CN220866520U - 舟结构运输装置及舟结构上下料系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种舟结构运输装置及舟结构上下料系统，舟结构运输装置用于实现舟结构在炉管与暂存装置之间的流转，暂存装置具有用于支撑舟结构的支撑部。舟结构运输装置包括支撑机构、推舟机构和升降机构，支撑机构用于支撑舟结构，推舟机构与支撑机构相连，且用于驱动支撑机构进入或者离开炉管以及驱动支撑机构靠近或者远离暂存装置，升降机构安装于机架升降结构与推舟机构配合，且用于驱动推舟机构升降。该舟结构运输装置整合了推舟机构及升降机构，能够实现舟结构在炉管与暂存装置之间的中转。

Description

舟结构运输装置及舟结构上下料系统

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种舟结构运输装置及舟结构上下料系统。

背景技术

在半导体和太阳能电池的制造设备中，扩散设备、氧化设备、镀膜设备等都需要用分开设置的推舟模组和搬舟机械手，通过推舟模组将石英舟或者石墨舟推进炉管内进行工艺制程，通过搬舟机械手将石英舟或者石墨舟搬到暂存装置上冷却，这种推舟模组和搬舟机械手分离的结构复杂，控制逻辑相对复杂，且整个系统的成本也较高。

实用新型内容

本实用新型的第一个目的在于提出一种舟结构运输装置，该舟结构运输装置整合了推舟机构及升降机构，能够实现舟结构在炉管与暂存装置之间的中转，且推舟机构能够支撑重量较大的舟结构，有利于提升产能。

本实用新型的第二个目的在于提出一种舟结构上下料系统，该舟结构上下料系统的结构较为简单，制造成本较低，且能够实现重量较大的舟结构的上下料，有利于提升产能。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开了一种舟结构运输装置，所述舟结构运输装置用于实现舟结构在炉管与暂存装置之间的流转，所述暂存装置具有用于支撑所述舟结构的支撑部；所述舟结构运输装置包括：支撑机构，所述支撑机构用于支撑所述舟结构；推舟机构，所述推舟机构与所述支撑机构相连，推舟机构用于驱动所述支撑机构进入或者离开所述炉管，以及驱动所述支撑机构靠近或者远离所述暂存装置；升降机构，所述升降机构安装于所述机架，所述升降机构与所述推舟机构配合，且用于驱动所述推舟机构升降。

本实用新型的舟结构运输装置的有益效果：在实际工作过程中，暂存装置的支撑部上支撑有舟结构，工艺开始时，升降机构驱动推舟机构运动到支架的底部，推舟机构驱动支撑机构运动到与支撑部对应的位置，然后升降机构驱动推舟机构上升，使得支撑机构止抵于舟结构的底壁，接着升降机构驱动推舟机构上升，使得舟结构脱离支撑部，最后推舟机构将舟结构送入炉管。工艺结束后，升降机构驱动推舟机构下降且推舟机构驱动支撑机构伸入炉管，以使得支撑机构运动到舟结构下方，升降机构驱动推舟机构上升，支撑机构止抵于舟结构时，推舟机构即可将舟结构带出炉管并且将其驱动至与支撑部对应的位置，升降机构驱动推舟机构下降，当舟结构止抵到支撑部上时，推舟机构驱动支撑机构脱离舟结构的底壁即可。由此，本实用新型的舟结构运输装置整合了推舟机构及升降机构，能够实现舟结构在炉管与暂存装置之间的流转，简化了机构，简化了控制逻辑，降低了制造成本。并且采用的支撑机构来支撑舟结构，支撑机构的承载能力较大，使得本实施例的舟结构运输装置能够支撑重量较大的舟结构，有利于提升产能。

在一些实施例中，所述推舟机构包括：搬舟模组，所述搬舟模组与所述支撑机构相连，且用于驱动所述支撑机构运动到对应所述炉管的第一位置和对应所述支撑部的第二位置；推舟模组，所述推舟模组用于驱动所述搬舟模组运动以使得所述支撑机构进入或者离开所述炉管，且所述推舟模组与所述升降机构配合。将推舟机构拆分成搬舟模组和推舟模组，每个模组仅实现一个方向的运动，有利于简化推舟机构的结构以及控制逻辑，从而有利于降低舟结构运输装置的制造成本。

在一些具体的实施例中，所述搬舟模组包括：安装座，所述安装座与所述推舟模组配合，且能够在推舟模组的驱动下沿进出所述炉管的方向运动；搬舟驱动件，所述搬舟驱动件设在所述安装座上；支撑座，所述支撑座与所述支撑机构相连，所述支撑座与所述搬舟驱动件配合以在所述搬舟驱动件的驱动下，带动所述支撑机构运动到第一位置或者第二位置。由此，保证舟结构能够稳定的进出炉管的功能，且确保舟结构稳定地放入暂存装置或者从暂存装置中被稳定地拿出。

在一些更具体的实施例中，所述舟结构运输装置还包括固定连接件，所述支撑座包括座本体和连接在所述座本体两端的转动座，所述座本体与搬舟驱动件相连，所述转动座可转动连接于所述座本体，且所述转动座通过固定连接件与所述支撑机构相连。

在一些具体的实施例，所述推舟模组包括：推舟框架，所述推舟框架与所述升降机构配合；推舟驱动件，所述推舟驱动件安装于所述推舟框架上；推舟驱动件与所述搬舟模组传动配合，以驱动所述搬舟模组靠近或者远离所述炉管。

在一些实施例中，所述升降机构包括：升降框架；升降驱动件，所述升降驱动件安装于所述升降框架；传动组件，所述传动组件的动力输入端与所述升降驱动件配合，所述传动组件的动力输出端与所述推舟机构相连。

在一些具体的实施例中，所述升降机构还包括导向组件，所述导向组件包括导向柱和导向套，所述导向套与所述推舟机构相连，所述导向柱的两端连接于所述升降框架。

在一些具体的实施例中，所述升降框架及所述传动组件均为多个，多个所述传动组件中的一个为主传动组件，其余所述传动组件为副传动组件；所述升降机构还包括多个减速器和传动杆；其中：所述升降件驱动通过所述减速器与所述主传动组件及所述传动杆传动配合，所述副传动组件通过所述减速器与所述传动杆相连，所述升降驱动件的动力通过所述减速器以及所述传动杆传递至多个所述副传动组件。

在一些更具体的实施例中，所述升降机构还包括防侧倾组件，所述防侧倾组件包括：连接座，所述连接座连接于所述推舟机构；连接转轴，所述连接转轴连接于所述连接座；连接导向座，所述连接导向座套设于所述连接转轴；连接导向杆，所述连接导向杆的两端固定在所述支撑框架上，且穿设于所述连接导向座，所述连接导向杆与所述连接转轴垂直设置。连接座和连接转轴能够起到较好的防侧倾作用，避免推舟机构在运动过程中发生歪斜导致传动组件卡死的现象发生。

在一些实施例中，所述支撑部包括多个间隔设置的支撑柱，所述支撑机构为支撑板，且设有用于容纳所述支撑柱的避让槽。

本实用新型还公开了一种舟结构上下料系统，包括支撑框架、暂存装置及前文所述的舟结构运输装置，所述暂存装置为多个，且沿竖直方向间隔设在所述支撑框架上，所述舟结构运输装置安装于所述支撑框架内。

本实用新型的舟结构上下料系统的有益效果：由于具有前文所述的舟结构运输装置，该舟结构上下料系统的结构较为简单，制造成本较低，且能够实现重量较大的舟结构的上下料，有利于提升产能。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是本实用新型实施例的舟结构上下料系统的结构示意图；

图2是图1所示结构的爆炸图；

图3是本实用新型实施例的舟结构运输装置的局部结构示意图；

图4是本实用新型实施例的舟结构运输装置的另一个局部结构示意图；

图5是本实用新型实施例的舟结构运输装置的支撑座的结构示意图；

图6是本实用新型实施例的支撑机构的结构示意图。

附图标记：

10、支撑机构；11、避让槽；12、减重槽；

20、推舟机构；21、搬舟模组；211、安装座；212、支撑座；2121、座本体；2122、转动座；213、搬舟驱动件；22、推舟模组；221、推舟框架；222、推舟驱动件；30、升降机构；31、升降框架；32、升降驱动件；33、传动组件；331、丝杠；332、螺母；34、导向组件；341、导向柱；342、导向套；35、减速器；36、传动杆；37、防侧倾组件；371、连接座；372、连接转轴；373、连接导向座；374、连接导向杆；

40、固定连接件；

100、暂存装置；110、支撑部；

200、炉管；300、舟结构；400、支撑框架；

101、第一位置；102、第二位置。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图1-图6描述本实用新型实施例舟结构运输装置的具体结构。

本实用新型公开了一种舟结构运输装置，如图1-图2所示，舟结构运输装置安装与机架内，且用于实现舟结构300在炉管200与暂存装置100之间的流转，暂存装置100具有用于支撑舟结构300的支撑部110。舟结构运输装置包括支撑机构10、推舟机构20和升降机构30，支撑机构10用于支撑舟结构300，推舟机构20与支撑机构10相连，且用于驱动支撑机构10进入或者离开炉管200，以及驱动支撑机构10靠近或者远离暂存装置100。升降机构30安装于机架，升降机构30与推舟机构20配合，且用于驱动推舟机构20升降。

首先需要说明的是，如图1所示，在实际设备中，炉管200通常为多个且沿竖直方向间隔设置，前文中的机架可以是独立设置在炉管200的炉门端的支撑框架400，多个暂存装置100沿竖直方向间隔设在支撑框架400上，且支撑机构10、推舟机构20以及升降机构30均设在支撑框架400上。机架还可以是暂存装置100和炉管200共同的框架结构，支撑机构10、推舟机构20、升降机构30以及多个炉管200均设在共同框架结构上。

可以理解的是，在实际工作过程中，暂存装置100的支撑部110上支撑有舟结构300。工艺开始时，升降机构30驱动推舟机构20运动到支撑框架400的底部，推舟机构20驱动支撑机构10运动到与支撑部110对应的位置，然后升降机构30驱动推舟机构20上升，使得支撑机构10止抵于舟结构300的底壁，接着升降机构30驱动推舟机构20上升，使得舟结构300脱离支撑部110，推舟机构20驱动支撑机构10回退到炉管200正前方，最后推舟机构20将舟结构300送入炉管200。工艺结束后，升降机构30驱动推舟机构20下降且推舟机构20驱动支撑机构10伸入炉管200，以使得支撑机构10运动到舟结构300下方，升降机构30驱动推舟机构20上升，支撑机构10止抵于舟结构300底部抬起舟结构300时，推舟机构20即可将舟结构300带出炉管200并且将其驱动至与支撑部110对应的位置，升降机构30驱动推舟机构20下降，当舟结构300的底壁止抵到支撑部110上时，推舟机构20驱动支撑机构10脱离舟结构300的底壁即可。由此，本实施例的舟结构运输装置整合了推舟机构20及升降机构30，能够实现舟结构300在炉管200与暂存装置100之间的流转，简化机构及运动控制逻辑，降低了制造成本。并且由于本实施例中采用的支撑机构10来支撑舟结构300，支撑机构10的承载能力较大，使得本实施例的舟结构运输装置能够支撑重量较大的舟结构300，有利于提升产能。

在一些实施例中，如图2所示，推舟机构20包括搬舟模组21和推舟模组22，搬舟模组21与支撑机构10相连，且用于驱动支撑机构10运动到对应炉管200的第一位置101和对应支撑部110的第二位置102，推舟模组22用于驱动搬舟模组21运动以使得支撑机构10进入或者离开炉管200，且推舟模组22与升降机构30配合。

可以理解的是，在舟结构300离开暂存装置100进入炉管200的过程中，升降机构30驱动推舟模组22运动到支撑框架400的底部，搬舟模组21将支撑机构10从第一位置101驱动至第二位置102，然后升降机构30驱动推舟机构20上升，使得舟结构300脱离支撑部110，然后推舟机构20驱动支撑机构10回退到炉管200正前方，即搬舟模组21将支撑机构10从第二位置102驱动至第一位置101，推舟模组22即可推动搬舟模组21使得在搬舟模组21上的舟结构300进入炉管200。

在舟结构300离开炉管200转移到暂存装置100的过程中，升降机构30驱动推舟模组22下降且推舟模组22驱动支撑机构10伸入炉管200，以使得支撑机构10运动到舟结构300下方，升降机构30驱动推舟模组22上升，支撑机构10止抵于舟结构300抬起舟结构300时，推舟模组22即可将舟结构300带出炉管200并将舟结构300运输到第一位置101，搬舟模组21驱动支撑机构10从第一位置101到第二位置102，升降机构30驱动搬舟模组21下降，当舟结构300的底壁止抵到支撑部110上时，搬舟模组21驱动支撑机构10脱离舟结构300的底壁回到第一位置101即可。综上所示，将推舟机构20拆分成搬舟模组21和推舟模组22，每个模组仅实现一个方向的运动，有利于简化推舟机构20的结构以及控制逻辑，从而有利于降低舟结构运输装置的制造成本。

在一些实施例中，如图2-图3所示，搬舟模组21包括安装座211、搬舟驱动件213和支撑座212，安装座211与推舟模组22配合，且能够在推舟模组22的驱动下沿进出炉管200的方向运动。搬舟驱动件213设在安装座211上，支撑座212与支撑机构10相连。安装座211设有滑轨，支撑座212与搬舟驱动件213配合以在搬舟驱动件213的驱动下，带动支撑机构10沿滑轨在第一位置101和第二位置102之间运动。

首先需要说明的是，搬舟驱动件213可以根据实际需要选择气缸、电动推杆、电机带动丝杠螺母等直线驱动结构，附图中仅仅对搬舟驱动件213做出的示意，并不是对搬舟驱动件213的具体结构以及形状做出的限定。

可以理解的是，安装座211为搬舟驱动件213和支撑座212提供了安装位置，保证了推舟模组22能够稳定地驱动搬舟模组21和支撑机构10靠近或者而远离炉管200，从而实现舟结构300进出炉管200的功能。支撑座212确保了搬舟驱动件213能够稳定地驱动支撑机构10在第一位置101和第二位置102之间的往复运动，确保了舟结构300放入暂存装置100或者从暂存装置100中被拿出。

在一些具体的实施例中，如图5所示，支撑座212包括座本体2121和连接在座本体2121两端的转动座2122，座本体2121与搬舟驱动件213相连，转动座2122可转动连接于座本体2121，且转动座2122通过固定连接件40与支撑机构10相连。可以理解的是，在实际工作过程中，可以通过调整转动座2122相对座本体2121的角度，实现对支撑机构10的水平度的调节，确保了当舟结构300放在支撑机构10时处于水平的状态，确保了舟结构300的放置稳定性，避免了运输过程中舟结构300出现歪斜甚至掉落的现象。

可选的，座本体2121上还设有锁定件，锁定件能够将转动座2122锁定在座本体2121上。在实际工作过程中，当水平度调节完成时，只需要使用锁定件将转动座2122锁定在座本体2121上，就能够避免在运输舟结构300的过程中出现转动座2122转动导致支撑机构10不稳定，从而使得舟结构300不稳定的现象发生。

在一些实施例中，如图2-图3所示，推舟模组22包括推舟框架221和推舟驱动件222。推舟框架221与升降机构30配合，推舟驱动件222安装于推舟框架221上。推舟驱动件222与搬舟模组21传动配合，以驱动搬舟模组21靠近或者远离炉管200。可以理解的是，推舟框架221能够给推舟驱动件222提供支撑，确保推舟驱动件222能够在升降机构30的驱动下升降，从而确保在实际工作过程中，舟结构300可以根据需要运动到不同高度。

可选的，推舟驱动件222包括推舟电机和传动带组件，传动带组件设在推舟框架221内，传动带组件与搬舟模组21连接。采用电机驱动传动带结构能够较为方便地实现对搬舟模组21的驱动，从而实现对支撑机构10的驱动，传动带组件的结构简单，安装方便，有利于降低推舟机构20的制造成本，并且方便推舟机构20组装。

可选的，推舟框架221上设有第一传感器，安装座211上设有第一检测片。在实际工作过程中，可以通过第一传感器对第一检测片的感应实现对安装座211行程的限制，从而提升推舟精度。

可选的，支撑框架400上还设有第二传感器，安装座211上设有第二检测片。在实际工作过程中，可以通过第二传感器对第二检测片的感应实现对高度的限制，从而确保支撑机构10能够精确的放置或者抬起舟结构300。

在一些实施例中，如图3所示，升降机构30包括升降框架31、升降驱动件32和传动组件33，升降驱动件32安装于升降框架31，传动组件33的动力输入端与升降驱动件32配合，传动组件33的动力输出端与推舟机构20相连。可以理解的是，在实际工作过程中，升降驱动件32通过传动组件33实现对推舟机构20的升降，能够确保升降驱动件32稳定地驱动推舟机构20升降。

可选的，传动组件33包括丝杠331和螺母332。采用丝杠331和螺母332作为传动组件33，丝杠331和螺母332的配合，一方面运动精度较高，另一方面承载能力较强，能够确保本实施例的舟结构运输装置运输重量较大的舟结构300。

当然，这里需要补充说明的是，在本实用新型的其他实施例中，传动组件33还可以为齿轮齿条结构，传动带组件等等，并不限于本实施例的丝杠331及螺母332。

在一些具体的实施例中，如图3所示，升降机构30还包括导向组件34，导向组件34包括导向柱341和导向套342，导向套342与推舟机构20相连，导向柱341的两端连接于升降框架31。可以理解的是，通过导向套342和导向柱341的配合能够在推舟机构20升降过程中起到导向作用，从而避免推舟机构20在运动过程中发生歪斜导致传动组件33卡死的现象发生。

在一些具体的实施例中，如图3所示，升降框架31及传动组件33均为多个，多个传动组件33中的一个主传动组件，其余传动组件33为副传动组件，升降机构30还包括多个减速器35和传动杆36。升降驱动件32通过减速器35与主传动组件及传动杆36传动配合，副传动组件与通过减速器35与传动杆36传动配合，升降驱动件32的动力通过减速器35以及传动杆36传递至多个副传动组件。

可以理解的是，在实际中，推舟机构20的推舟行程较大，设置多个传动组件33能够确保尺寸较大的推舟机构20稳定地升降，设置多个减速器35作为中转传动单元，一方面能够确保动力传输至多个传动组件33，另一方面还能够增大传动组件33的输出扭矩，从而确保尺寸较大的推舟机构20稳定地升降。

在一些更具体的实施例中，如图4所示，升降机构30还包括防侧倾组件37，防侧倾组件37包括连接座371、连接转轴372、连接导向座373和连接导向杆374，连接座371连接于推舟机构20，连接转轴372连接于连接座371；连接导向座373套设于连接转轴372，连接导向杆374的两端固定在支撑框架400上，且穿设于连接导向座373，连接导向杆374与连接转轴372垂直设置。可以理解的是，连接座371和连接转轴372能够起到较好的防侧倾作用。连接导向杆374和连接导向座373的配合能够在推舟机构20升降过程中起到导向作用，从而避免推舟机构20在运动过程中发生歪斜导致传动组件33卡死的现象发生。

在一些实施例中，支撑部110包括多个间隔设置的支撑柱，支撑机构10为支撑板，且设有用于容纳支撑柱的避让槽11。可以理解的是，支撑机构10上设置避让槽11，一方面方便加工，另一方面能够确保支撑机构10在实际工作过程中能够稳定地避让支撑部110。具体来说，在舟结构300进入炉管200的过程中，搬舟模组21将支撑机构10从第一位置101驱动至第二位置102时，支撑柱正好插入避让槽11内，升降机构30驱动推舟模组22上升的过程中，在避让槽11的底壁还没有止抵到支撑柱时，支撑板的表面就已经止抵到舟结构300上，这样就能够将舟结构300转移到支撑板上。在舟结构300离开炉管200进入暂存装置100的过程中，搬舟模组21将载有舟结构的支撑机构10从第一位置101驱动至第二位置102时，支撑柱正好插入避让槽11，升降机构30驱动推舟模组22下降的过程中，在避让槽11的底壁还没有止抵到支撑柱时，支撑柱就已经止抵到舟结构300上，这样就能够将舟结构转移到支撑柱上。避让槽11和支撑柱两个结构的配合使用，能够使得在实际运动过程中，搬舟模组21只需要驱动舟结构的支撑机构10在第一位置101驱动至第二位置102往复运动即可，舟结构300的转移可以通过升降机构30升降实现，有利于简化搬舟模组21的结构。此外，支撑板的承载能力较大，使得本实施例的舟结构运输装置能够支撑重量较大的舟结构300，有利于提升产能。

可选的，支撑板上设有减重槽12，由此，能够在保证承载能力的情况下降低支撑板的重量。

下面参考图1-图2描述本实用新型实施例舟结构上下料系统的具体结构。

本实用新型还公开了一种舟结构上下料系统，如图1及图2所示，舟结构上下料系统包括支撑框架400、暂存装置100及前文的舟结构运输装置，暂存装置100为多个，且沿竖直方向间隔设在支撑框架400上，舟结构运输装置安装于支撑框架400内。由于具有前文所述的舟结构运输装置，该舟结构上下料系统的结构较为简单，制造成本较低，且能够实现重量较大的舟结构300的上下料，有利于提升产能。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (11)

1.舟结构运输装置，安装于机架内，其特征在于，所述舟结构运输装置用于实现舟结构(300)在炉管(200)与暂存装置(100)之间的流转，所述暂存装置(100)具有用于支撑所述舟结构(300)的支撑部(110)；所述舟结构运输装置包括：

支撑机构(10)，所述支撑机构(10)用于支撑所述舟结构(300)；

推舟机构(20)，所述推舟机构(20)与所述支撑机构(10)相连，推舟机构(20)用于驱动所述支撑机构(10)进入或者离开所述炉管(200)，以及驱动所述支撑机构(10)靠近或者远离所述暂存装置(100)；

升降机构(30)，所述升降机构(30)安装于所述机架，所述升降机构(30)与所述推舟机构(20)配合，且用于驱动所述推舟机构(20)升降。

2.根据权利要求1所述的舟结构运输装置，其特征在于，所述推舟机构(20)包括：

搬舟模组(21)，所述搬舟模组(21)与所述支撑机构(10)相连，且用于驱动所述支撑机构(10)运动到对应所述炉管(200)的第一位置(101)和对应所述支撑部(110)的第二位置(102)；

推舟模组(22)，所述推舟模组(22)用于驱动所述搬舟模组(21)运动以使得所述支撑机构(10)进入或者离开所述炉管(200)，且所述推舟模组(22)与所述升降机构(30)配合。

3.根据权利要求2所述舟结构运输装置，其特征在于，所述搬舟模组(21)包括：

安装座(211)，所述安装座(211)与所述推舟模组(22)配合，且能够在推舟模组(22)的驱动下沿进出所述炉管(200)的方向运动；

搬舟驱动件(213)，所述搬舟驱动件(213)设在所述安装座(211)上；

支撑座(212)，所述支撑座(212)与所述支撑机构(10)相连，所述支撑座(212)与所述搬舟驱动件(213)配合以在所述搬舟驱动件(213)的驱动下，带动所述支撑机构(10)运动到所述第一位置(101)或者所述第二位置(102)。

4.根据权利要求3所述舟结构运输装置，其特征在于，所述舟结构运输装置还包括固定连接件(40)；

所述支撑座(212)包括座本体(2121)和连接在所述座本体(2121)两端的转动座(2122)，所述座本体(2121)与搬舟驱动件(213)相连，所述转动座(2122)可转动连接于所述座本体(2121)，且所述转动座(2122)通过所述固定连接件(40)与所述支撑机构(10)相连。

5.根据权利要求2所述舟结构运输装置，其特征在于，所述推舟模组(22)包括：

推舟框架(221)，所述推舟框架(221)与所述升降机构(30)配合；

推舟驱动件(222)，所述推舟驱动件(222)安装于所述推舟框架(221)上；推舟驱动件(222)与所述搬舟模组(21)传动配合，以驱动所述搬舟模组(21)靠近或者远离所述炉管(200)。

6.根据权利要求1所述的舟结构运输装置，其特征在于，所述升降机构(30)包括：

升降框架(31)；

升降驱动件(32)，所述升降驱动件(32)安装于所述升降框架(31)；

传动组件(33)，所述传动组件(33)的动力输入端与所述升降驱动件(32)配合，所述传动组件(33)的动力输出端与所述推舟机构(20)相连。

7.根据权利要求6所述的舟结构运输装置，其特征在于，所述升降机构(30)还包括导向组件(34)，所述导向组件(34)包括导向柱(341)和导向套(342)，所述导向套(342)与所述推舟机构(20)相连，所述导向柱(341)的两端连接于所述升降框架(31)。

8.根据权利要求6所述的舟结构运输装置，其特征在于，所述升降框架(31)及所述传动组件(33)均为多个，多个所述传动组件(33)中的一个为主传动组件，其余所述传动组件(33)为副传动组件；所述升降机构(30)还包括多个减速器(35)和传动杆(36)；其中：所述升降驱动件(32)通过所述减速器(35)与所述主传动组件及所述传动杆(36)传动配合，所述副传动组件通过所述减速器(35)与所述传动杆(36)相连，所述升降驱动件(32)的动力通过所述减速器(35)以及所述传动杆(36)传递至多个所述副传动组件。

9.根据权利要求8所述的舟结构运输装置，其特征在于，所述升降机构(30)还包括防侧倾组件(37)，所述防侧倾组件(37)包括：

连接座(371)，所述连接座(371)连接于所述推舟机构(20)；

连接转轴(372)，所述连接转轴(372)连接于所述连接座(371)；

连接导向座(373)，所述连接导向座(373)套设于所述连接转轴(372)；

连接导向杆(374)，所述连接导向杆(374)的两端固定在所述机架上，且穿设于所述连接导向座(373)，所述连接导向杆(374)与所述连接转轴(372)垂直设置。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的舟结构运输装置，其特征在于，所述支撑部(110)包括沿所述舟结构(300)的长度方向间隔设置的支撑柱，所述支撑机构(10)设有用于容纳所述支撑柱的避让槽(11)。

11.舟结构上下料系统，其特征在于，包括支撑框架(400)、暂存装置(100)及如权利要求1-10中任一项所述的舟结构运输装置，所述暂存装置(100)为多个，且沿竖直方向间隔设在所述支撑框架(400)上，所述舟结构运输装置安装于所述支撑框架(400)内。