CN220893328U - 一种石英掩磨板的检测工装 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种石英掩磨板的检测工装，属光掩磨板检测用具技术领域。限位架的内部一端固定设置有支撑台，支撑台一侧的限位架内活动设置有支撑架，支撑架上对称设置有用于装夹掩磨板的承载架，承载架下方的支撑架两侧固装有限位滚轮，支撑架通过限位滚轮与限位架滑动连接。该检测工装通过前升降杆和后升降杆可对支撑架进行位置调整，通过装夹丝杆端头的挤压头和挤压头上的压力传感器可对装夹力实时掌控和调整，解决了现有检测工装由于装夹力度无法掌控，造成光掩膜板产品的微变形，直接影响产品平面度的检测结果的问题，保证了检测结果的准确性，特别适用于石英掩磨板检测使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种石英掩磨板的检测工装，属光掩磨板检测用具技术领域。
背景技术
合成石英玻璃由于其极为优异的光学性能和抗热冲击性、极低的热膨胀系数和电导率，广泛应用于半导体、精密光学等领域。石英掩膜板是由合成石英锭加工制作的空白光掩模基板，属石英玻璃行业中的高端品种，主要用在半导体光刻技术、精密光学等电子信息领域。目前，石英掩膜板的平面加工主要是通过金刚石砂轮研磨完成，通过磨削厚度达到平面度≤100um，由于其具有较高的平面度要求，因此，石英掩膜板产品在出厂时必须逐一进行检测，以保证石英掩膜板的质量要求。但是，现有的检测工装由于结构原因；石英掩膜板在检测装夹的过程中，装夹力度无法掌控，极易造成光掩膜板产品的微变形，直接影响石英掩膜板产品平面度的检测结果，由此，有必要对其改进。
发明内容
本实用新型的目的在于：提供一种结构简单、实用性好，且装夹力度可控，以解决现有的检测工装由于装夹力度无法掌控，造成光掩膜板产品的微变形，直接影响产品平面度的检测结果问题的石英掩磨板的检测工装。
本实用新型是通过以下技术方案来实现以上目的的：
一种石英掩磨板的检测工装，它由限位架、支撑台、支撑架和承载架构成，其特征在于：限位架的内部一端固定设置有支撑台，支撑台一侧的限位架内活动设置有支撑架，支撑架上对称设置有用于装夹掩磨板的承载架，承载架下方的支撑架两侧固装有限位滚轮，支撑架通过限位滚轮与限位架滑动连接。
所述的限位架由对称设置的导向滑轨构成，导向滑轨截面呈L型，导向滑轨的一端固装有限位挡块。
所述的支撑台由限位板、前支撑垫板、后支撑垫板、前升降杆和后升降杆构成，对称设置的限位板前端端头通过安装块安装有前支撑垫板；紧邻前支撑垫板的限位板外侧通过安装基板装有前升降杆；限位板的后端端头通过安装块装有后支撑垫板，后支撑垫板的一侧对称安装有限位挡板，后支撑垫板和限位挡板之间通过安装基板装有后升降杆。
所述的前支撑垫和后支撑垫板的的两端分别设置有垫片。
所述的前升降杆和后升降杆分别有气缸、装配筒和钢球构成，装配筒固定安装在安装基板上，装配筒的端口内通过半球形的装配座活动安装有钢球，装配座下方的装配筒内装有气缸，气缸与装配座固定连接。
所述的承载架为框架体，承载架的一侧安装板，对应安装板的承载架的另一侧对称安装有V型限位挡块，安装板上通过装配块贯穿状活动安装有装夹丝杆，装夹丝杆的一端固装有手轮，装夹丝杆的另一端活动安装有挤压头。
所述的挤压头上设置有压力传感器，传感器通过导向与显示器连接。
所述的承载架底部对称安装有L型的阻挡板，阻挡板外侧和阻挡板之间的承载架底部装有滚柱。
本实用新型的由于效果在于：
该检测工装结构简单、实用性好，工作过程中，通过前升降杆和后升降杆可对支撑架进行位置调整，以使其处于最佳检测位置，通过装夹丝杆端头的挤压头和挤压头上的压力传感器可对装夹力实时掌控和调整，由此解决了现有检测工装由于装夹力度无法掌控，造成光掩膜板产品的微变形，直接影响产品平面度的检测结果的问题，该检测工装通过前升降杆和后升降杆可对支撑架进行位置调整，以使其处于最佳检测位置，进一步保证了检测结果的准确性，特别适用于石英掩磨板检测使用。
附图说明
图1为本实用新型的俯视结构示意图；
图2为本实用新型承载架的结构示意图；
图3为本实用新型升降杆的剖视结构示意图。
图中，1、限位架，2、支撑架，3、承载架，4、限位挡块，5、限位板，6、前支撑垫板，7、支撑板B，8、前升降杆，9、后升降杆，10、安装基板，11、安装块，12、限位挡板，13、垫片，14、气缸，15、装配筒，16、钢球，17、装配座，18限位滚轮，19、安装板，20、V型限位挡块，21、阻挡板，22、滚柱，23、手轮，24、挤压头。
具体实施方式
该石英掩磨板的检测工装由限位架1、支撑台、支撑架2和承载架3构成，限位架1由对称设置的导向滑轨构成，导向滑轨截面呈L型，导向滑轨的一端固装有限位挡块4。限位架1的内部（之间）一端固定设置有支撑台。支撑台由限位板5、前支撑垫板6、后支撑垫板7、前升降杆8和后升降杆9构成，对称设置的限位板5前端端头通过安装块安装有前支撑垫板6；紧邻前支撑垫板6的限位板5外侧通过安装基板10对称安装有前升降杆8；限位板5的后端端头通过安装块11装有后支撑垫板7，前支撑垫板6和后支撑垫板7的上表面两端分别设置有垫片13。对应垫片13的安装块11内嵌装有升降气缸，升降气缸通过活塞杆与对应的前支撑垫板6或后支撑垫板7连接。后支撑垫板7的一侧对称安装有限位挡板12，以在工作中对支撑架2进行限位，从而使其准确处于最佳检测位置。后支撑垫板7和限位挡板12之间通过安装基板装有后升降杆9。对称设置的前升降杆8与后升降杆9之间呈三角形设置，以增加工作的稳定性。前升降杆8和后升降杆9分别由气缸14、装配筒15和钢球16构成，装配筒15固定安装在安装基板10上，装配筒15的端口内通过半球形的装配座17活动安装有钢球16，装配座17下方的装配筒15内装有气缸14，气缸14通过活塞杆与装配座17固定连接。
支撑台一侧的限位架1内活动设置有支撑架2，支撑架2为水平设置的框架体，支撑架2的底部两侧设置有行走轮（图中未示），用于工作过程中支撑架2的整体移动；支撑架2的上表面两侧对称设置有用于装夹掩磨板的承载架3，承载架3下方的支撑架2边框上固装有限位滚轮18，支撑架2通过限位滚轮18与限位架1滑动连接。
承载架3为竖直设置的框架体，承载架3的边框一侧设置有安装板19，对应安装板19的承载架3的另一侧边框对称安装有V型限位挡块20，安装板上通过装配块贯穿状活动安装有装夹丝杆（丝杆机构），装夹丝杆的一端固装有手轮23，装夹丝杆的另一端活动安装有挤压头24。
所述的挤压头24上设置有压力传感器，传感器通过导线与显示器连接。
所述的承载架3底部对称安装有截面呈L型的阻挡板21，阻挡板21外侧和阻挡板21之间的承载架3底部装有滚柱22，用于石英掩磨板装夹过程中的移动。
该检测工装工作时，将石英掩磨板呈竖直放置于承载架3底部的阻挡板21内,此时，滚柱22同对石英掩磨板形成支撑；通过手轮23带动装夹丝杆使其前行，从而带动挤压头24推动石英掩磨板的一侧使其向V型限位挡块20处移动；由此使石英掩磨板的另一侧与V型限位挡块20紧密接触，实现石英掩磨板的固定，从而完成石英掩磨板的装夹。
这一过程中，挤压头24推动石英掩磨板产生的挤压力由传感器通过导线在显示器上显示，并可依据监测要求进行调整；由此解决了现有检测工装由于装夹力度无法掌控，造成光掩膜板产品的微变形，直接影响产品平面度的检测结果的问题。石英掩磨板的装夹完成后，整体推动支撑架2前行至支撑台处，此时，启动前支撑垫板6和后支撑垫板7对应的升降气缸，使支撑垫板6和后支撑垫板7起升，从而使支撑架2底部两侧的行走轮抬离地面，即可对石英掩磨板的平面度进行检测。如果支撑架2的检测位置出现误差，可通过前升降杆8和后升降杆9进行调整，具体为：收缩回前支撑垫板6和后支撑垫板7对应的升降气缸，使支撑垫板6和后支撑垫板7恢复初始状态，启动前升降杆8和后升降杆9顶升支撑架2使支撑架2底部两侧的行走轮抬离地面。由于前升降杆8和后升降杆9的顶部活动安装有钢球16，钢球16可万向转动，当顶升支撑架2完成后，可推动支撑架2实现X或Z轴方向的移动，实现支撑架2的位置调整。位置调整完成后，回缩前升降杆8和后升降杆9，再次启动前支撑垫板6和后支撑垫板7对应的升降气缸，使支撑垫板6和后支撑垫板7起升，从而使支撑架2底部两侧的行走轮再次抬离地面，恢复至检测状态。检测工装结构简单、实用性好，通过前升降杆8和后升降杆9可对支撑架2进行位置调整，以使其处于最佳检测位置，通过装夹丝杆端头的挤压头24和压力传感器可对装夹力实时掌控和调整，由此解决了现有检测工装由于装夹力度无法掌控的问题，保证了检测结果的准确性。
Claims (8)
1.一种石英掩磨板的检测工装，它由限位架（1）、支撑台、支撑架（2）和承载架（3）构成，其特征在于：限位架（1）的内部一端固定设置有支撑台，支撑台一侧的限位架（1）内活动设置有支撑架（2），支撑架（2）上对称设置有用于装夹掩磨板的承载架（3），承载架（3）下方的支撑架（2）两侧固装有限位滚轮（18），支撑架（2）通过限位滚轮（18）与限位架（1）滑动连接。
2.根据权利要求1所述的一种石英掩磨板的检测工装，其特征在于：所述的限位架（1）由对称设置的导向滑轨构成，导向滑轨截面呈L型，导向滑轨的一端固装有限位挡块（4）。
3.根据权利要求1所述的一种石英掩磨板的检测工装，其特征在于：所述的支撑台由限位板（5）、前支撑垫板（6）、后支撑垫板（7）、前升降杆（8）和后升降杆（9）构成，对称设置的限位板（5）前端端头通过安装块（11）安装有前支撑垫板（6）；紧邻前支撑垫板（6）的限位板（5）外侧通过安装基板（10）装有前升降杆（8）；限位板（5）的后端端头通过安装块（11）装有后支撑垫板（7），后支撑垫板（7）的一侧对称安装有限位挡板（12），后支撑垫板（7）和限位挡板（12）之间通过安装基板（10）装有后升降杆（9）。
4.根据权利要求3所述的一种石英掩磨板的检测工装，其特征在于：所述的前支撑垫板（6）和后支撑垫板（7）的两端分别设置有垫片（13）。
5.根据权利要求3所述的一种石英掩磨板的检测工装，其特征在于：所述的前升降杆（8）和后升降杆（9）分别有气缸（14）、装配筒（15）和钢球（16）构成，装配筒（15）固定安装在安装基板（10）上，装配筒（15）的端口内通过半球形的装配座（17）活动安装有钢球（16），装配座（17）下方的装配筒（15）内装有气缸（14），气缸（14）与装配座（17）固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种石英掩磨板的检测工装，其特征在于：所述的承载架（3）为框架体，承载架（3）的一侧设置有安装板（19），对应安装板（19）的承载架（3）的另一侧对称安装有V型限位挡块（20），安装板（19）上通过装配块贯穿状活动安装有装夹丝杆，装夹丝杆的一端固装有手轮（23），装夹丝杆的另一端活动安装有挤压头（24）。
7.根据权利要求6所述的一种石英掩磨板的检测工装，其特征在于：所述的挤压头（24）上设置有压力传感器，传感器通过导向与显示器连接。
8.根据权利要求6所述的一种石英掩磨板的检测工装，其特征在于：所述的承载架（3）底部对称安装有L型的阻挡板（21），阻挡板（21）外侧和阻挡板（21）之间的承载架（3）底部装有滚柱（22）。
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