CN220829946U - 一种静电吸附承载装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种静电吸附承载装置，涉及承载装置技术领域。包括底座，所述底座的顶部边缘开设有转动槽，所述转动槽的内部设置有转动座，所述转动座的顶部固定连接有驱动组件，所述驱动组件包括驱动环，所述驱动环和转动座的顶部相固定，所述驱动环的内壁开设有驱动齿槽。本实用新型通过启动电机带动驱动齿轮转动，驱动齿轮借助驱动齿槽带动驱动环转动，驱动环借助转动槽内部的转动座完成转动的同时，带动联动齿轮进行同步转动，当驱动齿轮、联动齿轮同步转动时，即可带动齿条沿着安装架进行往复移动，同时通过防滑垫与静电吸附承载台表面的接触实现对不同尺寸静电吸附承载台的夹持固定，提高了装置的适用性。

Description

一种静电吸附承载装置

技术领域

本实用新型涉及承载装置技术领域，具体为一种静电吸附承载装置。

背景技术

静电吸附承载装置是一种利用静电力原理来固定和携带物体的装置。现有的晶圆承载及传送装置(公开号：CN210006714U)在使用中至少暴露出以下缺陷：

由于该装置在使用时，晶圆承载台采用的是大小固定的圆盘，所以在对晶圆进行静电吸附的过程中，仅能对固定大小的晶圆进行固定，降低了装置的适用性，所以急需一种可调节静电吸附承载装置。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种静电吸附承载装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种静电吸附承载装置，包括底座，所述底座的顶部边缘开设有转动槽，所述转动槽的内部设置有转动座，所述转动座的顶部固定连接有驱动组件，所述驱动组件包括驱动环，所述驱动环和转动座的顶部相固定，所述驱动环的内壁开设有驱动齿槽，所述驱动环内壁的一侧啮合有驱动齿轮，所述驱动齿轮的底部设置有电机，所述电机的输出端和驱动齿轮相固定，所述驱动环内壁的另一侧、两端啮合有若干联动齿轮，所述驱动齿轮、联动齿轮的一端顶部啮合有夹持组件，所述底座的顶部中心设置有静电吸附承载台。

优选的，所述转动座和底座滑动连接，所述联动齿轮的底部和底座转动连接，所述电机的底部和底座相固定。

优选的，所述夹持组件包括若干安装板，所述安装板和底座的外壁相固定。

优选的，所述安装板的顶部固定连接有安装架，所述安装架的顶部贯穿且滑动连接有齿条。

优选的，所述齿条和驱动齿轮、联动齿轮的一端顶部相啮合，所述齿条靠近底座中心的方向固定连接有防滑垫，所述防滑垫和静电吸附承载台相接触。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型通过启动电机带动驱动齿轮转动，驱动齿轮借助驱动齿槽带动驱动环转动，驱动环借助转动槽内部的转动座完成转动的同时，带动联动齿轮进行同步转动，当驱动齿轮、联动齿轮同步转动时，即可带动齿条沿着安装架进行往复移动，同时通过防滑垫与静电吸附承载台表面的接触实现对不同尺寸静电吸附承载台的夹持固定，提高了装置的适用性。

附图说明

图1为本实用新型的轴视图；

图2为本实用新型的分解图；

图3为本实用新型的驱动组件分解图；

图4为本实用新型的夹持组件分解图。

图中：1、底座；2、转动槽；3、转动座；4、驱动组件；401、驱动环；402、驱动齿槽；403、驱动齿轮；404、电机；405、联动齿轮；5、夹持组件；501、安装板；502、安装架；503、齿条；504、防滑垫；6、静电吸附承载台。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在对晶圆进行静电吸附固定的过程中，需要使用到静电吸附承载台6，本实用新型提供的一种静电吸附承载装置，专门用于晶圆的静电吸附固定作业，其中，静电吸附承载台6优选Brooks Automation(布鲁克斯自动化)旗下型号为MagTran 7的装置。

实施例

请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：

一种静电吸附承载装置，包括底座1，底座1的顶部边缘开设有转动槽2，转动槽2的内部设置有转动座3，转动座3的顶部固定连接有驱动组件4，驱动组件4包括驱动环401，驱动环401和转动座3的顶部相固定，驱动环401的内壁开设有驱动齿槽402，驱动环401内壁的一侧啮合有驱动齿轮403，驱动齿轮403的底部设置有电机404，电机404的输出端和驱动齿轮403相固定，驱动环401内壁的另一侧、两端啮合有若干联动齿轮405，驱动齿轮403、联动齿轮405的一端顶部啮合有夹持组件5，底座1的顶部中心设置有静电吸附承载台6，转动座3和底座1滑动连接，联动齿轮405的底部和底座1转动连接，电机404的底部和底座1相固定。

本实施例中，当需要对夹持组件5进行同步驱动时，首先启动电机404带动驱动齿轮403转动，驱动齿轮403借助驱动齿槽402带动驱动环401转动，驱动环401借助转动槽2内部的转动座3完成转动的同时，带动联动齿轮405进行同步转动，当驱动齿轮403、联动齿轮405同步转动时，即可实现对夹持组件5的同步驱动。

其中参考图4可知，在本申请中，夹持组件5包括若干安装板501，安装板501和底座1的外壁相固定，安装板501的顶部固定连接有安装架502，安装架502的顶部贯穿且滑动连接有齿条503，齿条503和驱动齿轮403、联动齿轮405的一端顶部相啮合，齿条503靠近底座1中心的方向固定连接有防滑垫504，防滑垫504和静电吸附承载台6相接触。

本实施例中，当需要对不同尺寸的静电吸附承载台6进行夹持固定时，通过驱动齿轮403、联动齿轮405的转动带动齿条503沿着安装架502进行往复移动，同时通过防滑垫504与静电吸附承载台6表面的接触实现对不同尺寸静电吸附承载台6的夹持固定，提高了装置的适用性，其中，通过将安装板501固定在底座1上，实现对齿条503位置的固定。

需要说明的是，本实用新型作为一种静电吸附承载装置，在使用时，首先根据待静电吸附的晶圆大小选择合适尺寸的静电吸附承载台6放置到底座1上，然后启动电机404带动驱动齿轮403转动，驱动齿轮403借助驱动齿槽402带动驱动环401转动，驱动环401借助转动槽2内部的转动座3完成转动的同时，带动联动齿轮405进行同步转动，当驱动齿轮403、联动齿轮405同步转动时，即可带动齿条503沿着安装架502进行往复移动，同时通过防滑垫504与静电吸附承载台6表面的接触实现对不同尺寸静电吸附承载台6的夹持固定，最后，启动静电吸附承载台6完成对晶圆的静电吸附固定即可。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (5)

1.一种静电吸附承载装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部边缘开设有转动槽（2），所述转动槽（2）的内部设置有转动座（3），所述转动座（3）的顶部固定连接有驱动组件（4），所述驱动组件（4）包括驱动环（401），所述驱动环（401）和转动座（3）的顶部相固定，所述驱动环（401）的内壁开设有驱动齿槽（402），所述驱动环（401）内壁的一侧啮合有驱动齿轮（403），所述驱动齿轮（403）的底部设置有电机（404），所述电机（404）的输出端和驱动齿轮（403）相固定，所述驱动环（401）内壁的另一侧、两端啮合有若干联动齿轮（405），所述驱动齿轮（403）、联动齿轮（405）的一端顶部啮合有夹持组件（5），所述底座（1）的顶部中心设置有静电吸附承载台（6）。

2.根据权利要求1所述的一种静电吸附承载装置，其特征在于：所述转动座（3）和底座（1）滑动连接，所述联动齿轮（405）的底部和底座（1）转动连接，所述电机（404）的底部和底座（1）相固定。

3.根据权利要求1所述的一种静电吸附承载装置，其特征在于：所述夹持组件（5）包括若干安装板（501），所述安装板（501）和底座（1）的外壁相固定。

4.根据权利要求3所述的一种静电吸附承载装置，其特征在于：所述安装板（501）的顶部固定连接有安装架（502），所述安装架（502）的顶部贯穿且滑动连接有齿条（503）。

5.根据权利要求4所述的一种静电吸附承载装置，其特征在于：所述齿条（503）和驱动齿轮（403）、联动齿轮（405）的一端顶部相啮合，所述齿条（503）靠近底座（1）中心的方向固定连接有防滑垫（504），所述防滑垫（504）和静电吸附承载台（6）相接触。