CN220818231U - 一种等离子清洗机冷却装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种等离子清洗机冷却装置，装置包括真空清洗腔，真空清洗腔内设有用于对真空清洗腔内部全范围进行冷却的分区冷却组件和智能控温组件，分区冷却组件包括若干用于对真空腔内部进行根据受热温度不同进行分区冷却的蛇形冷却管，智能控温组件包括用于对真空腔两侧进行智能控温的智能控温板，分区冷却组件用于对真空清洗箱内部的不同温度进行分区冷却，避免过高的冷却降温损耗，智能控温组件用于对真空清洗腔内部的温度进行智能控温，旨在对真空腔内部进行根据受热温度不同进行分区冷却，对真空腔内部全范围进行智能化控温，避免水冷降温过多损耗，实现智能化调温降温。

Description

一种等离子清洗机冷却装置

技术领域

本实用新型涉及等离子清洗机领域，具体是一种等离子清洗机冷却装置。

背景技术

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

等离子清洗机也叫等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、涂覆、光刻胶灰化等目的。等等离子清洗机通过对样品表面进行改性，同时除掉表面有机物，使多种材料之间能够进行贴合、涂覆、镀膜等工艺操作。从研究开发到工艺生产使用，从表面微细加工到表面处理改质效果都非常好，应用广泛。

等离子清洗机真空腔里面的温度过度会引发很多的问题，真空腔里面如果不加水冷温度会高到几百度，不仅损坏处理的材料，会使处理的材料变形变色，而且对机器也有不良的影响。如果不带隔热手套，手就会被烫伤，真空等离子清洗机的反应腔室本体一般都是铝或不锈钢的材质，电极板基本上采用铝合金，这两部分在等离子体处理产品的时候吸收了大量的热，不加任何配套设施的情况下，就会以传导的方式和热射线的形式散发给周围温度较低的物体，造成内部零件的损坏。

目前，对等离子清洗机真空腔内部的降温主要采取水冷降温，但真空腔内部较大，水冷降温无法对真空腔内部不同的温度进行智能降温，导致对真空腔分区不同的温度时依然只能统一降温，导致损耗较大，本申请旨在对真空腔内部进行根据受热温度不同进行分区冷却，对真空腔内部全范围进行智能化控温，避免水冷降温过多损耗，实现智能化调温降温。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种等离子清洗机冷却装置，以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种等离子清洗机冷却装置，装置包括真空清洗腔，真空清洗腔内设有用于对真空清洗腔内部全范围进行冷却的分区冷却组件和智能控温组件，分区冷却组件包括若干用于对真空腔内部进行根据受热温度不同进行分区冷却的蛇形冷却管，智能控温组件包括用于对真空腔两侧进行智能控温的智能控温板，真空腔靠近蛇形冷却管和智能控温板分别设有槽口，蛇形冷却管与槽口可拆卸连接。

通过采用上述技术方案：真空清洗腔用于对不同材料进行清洗，分区冷却组件用于对真空清洗箱内部的不同温度进行分区冷却，避免过高的冷却降温损耗，智能控温组件用于对真空清洗腔内部的温度进行智能控温，蛇形冷却管用于对扩大冷却面积，智能控温板用于进行智能控温。

进一步设置：分区冷却组件包括用于对冷却水进行循环引流导入的引流主管，蛇形冷却管包括左侧蛇形冷却管、右侧蛇形冷却管和移动蛇形冷却管，左侧蛇形冷却管、右侧蛇形冷却管分别一体焊接在引流主管上，其中，左侧蛇形冷却管、右侧蛇形冷却管和移动蛇形冷却管上弯曲位置处环形的管路直径小于蛇形冷却管管路直径，蛇形冷却管上若干弯曲位置处设置有用于对冷却水进行即时降温的冷却器，冷却器套设在蛇形冷却管上，真空清洗腔内靠近左侧蛇形冷却管、右侧蛇形冷却管两侧设有固定台，固定台内部设有通槽，通槽内部设有用于对左侧蛇形冷却管、右侧蛇形冷却管进行连接固定的固定连管，固定连管分别与左侧蛇形冷却管、右侧蛇形冷却管嵌设连接，引流主管设置在通槽内部，通槽内部设有用于连接外部冷水泵的水冷管，水冷管与引流主管通过用于控制水流的控制阀连接。

通过采用上述技术方案：左侧蛇形冷却管、右侧蛇形冷却管和移动蛇形冷却管分别对真空清洗腔内部进行冷却降温，左侧蛇形冷却管、右侧蛇形冷却管和移动蛇形冷却管上弯曲位置处环形的管路直径小于蛇形冷却管管路直径能够对里面的冷却水流速变慢，便于套设在蛇形冷却管弯曲位置的冷却器对内部的冷却水进行冷却降温，避免冷却水因为真空清洗腔内部温度过热而温度增高，固定连管能够对左侧蛇形冷却管、右侧蛇形冷却管进行固定连接，使得左侧蛇形冷却管、右侧蛇形冷却管内部的冷却水能够循环流动，水冷管用于将外部冷水泵和引流主管连接。

进一步设置：移动蛇形冷却管内部设有用于对真空清洗腔进行分区制冷的制冷剂，固定台内部靠近移动蛇形冷却管两侧的位置设有用于带动移动蛇形冷却管进行移动制冷的推动气缸。

通过采用上述技术方案：推动气缸能够推动移动蛇形冷却管进行上下移动，从而对真空清洗腔进行分区降温。

进一步设置：智能控温组件包括固定控温板，槽口内部设有用于带动固定控温板和智能控温板进行转动的转轴，真空清洗腔外部设有用于带动转轴进行转动的转动电机，转轴远离转动电机的一侧与槽口通过轴承连接，固定控温板和智能控温板交替嵌设在转轴上，槽口靠近固定控温板和智能控温板之间的间隙设有用于固定真空清洗腔内电极板的固定架。

通过采用上述技术方案：固定控温板和智能控温板能够对真空清洗腔进行温度控制，转动电机能够带动转轴进行转动，固定架能够对真空清洗腔内电极板进行固定，当电极板上的材料清洗完成搬出时，通过开启转动电机，带动固定控温板和智能控温板转动在电极板上方进行近距离降温，对真空腔内部快速降温。

进一步设置：智能控温板上设有伸缩槽，伸缩槽内部设有用于对真空清洗腔进行伸缩降温的伸缩控温板，伸缩槽内部设有用于带动伸缩控温板进行伸缩的伸缩气缸和用于控制伸缩控温板开启的智能开关，智能开关和伸缩气缸电连接。

通过采用上述技术方案：伸缩控温板能够在真空清洗腔内部温度达到设定阈值时，打开伸缩气缸和伸缩控温板，伸缩气缸带动伸缩控温板进行伸缩，对真空清洗腔内部进行智能化控温。

进一步设置：真空清洗腔内远离蛇形冷却管和智能控温板一侧设有若干用于实时检测真空清洗腔内部温度进行反馈的温度传感器，温度传感器分别与推动气缸、伸缩气缸电连接。

通过采用上述技术方案：温度传感器对机器的温度实时监测，从而控制推动气缸、伸缩气缸对真空清洗腔内部进行分区控温和智能温控。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：旨在对真空腔内部进行根据受热温度不同进行分区冷却，对真空腔内部全范围进行智能化控温，避免水冷降温过多损耗，实现智能化调温降温。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。

图1为本实用新型一种等离子清洗机冷却装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种等离子清洗机冷却装置的局部图；

图3为本实用新型一种等离子清洗机冷却装置的整体剖面图。

图中，1、真空清洗腔；2、引流主管；3、左侧蛇形冷却管；4、右侧蛇形冷却管；5、移动蛇形冷却管；6、冷却器；7、固定台；8、固定连管；9、推动气缸；10、固定控温板；11、智能控温板；12、转动电机；13、转轴；14、伸缩控温板；15、温度传感器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～3，本实用新型实施例中，一种等离子清洗机冷却装置，装置包括真空清洗腔1，真空清洗腔1用于对不同材料进行清洗，真空清洗腔1内设有用于对真空清洗腔1内部全范围进行冷却的分区冷却组件和智能控温组件，分区冷却组件用于对真空清洗箱内部的不同温度进行分区冷却，避免过高的冷却降温损耗，智能控温组件用于对真空清洗腔1内部的温度进行智能控温，

分区冷却组件包括若干用于对真空腔内部进行根据受热温度不同进行分区冷却的蛇形冷却管，蛇形冷却管用于对扩大冷却面积，

智能控温组件包括用于对真空腔两侧进行智能控温的智能控温板11，智能控温板11用于进行智能控温，真空腔靠近蛇形冷却管和智能控温板11分别设有槽口，蛇形冷却管与槽口可拆卸连接。

分区冷却组件包括用于对冷却水进行循环引流导入的引流主管2，蛇形冷却管包括左侧蛇形冷却管3、右侧蛇形冷却管4和移动蛇形冷却管5，左侧蛇形冷却管3、右侧蛇形冷却管4分别一体焊接在引流主管2上，其中，左侧蛇形冷却管3、右侧蛇形冷却管4和移动蛇形冷却管5上弯曲位置处环形的管路直径小于蛇形冷却管管路直径，蛇形冷却管上若干弯曲位置处设置有用于对冷却水进行即时降温的冷却器6，冷却器6套设在蛇形冷却管上，真空清洗腔1内靠近左侧蛇形冷却管3、右侧蛇形冷却管4两侧设有固定台7，固定台7内部设有通槽，通槽内部设有用于对左侧蛇形冷却管3、右侧蛇形冷却管4进行连接固定的固定连管8，固定连管8分别与左侧蛇形冷却管3、右侧蛇形冷却管4嵌设连接，引流主管2设置在通槽内部，通槽内部设有用于连接外部冷水泵的水冷管，水冷管与引流主管2通过用于控制水流的控制阀连接。

移动蛇形冷却管5内部设有用于对真空清洗腔1进行分区制冷的制冷剂，固定台7内部靠近移动蛇形冷却管5两侧的位置设有用于带动移动蛇形冷却管5进行移动制冷的推动气缸9，推动气缸9能够推动移动蛇形冷却管5进行上下移动，从而对真空清洗腔1进行分区降温。

左侧蛇形冷却管3、右侧蛇形冷却管4和移动蛇形冷却管5分别对真空清洗腔1内部进行冷却降温，左侧蛇形冷却管3、右侧蛇形冷却管4和移动蛇形冷却管5上弯曲位置处环形的管路直径小于蛇形冷却管管路直径能够对里面的冷却水流速变慢，便于套设在蛇形冷却管弯曲位置的冷却器6对内部的冷却水进行冷却降温，避免冷却水因为真空清洗腔1内部温度过热而温度增高，固定连管8能够对左侧蛇形冷却管3、右侧蛇形冷却管4进行固定连接，使得左侧蛇形冷却管3、右侧蛇形冷却管4内部的冷却水能够循环流动，水冷管用于将外部冷水泵和引流主管2连接。

智能控温组件包括固定控温板10，槽口内部设有用于带动固定控温板10和智能控温板11进行转动的转轴13，真空清洗腔1外部设有用于带动转轴13进行转动的转动电机12，转轴13远离转动电机12的一侧与槽口通过轴承连接，固定控温板10和智能控温板11交替嵌设在转轴13上，槽口靠近固定控温板10和智能控温板11之间的间隙设有用于固定真空清洗腔1内电极板的固定架。

智能控温板11上设有伸缩槽，伸缩槽内部设有用于对真空清洗腔1进行伸缩降温的伸缩控温板14，伸缩槽内部设有用于带动伸缩控温板14进行伸缩的伸缩气缸和用于控制伸缩控温板14开启的智能开关，智能开关和伸缩气缸电连接。

固定控温板10和智能控温板11能够对真空清洗腔1进行温度控制，转动电机12能够带动转轴13进行转动，固定架能够对真空清洗腔1内电极板进行固定，当电极板上的材料清洗完成搬出时，通过开启转动电机12，带动固定控温板10和智能控温板11转动在电极板上方进行近距离降温，对真空腔内部快速降温。

伸缩控温板14能够在真空清洗腔1内部温度达到设定阈值时，打开伸缩气缸和伸缩控温板14，伸缩气缸带动伸缩控温板14进行伸缩，对真空清洗腔1内部进行智能化控温。

真空清洗腔1内远离蛇形冷却管和智能控温板11一侧设有若干用于实时检测真空清洗腔1内部温度进行反馈的温度传感器15，温度传感器15分别与推动气缸9、伸缩气缸电连接，温度传感器15对机器的温度实时监测，从而控制推动气缸9、伸缩气缸对真空清洗腔1内部进行分区控温和智能温控。

本实用新型的工作原理是：操作人员将待清洗的材料放置在真空清洗腔1内部，开启等离子清洗机进行清洗，温度传感器15实时检测真空清洗腔1内部的温度，当温度过高时，开始冷水泵、固定控温板10、智能控温板11和冷却器6，左侧蛇形冷却管3、右侧蛇形冷却管4和移动蛇形冷却管5分别对真空清洗腔1内部进行冷却降温，固定控温板10和智能控温板11能够对真空清洗腔1进行温度控制，冷却器6对内部的冷却水进行冷却降温，避免冷却水因为真空清洗腔1内部温度过热而温度增高，当不同温度传感器15感应的温度不同时，温度传感器15开启推动气缸9，推动气缸9能够推动移动蛇形冷却管5进行上下移动，从而对真空清洗腔1进行分区降温，当温度传感器15温度感应高于设定阈值，开启伸缩气缸，伸缩气缸带动伸缩控温板14进行伸缩，对真空清洗腔1内部进行智能化控温，当真空清洗腔1内部结束后，待材料搬出后，开启转动电机12，带动固定控温板10和智能控温板11转动在电极板上方进行近距离降温，对真空腔内部快速降温。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种等离子清洗机冷却装置，其特征在于：所述装置包括真空清洗腔(1)，真空清洗腔(1)内设有用于对真空清洗腔(1)内部全范围进行冷却的分区冷却组件和智能控温组件，分区冷却组件包括若干用于对真空腔内部进行根据受热温度不同进行分区冷却的蛇形冷却管，智能控温组件包括用于对真空腔两侧进行智能控温的智能控温板(11)，真空腔靠近蛇形冷却管和智能控温板(11)分别设有槽口，蛇形冷却管与槽口可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的一种等离子清洗机冷却装置，其特征在于:所述分区冷却组件包括用于对冷却水进行循环引流导入的引流主管(2)，蛇形冷却管包括左侧蛇形冷却管(3)、右侧蛇形冷却管(4)和移动蛇形冷却管(5)，左侧蛇形冷却管(3)、右侧蛇形冷却管(4)分别一体焊接在引流主管(2)上，其中，左侧蛇形冷却管(3)、右侧蛇形冷却管(4)和移动蛇形冷却管(5)上弯曲位置处环形的管路直径小于蛇形冷却管管路直径，蛇形冷却管上若干弯曲位置处设置有用于对冷却水进行即时降温的冷却器(6)，冷却器(6)套设在蛇形冷却管上，真空清洗腔(1)内靠近左侧蛇形冷却管(3)、右侧蛇形冷却管(4)两侧设有固定台(7)，固定台(7)内部设有通槽，通槽内部设有用于对左侧蛇形冷却管(3)、右侧蛇形冷却管(4)进行连接固定的固定连管(8)，固定连管(8)分别与左侧蛇形冷却管(3)、右侧蛇形冷却管(4)嵌设连接，引流主管(2)设置在通槽内部，通槽内部设有用于连接外部冷水泵的水冷管，水冷管与引流主管(2)通过用于控制水流的控制阀连接。

3.根据权利要求2所述的一种等离子清洗机冷却装置，其特征在于:所述移动蛇形冷却管(5)内部设有用于对真空清洗腔(1)进行分区制冷的制冷剂，固定台(7)内部靠近移动蛇形冷却管(5)两侧的位置设有用于带动移动蛇形冷却管(5)进行移动制冷的推动气缸(9)。

4.根据权利要求1所述的一种等离子清洗机冷却装置，其特征在于:所述智能控温组件包括固定控温板(10)，槽口内部设有用于带动固定控温板(10)和智能控温板(11)进行转动的转轴(13)，真空清洗腔(1)外部设有用于带动转轴(13)进行转动的转动电机(12)，转轴(13)远离转动电机(12)的一侧与槽口通过轴承连接，固定控温板(10)和智能控温板(11)交替嵌设在转轴(13)上，槽口靠近固定控温板(10)和智能控温板(11)之间的间隙设有用于固定真空清洗腔(1)内电极板的固定架。

5.根据权利要求1所述的一种等离子清洗机冷却装置，其特征在于:所述智能控温板(11)上设有伸缩槽，伸缩槽内部设有用于对真空清洗腔(1)进行伸缩降温的伸缩控温板(14)，伸缩槽内部设有用于带动伸缩控温板(14)进行伸缩的伸缩气缸和用于控制伸缩控温板(14)开启的智能开关，智能开关和伸缩气缸电连接。

6.根据权利要求1所述的一种等离子清洗机冷却装置，其特征在于:所述真空清洗腔(1)内远离蛇形冷却管和智能控温板(11)一侧设有若干用于实时检测真空清洗腔(1)内部温度进行反馈的温度传感器(15)，温度传感器(15)分别与推动气缸(9)、伸缩气缸电连接。