CN220596203U - 一种载板缓存组件、装置及太阳能电池镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种载板缓存组件、装置及太阳能电池镀膜设备，涉及太阳能电池生产技术领域。载板缓存组件包括基架、载板缓存架和驱动机构，其中基架具有滑轨；载板缓存架包括连接件和若干层载板支撑架，连接件移动设置于滑轨，若干层载板支撑架沿滑轨的延伸方向层叠设置于连接件；驱动机构与连接件连接，用于驱动载板缓存架沿滑轨的延伸方向移动。使用时，通过驱动机构驱动载板缓存架上的一层载板支撑架与出料的载板位置对应，待载板进入该层载板支撑架上后，移动载板缓存架使另一层载板支撑架与下一出料的载板对应，在缓存过程中，载板进入对应层载板支撑架后，驱动载板缓存架上下移动即可对下一出料的载板进行缓存，动作简单，缓存效率高。

Description

一种载板缓存组件、装置及太阳能电池镀膜设备

技术领域

本申请涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及一种载板缓存装置及太阳能电池镀膜设备。

背景技术

太阳能电池在制造过程中一般需要PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)工序对硅片进行处理，在PVD的工艺流程中，上料机将装有硅片的载板输送到进料室，然后装有硅片的载板依次经过镀膜工艺腔室、出料室，最后由下料机下料。

为避免下料机或者下料机的下游设备出现故障后，载板在镀膜工艺腔室和出料室内堆积，一般会在PVD工序中的出料室和下料机之间设置载板缓存装置。在下料机或者下料机的下游设备故障期间，出料室的载板可以被运输至缓存装置进行缓存。

但是，现有技术中的缓存装置，缓存动作复杂，影响PVD工艺流程中出料室的出料效率。且现有的缓存装置在缓存载板时是用传送带传送载板的，传送带表面容易摩擦积粉，不易清理。

实用新型内容

本申请提供一种载板缓存组件、装置及太阳能电池镀膜设备，以解决上述的至少一个技术问题。本申请实施例所提供的技术方案具体如下：

第一方面，本申请提供一种载板缓存组件，所述载板缓存组件包括：

基架，设置有滑轨；

载板缓存架，包括连接件和若干层载板支撑架，所述连接件移动设置于所述滑轨，若干层所述载板支撑架沿所述滑轨的延伸方向层层平行等距设置于所述连接件上；

驱动机构，与所述连接件连接，可以驱动所述载板缓存架沿所述滑轨的延伸方向移动。

在一些实施方式中，所述载板支撑架包括安装件和若干设置于所述安装件的传送辊；

若干所述传送辊沿与所述滑轨的延伸方向垂直的方向排列设置。

在一些实施方式中，所述载板支撑架还包括若干转轴和若干传动轮；

所述转轴，转动设置于所述安装件，所述传送辊设置于所述转轴的一端；

所述传动轮，设置于所述转轴的另一端，且所述传动轮和所述传送辊位于所述安装件相对的两侧。

在一些实施方式中，所述载板支撑架还包括导正轮；

所述导正轮转动设置于所述安装件，用于沿所述转轴的中心轴线方向引导待缓存载板与所述传送辊配合，所述导正轮的转动轴线方向与所述转轴的中心轴线方向垂直。

在一些实施方式中，沿所述传送辊的排列方向，每相邻的两个所述传送辊之间均至少设置一个所述导正轮。

在一些实施方式中，所述安装件设置有安装轴，所述导正轮转动设置于所述安装轴的一端；

当所述载板支撑架还包括若干转轴和若干传动轮，所述安装轴贯穿所述安装件设置，所述安装轴的另一端转动设置有张紧辊，在所述传送辊的排列方向上，所述安装轴位于相邻两个所述转轴之间，且在垂直于所述传送辊的排列方向上，所述安装轴偏离相邻两个所述转轴的中心轴线所在的平面。

在一些实施方式中，所述安装件为U型或C型，所述传动轮位于所述安装件中。

在一些实施方式中，所述连接件包括连接板和与所述滑轨配合的滑块，所述连接板的一侧连接所述滑块，相对的另一侧连接若干所述载板支撑架。

第二方面，本申请还提供了一种载板缓存装置，所述载板缓存装置包括两组任一如上所述的载板缓存组件，两组所述载板缓存组件的载板支撑架相对设置。

第三方面，本申请还提供一种太阳能电池镀膜设备，所述太阳能电池镀膜设备包括镀膜加工室组和如上所述的载板缓存装置，所述镀膜加工室组包括沿载板输送方向依次设置的进料室、镀膜工艺腔室和出料室，所述载板缓存装置用于设置于所述镀膜加工室组的出料室的一侧。

本申请实施方式的有益效果是：本申请提供的载板缓存组件，载板缓存架移动设置于基架上，并在载板缓存架上沿载板缓存架的移动方向层层平行等距设置若干层载板支撑架。使用时，可以设置两组载板缓存组件，两组载板缓存组件设置载板支撑架的一侧相对设置，待缓存载板设置于两组载板缓存组件之间。通过载板缓存组件的驱动机构驱动整个载板缓存架上下移动，从而在需要对出料的载板进行缓存时，移动载板缓存架使载板缓存架上的一层载板支撑架与出料载板的位置对应。待载板进入该层载板支撑架后，继续移动载板缓存架，使载板缓存架上的另一层载板支撑架与下一出料的载板对应。

可见，使用本申请提供的载板缓存组件缓存载板的过程中，在载板进入对应层的载板支撑架后，通过驱动载板缓存架上下移动即可对下一出料的载板进行缓存，在载板缓存组件的缓存动作简单，从而在PVD工艺流程中，当下料机或者下料机的下游设备出现故障时，可以在较短的时间内完成载板的存储动作，节省载板缓存时间，起到平衡节拍和抑制工艺腔室堵转的作用，保障出料室的出料效率，从而提升整体的生产效率。

此外，本申请提供的载板缓存组件，载板支撑架包括传送辊，载板支撑架通过传送辊输送载板，当载板与传送辊配合的侧边为U型槽，载板与传送辊摩擦产生的粉尘可以由U型槽的下边收集，方便粉尘的清理。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：

图1是本申请一实施例提供的载板缓存装置的立体结构示意图；

图2是图1中A处的放大图；

图3是本申请一实施例提供的载板缓存组件中载板支撑架的结构示意图；

图4是本申请一实施例提供的载板缓存组件中基架的立体结构示意图；

图5是本申请一实施例提供的太阳能电池镀膜设备的结构框图；

图中：100、载板缓存装置；110、载板缓存组件；10、基架；11、滑轨；111、第一子滑轨；112、第二子滑轨；20、载板缓存架；21、连接件；211、滑块；212、连接板；22、载板支撑架；221、安装件；222、传送辊；223、转轴；224、传动轮；225、导正轮；226、安装轴；227、张紧辊；30、驱动机构；31、驱动螺杆；32、驱动部；200、载板；300、镀膜加工室组；301、进料室；302、镀膜工艺腔室；303、出料室；400、上料机；500、下料机。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本申请，而非对本申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分而非全部结构。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

请参阅图1和图5，图1是本申请一实施例提供的载板缓存装置的立体结构示意图，图5是本申请一实施例提供的太阳能电池镀膜设备的结构框图。本申请提供了一种载板缓存组件110，其中载板200为用于装载物料的部件，载板缓存组件110可以组成载板缓存装置100，应用于太阳能电池的生产系统中，但并不限于此。如图1所示，两组载板缓存组件110可以形成载板缓存设备100，载板缓存设备100中两组载板缓存组件110的载板缓存架20相对设置。本申请以载板缓存装置100应用于太阳能电池生产的PVD(Physical VaporDeposition，物理气相沉积)工序中为例进行说明，太阳能电池生产的PVD工序主要在太阳能电池镀膜设备中进行。当载板缓存装置100应用于太阳能电池生产的PVD工序中，载板200用于装载硅片。在PVD工序中一般设置有镀膜加工室组300，镀膜加工室组300包括沿载板200输送方向依次设置的进料室301、镀膜工艺腔室302和出料室303，可以理解，在太阳能电池的生产线上，镀膜加工室组300的进料室301的一侧还设置有上游设备，在镀膜加工室组300的出料室303的一侧还设置有下游设备，例如，上游设备可以包括上料机400，下游设备可以包括下料机500，载板缓存装置100可以设置于镀膜加工室组300的出料室303的一侧，位于出料室303和下料机500之间，从而当下料机500或者下料机500的下游设备出现故障后，出料室303输出的载板200可以由载板缓存装置100缓存。

如图1所示，本申请提供的载板缓存组件110包括基架10、载板缓存架20和驱动机构30。其中基架10设置有滑轨11。载板缓存架20包括连接件21和若干层载板支撑架22，连接件21移动设置于基架10的滑轨11，若干层载板支撑架22沿滑轨11的延伸方向层层平行等距设置于连接件21。驱动机构30与载板缓存架20的连接件21连接，用于驱动载板缓存架20沿基架10的滑轨11的延伸方向移动。

在太阳能电池生产中的PVD工序中，装载有硅片载板200一般从出料室303水平输出，应当理解，载板缓存组件110在正常使用时的放置状态中，其基架10上的滑轨11沿竖直方向延伸设置，也就是说明载板缓存架20中的若干载板支撑架22是沿竖直方向层层平行等距设置于连接件21的，这样，驱动机构30驱动载板缓存架20上下移动可以使载板支撑架22在竖直方向与出料室303输出载板200的位置相对应，以载板支撑架22与出料室303输出载板200的位置相对的位置为装载位置，随着出料室303内载板200的输出，通过驱动机构30带动载板缓存架20上下移动，可以使载板缓存架20上不同的载板支撑架22位于装载位置处，即，当出料室303内有载板200输出时，先使载板缓存架20上的一层载板支撑架22停在装载位置处，待在载板200进入该层载板支撑架22，移动载板缓存架20，使载板缓存架20上的另一层载板支撑架22停留在装载位置处，等待下一输出的载板200进入此时装载位置处的载板支撑架22，如此重复，从而可以实现载板200的缓存，且在缓存过程中，载板200进入装载位置的载板支撑架22后，载板缓存组件110的动作行程主要是带动载板缓存架20上下移动，动作简单，且当设置驱动机构30带动载板缓存架20上下移动时，使载板缓存架20从上到下依次装载或者从下到上依次装载时，每装载一载板200的动作行程也短，从而可以有效提高载板缓存装置100的工作效率，进而保障出料室303的出料效率。

载板缓存架20通过其载板支撑架22来装载待缓存的载板200。载板支撑架22对载板200的装载方式可以是在整个载板200的下方支撑载板200，也可以是在载板200相对的两侧边支撑载板200，或者，还可以是载板支撑架22从两端夹紧载板200，但并不限于此。

请一并参阅图2和图3，图2是图1中A处的放大图，图3是本申请一实施例提供的载板缓存组件中载板支撑架的结构示意图。

在一些实施例中，载板支撑架22包括安装件221和若干转动设置于安装件221的传送辊222。若干传送辊222沿与滑轨11的延伸方向垂直的方向排列设置。

在载板缓存组件110正常使用时的放置状态中，基架10上的滑轨11是沿竖直方向延伸的，即若干传送辊222沿水平方向排列设置于安装件221，当载板缓存组件110中的一层载板支撑架22位于装载位置处，随着载板200从出料室303被输出，载板200朝向载板缓存装置100的一端先进入到两载板支撑架22之间，同时载板200搭载到传送辊222上，从而可以通过驱动传送辊222转动来输送载板200完成进入到该层的载板支撑架22上，可见，通过在载板支撑架22上设置传送辊222，可以使载板支撑架22在实现对载板200的支撑外，还能够将出料室303输出的载板200输送到载板支撑架22上。

需要说明的是，应当理解，与载板支撑架22配合的载板200的两侧具有与传送辊222配合的搭接边，在一些实施例中，如图2所示，载板200与载板支撑架22配合的两侧可以设置有U型槽，U型槽的上壁与传送辊222搭接配合，U型槽的下壁可承接传送辊222与载板200摩擦产生的粉末，保障车间的生产环境。

传送辊222用于与载板200配合的周面可以为橡胶材质，减少噪音。传送辊222通过转动带动载板200移动，传送辊222的转动可以通过在每层载板支撑架22上设置驱动电机，驱动电机可以通过齿轮或传送带或链条带动传送辊222转动。本申请以驱动电机通过带传动带动传送辊222转动为例进行说明，在一些实施例中，载板支撑架22还包括若干转轴223和若干传动轮224，转轴223转动设置于安装件221上，传送辊222设置于转轴223的一端，传动轮224设置于转轴223的另一端，转轴223可以贯穿安装件221设置，使传送辊222和传动轮224位于安装件221相对的两侧。可以理解，若干转轴223在安装件221的排列分布与传送辊222在安装件221的排列分布相对应，若干转轴223中位于两端的转轴223均设置一个传送辊222，且其中一个转轴223连接驱动电机，若干转轴223中位于中间的转轴223均设置两个传送辊222，从而可以通过传送带将若干转轴223传动连接。

如图2和图3所示，在一些实施例中，为保障载板200在从出料室303被输送到完全与载板支撑架22配合的过程中，能够与传送辊222配合，载板支撑架22还包括导正轮225。导正轮225转动设置于安装件221，用于在沿传动辊的转轴223的中心轴线方向引导待缓存载板200与传送辊222配合，导正轮225的转动轴线方向与转轴223的中心轴线方向垂直。

载板支撑架22中导正轮225的设置数量可以为一个或多个，例如，在一些实施例中，在沿传送辊222的排列方向，可以使每相邻的两个传送辊222之间均至少设置一个导正轮225，这样，在载板200的移动方向上，载板200每与下一传送辊222之前，都经过导正轮225的导正，进一步保障载板200与传送辊222配合的稳定性。

导正轮225转动设置于安装件221，例如，在一些实施例中，安装件221上可以设置有安装轴226，导正轮225转动设置于安装轴226的一端。当载板支撑架22还包括若干转轴223和若干转动轮，传送辊222之间通过带传动，可以使安装轴226贯穿安装件221设置，在安装轴226的另一端转动设置张紧辊227，并在传送辊222的排列方向上，使安装轴226位于相邻的两个转轴223之间，且在垂直于传送辊222的排列方向上，使安装轴226偏离相邻的两个转轴223的中心轴线所在平面。这样，在相邻的两传动轮224之间套设传送带时，可以使传送带绕设两传动轮224之间的张紧辊227设置。

可见通过在每相邻两传送辊222之间设置一个导正轮225，可以利用安装导正轮225的安装轴226安装张紧辊227，以保障相邻传送辊222之间传送带的有效传动。可以通过更换安装轴226上张紧辊227的尺寸，来实现对传送带的张紧。

载板支撑架22中的安装件221用于装载传送辊222、转轴223、传动轮224、导正轮225、安装轴226以及张紧辊227等部件，同时，载板缓存架20中的若干载板支撑架22可以通过其安装件221设置于载板缓存架20的连接件21。如图1和图2所示，在一些实施例中，安装件221可以为U型或C型，传动轮224位于U型或C型的安装件221形成有槽的一侧，也即可以使安装件221形成的U型槽或C型槽的槽口一侧朝向连接件21设置。本申请对安装件221与连接件21之间的具体连接结构不做限制，例如，可以是焊接、铆接或者螺钉连接。

载板缓存架20中连接件21连接若干载板支撑架22，并使载板缓存架20移动设置于基架10的滑轨11。如图1所示，在一些实施例中，连接件21可以包括连接板212和与滑轨11配合的滑块211。连接板212的一侧连接滑块211，相对的另一侧连接若干载板支撑架22。

需要说明的是，为方便滑块211与滑轨11之间的安装配合或者拆卸，滑块211与连接板212之间可以是可拆卸连接，例如，可以是卡接或者通过螺钉或螺栓连接，但并不限于此。在将载板缓存架20滑动设置于滑轨11时，可以先将滑块211从连接板212上拆卸，在滑块211与滑轨11配合后，再将滑块211与连接板212连接。

滑块211的具体结构与基架10上滑轨11的结构相配合，请一并参阅图4，图4是本申请一实施例提供的载板缓存组件中基架的立体结构示意图，在一些实施例中，滑轨11可以包括第一子滑轨111和第二子滑轨112，滑块211的一端第一子滑轨111配合，相对的另一端与第二子滑轨112配合。以滑块211与连接件21之间通过螺栓连接为例说明，这样，如图1和图4所示，滑块211在第一子滑轨111和第二子滑轨112之间的区域可以设置螺栓孔，在使滑块211与滑轨11配合后，方便滑块211与连接板212的连接操作。

载板缓存架20通过滑块211与滑轨11配合移动设置于基架10后，驱动机构30通过与载板缓存架20连接，可以带动载板缓存架20沿滑轨11移动。可以理解，驱动机构30为直线驱动机构，例如，驱动机构30可以为齿轮齿条驱动、链条驱动、滑轮驱动或者丝杆滑块211驱动，但并不限于此。本申请以驱动机构30为丝杆滑块211驱动，例如，在一些实施例中，可以使第一子滑轨111和第二子滑轨112中至少其中一者为滑槽，如图4所示，本实施例以第一子滑轨111为滑槽为例进行说明，对应地，滑块211具有与该滑槽配合的凸起部(图中未示出)，滑块211与滑槽配合时，凸起部嵌于滑槽中，驱动机构30包括驱动螺杆31和驱动部32，驱动部32用于带动驱动螺杆31转动，驱动部32可以为电机，驱动螺杆31可以设置于滑槽中，对应地，滑块211与滑槽配合的一端具有与驱动螺杆31配合的螺纹孔，也即，凸起部设置有与驱动螺杆31配合的螺纹孔，驱动电机通过带动驱动螺杆31转动，通过滑块211带动载板缓存架20上下移动。

本申请提供的载板缓存组件110组成的载板缓存装置100在使用时，先通过驱动机构30带动载板缓存架20移动，使载板缓存架20上的一层载板支撑架22与出料室303输出的载板200的位置相对应，待载板200从出料室303输出，可以使驱动电机带动传送辊222转动，随着载板200从出料室303被输出，当载板200的一端搭在传送辊222上，传送辊222将载板200完成输送到载板支撑架22上，驱动机构30继续带动载板缓存架20移动，使另一层载板支撑架22停留在出料室303输出的载板200的位置处，重复上述步骤，从而完成载板200的缓存。

需要说明的是，为保障每一层载板支撑架22的停留位置能够使出料室303输出的载板200能够搭到载板支撑架22的传送辊222上，在一些实施例中，还可以在每一层载板支撑架22上设置定位传感器，定位传感器用于检测其所在载板支撑架22用于缓存载板200时的停留位置是否准确，例如，定位传感器可以是距离传感器或者红外传感器，但并不限于此。

如图1所示，在一些实施例中，本申请还提供一种载板缓存装置100，载板缓存装置100包括两组任一上述实施例中的载板缓存组件110。载板缓存装置100中，两组载板缓存组件110的载板支撑架22相对设置，从而两相对设置的载板支撑架22可以支撑载板200相对的两侧边。

本申请提供的载板缓存装置100，采用了上述载板缓存组件110实施例的全部技术方案，因此，至少具有上述载板缓存组件110实施例的技术方案所带来的所有技术效果，在此不再一一赘述。

如图5所示，在一些实施例中，本申请还提供一种太阳能电池镀膜设备，包括镀膜加工室组300和上述实施例中的载板缓存装置100。其中，镀膜加工室组300包括沿载板200输送方向依次设置的进料室301、镀膜工艺腔室302和出料室303，载板缓存装置100用于设置于镀膜加工室组300的出料室303的一侧。

可以理解，在太阳能电池的生产线中，镀膜加工室组300的进料室301的一侧还设置有上游设备，在载板缓存装置100之后还设置有下游设备，上游设备可以包括上料机400，下游设备可以包括下料机500，上料机400将待进行PVD工序处理的硅片放入进料室301，硅片依次经过镀膜工艺腔室302从出料室303输出，当载板缓存装置100之后的下游设备运行正常时，可以使载板缓存装置100的载板缓存架20上某一层载板支撑架22停留在与出料室303输出的载板200相对应的位置处，出料室303输出的载板200经载板支撑架22的传送辊222向下料机500输送，然后由下料机500下料；当载板缓存装置100之后的下游设备出现故障时，待出料室303输出的载板200完全进入载板支撑架22上，载板缓存装置100中的驱动机构30带动载板缓存架20上移或者下移，使载板缓存架20中另一层载板支撑架22移动到与出料室303输出的载板200相对应的位置处，待从出料室303输出的载板200完全进入该层载板支撑架22，继续移动载板缓存架20，重复上述步骤，从而完成载板200的缓存。

以上所述仅为本申请的实施方式，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所做的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种载板缓存组件，其特征在于，包括：

基架，设置有滑轨；

载板缓存架，包括连接件和若干层载板支撑架，所述连接件移动设置于所述滑轨，若干层所述载板支撑架沿所述滑轨的延伸方向层层平行等距叠设置于所述连接件上；

驱动机构，与所述连接件连接，可以驱动所述载板缓存架沿所述滑轨的延伸方向移动。

2.如权利要求1所述的载板缓存组件，其特征在于，所述载板支撑架包括安装件和若干设置于所述安装件的传送辊；

若干所述传送辊沿与所述滑轨的延伸方向垂直的方向排列设置。

3.如权利要求2所述的载板缓存组件，其特征在于，所述载板支撑架还包括若干转轴和若干传动轮；

所述转轴，转动设置于所述安装件，所述传送辊设置于所述转轴的一端；

所述传动轮，设置于所述转轴的另一端，且所述传动轮和所述传送辊位于所述安装件相对的两侧。

4.如权利要求3所述的载板缓存组件，其特征在于，所述载板支撑架还包括导正轮；

所述导正轮转动设置于所述安装件，用于沿所述转轴的中心轴线方向引导待缓存载板与所述传送辊配合，所述导正轮的转动轴线方向与所述转轴的中心轴线方向垂直。

5.如权利要求4所述的载板缓存组件，其特征在于，沿所述传送辊的排列方向，每相邻的两个所述传送辊之间均至少设置一个所述导正轮。

6.如权利要求5所述的载板缓存组件，其特征在于，所述安装件设置有安装轴，所述导正轮转动设置于所述安装轴的一端；

当所述载板支撑架还包括若干转轴和若干传动轮，所述安装轴贯穿所述安装件设置，所述安装轴的另一端转动设置有张紧辊，在所述传送辊的排列方向上，所述安装轴位于相邻两个所述转轴之间，且在垂直于所述传送辊的排列方向上，所述安装轴偏离相邻两个所述转轴的中心轴线所在的平面。

7.如权利要求3-6任一项所述的载板缓存组件，其特征在于，所述安装件为U型或C型，所述传动轮位于所述安装件中。

8.如权利要求1所述的载板缓存组件，其特征在于，所述连接件包括连接板和与所述滑轨配合的滑块，所述连接板的一侧连接所述滑块，相对的另一侧连接若干所述载板支撑架。

9.一种载板缓存装置，其特征在于，包括两组权利要求权1-8任一项所述的载板缓存组件，两组所述载板缓存组件的载板支撑架相对设置。

10.一种太阳能电池镀膜设备，其特征在于，包括镀膜加工室组和权利9所述的载板缓存装置，所述镀膜加工室组包括沿载板输送方向依次设置的进料室、镀膜工艺腔室和出料室，所述载板缓存装置设置于所述镀膜加工室组的出料室的一侧。