CN220594993U - 一种晶圆运输车的防震装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶圆运输车的防震装置，属于晶圆运输技术领域。一种晶圆运输车的防震装置，包括车体，车体包括底板、置料盒、防尘盖，所述底板上安装有置料盒，所述置料盒的四个侧壁上都具有凸出板，其中两个不相邻的所述凸出板上都安装第一限位板和第二限位板，所述第一限位板与第二限位板之间具有卡接槽，防尘盖可拆卸连接在第一限位板与第二限位板之间的卡接槽内；所述置料盒内阵列设置有若干置料槽，所述置料槽的左右两侧都设有减震组件，所述置料槽内还固定连接有若干减震橡胶块，所述晶圆能够抵靠在减震橡胶块上。本实用新型具有防震效果好的优点。

Description

一种晶圆运输车的防震装置

技术领域

本实用新型属于晶圆运输技术领域，具体为一种晶圆运输车的防震装置。

背景技术

在半导体行业中，通常需要在各腔室之间或工位之间转移晶圆，为了避免晶圆被污染或损坏，需要将晶圆放置在晶圆盒中，通过晶圆运输车来装载晶圆盒，实现对晶圆的转移。现有的晶圆运输车在运输过程中是将晶圆平铺在晶圆放置盒内，在晶圆运输车运输过程中，由于路面不平可能会产生震动，使得晶圆盒的晶圆从晶圆盒内震起掉出，导致晶圆破裂，且一些晶圆本身厚度较薄，运输时多次发生震动也容易导致晶圆多次触碰到晶圆盒的内壁上导致晶圆碎裂。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种晶圆运输车的防震装置，具有防震效果好的优点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种晶圆运输车的防撞装置，包括车体，车体包括底板、置料盒、防尘盖，所述底板上安装有置料盒，所述置料盒的四个侧壁上都具有凸出板，其中两个不相邻的所述凸出板上都安装第一限位板和第二限位板，所述第一限位板与第二限位板之间具有卡接槽，防尘盖可拆卸连接在第一限位板与第二限位板之间的卡接槽内；所述置料盒内阵列设置有若干置料槽，所述置料槽的左右两侧都设有减震组件，所述置料槽内还固定连接有若干减震橡胶块，所述晶圆能够抵靠在减震橡胶块上。

优选的，所述减震组件包括第一弹性件、接触板，所述置料槽的左右两侧还具有凹陷部，若干所述第一弹性件固定连接在凹陷部内，若干所述第一弹性件固定连接接触板，所述接触板上都具有调整块，用于调整两侧接触板之间的间距。

优选的，所述第二限位板上还具有第一通孔以及能够在第一通孔内进行位移的滑动块，所述防尘盖不相邻的两端侧板上具有伸缩组件和第一凹槽，伸缩组件安装在防尘盖的第一凹槽内，伸缩组件包括第二弹性件、伸缩块，所述滑动块抵靠在伸缩块上。

优选的，所述滑动块上具有凸出部，所述第一通孔内开设有滑动槽，所述凸出部与滑动槽滑动配合。

优选的，所述减震橡胶块设置在置料槽的最底部和置料槽的前后两侧壁上。

优选的，所述防尘盖上具有观察窗口。

优选的，所述车体还包括若干运输轮和推动架，所述运输轮安装在车体的底部，所述推动架固定连接在车体上，推动架上具有推动把手。

与现有技术相比，本实用新型的优点是：通过在每个置料槽的两侧设置一个减震组件，在置料槽内设置减震橡胶块，有利于减少晶圆在晶圆运输车上产生的震动，防震效果好；同时在置料盒上设置有一个防尘盖，有利于减少灰尘杂质掉落到晶圆表面，使得运输时的晶圆成品质量不受影响，防尘效果好。

附图说明

图1是本实用新型的侧面剖视图。

图2是本实用新型的俯视图。

图3是本实用新型中盒体的俯视图。

图4是本实用新型中置料槽的内部结构图。

图5是本实用新型中的A处放大图。

图中，2、车体；3、底板；31、；4、置料盒；41、凸出板；411、第一限位板；412、第二限位板；4121、第一通孔；41211、滑动槽；4122、滑动块；41221、凸出部；413、卡接槽；42、置料槽；421、凹陷部；43、减震组件；431、第一弹性件；432、接触板；433、调整块；44、减震橡胶块；5、防尘盖；51、第二弹性件；52、伸缩块；53、观察窗口；6、运输轮；7、推动架；71、推动把手；8、晶圆；9、第一凹槽。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1至图5所示，一种晶圆8运输车的防撞装置，包括车体2，车体2包括底板3、置料盒4、防尘盖5，底板3上安装有置料盒4，置料盒4的四个侧壁上都具有凸出板41，其中两个不相邻的凸出板41上都安装第一限位板411和第二限位板412，第一限位板411与第二限位板412之间具有卡接槽413，防尘盖5可拆卸连接在第一限位板411与第二限位板412之间的卡接槽413内；置料盒4内阵列设置有若干置料槽42，置料槽42的左右两侧都设有减震组件43，置料槽42内还固定连接有若干减震橡胶块44，晶圆8能够抵靠在减震橡胶块44上。

本实用新型中，减震橡胶块44为现有技术，是常见的减震件。

通过以上技术方案，操作人员将晶圆8放置在置料盒4的置料槽42内，置料槽42的前后两侧和底部设置的减震橡胶块44能够与晶圆8相连接，若运输途中产生震动，可通过将震动的力传递到减震橡胶块44来进行底部和前后两侧方向震动的削弱，更好地保护晶圆8不受震动影响；位于晶圆8左右两侧的减震组件43，能够限位住晶圆8左右方向的位移，防止晶圆8在左右方向上的晃动；在置料盒4的顶部可拆卸连接有防尘盖5，能够防止灰尘进入置料盒4内。

通过在每个置料槽42的两侧设置一个减震组件43，在置料槽42内设置减震橡胶块44，有利于减少晶圆8在晶圆8运输车上产生的震动，防震效果好；同时在置料盒4上设置有一个防尘盖5，有利于减少灰尘杂质掉落到晶圆8表面，使得运输时的晶圆8成品质量不受影响，防尘效果好。

具体而言，如图1至图5所示，减震组件43包括第一弹性件431、接触板432，置料槽42的左右两侧还具有凹陷部421，若干第一弹性件431固定连接在凹陷部421内，若干第一弹性件431固定连接接触板432，接触板432上都具有调整块433，用于调整两侧接触板432之间的间距。

本实用新型中，第一弹性件431为现有技术，是常见的弹簧件

通过以上技术方案，若干第一弹性件431安装在置料槽42左右两侧的凹陷部421内，且第一弹性件431上固定连接有一块接触板432，位于晶圆8左侧的接触板432能够抵靠在晶圆8的左侧，位于晶圆8右侧的接触板432能够抵靠在晶圆8的右侧，若这两个接触板432之间的间距过小，晶圆8放置不进去时，可通过向左侧拉动位于晶圆8左侧接触板432上的调整块433，向右侧拉动位于晶圆8右侧接触板432上的调整块433来扩大两侧接触板432之间的间距，随后将晶圆8放置进去，第一弹性件431为弹簧件，有利于对晶圆8的左右方向起到减震的作用，且可以通过调整块433来放置厚度不同的晶圆8，实用性更好。

如图1至图5所示，第二限位板412上还具有第一通孔4121以及能够在第一通孔4121内进行位移的滑动块4122，防尘盖5不相邻的两端侧板上具有伸缩组件、第一凹槽9，伸缩组件安装在防尘盖5的第一凹槽9内，伸缩组件包括第二弹性件51、伸缩块52，滑动块4122抵靠在伸缩块52上。滑动块4122上具有凸出部41221，第一通孔4121内开设有滑动槽41211，凸出部41221与滑动槽41211滑动配合。

通过以上技术方案，当将防尘盖5安装置料盒4的顶部时，防尘盖5前后不相邻两侧的侧板插入第一限位板411和第二限位板412的卡接槽413内，两端侧板上设置伸缩块52在卡接到卡接槽413内时，第二限位板412上设置的第一通孔4121会将侧板上的伸缩块52卡接到第一通孔4121内，能够将防尘盖5限位卡接在置料盒4上；若需要将防尘盖5拆卸下来时，操作人员将设置的第二限位板412上的滑动块4122推入第二限位板412的第一通孔4121内，使得滑动块4122与伸缩块52抵靠，将连接在伸缩块52另一侧的第二弹性件51压缩，使得伸缩块52挤压进防尘盖5侧板的第一凹槽9内，凸出部41221能够防止滑动块4122从第一通孔4121内掉出，有利于方便防尘盖5的安装和拆卸。

如图1至图5所示，减震橡胶块44设置在置料槽42的最底部和置料槽42的前后两侧壁上。

通过以上技术方案，操作人员将晶圆8放置在置料盒4的置料槽42内，置料槽42的前后两侧和底部设置的减震橡胶块44能够与晶圆8相连接，若运输途中产生震动，可通过将震动的力传递到减震橡胶块44来进行底部和前后两侧方向震动的削弱，更好地保护晶圆8不受震动影响，防震效果更好。

如图1至图5所示，防尘盖5上具有观察窗口53。

通过以上技术方案，有利于操作人员在运输时更好地观察置料盒4内晶圆8的状态。

如图1至图5所示，车体2还包括若干运输轮6和推动架7，运输轮6安装在车体2的底部，推动架7固定连接在车体2上，推动架7上具有推动把手71。

本实用新型中，运输轮6为现有技术。

通过以上技术方案，操作人员能够通过推动把手71将车体2推动或者拉动，运输更加省力。

需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，在本发明中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。同时，全文中出现的“和/或”的含义为，包括三个方案，以“A和/或B”为例，包括A方案，或B方案，或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

以上部件均为通用标准件或本技术领域人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (7)

1.一种晶圆运输车的防震装置，包括车体(2)，其特征在于，车体(2)包括底板(3)、置料盒(4)、防尘盖(5)，所述底板(3)上安装有置料盒(4)，所述置料盒(4)的四个侧壁上都具有凸出板(41)，其中两个不相邻的所述凸出板(41)上都安装第一限位板(411)和第二限位板(412)，所述第一限位板(411)与第二限位板(412)之间具有卡接槽(413)，防尘盖(5)可拆卸连接在第一限位板(411)与第二限位板(412)之间的卡接槽(413)内；所述置料盒(4)内阵列设置有若干置料槽(42)，所述置料槽(42)的左右两侧都设有减震组件(43)，所述置料槽(42)内还固定连接有若干减震橡胶块(44)，所述晶圆能够抵靠在减震橡胶块(44)上。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆运输车的防震装置，其特征在于，所述减震组件(43)包括第一弹性件(431)、接触板(432)，所述置料槽(42)的左右两侧还具有凹陷部(421)，若干所述第一弹性件(431)固定连接在凹陷部(421)内，若干所述第一弹性件(431)固定连接接触板(432)，所述接触板(432)上都具有调整块(433)，用于调整两侧接触板(432)之间的间距。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆运输车的防震装置，其特征在于，所述第二限位板(412)上还具有第一通孔(4121)以及能够在第一通孔(4121)内进行位移的滑动块(4122)，所述防尘盖(5)不相邻的两端侧板上具有伸缩组件、第一凹槽(9)，伸缩组件安装在防尘盖(5)的第一凹槽(9)内，伸缩组件包括第二弹性件(51)、伸缩块(52)，所述滑动块(4122)抵靠在伸缩块(52)上。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆运输车的防震装置，其特征在于，所述滑动块(4122)上具有凸出部(41221)，所述第一通孔(4121)内开设有滑动槽(41211)，所述凸出部(41221)与滑动槽(41211)滑动配合。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆运输车的防震装置，其特征在于，所述减震橡胶块(44)设置在置料槽(42)的最底部和置料槽(42)的前后两侧壁上。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆运输车的防震装置，其特征在于，所述防尘盖(5)上具有观察窗口(53)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆运输车的防震装置，其特征在于，所述车体(2)还包括若干运输轮(6)和推动架(7)，所述运输轮(6)安装在车体(2)的底部，所述推动架(7)固定连接在车体(2)上，推动架(7)上具有推动把手(71)。