CN220935344U - 一种晶圆成膜用加热盘的加热管结构 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种晶圆成膜用加热盘的加热管结构，属于晶圆加工技术领域，包括发热层，发热层的下侧固定连接有多组支撑杆，发热层的一侧设置有控制器，发热层的内部开设有多组加热槽，且加热槽内皆固定连接有加热管本体，发热层的上侧转动连接有传导层，且传导层的外侧卡接有齿条板，传导层的上侧设置有加热层，且加热层的侧面设置有多组支撑部，用于辅助加热层与发热层的连接支撑；通过设置有转动部，通过电机带动转动轴旋转，使齿轮带动齿条板和传导层转动，进而将加热管本体的热量通过导热块和传导层均匀向上传导，进而使加热层的表面直接均匀发热，不用等待发热板温度均匀才能开始工作，有效提高工作效率。

Description

一种晶圆成膜用加热盘的加热管结构

技术领域

本申请涉及晶圆加工技术领域，尤其涉及一种晶圆成膜用加热盘的加热管结构。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，晶圆制程中如果控制晶圆温度，是晶圆刻蚀、物理沉积过程中重要步骤，半导体晶圆片在生产过程中需要使用半导体生产加工设备中的加热盘对执行匀胶工艺后的晶圆进行软烘，晶圆在执行匀胶工艺后需要将晶圆输送至加热盘上进行加热处理。

现有技术公开号为CN215069890U的文献提供一种晶圆用加热盘，该装置包括加热板、底板、加热丝和热电偶，加热板的底面设有第一容置槽和第二容置槽，第一容置槽呈螺旋状布设，加热丝的加热端嵌入在第一容置槽内，第二容置槽自加热板的中心向外侧延伸，热电偶的测温端嵌入在第二容置槽内，底板贴合在加热板的底部，加热丝和热电偶的冷端从底板的连接套管穿出；

上述中的现有技术方案虽然通过控制加热丝在通电时对放置在加热板上的晶圆加热，具有使用方便，保证晶圆的加工质量的有益效果，但是仍存在以下缺陷：

现有技术通过加热丝对加热板进行加热，加热丝在对加热板进行加热时，势必会先加热接触面，接着才会将热能传导至整面加热板，需要耗费时间等待加热板温度均匀发热才能开始加热生产，影响生产效率，并且现有技术结构紧密，不便于后期拆卸维护。

鉴于此，我们提出一种晶圆成膜用加热盘的加热管结构。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种晶圆成膜用加热盘的加热管结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

本申请提供的一种晶圆成膜用加热盘的加热管结构，采用如下的技术方案：

一种晶圆成膜用加热盘的加热管结构，包括发热层，所述发热层的下侧固定连接有多组支撑杆，所述发热层的一侧设置有控制器，所述发热层的内部开设有多组加热槽，且加热槽内皆固定连接有加热管本体，所述发热层的上侧转动连接有传导层，且传导层的外侧卡接有齿条板，所述传导层的上侧设置有加热层，且加热层的侧面设置有多组支撑部，用于辅助加热层与发热层的连接支撑；

转动组件，所述转动组件包括与发热层固定连接的支撑板，且支撑板的表面固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有转动轴，且转动轴的表面固定连接有齿轮，所述齿轮与齿条板啮合连接，所述齿轮的表面转动连接有两组侧固板，一组所述侧固板与发热层固定连接，另一组所述侧固板与加热层固定连接。

通过采用上述技术方案，在加热时，通过传导层旋转，使热能够均匀到达加热层，不用耗费时间等待加热层温度均匀。

可选的，每组所述加热管本体皆呈弧形环绕设计，且加热管本体内部皆设置有导热块，每组所述导热块的上侧表面皆与传导层的下侧相贴合，每组所述加热管本体的中部皆固定连接有连接线，且连接线的贯穿至发热层下侧。

通过采用上述技术方案，提高加热效率，使热能快速向上传导。

可选的，所述支撑部包括多组与发热层固定连接的托板，且托板的上侧皆固定连接有支撑圆杆，所述加热层的外侧固定连接有多组与托板相配合的卡板，且卡板内皆开设有与支撑圆杆向配合的滑槽，多组所述支撑圆杆上端皆开设有螺槽，且螺槽内皆螺纹连接有螺栓，多组所述螺栓皆通过螺纹与卡板连接。

通过采用上述技术方案，使发热层对加热层进行支撑，避免加热层将重量施加到传导层表面，并且可灵活拆卸加热盘。

可选的，所述传导层的上侧固定连接有定位框，所述加热层的下侧开设有与定位框相配合的转动槽一，所述传导层的下侧固定连接有另一定位框，所述发热层的上侧开设有与另一定位框相配合的转动槽二。

通过采用上述技术方案，对发热层、传导层和齿条板进行定位，在不影响传导层转动的情况下保证传导层、齿条板和加热层的位置对齐。

可选的，所述齿条板的内部固定连接有多组卡块，所述传导层的外侧开设有多组与卡块相配合的卡槽。

通过采用上述技术方案，卡块与卡槽卡合，使齿条板可以带动传导层转动。

可选的，所述发热层的下侧固定连接有两组保护管，且保护管皆与连接线固定连接。

通过采用上述技术方案，对连接线进行保护和固定，避免连接线线路散乱。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.通过设置有转动部，通过电机带动转动轴旋转，使齿轮带动齿条板和传导层转动，进而将加热管本体的热量通过导热块和传导层均匀向上传导，进而使加热层的表面直接均匀发热，不用等待发热板温度均匀才能开始工作，有效提高工作效率；

2.通过设置有托板，在支撑圆杆、螺栓和卡板的配合下，使发热层、传导层、齿条板可以快速拆解，操作简单，便于后期的维护。

附图说明

图1为本申请的立体结构示意图；

图2为本申请的立体结构爆炸示意图；

图3为本申请发热层的立体结构剖面示意图；

图4为图2中A处结构放大示意图；

图5为本申请传导层和定位框的立体结构示意图；

图中标号说明：1、发热层；2、传导层；3、齿条板；4、加热层；5、电机；6、转动轴；7、齿轮；8、卡块；9、连接线；10、加热管本体；11、导热块；12、托板；13、支撑圆杆；14、卡板；15、定位框。

具体实施方式

以下结合说明书附图对本申请作进一步详细说明。

参照图1和图2，本申请提供的一种晶圆成膜用加热盘的加热管结构，包括发热层1，发热层1的下侧固定连接有多组支撑杆，发热层1的一侧设置有控制器，发热层1的内部开设有多组加热槽，且加热槽内皆固定连接有加热管本体10，每组加热管本体10皆呈弧形环绕设计，且加热管本体10内部皆设置有导热块11，每组导热块11的上侧表面皆与传导层2的下侧相贴合，使加热管本体10散发的热能通过导热块11向传导层2传导，每组加热管本体10的中部皆固定连接有连接线9，且连接线9的贯穿至发热层1下侧，连接线9与控制器电性连接，发热层1的下侧固定连接有两组保护管，且保护管皆与连接线9固定连接，通过连接线9可以使加热管本体10快速启动，发热层1的上侧通过轴承转动连接有传导层2，且传导层2的外侧卡接有齿条板3，传导层2的上侧设置有加热层4，且加热层4的侧面设置有多组支撑部。

参照图1、图2和图4，本申请提供的转动组件，转动组件包括与发热层1固定连接的支撑板，且支撑板的表面固定连接有电机5，电机5与控制器电性连接，电机5的输出端轴固定连接有转动轴6，且转动轴6的表面固定连接有齿轮7，齿轮7与齿条板3啮合连接，齿条板3的内部固定连接有多组卡块8，传导层2的外侧开设有多组与卡块8相配合的卡槽，卡块8与卡槽卡合，使齿条板3带动传导层2转动，齿轮7的表面转动连接有两组侧固板，一组侧固板与发热层1固定连接，另一组侧固板与加热层4固定连接，使转动轴6和齿轮7转动的更稳定。

参照图1、图2和图5，本申请提供的支撑部，支撑部包括多组与发热层1固定连接的托板12，且托板12的上侧皆固定连接有支撑圆杆13，加热层4的外侧固定连接有多组与托板12相配合的卡板14，且卡板14内皆开设有与支撑圆杆13向配合的滑槽，多组支撑圆杆13上端皆开设有螺槽，且螺槽内皆通过螺纹旋转连接有螺栓，多组所述螺栓皆通过螺纹旋转与卡板14连接，传导层2的上侧固定连接有定位框15，加热层4的下侧开设有与定位框15相配合的转动槽一，传导层2的下侧固定连接有另一定位框15，发热层1的上侧开设有与另一定位框15相配合的转动槽二，具有定位的作用，使传导层2在转动时与发热层1和加热层4对齐，不会脱离。

本申请实施例一种晶圆成膜用加热盘的加热管结构的实施原理为：

首先，操作控制器，对连接线9进行通电，使加热管本体10开始加热，并将热能通过导热块11向传导层2传导，接着控制电机5带动转动轴6旋转，与转动轴6固定连接的齿轮7带动啮合的齿条板3转动，进而使齿条板3带动卡合的传导层2转动，使热能能够在传导层2转动的同时均匀向加热层4传导，使加热层4可以对晶圆作加热处理。

Claims (6)

1.一种晶圆成膜用加热盘的加热管结构，其特征在于，包括：

发热层(1)，所述发热层(1)的下侧固定连接有多组支撑杆，所述发热层(1)的一侧设置有控制器，所述发热层(1)的内部开设有多组加热槽，且加热槽内皆固定连接有加热管本体(10)，所述发热层(1)的上侧转动连接有传导层(2)，且传导层(2)的外侧卡接有齿条板(3)，所述传导层(2)的上侧设置有加热层(4)，且加热层(4)的侧面设置有多组支撑部，用于辅助加热层(4)与发热层(1)的连接支撑；

转动组件，所述转动组件包括与发热层(1)固定连接的支撑板，且支撑板的表面固定连接有电机(5)，所述电机(5)的输出端固定连接有转动轴(6)，且转动轴(6)的表面固定连接有齿轮(7)，所述齿轮(7)与齿条板(3)啮合连接，所述齿轮(7)的表面转动连接有两组侧固板，一组所述侧固板与发热层(1)固定连接，另一组所述侧固板与加热层(4)固定连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆成膜用加热盘的加热管结构，其特征在于：每组所述加热管本体(10)皆呈弧形环绕设计，且加热管本体(10)内部皆设置有导热块(11)，每组所述导热块(11)的上侧表面皆与传导层(2)的下侧相贴合，每组所述加热管本体(10)的中部皆固定连接有连接线(9)，且连接线(9)的贯穿至发热层(1)下侧。

3.根据权利要求1所述的晶圆成膜用加热盘的加热管结构，其特征在于：所述支撑部包括多组与发热层(1)固定连接的托板(12)，且托板(12)的上侧皆固定连接有支撑圆杆(13)，所述加热层(4)的外侧固定连接有多组与托板(12)相配合的卡板(14)，且卡板(14)内皆开设有与支撑圆杆(13)向配合的滑槽，多组所述支撑圆杆(13)上端皆开设有螺槽，且螺槽内皆螺纹连接有螺栓，多组所述螺栓皆通过螺纹与卡板(14)连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆成膜用加热盘的加热管结构，其特征在于：所述传导层(2)的上侧固定连接有定位框(15)，所述加热层(4)的下侧开设有与定位框(15)相配合的转动槽一，所述传导层(2)的下侧固定连接有另一定位框(15)，所述发热层(1)的上侧开设有与另一定位框(15)相配合的转动槽二。

5.根据权利要求1所述的晶圆成膜用加热盘的加热管结构，其特征在于：所述齿条板(3)的内部固定连接有多组卡块(8)，所述传导层(2)的外侧开设有多组与卡块(8)相配合的卡槽。

6.根据权利要求1所述的晶圆成膜用加热盘的加热管结构，其特征在于：所述发热层(1)的下侧固定连接有两组保护管，且保护管皆与连接线(9)固定连接。