CN220812605U - 一种真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括镀膜机体，所述镀膜机体的内壁顶部固定连接有滑轨，所述滑轨的内壁滑动连接有滑动架，所述滑动架包括支撑板，所述支撑板的外壁固定连接有滑板，所述滑板的两侧外壁开设有轮槽，所述轮槽的内壁设置有轮毂，所述滑板的底部外壁固定连接有多个勾件，所述勾件的内壁悬挂有挂杆，所述滑板的外壁固定连接有把手。镀膜机体内的滑动架可以在滑轨内滑动，通过把手可以方便的将滑动架抽出，通过挂杆可以将需要加工的镀件进行悬挂，由于挂杆可以取下，同时轮毂可以降低滑动架的滑动摩擦，所以方便用于进行悬挂和摘取。

Description

一种真空镀膜机

技术领域

本实用新型属于镀膜机技术领域，具体涉及一种真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

专利CN209128531U所阐述的，一种真空镀膜机，通过电机内部驱动带动转轴和轴承运转，让固定盘上的工件能够保证镀膜均匀，提高镀膜效果，但是因为其固定盘的位置被固定，并且其放置在设备的内部，所以在拿取镀件上就会较为麻烦。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种真空镀膜机，具备便于拿放镀件的优点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机，包括镀膜机体，所述镀膜机体的内壁顶部固定连接有滑轨，所述滑轨的内壁滑动连接有滑动架，所述滑动架包括支撑板，所述支撑板的外壁固定连接有滑板，所述滑板的两侧外壁开设有轮槽，所述轮槽的内壁设置有轮毂，所述滑板的底部外壁固定连接有多个勾件，所述勾件的内壁悬挂有挂杆，所述滑板的外壁固定连接有把手。

优选的，所述滑轨包括轨道槽，所述轨道槽的内壁连通有内槽。

优选的，所述镀膜机体的内壁设置有加热器，所述加热器的外壁固定连接有蒸发板，所述蒸发板的外壁开设有蒸发孔。

优选的，所述镀膜机体的外壁固定连接有真空机，所述镀膜机体的内壁设置有抽气管。

优选的，所述镀膜机体的外壁固定连接有液冷器，所述镀膜机体的内壁设置有液冷管。

优选的，所述镀膜机体的外壁固定连接有门轴，所述门轴的外壁转动连接有门板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、镀膜机体内的滑动架可以在滑轨内滑动，通过把手可以方便的将滑动架抽出，通过挂杆可以将需要加工的镀件进行悬挂，由于挂杆可以取下，同时轮毂可以降低滑动架的滑动摩擦，所以方便用于进行悬挂和摘取。

2、悬挂镀件可以让渡件的接触面积更大，在拉出滑动架后，其支撑板会留在滑轨内，所以滑动架前端的滑板在被镀件受力下拉时，也可以保持稳定，在滑动架收回镀膜机体内之后，内槽会将支撑板隐藏，使得镀件可以完全位于蒸发板的正上方。

附图说明

图1为本实用新型的主体结构示意图；

图2为本实用新型的滑轨结构示意图；

图3为本实用新型的镀膜机体结构示意图；

图4为本实用新型的蒸发板结构示意图；

图5为本实用新型的滑动架拉出结构示意图。

图中：1、镀膜机体；2、滑轨；3、滑动架；4、加热器；5、蒸发板；6、蒸发孔；7、真空机；8、抽气管；9、液冷器；10、液冷管；11、门轴；12、门板；200、轨道槽；201、内槽；300、支撑板；301、滑板；302、轮槽；303、轮毂；304、勾件；305、挂杆；306、把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图5，本实用新型提供一种技术方案：一种真空镀膜机，包括镀膜机体1，镀膜机体1的内壁顶部固定连接有滑轨2，滑轨2的内壁滑动连接有滑动架3，滑动架3包括支撑板300，支撑板300的外壁固定连接有滑板301，滑板301的两侧外壁开设有轮槽302，轮槽302的内壁设置有轮毂303，滑板301的底部外壁固定连接有多个勾件304，勾件304的内壁悬挂有挂杆305，滑板301的外壁固定连接有把手306。

本实施方案中，镀膜机体1内的滑动架3可以在滑轨2内滑动，通过把手306可以方便的将滑动架3抽出，通过挂杆305可以将需要加工的镀件进行悬挂，由于挂杆305可以取下，同时轮毂303可以降低滑动架3的滑动摩擦，所以方便用于进行悬挂和摘取，并且悬挂镀件可以让渡件的接触面积更大，在拉出滑动架3后，其支撑板300会留在滑轨2内，所以滑动架3前端的滑板301在被镀件受力下拉时，也可以保持稳定。

具体的，滑轨2包括轨道槽200，轨道槽200的内壁连通有内槽201。

本实施方案中，在滑动架3收回镀膜机体1内之后，内槽201会将支撑板300隐藏，使得镀件可以完全位于蒸发板5的正上方。

具体的，镀膜机体1的内壁设置有加热器4，加热器4的外壁固定连接有蒸发板5，蒸发板5的外壁开设有蒸发孔6。

本实施方案中，通过加热器4和蒸发板5，可以将靶材通过蒸发孔6喷出，使得镀件被加工。

具体的，镀膜机体1的外壁固定连接有真空机7，镀膜机体1的内壁设置有抽气管8。

本实施方案中，通过真空机7的运转，可以让抽气管8将镀膜机体1内的空气抽出，从而营造真空环境。

具体的，镀膜机体1的外壁固定连接有液冷器9，镀膜机体1的内壁设置有液冷管10。

本实施方案中，通过液冷器9可以让镀膜机体1内的液冷管10对其内部进行降温散热。

具体的，镀膜机体1的外壁固定连接有门轴11，门轴11的外壁转动连接有门板12。

本实施方案中，通过门板12在门轴11上转动，可以让门板12对镀膜机体1进行开合。

本实用新型的工作原理及使用流程：镀膜机体1内的滑动架3可以在滑轨2内滑动，通过把手306可以方便的将滑动架3抽出，通过挂杆305可以将需要加工的镀件进行悬挂，由于挂杆305可以取下，同时轮毂303可以降低滑动架3的滑动摩擦，所以方便用于进行悬挂和摘取，并且悬挂镀件可以让渡件的接触面积更大，在拉出滑动架3后，其支撑板300会留在滑轨2内，所以滑动架3前端的滑板301在被镀件受力下拉时，也可以保持稳定，在滑动架3收回镀膜机体1内之后，内槽201会将支撑板300隐藏，使得镀件可以完全位于蒸发板5的正上方，通过加热器4和蒸发板5，可以将靶材通过蒸发孔6喷出，使得镀件被加工，通过真空机7的运转，可以让抽气管8将镀膜机体1内的空气抽出，从而营造真空环境，通过液冷器9可以让镀膜机体1内的液冷管10对其内部进行降温散热，通过门板12在门轴11上转动，可以让门板12对镀膜机体1进行开合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种真空镀膜机，包括镀膜机体(1)，其特征在于：所述镀膜机体(1)的内壁顶部固定连接有滑轨(2)，所述滑轨(2)的内壁滑动连接有滑动架(3)，所述滑动架(3)包括支撑板(300)，所述支撑板(300)的外壁固定连接有滑板(301)，所述滑板(301)的两侧外壁开设有轮槽(302)，所述轮槽(302)的内壁设置有轮毂(303)，所述滑板(301)的底部外壁固定连接有多个勾件(304)，所述勾件(304)的内壁悬挂有挂杆(305)，所述滑板(301)的外壁固定连接有把手(306)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述滑轨(2)包括轨道槽(200)，所述轨道槽(200)的内壁连通有内槽(201)。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜机体(1)的内壁设置有加热器(4)，所述加热器(4)的外壁固定连接有蒸发板(5)，所述蒸发板(5)的外壁开设有蒸发孔(6)。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜机体(1)的外壁固定连接有真空机(7)，所述镀膜机体(1)的内壁设置有抽气管(8)。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜机体(1)的外壁固定连接有液冷器(9)，所述镀膜机体(1)的内壁设置有液冷管(10)。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜机体(1)的外壁固定连接有门轴(11)，所述门轴(11)的外壁转动连接有门板(12)。