CN220862103U - 一种硅片收片系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种硅片收片系统，包括主输送线、料篮承载机构、第一收片机构、缓存机构及第一AGV转运机构，其中：主输送线输送硅片，主输送线的输送路径上设有合格硅片下料工位；料篮承载机构位于合格硅片下料工位边侧，用于承载料篮；第一收片机构用于将合格硅片插入至料篮承载机构内的料篮内；缓存机构位于料篮承载机构后道，料篮承载机构还用于将收满合格硅片的料篮朝向缓存机构输送，缓存机构用于接收收满合格硅片的料篮；第一AGV转运机构用于接收缓存机构输出的收满合格硅片的料篮，以及将料篮移送至硅片加工工位处。本申请能够自动地将主输送线上的合格硅片直接插入至料篮内，并自动地将收满合格硅片的料篮移送至后道的硅片加工工位处。

Description

一种硅片收片系统

技术领域

本申请涉及电池片生产领域，具体地说是一种硅片收片系统。

背景技术

在对硅片进行分选检测后，会根据检测结果将硅片分为合格硅片和不良硅片(NG硅片)，然后根据硅片的类型实施对硅片的分别收片。

目前，合格片的收片方式大致如下：首先利用输送线将合格片输送至收料工位，利用收料组件将位于收料工位的合格片收料至位于输送线侧边的料盒内，然后由人工将满料的料盒搬运至插片机内，插片机将料盒内的硅片取出并插至料篮内，最后由人工将料篮送至后道的硅片加工工位处。

现有的硅片收片方式的收片效率低下，难以满足批量收片要求。

实用新型内容

针对现有的硅片收片方式存在的上述技术问题，本申请提供了一种硅片收片系统，其详细技术方案如下：

一种硅片收片系统，包括主输送线、料篮承载机构、第一收片机构、缓存机构及第一AGV转运机构，其中：

主输送线被配置为沿第一水平方向输送硅片，硅片包括NG硅片和合格硅片，主输送线的输送路径上至少设有合格硅片下料工位；

料篮承载机构位于合格硅片下料工位的边侧，料篮承载机构用于承载待收片的料篮；

第一收片机构用于将输送至合格硅片下料工位的合格硅片插入至位于料篮承载机构内的料篮内；

缓存机构位于料篮承载机构的后道，料篮承载机构还用于将收满合格硅片的料篮沿第一水平方向朝向缓存机构输送，缓存机构用于接收及缓存收满合格硅片的料篮；

第一AGV转运机构设置在缓存机构的后道并与缓存机构对接，第一AGV转运机构用于接收缓存机构输出的收满合格硅片的料篮，以及将收满合格硅片的料篮移送至后道的硅片加工工位处。

通过料篮承载机构、第一收片机构、缓存机构及第一AG转运机构的配合，本申请提供的硅片收片系统能够自动地将主输送线上的合格硅片直接插入至料篮内，并自动地将收满合格硅片的料篮移送至后道的硅片加工工位处，从而大幅度提升合格硅片的收片效率。

在一些实施例中，料篮承载机构包括升降模组、底座、支撑板、顶板、料篮输送部及顶部压靠组件，其中：

底座连接在升降模组的驱动端上；

支撑板竖向设置，支撑板的下端连接在底座上，顶板连接在支撑板的上端，底座与顶板之间形成容纳料篮的料篮容纳腔；

料篮输送部设置在底座上，顶部压靠组件设置在顶板上，料篮输送部用于承载料篮，顶部压靠组件用于向下压紧料篮；

升降模组用于驱动底座升降，以带动料篮依次收取第一收片机构插入的合格硅片，料篮输送部还用于将收满合格硅片的料篮沿第一水平方向朝向缓存机构输送。

通过对料篮承载机构进行设置，使得料篮承载机构一方面能够实施对料篮的夹持，并带动料篮升降以依次收取第一收片机构插入的合格硅片，另一方面能够将收满合格硅片的料篮朝向缓存机构输送，使得收满合格硅片的料篮最终进入至缓存机构内。

在一些实施例中，料篮输送部包括输送带、输送带驱动部及设置在输送带两侧的规整板，其中，输送带用于承载料篮，输送带驱动部驱动输送带沿第一水平方向输送所承载的料篮，规整板用于从输送带的两侧规整输送带承载的料篮。

通过对料篮输送部进行设置，使得料篮输送部不仅能够将收满合格硅片的料篮朝向缓存机构输送，且能够实施对收满合格硅片的料篮的规整。

在一些实施例中，顶部压靠组件包括压靠驱动件及压靠件，其中，压靠驱动件连接在顶板上，压靠件经旋转轴承可转动地连接在压靠驱动件的驱动端上，压靠驱动件用于驱动压靠件升降，以带动压靠件向下压紧料篮或释放料篮；硅片收片系统还包括设置在底座上的顶升旋转组件，顶升旋转组件用于将料篮向

上顶升出料篮输送部，以及带动料篮转动以调整料篮的开口方向。

通过对顶部压靠组件进行设置，并通过设置顶升旋转组件，实现了对料篮的开口方向的调整。

在一些实施例中，顶升旋转组件包括顶升旋转驱动件和顶升承载板，其中：顶升旋驱动件设置在底座上，顶升承载板连接在顶升旋转驱动件的驱动端上；顶升旋转驱动件用于驱动顶升承载板升降，以带动顶升承载板将料篮向上顶升出料篮输送部，顶升旋转驱动件还用于驱动顶升承载板转动以调整料篮的开口方向。

通过对顶升旋转组件进行设置，使得顶升旋转组件能够将料篮向上顶升出料篮输送部，以及完成对料篮的开口方向的调整。

在一些实施例中，缓存机构包括机架及设置在机架上的缓存输送机构，缓存输送机构被配置为能够与料篮承载机构对接，以接收料篮承载机构输送的收满合格硅片的料篮或将空料篮送回料篮承载机构。

通过对缓存机构进行设置，实现了缓存机构与料篮承载机构对接的对接，从而使得缓存机构能够接收料篮承载机构输送的收满合格硅片的料篮或将空料篮送回料篮承载机构。

在一些实施例中，缓存输送机构包括第一缓存输送线、第二缓存输送线及换线组件，其中：第一缓存输送线和第二缓存输送线并排设置，第一缓存输送线和第二缓存输送线均沿第一水平方向延伸；换线组件设置在第一缓存输送线、第二缓存输送线与料篮承载机构之间；换线组件用于接收料篮承载机构输送的收满合格硅片的料篮，以及沿垂直于第一水平方向的第二水平方向平移收满合格硅片的料篮，使得收满合格硅片的料篮进入第一缓存输送线或第二缓存输送线上。

可见，通过设置并排的第一缓存输送线、第二缓存输送线，并通过换线组件的换线，使得料篮承载机构能够交替地与第一缓存输送线、第二缓存输送线对接，从而使得料篮承载机构输出的收满合格硅片的料篮能够被先后地缓存至第一缓存输送线、第二缓存输送线上，最终提升缓存输送机构的缓存输送能力。

在一些实施例中，第一收片机构包括插片输送部和搬运部，其中：插片输送部位于合格硅片下料工位和料篮承载机构之间，插片输送部的出料端伸入至料篮承载机构内；搬运部用于从合格硅片下料工位拾取合格硅片，以及用于将拾取的合格硅片放置至插片输送部上；插片输送部用于沿垂直于第一水平方向的第二水平方向将硅片朝向料篮承载机构输送，使得硅片插入至料篮承载机构内的料篮内。

通过插片输送部和搬运部的配合，第一收片机构实现对合格硅片下料工位处的合格硅片的自动拾取，已经将拾取的合格硅片自动地插入至料篮承载机构内的料篮内。

在一些实施例中，主输送线的输送路径上设有至少两个合格硅片下料工位，每个合格硅片的边侧均对应设置有料篮承载机构，位于最末端的料篮承载机构与缓存机构对接；硅片收片系统还包括设置在相邻两个料篮承载机构之间的过渡输送机构，过渡输送机构用于将位于前道的料篮承载机构上的收满硅片的料篮过渡输送至位于后道的料篮承载机构上。

通过设置多个合格硅片下料工位，并对应设置多个料篮承载机构，实现了对多个合格硅片的同步收片，提升了合格硅片的收片效率。

在一些实施例中，主输送线的输送路径上还设置有位于合格硅片下料工位前道的NG硅片下料工位；硅片收片系统还包括第二收片机构、料盒输送线及第二AGV转运机构，其中：料盒输送线至少部分位于NG硅片下料工位的边侧，料盒输送线与NG硅片下料工位之间设置有NG收片工位；第二收片机构用于将输送至NG硅片下料工位的NG硅片收至位于NG收片工位的料盒内，以及将收满NG硅片的料盒搬运至料盒输送线上，料盒输送线用于将收满NG硅片的料盒输送至第二AGV转运机构上，第二AGV转运机构用于将收满NG硅片的料盒转运至后道的NG硅片回收工位处。

通过在主输送线的输送路径上设置NG硅片下料工位，并相应地设置第二收片机构、料盒输送线及第二AGV转运机构，实现了对NG硅片的自动收片。

在一些实施例中，主输送线的两侧分别设置有一条料盒输送线，每条料盒输送线均包括收料输送段、转移输送段及出料输送段，其中：收料输送段位于NG硅片下料工位的边侧且平行于主输送线，收料输送段和NG硅片下料工位之间设有NG收片工位；出料输送段位于合格硅片下料工位的边侧且与第一收片机构设置在不同高度，出料输送段平行于主输送线，并与第二AGV转运机构对接；转移输送段垂直于主输送线，转移输送段的两端分别与收料输送段和出料输送段对接；第二收片机构用于将收满NG硅片的料盒搬运至收料输送段上，转移输送段被配置为将收料输送段输送的收满NG硅片的料盒输送至出料输送段上，出料输送段被配置为将收满NG硅片的料盒输送至第二AGV转运机构上。

通过收料输送段、转移输送段及出料输送段的配合，料盒输送线实现了与第二AGV转运机构的对接，其可将收满NG硅片的料盒输送至第二AGV转运机构内。特别的，出料输送段被设置在合格硅片下料工位的边侧，且与第一收片机构设置在不同高度，即，出料输送段和与料篮承载机构设置在同一区域，如此，可缩短本实施例中的硅片收片系统的尺寸。

此外，通过在主输送线的两侧分别设置料盒输送线，两条料盒输送线能够并行地实现对NG硅片的收片及输送，从而提升了NG硅片的收片效率。

在一些实施例中，料盒输送线包括第一侧收料输送段、第二侧收料输送段、第一侧转移输送段、第二侧转移输送段及汇流出料输送段，其中：第一侧收料输送段位于NG硅片下料工位的第一侧且平行于主输送线，第二侧收料输送段位于NG硅片下料工位的第二侧且平行于主输送线，第一侧收料输送段与NG硅片下料工位之间、第二侧收料输送段与NG硅片下料工位之间均设有NG收片工位；汇流出料输送段位于合格硅片下料工位的下方且平行于主输送线，汇流出料输送段与第二AGV转运机构对接；第一侧转移输送段垂直于主输送线，第一侧转移输送段的两端分别与第一侧收料输送段和汇流出料输送段对接；第二侧转移输送段垂直于主输送线，第二侧转移输送段的两端分别与第二侧收料输送段和汇流出料输送段对接；第二收片机构将收满NG硅片的料盒搬运至第一侧收料输送段和/或第二侧收料输送段上，第一侧转移输送段、第二侧转移输送段分别将第一侧收料输送段、第二侧收料输送段输送的收满NG硅片的料盒输送至汇流出料输送段上，汇流出料输送段被配置为将收满NG硅片的料盒输送至第二AGV转运机构上。

通过第一侧收料输送段、第二侧收料输送段、第一侧转移输送段、第二侧转移输送段及汇流出料输送段的配合，本实施例中的料盒输送线实现了与第一AGV转运机构的对接，其可将收满NG硅片的料盒输送至第二AGV转运机构内。特别的，汇流出料输送段被设置在合格硅片下料工位的下方，即，出汇流出料输送段与料篮承载机构设置在同一区域，如此，可缩短本实施例中的硅片收料装置的尺寸。

附图说明

图1为本申请实施例中的硅片收片系统的结构示意图；

图2为本申请实施例中的主输送线和第一收片机构的结构示意图；

图3为本申请实施例中的料篮承载机构在一个视角下的结构示意图；

图4为本申请实施例中的料篮承载机构在另一个视角下的结构示意图；

图5为本申请实施例中的料篮输送部和顶升旋转组件在一个视角下的结构示意图；

图6为本申请实施例中的料篮输送部和顶升旋转组件在另一个视角下的结构示意图；

图7为本申请实施例中的缓存机构的结构示意图；

图8为本申请实施例中的换线组件的结构示意图；

图9为本申请另一实施例中的硅片收片系统的结构示意图；

图10为本申请又一实施例中的硅片收片系统的结构示意图；

图1至图10中包括：

主输送线1；

料篮承载机构2：

升降模组21；

底座22；

支撑板23；

顶板24；

料篮输送部25：输送带251、规整板252；

顶部压靠组件26：压靠驱动件261、压靠件262、旋转轴承263；

顶升旋转组件27；顶升旋转驱动件271、顶升承载板272、定位销273；

第一收片机构3：

插片输送部31；

搬运部32；

缓存机构4：

机架41；

缓存输送机构42：第一缓存输送线421、第二缓存输送线422、换线组件423；换线驱动机构424、安装板425、转线输送线426；

过渡输送机构5；

第二收片机构6：

料盒输送线7：

收料输送段71、转移输送段72、出料输送段73；

第一侧收料输送段74、第二侧收料输送段75、第一侧转移输送段76、

第二侧转移输送段77、汇流出料输送段78；

第一AGV转运机构8；

第二AGV转运机构9。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步详细的说明。

现有的硅片收片方式，由人工将满料的料盒搬运至插片机内，插片机将料盒内的硅片取出并插至料篮内，最后由人工将料篮送至后道的硅片加工工位处。现有的硅片收片方式的收片效率低下，难以满足批量收片要求。

鉴于此，本申请提供了一种硅片收片系统，其能够自动地将合格硅片直接插入至料篮内，并自动地将收满合格硅片的料篮移送至后道的硅片加工工位处，从而大幅度提升合格硅片的收片效率。

如图1、图9及图10所示，本申请实施例中的硅片收片系统包括主输送线1、料篮承载机构2、第一收片机构3、缓存机构4及第一AGV转运机构8，其中：

主输送线1被配置为沿第一水平方向(如图1中的X轴方向)输送硅片，硅片包括NG硅片和合格硅片，主输送线1的输送路径上至少设有合格硅片下料工位。

料篮承载机构2位于合格硅片下料工位的边侧，料篮承载机构2用于承载待收片的料篮100。

第一收片机构3用于将输送至合格硅片下料工位的合格硅片插入至位于料篮承载机构2内的料篮100内。

缓存机构4位于料篮承载机构2的后道，料篮承载机构2还用于将收满合格硅片的料篮沿第一水平方向朝向缓存机构4输送，缓存机构4至少用于接收及缓存收满合格硅片的料篮100。

第一AGV转运机构8设置在缓存机构4的后道并与缓存机构4对接，第一AGV转运机构8用于接收缓存机构4输出的收满合格硅片的料篮100，以及将收满合格硅片的料篮100移送至后道的硅片加工工位处。

可见，通过料篮承载机构2、第一收片机构3、缓存机构4及第一AGV转运机构8的配合，本申请实施例提供的硅片收片系统能够自动地将主输送线1上的合格硅片直接插入至料篮承载机构2上的料篮100内，并自动地将收满合格硅片的料篮移送至后道的硅片加工工位处，全程无需人工介入，从而大幅度提升了合格硅片的收片效率。

可选的，主输送线1的输送路径上设有至少两个合格硅片下料工位，例如，图1中实施例中的主输送线1的输送路径上设有四个合格硅片下料工位。每个合格硅片的两侧均对应设置有料篮承载机构2，位于最末端的料篮承载机构2与缓存机构4对接。四个合格硅片下料工位可并行地将合格硅片收至对应的料篮承载机构2上的料篮100内，从进一步提升合格硅片的收片效率。

可选的，位于同一侧的相邻两个料篮承载机构2之间设有过渡输送机构5，过渡输送机构5用于将位于前道的料篮承载机构2上的收满硅片的料篮100过渡输送至位于后道的料篮承载机构2上。如此，位于同一侧的料篮承载机构2在过渡输送机构5的衔接下构成了一条完整的料篮输送线，其能够将从不同的合格硅片下料工位收取的合格硅片输送至缓存机构4内。

如图2所示，可选的，第一收片机构3包括插片输送部31和搬运部32，其中：插片输送部31位于合格硅片下料工位和对应的料篮承载机构2之间，插片输送部31的出料端伸入至料篮承载机构2内。搬运部32用于从合格硅片下料工位拾取合格硅片，以及用于将拾取的合格硅片放置至插片输送部31上，插片输送部31用于沿垂直于第一水平方向的第二水平方向将硅片朝向料篮承载机构2输送，从而使得硅片插入至料篮承载机构2内的料篮100内。

可见，通过插片输送部31和搬运部32的配合，第一收片机构3实现对合格硅片下料工位处的合格硅片的自动拾取，将拾取的合格硅片自动地插入至料篮承载机构2内的料篮100内。

如图3至图6所示，可选的，料篮承载机构2包括升降模组21、底座22、支撑板23、顶板24、料篮输送部25及顶部压靠组件26，其中：

底座22连接在升降模组21的驱动端上。

支撑板23竖向设置，支撑板23的下端连接在底座22上，顶板24连接在支撑板23的上端，底座22与顶板24之间形成容纳料篮100的料篮容纳腔。

料篮输送部25设置在底座22上，顶部压靠组件26设置在顶板24上，料篮输送部25用于承载料篮100，顶部压靠组件26可以用于向下压紧料篮100。

升降模组21用于驱动底座22升降，以带动料篮100依次收取第一收片机构3插入的合格硅片，料篮输送部25还用于将收满合格硅片的料篮沿第一水平方向朝向缓存机构4输送。

料篮承载机构2的工作过程如下：

首先，将待收片的料篮100放入至料篮容纳腔内，料篮100支撑在料篮输送部25上，接着，控制顶部压靠组件26向下压紧料篮100。

收片过程中，控制升降模组21驱动料篮100升降，以带动料篮100依次收取第一收片机构3插入的合格硅片，直至料篮100收满合格硅片。

最后，控制料篮输送部25将收满合格硅片的料篮100沿第一水平方向朝向缓存机构4输送，直至收满合格硅片的料篮100进入至缓存机构4内。

可见，料篮承载机构2一方面能够实施对料篮的夹持，并带动料篮升降以依次收取第一收片机构插入的合格硅片，另一方面能够将收满合格硅片的料篮朝向缓存机构4输送，使得收满合格硅片的料篮最终进入至缓存机构4内。

如图5所示，可选的，料篮输送部25包括输送带251、输送带驱动部及设置在输送带251两侧的规整板252，其中，输送带251用于承载料篮100，输送带驱动部驱动输送带251沿第一水平方向输送所承载的料篮100，规整板252则用于从输送带251的两侧规整输送带承载的料篮100。

在一些实施例中，料篮100收片时的开口方向与后道的硅片加工工位处的取片方向并不相同，因此，出于工艺需要，有必要对料篮进行旋转，即：在收满合格硅片后，对料篮100的开口方向进行调整。

为此，可选的，如图3至图5所示，顶部压靠组件26包括压靠驱动件261及压靠件262，其中，压靠驱动件261连接在顶板24上，压靠件262经旋转轴承263可转动地连接在压靠驱动件261的驱动端上，压靠驱动件261用于驱动压靠件262升降，以带动压靠件261向下压紧料篮100或释放料篮100。硅片收片系统还包括设置在底座22上的顶升旋转组件27，顶升旋转组件27用于将料篮100向上顶升至高于料篮输送部25，以及带动料篮100转动以调整料篮100的开口方向。

顶部压靠组件26与顶升旋转组件27按如下过程对料篮100实施开口调整：

料篮100收满硅片后，压靠驱动件261首先驱动压靠件262上升，以释放料篮100的顶板24(或者，不上升并保持较低压力)。

接着，顶升旋转组件27将料篮100向上顶起。压靠驱动件261驱动压靠件262下降，压紧料篮100的顶板24。

接着，顶升旋转组件27驱动料篮100转动以完成对调整料篮100的开口方向的调整。由于，压靠件262经旋转轴承263可转动地连接在压靠驱动件261的驱动端上，因此，压靠件262可随料篮100同步转动。

最后，顶升旋转组件27下降归位，使得料篮100重新落至料篮输送部25(可选地，为节约时间，可以在顶升旋转组件27下降归位的期间使料篮100转动，料篮100转动时仍然受到来自压靠件262的压紧力)。

可选的，顶升旋转组件27包括顶升旋转驱动件271和顶升承载板272，其中，顶升旋转驱动件271设置在底座22上，顶升承载板272连接在顶升旋转驱动件271的驱动端上。顶升旋转驱动件271用于驱动顶升承载板272升降，以将料篮100向上顶升出料篮输送部25，以及将完成开口方向调整的料篮100放回至料篮输送部25上。如图5所示，可选的，顶升承载板272上还设有与料篮100底部的定位孔匹配的定位销273。顶升承载板272向上顶升时，定位销273穿入至料篮100底部的定位孔内，如此可实施对料篮100的定位，防止料篮100在升降及转动过程中滑动或跌落。

如图7和图8所示，可选的，缓存机构4包括机架41及设置在机架上的缓存输送机构42，缓存输送机构42被配置为能够与料篮承载机构2对接，以接收料篮承载机构2输送的收满合格硅片的料篮100。此外，缓存输送机构42还用于将缓存其上的收满合格硅片的料篮100输送至后道的第一AGV转运机构8上。

可选的，缓存输送机构42包括上下设置的两层，两层缓存输送机构42可交替地与料篮承载机构2对接，以接收料篮承载机构2输出的收满合格硅片的料篮100或输出空料篮100。两层中，一层可设置为接收满料篮100，另一层设置为输出空料篮100。

可选的，第一AGV转运机构8还被配置为将被取空的空料篮移送回至缓存输送机构42上，缓存输送机构42则将空料篮送回料篮承载机构2上，如此，实现了空料篮的循环回流。

如图7所示，可选的，缓存输送机构42包括第一缓存输送线421、第二缓存输送线422及换线组件423，其中：第一缓存输送线421和第二缓存输送线422并排设置，第一缓存输送线421和第二缓存输送线422均沿第一水平方向延伸。换线组件423设置在第一缓存输送线421、第二缓存输送线422与料篮承载机构2之间。换线组件423用于接收料篮承载机构2输送的收满合格硅片的料篮，以及沿垂直于第一水平方向的第二水平方向(如图7中的Y轴方向)平移收满合格硅片的料篮100，使得收满合格硅片的料篮100进入第一缓存输送线421或第二缓存输送线422上。

可见，通过设置并排的第一缓存输送线421、第二缓存输送线422，并通过换线组件423的换线，使得料篮承载机构2能够交替地与第一缓存输送线421、第二缓存输送线422对接，从而使得料篮承载机构2输出的收满合格硅片的料篮100能够被先后地缓存至第一缓存输送线421、第二缓存输送线422上，从而提升缓存输送机构2的缓存输送能力。

如图8所示，可选的，换线组件423包括换线驱动机构424、安装板425、转线输送线426，其中安装板425水平连接在换线驱动机构424的活动部件上，转线输送线426设置在安装板425上。换线驱动机构424用于驱动安装板425在第二水平方向(如图8中的Y轴方向)上平移，以带动转线输送线426与料篮承载机构2、第一缓存输送线421或第二缓存输送线422对接。转线输送线426与料篮承载机构2对接时，接收料篮承载机构2输送的收满合格硅片的料篮。转线输送线426与第一缓存输送线421或第二缓存输送线422对接时，将收满合格硅片的料篮100输送至第一缓存输送线421或第二缓存输送线422上。

如前文所述，主输送线1输送的硅片包括NG硅片和合格硅片，为了实施对NG硅片的自动收片，可选的，如图9和图10所示，主输送线1的输送路径上还设置有位于合格硅片下料工位前道的NG硅片下料工位。对应的，硅片收片系统还包括第二收片机构6、料盒输送线7及第二AGV转运机构9，其中：料盒输送线1至少部分位于NG硅片下料工位的边侧，料盒输送线7与NG硅片下料工位之间设置有NG收片工位。

第二收片机构6用于将输送至NG硅片下料工位的NG硅片收至位于NG收片工位的料盒内，以及将收满NG硅片的料盒搬运至料盒输送线7上，料盒输送线7用于将收满NG硅片的料盒输送至第二AGV转运机构9上，第二AGV转运机构9用于将收满NG硅片的料盒转运至后道的NG硅片回收工位处。

可选的，第二AGV转运机构9还被配置为将被取空的空料盒移送回料盒输送线7上。如此，实现了空料盒的循环回流。当然，料盒输送线7可以设置为高度不同的双层输送线，并使用另一层输送线将空料盒输送回NG硅片下料工位附近，以便继续收料。

下文将通过两个实施例，对本申请中的料盒输送线7的结构及其对料盒的具体输送过程进行实例性描述。

第一实施例

如图9所示，主输送线1的两侧分别设置有一条料盒输送线7，每条料盒输送线7均包括收料输送段71、转移输送段72及出料输送段73。

收料输送段71位于NG硅片下料工位的边侧且平行于主输送线1，收料输送段71和NG硅片下料工位之间设有NG收片工位。

出料输送段73位于合格硅片下料工位的边侧且与第一收片机构3设置在不同高度，出料输送段73平行于主输送线1，并与第二AGV转运机构9对接。

转移输送段72垂直于主输送线1，转移输送段72的两端分别与收料输送段71和出料输送段73对接。

本实施例中的料盒输送线7按如下过程将收满NG硅片的料盒输送至第二AGV转运机构9上：

首先，收料输送段71接收第二收片机构6搬运的收满NG硅片的料盒后，将收满NG硅片的料盒输送至转移输送段72。

接着，转移输送段72将收料输送段输送的收满NG硅片的料盒输送至出料输送段73上。

最后，由出料输送段73将收满NG硅片的料盒输送至第二AGV转运机构9。

可见，通过收料输送段71、转移输送段72及出料输送段73的配合，本实施例中的料盒输送线7实现了与第二AGV转运机构9的对接，其可将收满NG硅片的料盒输送至第二AGV转运机构9内。特别的，出料输送段73被设置在合格硅片下料工位的边侧，且与第一收片机构3设置在不同高度，即，出料输送段73和与料篮承载机构2设置在同一区域，如此，可缩短本实施例中的硅片收料系统的尺寸。

此外，通过在主输送线1的两侧分别设置料盒输送线7，两条料盒输送线7能够并行地实现对NG硅片的收片及输送，从而提升了NG硅片的收片效率。

第二实施例

如图10所示，料盒输送线7包括第一侧收料输送段74、第二侧收料输送段75、第一侧转移输送段76、第二侧转移输送段77及汇流出料输送段78，其中：

第一侧收料输送段74位于NG硅片下料工位的第一侧且平行于主输送线1，第二侧收料输送段75位于NG硅片下料工位的第二侧且平行于主输送线1，第一侧收料输送段74与NG硅片下料工位之间、第二侧收料输送段75与NG硅片下料工位之间均设有NG收片工位。

汇流出料输送段78位于合格硅片下料工位的下方且平行于主输送线1，汇流出料输送段78与第二AGV转运机构9对接。

第一侧转移输送段76垂直于主输送线1，第一侧转移输送段76的两端分别与第一侧收料输送段74和汇流出料输送段78对接。

第二侧转移输送段77垂直于主输送线11，第二侧转移输送段77的两端分别与第二侧收料输送段75和汇流出料输送段78对接。

本实施例中的料盒输送线7按如下过程将收满NG硅片的料盒输送至第二AGV转运机构9上：

首先，第二收片机构6将收满NG硅片的料盒搬运至第一侧收料输送段74和/或第二侧收料输送段75上。

第一侧收料输送段74将接收的收满NG硅片的料盒输送至第一侧转移输送段76，第二侧收料输送段75则将接收的收满NG硅片的料盒输送至第二侧转移输送段77。

接着，第一侧转移输送段76、第二侧转移输送段77分别将输送的收满NG硅片的料盒输送至汇流出料输送段78上。

最后，由汇流出料输送段78将收满NG硅片的料盒输送至第二AGV转运机构9。

可见，通过第一侧收料输送段74、第二侧收料输送段75、第一侧转移输送段76、第二侧转移输送段77及汇流出料输送段78的配合，本实施例中的料盒输送线7实现了与第二AGV转运机构9的对接，从而将收满NG硅片的料盒输送至第二AGV转运机构9内。

特别的，汇流出料输送段78被设置在合格硅片收片工位的下方，即，汇流出料输送段78与料篮承载机构2设置在同一立体区域内，如此，可使本实施例中的硅片收片系统的结构更加紧凑。

上文对本申请进行了足够详细的具有一定特殊性的描述。所属领域内的普通技术人员应该理解，实施例中的描述仅仅是示例性的，在不偏离本申请的真实精神和范围的前提下做出所有改变都应该属于本申请的保护范围。本申请所要求保护的范围是由所述的权利要求书进行限定的，而不是由实施例中的上述描述来限定的。

Claims (12)

1.一种硅片收片系统，其特征在于，所述硅片收片系统包括主输送线、料篮承载机构、第一收片机构、缓存机构及第一AGV转运机构，其中：

所述主输送线被配置为沿第一水平方向输送硅片，所述硅片包括NG硅片和合格硅片，所述主输送线的输送路径上至少设有合格硅片下料工位；

所述料篮承载机构位于所述合格硅片下料工位的边侧，所述料篮承载机构用于承载待收片的料篮；

所述第一收片机构用于将输送至所述合格硅片下料工位的合格硅片插入至位于所述料篮承载机构内的料篮内；

所述缓存机构位于所述料篮承载机构的后道，所述料篮承载机构还用于将收满合格硅片的料篮沿所述第一水平方向朝向所述缓存机构输送，所述缓存机构用于接收及缓存收满合格硅片的料篮；

所述第一AGV转运机构设置在所述缓存机构的后道并与所述缓存机构对接，所述第一AGV转运机构用于接收所述缓存机构输出的收满合格硅片的料篮，以及将收满合格硅片的料篮移送至后道的硅片加工工位处。

2.如权利要求1所述的硅片收片系统，其特征在于，所述料篮承载机构包括升降模组、底座、支撑板、顶板、料篮输送部及顶部压靠组件，其中：

所述底座连接在所述升降模组的驱动端上；

所述支撑板竖向设置，所述支撑板的下端连接在所述底座上，所述顶板连接在所述支撑板的上端，所述底座与所述顶板之间形成容纳料篮的料篮容纳腔；

所述料篮输送部设置在所述底座上，所述顶部压靠组件设置在所述顶板上，所述料篮输送部用于承载料篮，所述顶部压靠组件用于向下压紧料篮；

所述升降模组用于驱动所述底座升降，以带动料篮依次收取所述第一收片机构插入的合格硅片，所述料篮输送部还用于将收满合格硅片的料篮沿所述第一水平方向朝向所述缓存机构输送。

3.如权利要求2所述的硅片收片系统，其特征在于，所述料篮输送部包括输送带、输送带驱动部及设置在所述输送带两侧的规整板，其中，所述输送带用于承载料篮，所述输送带驱动部驱动所述输送带沿所述第一水平方向输送所承载的料篮，所述规整板用于从所述输送带的两侧规整所述输送带承载的料篮。

4.如权利要求2所述的硅片收片系统，其特征在于，所述顶部压靠组件包括压靠驱动件及压靠件，其中，所述压靠驱动件连接在所述顶板上，所述压靠件经旋转轴承可转动地连接在所述压靠驱动件的驱动端上，所述压靠驱动件用于驱动所述压靠件升降，以带动所述压靠件向下压紧料篮或释放料篮；

所述硅片收片系统还包括设置在所述底座上的顶升旋转组件，所述顶升旋转组件用于将料篮向上顶升出所述料篮输送部，以及带动料篮转动以调整料篮的开口方向。

5.如权利要求4所述的硅片收片系统，其特征在于，所述顶升旋转组件包括顶升旋转驱动件和顶升承载板，其中：

所述顶升旋转驱动件设置在所述底座上，所述顶升承载板连接在所述顶升旋转驱动件的驱动端上；

所述顶升旋转驱动件用于驱动所述顶升承载板升降，以带动所述顶升承载板将料篮向上顶升出所述料篮输送部，所述顶升旋转驱动件还用于驱动所述顶升承载板转动以调整料篮的开口方向。

6.如权利要求1所述的硅片收片系统，其特征在于，所述缓存机构包括机架及设置在所述机架上的缓存输送机构，所述缓存输送机构被配置为能够与所述料篮承载机构对接，以接收所述料篮承载机构输送的收满合格硅片的料篮或将空料篮送回所述料篮承载机构。

7.如权利要求6所述的硅片收片系统，其特征在于，所述缓存输送机构包括第一缓存输送线、第二缓存输送线及换线组件，其中：

所述第一缓存输送线和所述第二缓存输送线并排设置，所述第一缓存输送线和所述第二缓存输送线均沿所述第一水平方向延伸；

所述换线组件设置在所述第一缓存输送线、所述第二缓存输送线与所述料篮承载机构之间；

所述换线组件用于接收所述料篮承载机构输送的收满合格硅片的料篮，以及沿垂直于所述第一水平方向的第二水平方向平移收满合格硅片的料篮，使得收满合格硅片的料篮进入所述第一缓存输送线或所述第二缓存输送线上。

8.如权利要求1所述的硅片收片系统，其特征在于，所述第一收片机构包括插片输送部和搬运部，其中：

所述插片输送部位于所述合格硅片下料工位和所述料篮承载机构之间，所述插片输送部的出料端伸入至所述料篮承载机构内；

所述搬运部用于从所述合格硅片下料工位拾取合格硅片，以及用于将拾取的合格硅片放置至所述插片输送部上；

所述插片输送部用于沿垂直于所述第一水平方向的第二水平方向将硅片朝向所述料篮承载机构输送，使得硅片插入至所述料篮承载机构内的料篮内。

9.如权利要求1所述的硅片收片系统，其特征在于，所述主输送线的输送路径上设有至少两个所述合格硅片下料工位，每个所述合格硅片的边侧均对应设置有料篮承载机构，位于最末端的所述料篮承载机构与所述缓存机构对接；

所述硅片收片系统还包括设置在相邻两个所述料篮承载机构之间的过渡输送机构，所述过渡输送机构用于将位于前道的所述料篮承载机构上的收满硅片的料篮过渡输送至位于后道的所述料篮承载机构上。

10.如权利要求1至9任一项所述的硅片收片系统，其特征在于：

所述主输送线的输送路径上还设置有位于所述合格硅片下料工位前道的NG硅片下料工位；

所述硅片收片系统还包括第二收片机构、料盒输送线及第二AGV转运机构，其中：

所述料盒输送线至少部分位于所述NG硅片下料工位的边侧，所述料盒输送线与所述NG硅片下料工位之间设置有NG收片工位；

所述第二收片机构用于将输送至所述NG硅片下料工位的NG硅片收至位于所述NG收片工位的料盒内，以及将收满NG硅片的料盒搬运至所述料盒输送线上，所述料盒输送线用于将收满NG硅片的料盒输送至所述第二AGV转运机构上，所述第二AGV转运机构用于将收满NG硅片的料盒转运至后道的NG硅片回收工位处。

11.如权利要求10所述的硅片收片系统，其特征在于：所述主输送线的两侧分别设置有一条所述料盒输送线，每条所述料盒输送线均包括收料输送段、转移输送段及出料输送段，其中：

所述收料输送段位于所述NG硅片下料工位的边侧且平行于所述主输送线，所述收料输送段和所述NG硅片下料工位之间设有所述NG收片工位；

所述出料输送段位于所述合格硅片下料工位的边侧且与所述第一收片机构设置在不同高度，所述出料输送段平行于所述主输送线，并与所述第二AGV转运机构对接；

所述转移输送段垂直于所述主输送线，所述转移输送段的两端分别与所述收料输送段和所述出料输送段对接；

所述第二收片机构用于将收满NG硅片的料盒搬运至所述收料输送段上，所述转移输送段被配置为将所述收料输送段输送的收满NG硅片的料盒输送至所述出料输送段上，所述出料输送段被配置为将收满NG硅片的料盒输送至所述第二AGV转运机构上。

12.如权利要求11所述的硅片收片系统，其特征在于：所述料盒输送线包括第一侧收料输送段、第二侧收料输送段、第一侧转移输送段、第二侧转移输送段及汇流出料输送段，其中：

所述第一侧收料输送段位于所述NG硅片下料工位的第一侧且平行于所述主输送线，所述第二侧收料输送段位于所述NG硅片下料工位的第二侧且平行于所述主输送线，所述第一侧收料输送段与所述NG硅片下料工位之间、所述第二侧收料输送段与所述NG硅片下料工位之间均设有所述NG收片工位；

所述汇流出料输送段位于所述合格硅片下料工位的下方且平行于所述主输送线，所述汇流出料输送段与所述第二AGV转运机构对接；

所述第一侧转移输送段垂直于所述主输送线，所述第一侧转移输送段的两端分别与所述第一侧收料输送段和所述汇流出料输送段对接；所述第二侧转移输送段垂直于所述主输送线，所述第二侧转移输送段的两端分别与所述第二侧收料输送段和所述汇流出料输送段对接；

所述第二收片机构将收满NG硅片的料盒搬运至所述第一侧收料输送段和/或所述第二侧收料输送段上，所述第一侧转移输送段、所述第二侧转移输送段分别将所述第一侧收料输送段、所述第二侧收料输送段输送的收满NG硅片的料盒输送至所述汇流出料输送段上，所述汇流出料输送段被配置为将收满NG硅片的料盒输送至所述第二AGV转运机构上。