CN214701379U

CN214701379U - 一种用于真空镀膜机的冷却装置

Info

Publication number: CN214701379U
Application number: CN202121016478.5U
Authority: CN
Inventors: 王伟; 卢成; 张勇军
Original assignee: Sichuan Jincheng Guotai Vacuum Equipment Co ltd
Current assignee: CHENGDU GUOTAI VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD.
Priority date: 2021-05-13
Filing date: 2021-05-13
Publication date: 2021-11-12
Anticipated expiration: 2031-05-13

Abstract

本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的冷却装置，属于镀膜机冷却技术领域。一种用于真空镀膜机的冷却装置，包括镀膜机本体和水箱，还包括：工作组件，设置在所述镀膜机本体内；冷却环管，套接在所述工作组件的外壁；连接框，固定连接在所述镀膜机本体的侧壁，其中，所述水箱放置在所述连接框的底部；循环降温机构，设置在所述连接框内，用于对所述工作组件进行降温；电机，固定连接在所述连接框的内壁；转轴，连接在所述电机的输出端上；本实用新型结构简单，使用方便，通过水循环冷却的方式能够加快对镀膜机内部降温的速度，同时可对降温用到的水进行冷却处理，使之能够更好的吸收镀膜机内部的热量，进一步加快冷却的速度。

Description

一种用于真空镀膜机的冷却装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜机冷却技术领域，尤其涉及一种用于真空镀膜机的冷却装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延及PLD激光溅射沉积等多种种类，真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效的进行冷却，以确保其正常工作，目前通常会使用到专用的冷却装置来对镀膜机内部进行快速冷却处理。

现有的用于真空镀膜机的冷却装置大多是采用直接向镀膜机表面喷水的方式来进行冷却处理，但是这样做不仅浪费水源，还容易造成镀膜机内进入水蒸气，可能会损坏镀膜机内部器件，同时镀膜机内部热量不能很好的被吸收冷却，冷却效果不佳。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中用于真空镀膜机的冷却装置大多是采用直接向镀膜机表面喷水的方式来进行冷却处理，但是这样做不仅浪费水源，还容易造成镀膜机内进入水蒸气，可能会损坏镀膜机内部器件，同时镀膜机内部热量不能很好的被吸收冷却，冷却效果不佳的问题，而提出的一种用于真空镀膜机的冷却装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于真空镀膜机的冷却装置，包括镀膜机本体和水箱，还包括：工作组件，设置在所述镀膜机本体内；冷却环管，套接在所述工作组件的外壁；连接框，固定连接在所述镀膜机本体的侧壁，其中，所述水箱放置在所述连接框的底部；循环降温机构，设置在所述连接框内，用于对所述工作组件进行降温；电机，固定连接在所述连接框的内壁；转轴，连接在所述电机的输出端上；曲轴，固定连接在所述转轴上，用于驱动所述循环降温机构工作；水冷却机构，设置在所述水箱内，其中，所述水冷却机构与所述转轴之间连接有锥齿轮组。

为了对镀膜机本体内部进行及时降温处理，优选的，所述循环降温机构包括抽水筒、活塞、抽水管和第二连接管，所述抽水筒固定连接在连接框的顶部内壁，所述活塞滑动连接在抽水筒内，所述曲轴和活塞之间转动连接有连接杆，所述抽水管的两端分别与水箱和抽水筒相连通，所述冷却环管的一端与水箱之间连接有第一连接管，所述冷却环管的另一端与第二连接管相连通，所述第二连接管远离冷却环管的一端与抽水筒相连通，所述抽水管和第二连接管内均设有单向阀。

为了对降温用的水进行降温，进一步的，所述水冷却机构包括连接槽、连接轴和风扇，所述连接槽设置在水箱的顶部，所述连接轴贯穿连接槽转动连接在水箱内，所述连接轴和转轴之间连接有锥齿轮组，所述风扇设置在连接槽内，且所述风扇固定连接在连接轴上。

为了加快对降温用的水进行降温的速度，更进一步的，所述连接槽、连接轴和风扇的数量均为两组，两组所述连接轴的外壁均设有相互配合的搅拌齿。

为了进一步提高对镀膜机本体内部散热的效果，优选的，所述镀膜机本体的侧壁设有连通槽，所述转轴远离电机的一端连接在连通槽内，且所述转轴置于连通槽的一端上设有抽气扇。

为了给水箱注水，优选的，所述水箱的顶部设有注水口。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于真空镀膜机的冷却装置，具备以下有益效果：

1、该用于真空镀膜机的冷却装置，通过循环降温机构对镀膜机本体内部进行循环水冷降温，提高冷却的速度。

2、该用于真空镀膜机的冷却装置，通过水冷却机构工作，对降温用到的水进行冷却处理，使其能够在后续的冷却工作中更好的吸收热量，提高冷却效果。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型结构简单，使用方便，通过水循环冷却的方式能够加快对镀膜机内部降温的速度，同时可对降温用到的水进行冷却处理，使之能够更好的吸收镀膜机内部的热量，进一步加快冷却的速度。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种用于真空镀膜机的冷却装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种用于真空镀膜机的冷却装置图1 中A部分放大图。

图中：1、镀膜机本体；2、工作组件；3、冷却环管；4、连接框；5、水箱；6、第一连接管；7、电机；8、抽水筒；9、抽水管；10、第二连接管；11、注水口；12、连接槽；13、连接轴；14、风扇；15、搅拌齿。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例1：

参照图1-2，一种用于真空镀膜机的冷却装置，包括镀膜机本体1和水箱5，还包括：工作组件2，设置在镀膜机本体1内；冷却环管3，套接在工作组件2的外壁；连接框4，固定连接在镀膜机本体1的侧壁，其中，水箱5放置在连接框4的底部；循环降温机构，设置在连接框4内，用于对工作组件2进行降温；电机7，固定连接在连接框4的内壁；转轴，连接在电机7的输出端上；曲轴，固定连接在转轴上，用于驱动循环降温机构工作；水冷却机构，设置在水箱5内，其中，水冷却机构与转轴之间连接有锥齿轮组。

镀膜机本体1工作时，其内部的工作组件2将产生大量热量，此时通过启动电机7，电机7带动转轴和转轴上的曲轴转动，曲轴进一步带动循环降温机构工作，对工作组件2进行快速冷却降温，同时转轴通过锥齿轮组带动水冷却机构工作，对降温用的水进行冷却降温处理，使之在后面的循环降温时能够更好的吸收热量，起到更好的冷却效果。

实施例2：

参照图1-2，与实施例1基本相同，更进一步的是，为了对镀膜机本体1内部进行及时降温处理，循环降温机构包括抽水筒8、活塞、抽水管9和第二连接管10，抽水筒8固定连接在连接框4的顶部内壁，活塞滑动连接在抽水筒8内，曲轴和活塞之间转动连接有连接杆，抽水管9的两端分别与水箱5和抽水筒8相连通，冷却环管3的一端与水箱5之间连接有第一连接管6，冷却环管3的另一端与第二连接管10相连通，第二连接管10远离冷却环管3的一端与抽水筒8相连通，抽水管9和第二连接管10内均设有单向阀。

水箱5的顶部设有注水口11。

电机7启动后，带动转轴和转轴上的曲轴转动，此时曲轴通过连接杆带动活塞在抽水筒8内往复滑动并产生吸力，将通过抽水管9将水箱5内的水抽入到抽水筒8内，然后通过第二连接管10排入到冷却环管3，然后经过冷却环管3进入到第一连接管6，最后重新回流到水箱5内，实现循环降温的效果，提高冷却的速度。

实施例3：

参照图1-2，与实施例1基本相同，更进一步的是，为了对降温用的水进行降温，水冷却机构包括连接槽12、连接轴13和风扇14，连接槽12设置在水箱5的顶部，连接轴13贯穿连接槽12转动连接在水箱5内，连接轴13和转轴之间连接有锥齿轮组，风扇14设置在连接槽12内，且风扇14固定连接在连接轴13上。

连接槽12、连接轴13和风扇14的数量均为两组，两组连接轴13的外壁均设有相互配合的搅拌齿15。

转轴转动时，通过锥齿轮组带动两组连接轴13转动，两组连接轴13上的风扇14均转动，对水箱5内的水进行吹风冷却，同时两组连接轴13上的搅拌齿15均转动，使进入到水箱5内的温度升高的水与水箱5内温度较低的水进行充分混合，加快降温用的水的冷却速度，使之能够在后续的冷却工作中更好的吸收镀膜机本体1内部的热量，提高对镀膜机本体1的冷却效果。

实施例4：

参照图1-2，与实施例1基本相同，更进一步的是，为了进一步提高对镀膜机本体1内部散热的效果，镀膜机本体1的侧壁设有连通槽，转轴远离电机7的一端连接在连通槽内，且转轴置于连通槽的一端上设有抽气扇。

电机7启动，转轴转动时，可带动抽气扇高速转动，将镀膜机本体1内的热量通过连通槽快速抽出到外部，提高对镀膜机本体1的冷却速度。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种用于真空镀膜机的冷却装置，包括镀膜机本体（1）和水箱（5），其特征在于，还包括：

工作组件（2），设置在所述镀膜机本体（1）内；

冷却环管（3），套接在所述工作组件（2）的外壁；

连接框（4），固定连接在所述镀膜机本体（1）的侧壁，

其中，所述水箱（5）放置在所述连接框（4）的底部；

循环降温机构，设置在所述连接框（4）内，用于对所述工作组件（2）进行降温；

电机（7），固定连接在所述连接框（4）的内壁；

转轴，连接在所述电机（7）的输出端上；

曲轴，固定连接在所述转轴上，用于驱动所述循环降温机构工作；

水冷却机构，设置在所述水箱（5）内，

其中，所述水冷却机构与所述转轴之间连接有锥齿轮组。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的冷却装置，其特征在于，所述循环降温机构包括抽水筒（8）、活塞、抽水管（9）和第二连接管（10），所述抽水筒（8）固定连接在连接框（4）的顶部内壁，所述活塞滑动连接在抽水筒（8）内，所述曲轴和活塞之间转动连接有连接杆，所述抽水管（9）的两端分别与水箱（5）和抽水筒（8）相连通，所述冷却环管（3）的一端与水箱（5）之间连接有第一连接管（6），所述冷却环管（3）的另一端与第二连接管（10）相连通，所述第二连接管（10）远离冷却环管（3）的一端与抽水筒（8）相连通，所述抽水管（9）和第二连接管（10）内均设有单向阀。

3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜机的冷却装置，其特征在于，所述水冷却机构包括连接槽（12）、连接轴（13）和风扇（14），所述连接槽（12）设置在水箱（5）的顶部，所述连接轴（13）贯穿连接槽（12）转动连接在水箱（5）内，所述连接轴（13）和转轴之间连接有锥齿轮组，所述风扇（14）设置在连接槽（12）内，且所述风扇（14）固定连接在连接轴（13）上。

4.根据权利要求3所述的一种用于真空镀膜机的冷却装置，其特征在于，所述连接槽（12）、连接轴（13）和风扇（14）的数量均为两组，两组所述连接轴（13）的外壁均设有相互配合的搅拌齿（15）。

5.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的冷却装置，其特征在于，所述镀膜机本体（1）的侧壁设有连通槽，所述转轴远离电机（7）的一端连接在连通槽内，且所述转轴置于连通槽的一端上设有抽气扇。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的冷却装置，其特征在于，所述水箱（5）的顶部设有注水口（11）。