车架主体上，用于可回弹地支撑所述磁体容纳盒。

4.根据权利要求3所述的真空驱动车，其特征在于，所述回弹机构包括：

至少一个弹簧，一端与所述车架主体固定连接，另一端与所述磁体容纳盒固定连接；

至少一个套杆，套设在所述至少一个弹簧上，以可回弹地支撑所述磁体容纳盒。

5.根据权利要求1所述的真空驱动车，其特征在于，所述磁体容纳盒顶部设有多个滑轮。

6.根据权利要求1所述的真空驱动车，其特征在于，所述磁体升降装置包括：

至少一个垫片，设置在所述磁体容纳盒内且位于所述磁体下。

7.根据权利要求1所述的真空驱动车，其特征在于，所述磁体升降装置包括：

至少一个调节螺杆，穿设在所述磁体容纳盒的底部，用于可调节地支撑所述磁体。

8.根据权利要求7所述的真空驱动车，其特征在于，所述磁体升降装置还包括：

支撑盘，设置在所述至少一个调节螺杆顶部且位于所述磁体下方，用于可调节地支撑所述磁体。

9.根据权利要求3所述的真空驱动车，其特征在于，所述车架还包括：

调节组件，与所述回弹机构连接，用于调节所述磁体容纳盒的高度。

10.根据权利要求1所述的真空驱动车，其特征在于，还包括：

至少一个调节滑轨，设置在所述底座上；

至少一个调节滑块，滑动设置在所述至少一个调节滑轨上，

所述车架设置在所述调节滑块上，所述调节滑块用于调节所述车架的位置。