CN219286360U - 一种晶圆盘移位机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆盘移位机构，包括底板，底板的顶部开设有滑槽，滑槽的内部滑动连接有滑块，滑块的顶部固定连接有滑动座，滑动座与底板滑动连接，滑动座的内部转动连接有连接轴，连接轴的一端固定连接有放置台，放置台的顶部对称滑动连接有连接块，连接块的顶部固定连接有夹持板，夹持板与放置台滑动连接，夹持板的一侧设有橡胶垫；本实用新型所达到的有益效果是：通过设置了滑槽、滑块、滑动座和放置台实现了带动晶圆盘进行移动的功能，实现对晶圆盘进行移位的效果；通过设置了连接块和夹持板实现了在移动的过程中对晶圆盘进行夹持的功能，防止晶圆盘在移动的过程中产生偏移或滑落，增强了移位过程中的稳定性，方便使用。

Description

一种晶圆盘移位机构

技术领域

本实用新型涉及移位机构技术领域，具体为一种晶圆盘移位机构。

背景技术

随着科技产业的发展，半导体行业扮演着越来越重要的角色，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在晶圆的贴标过程中，通常需要利用移位机构对晶圆盘移位；在中国实用新型专利申请号：CN202023224080.9中公开有一种晶圆盘旋转平移装置，能够移动晶圆盘，以使晶圆盘适应贴标工序，进而降低贴标设备的成本。上述专利虽然实现了对晶圆盘进行移位的功能，但是，上述专利在使用时存在以下弊端：不能对放置在旋转台上侧的晶圆盘进行固定，为了提高生产效率，装置在带动晶圆盘移动时速度一般较快，如果晶圆盘得不到可靠的固定，很容易发生位置偏移甚至滑落，不方便使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆盘移位机构，以解决上述背景技术中提出的不能对放置在旋转台上侧的晶圆盘进行固定，为了提高生产效率，装置在带动晶圆盘移动时速度一般较快，如果晶圆盘得不到可靠的固定，很容易发生位置偏移甚至滑落的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶圆盘移位机构，包括底板，所述底板的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的顶部固定连接有滑动座，所述滑动座与底板滑动连接，所述滑动座的内部转动连接有连接轴，所述连接轴的一端固定连接有放置台，所述放置台的顶部对称滑动连接有连接块，所述连接块的顶部固定连接有夹持板，所述夹持板与放置台滑动连接，所述夹持板的一侧设有橡胶垫。

优选的，所述底板的顶部固定连接有支撑杆，所述支撑杆的内部转动连接有转轴，所述转轴的一端固定连接有转动板，所述转动板的底部对称设有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端设有真空吸盘。

优选的，所述支撑杆的内部设有第二电机，所述第二电机的输出端与转轴固定连接。

优选的，所述转动板的底部对称设有真空发生器，所述真空发生器通过管道与真空吸盘连通。

优选的，所述底板的内部转动连接有连接丝杆，所述滑块与连接丝杆螺纹连接，所述底板的一侧固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端与连接丝杆固定连接。

优选的，所述滑动座的内部转动连接有传动轴，所述传动轴的外侧固定连接有第二齿轮，所述连接轴的外侧固定连接有与第二齿轮配合使用的第一齿轮，所述滑动座的内部设有第四电机，所述第四电机的输出端与传动轴固定连接。

优选的，所述放置台的内部转动连接有双向丝杆，所述连接块与双向丝杆螺纹连接，所述放置台的一侧固定连接有第三电机，所述第三电机的输出端与双向丝杆固定连接。

本实用新型所达到的有益效果是：通过设置了滑槽、滑块、滑动座和放置台实现了带动晶圆盘进行移动的功能，实现对晶圆盘进行移位的效果；通过设置了连接块和夹持板实现了在移动的过程中对晶圆盘进行夹持的功能，防止晶圆盘在移动的过程中产生偏移或滑落，增强了移位过程中的稳定性，方便使用。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的剖面图；

图3是本实用新型局部A的放大图。

图中：1、底板；2、放置台；3、滑动座；4、夹持板；5、滑槽；6、第一电机；7、转动板；8、电动伸缩杆；9、真空吸盘；10、支撑杆；11、转轴；12、真空发生器；13、第二电机；14、第三电机；15、滑块；16、双向丝杆；17、连接丝杆；18、连接块；19、连接轴；20、第一齿轮；21、第四电机；22、传动轴；23、第二齿轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图3，本实用新型提供一种技术方案：

一种晶圆盘移位机构，包括底板1，底板1的顶部开设有滑槽5，滑槽5的内部滑动连接有滑块15，滑块15的顶部固定连接有滑动座3，滑动座3与底板1滑动连接，通过滑块15的移动带动滑动座3进行移动，从而带动晶圆盘进行横向的移动；滑动座3的内部转动连接有连接轴19，连接轴19的一端固定连接有放置台2，通过连接轴19的转动带动放置台2进行转动，从而带动晶圆盘进行转动；放置台2的顶部对称滑动连接有连接块18，连接块18的顶部固定连接有夹持板4，夹持板4与放置台2滑动连接，夹持板4的一侧设有橡胶垫，通过连接块18的移动带动夹持板4进行移动，通过夹持板4对晶圆盘进行限位固定，通过橡胶垫进行防护。

进一步的，底板1的顶部固定连接有支撑杆10，支撑杆10的内部转动连接有转轴11，转轴11的一端固定连接有转动板7，转动板7的底部对称设有电动伸缩杆8，电动伸缩杆8的输出端设有真空吸盘9，通过转轴11的转动带动转动板7进行转动，方便对晶圆盘的位置进行移动，通过电动伸缩杆8的输出端带动真空吸盘9进行移动，通过真空吸盘9对晶圆盘进行吸附固定。

进一步的，支撑杆10的内部设有第二电机13，第二电机13的输出端与转轴11固定连接，通过第二电机13的输出端带动转轴11进行转动。

进一步的，转动板7的底部对称设有真空发生器12，真空发生器12通过管道与真空吸盘9连通，通过真空发生器12对真空吸盘9抽真空，从而对晶圆盘进行吸附。

进一步的，底板1的内部转动连接有连接丝杆17，滑块15与连接丝杆17螺纹连接，底板1的一侧固定连接有第一电机6，第一电机6的输出端与连接丝杆17固定连接，通过第一电机6带动连接丝杆17进行转动，通过连接丝杆17的转动带动滑块15进行移动。

进一步的，滑动座3的内部转动连接有传动轴22，传动轴22的外侧固定连接有第二齿轮23，连接轴19的外侧固定连接有与第二齿轮23配合使用的第一齿轮20，滑动座3的内部设有第四电机21，第四电机21的输出端与传动轴22固定连接，通过第四电机21带动传动轴22进行转动，传动轴22通过第二齿轮23带动第一齿轮20进行转动，第一齿轮20带动连接轴19进行转动。

进一步的，放置台2的内部转动连接有双向丝杆16，连接块18与双向丝杆16螺纹连接，放置台2的一侧固定连接有第三电机14，第三电机14的输出端与双向丝杆16固定连接，通过第三电机14带动双向丝杆16进行转动，通过双向丝杆16的转动带动连接块18进行移动。

具体的，使用时，启动电动伸缩杆8，通过电动伸缩杆8带动真空吸盘9向下移动接触到晶圆盘，通过真空发生器12对真空吸盘9抽真空，从而对晶圆盘进行吸附，启动第二电机13，第二电机13通过转轴11带动转动板7进行转动，从而将晶圆盘输送到放置台2的顶部，启动第三电机14，第三电机14带动双向丝杆16进行转动，通过双向丝杆16的转动带动连接块18进行移动，连接块18带动夹持板4进行移动，从而对晶圆盘进行夹持固定，启动第一电机6，第一电机6带动连接丝杆17进行转动，通过连接丝杆17的转动带动滑块15进行移动，滑块15带动滑动座3进行移动，从而对晶圆盘进行移动，对晶圆盘进行移位，方便使用。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种晶圆盘移位机构，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部开设有滑槽(5)，所述滑槽(5)的内部滑动连接有滑块(15)，所述滑块(15)的顶部固定连接有滑动座(3)，所述滑动座(3)与底板(1)滑动连接，所述滑动座(3)的内部转动连接有连接轴(19)，所述连接轴(19)的一端固定连接有放置台(2)，所述放置台(2)的顶部对称滑动连接有连接块(18)，所述连接块(18)的顶部固定连接有夹持板(4)，所述夹持板(4)与放置台(2)滑动连接，所述夹持板(4)的一侧设有橡胶垫。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆盘移位机构，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定连接有支撑杆(10)，所述支撑杆(10)的内部转动连接有转轴(11)，所述转轴(11)的一端固定连接有转动板(7)，所述转动板(7)的底部对称设有电动伸缩杆(8)，所述电动伸缩杆(8)的输出端设有真空吸盘(9)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆盘移位机构，其特征在于：所述支撑杆(10)的内部设有第二电机(13)，所述第二电机(13)的输出端与转轴(11)固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆盘移位机构，其特征在于：所述转动板(7)的底部对称设有真空发生器(12)，所述真空发生器(12)通过管道与真空吸盘(9)连通。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆盘移位机构，其特征在于：所述底板(1)的内部转动连接有连接丝杆(17)，所述滑块(15)与连接丝杆(17)螺纹连接，所述底板(1)的一侧固定连接有第一电机(6)，所述第一电机(6)的输出端与连接丝杆(17)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆盘移位机构，其特征在于：所述滑动座(3)的内部转动连接有传动轴(22)，所述传动轴(22)的外侧固定连接有第二齿轮(23)，所述连接轴(19)的外侧固定连接有与第二齿轮(23)配合使用的第一齿轮(20)，所述滑动座(3)的内部设有第四电机(21)，所述第四电机(21)的输出端与传动轴(22)固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆盘移位机构，其特征在于：所述放置台(2)的内部转动连接有双向丝杆(16)，所述连接块(18)与双向丝杆(16)螺纹连接，所述放置台(2)的一侧固定连接有第三电机(14)，所述第三电机(14)的输出端与双向丝杆(16)固定连接。

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