CN221403905U - 一种真空烧结炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空烧结技术领域，一种真空烧结炉，包括第一插板阀、第二插板阀、第三插板阀、第四插板阀、多个位置传感器安装座、多个位置传感器、多个密封板、预热区、焊接区和第一冷却区，解决了腔体的上盖由于工作中产生松动导致密封不好的技术问题，也不容易发现，保证了各腔室的真空环境，保证了产品质量，提高了效率。

Description

一种真空烧结炉

技术领域

本实用新型涉及真空烧结技术领域，尤其涉及一种真空烧结炉。

背景技术

真空插板阀是用于隔离真空管道，阻断气流通过的阀门，是一种重要的真空元件。在半导体芯片封装时需要在真空环境下进行，一般可采用真空回流焊炉形式得以实现。现有技术中的真空回流焊炉设置多个温区，分为预热区、焊接区和冷却区，其中，预热区采用氮气保护，并不是完全低氧环境；焊接区为真空环境。芯片焊接完之后，焊接区和冷却区之间连接的门打开，芯片从焊接区进入到冷却区，同时，焊接区和预热区之间连接的门打开，将预热的芯片送入到焊接区进行焊接，这样，在完成一个焊接过程并进行下一个焊接过程中，焊接区的前后门要同时打开，冷却区和预热区会破坏焊接区的真空环境的保持。腔体的上盖由于工作中产生松动导致密封不好，也不容易发现。

发明内容

本实用新型提供一种真空烧结炉，用以解决现有技术中真空烧结炉由于上盖打开造成程序流程紊乱的问题。

本实用新型提供一种真空烧结炉，包括第一插板阀、第二插板阀、第三插板阀、第四插板阀、多个位置传感器安装座、多个位置传感器、多个密封板、预热区、焊接区和第一冷却区；所述预热区的进口端通过所述密封板设置有第一插板阀，所述预热区的出口端通过所述密封板设置有第二插板阀，所述焊接区的进口端通过所述密封板设置有所述第二插板阀，所述焊接区的出口端通过所述密封板设置有所述第三插板阀，所述第一冷却区的进口端通过所述密封板设置有所述第三插板阀，所述第一冷却区的出口端通过所述密封板设置有所述第四插板阀，所述位置传感器安装座设置在所述密封板上，所述位置传感器设置在所述位置传感器安装座上，所述位置传感器设置在所述预热区、所述焊接区和所述第一冷却区的上盖的下方。

根据本实用新型的真空烧结炉，还包括升降机构，所述预热区、所述焊接区和所述第一冷却区的下方设置有所述升降机构。

根据本实用新型的真空烧结炉，还包括第二冷却区和第五插板阀，所述第二冷却区设置在所述第一冷却区的下一工位区，所述第二冷却区的进口端连接所述第四插板阀，所述第二冷却区的出口端连接所述第五插板阀。

根据本实用新型的真空烧结炉，所述预热区、所述焊接区和所述第一冷却区的内部两侧设置有动力轮和导向轮。

根据本实用新型的真空烧结炉，所述预热区、所述焊接区和所述第一冷却区的外部两侧设置有传输机构，所述传输机构驱动所述动力轮。

根据本实用新型的真空烧结炉，还包括报警装置，所述报警装置连接所述位置传感器。

根据本实用新型的真空烧结炉，传输机构为滚轮、皮带或链条。

根据本实用新型的真空烧结炉，所述预热区为用于在工件预热阶段提供真空环境、惰性气体环境或还原性气体环境；

所述焊接区为用于在工件焊接阶段提供真空环境、惰性气体环境或还原性气体环境；

所述第一冷却区为用于在工件冷却阶段提供真空环境、惰性气体环境或还原性气体环境。

通过设置在预热区、焊接区、第一冷却区、第二冷却区的下方设置位置传感器，当上盖有松动时，报警器发生警报，保证了预热区、焊接区、第一冷却区和第二冷却区的真空环境，保证了产品质量，提高了效率。防止由于上盖打开造成程序流程紊乱。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为真空烧结炉的主视图结构示意图；

图2为预热区的立体图结构示意图；

图3为预热区腔体的立体图结构示意图；

附图标记：1、第一插板阀；2、第二插板阀；3、第三插板阀；4、第四插板阀；5、第四插板阀；6、预热区；7、焊接区；8、第一冷却区；9、第二冷却区；61、位置传感器安装座；62、第一密封板；63、密封腔上盖；64、腔体；65、升降机构；66、动力轮；67、导向轮；68、加热板；69、第二密封板；70、散热水槽。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。

在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

下面结合图1-3描述本实用新型实施例的一种真空烧结炉，包括第一插板阀1、第二插板阀2、第三插板阀3、第四插板阀4、多个位置传感器安装座61、多个位置传感器、多个密封板、预热区6、焊接区7和第一冷却区8；预热区6的进口端通过密封板设置有第一插板阀1，预热区6的出口端通过密封板设置有第二插板阀2，焊接区7的进口端通过密封板设置有第二插板阀2，焊接区6的出口端通过密封板设置有第三插板阀3，第一冷却区8的进口端通过密封板设置有第三插板阀3，第一冷却区8的出口端通过密封板设置有第四插板阀4，位置传感器安装座61设置在密封板上，位置传感器设置在位置传感器安装座61上，位置传感器在预热区6、焊接区7和第一冷却区8的上盖的下方。具体来说室密封腔上盖63的下方，密封板为第一密封板62和第二密封板69。预热区6、焊接区7都是相同的结构，都是加热板68。第一冷却区8和第二冷却区9都是相同的结构，能够进行控温冷却，既能加热又能冷却。与预热区6和焊接区7不同的是加热板68为冷却板。

预热区6为用于在工件预热阶段提供真空环境、惰性气体环境或还原性气体环境；

焊接区7为用于在工件焊接阶段提供真空环境、惰性气体环境或还原性气体环境；

第一冷却区8为用于在工件冷却阶段提供真空环境、惰性气体环境或还原性气体环境。

预热区6、焊接区7和第一冷却区8的内部两侧设置有动力轮66和导向轮68。预热区6、焊接区7和第一冷却区8的腔体64内部设置有加热板68，加热板68的两侧设置有动力轮66。腔体64的两侧设置第一密封板62和第二密封板69，在腔体的外侧设置散热水槽70，用于对腔体64进行散热。防止由于上盖打开造成程序流程紊乱。

预热区6、焊接区7和第一冷却区8的外部两侧设置有传输机构，传输机构驱动动力轮66。传输机构为电机驱动皮带、滚轮或链条。

在第一实施例中，还包括升降机构65，预热区6、焊接区7和第一冷却区8的下方设置有升降机构65。在该实施例中，升降机构65用于对待加工的工件进行升降。

在第二实施例中，还包括第二冷却区9和第五插板阀5，第二冷却区9设置在第一冷却区8的下一工位区，第二冷却区9的进口端连接第四插板阀4，第二冷却区9的出口端连接第五插板阀5。在该实施例中，对待加工的工件进行二次冷却，温度变化不剧烈并且提供长时间的冷却，提高了产品质量。第二冷却区9为用于在工件冷却阶段提供真空环境、惰性气体环境或还原性气体环境。

还包括报警装置，所述报警装置连接位置传感器。当位置传感器检测到上盖松动或不到位时，发出报警，保证了预热区、焊接区、第一冷却区和第二冷却区的真空环境。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.一种真空烧结炉，其特征在于，包括第一插板阀、第二插板阀、第三插板阀、第四插板阀、多个位置传感器安装座、多个位置传感器、多个密封板、预热区、焊接区和第一冷却区；所述预热区的进口端通过所述密封板设置有第一插板阀，所述预热区的出口端通过所述密封板设置有第二插板阀，所述焊接区的进口端通过所述密封板设置有所述第二插板阀，所述焊接区的出口端通过所述密封板设置有所述第三插板阀，所述第一冷却区的进口端通过所述密封板设置有所述第三插板阀，所述第一冷却区的出口端通过所述密封板设置有所述第四插板阀，所述位置传感器安装座设置在所述密封板上，所述位置传感器设置在所述位置传感器安装座上，所述位置传感器设置在所述预热区、所述焊接区和所述第一冷却区的上盖的下方。

2.根据权利要求1所述的真空烧结炉，其特征在于，还包括升降机构，所述预热区、所述焊接区和所述第一冷却区的下方设置有所述升降机构。

3.根据权利要求1所述的真空烧结炉，其特征在于，还包括第二冷却区和第五插板阀，所述第二冷却区设置在所述第一冷却区的下一工位区，所述第二冷却区的进口端连接所述第四插板阀，所述第二冷却区的出口端连接所述第五插板阀。

4.根据权利要求1所述的真空烧结炉，其特征在于，所述预热区、所述焊接区和所述第一冷却区的内部两侧设置有动力轮和导向轮。

5.根据权利要求4所述的真空烧结炉，其特征在于，所述预热区、所述焊接区和所述第一冷却区的外部两侧设置有传输机构，所述传输机构驱动所述动力轮。

6.根据权利要求1所述的真空烧结炉，其特征在于，还包括报警装置，所述报警装置连接所述位置传感器。

7.根据权利要求5所述的真空烧结炉，其特征在于，所述传输机构为滚轮、皮带或链条。

8.根据权利要求1所述的真空烧结炉，其特征在于，

所述预热区为用于在工件预热阶段提供真空环境、惰性气体环境或还原性气体环境；

所述焊接区为用于在工件焊接阶段提供真空环境、惰性气体环境或还原性气体环境；

所述第一冷却区为用于在工件冷却阶段提供真空环境、惰性气体环境或还原性气体环境。