CN220460134U - 一种划片刀的清洗冷却液回收系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种划片刀的清洗冷却液回收系统，包括设置有排污口的过滤箱，还包括交错布置于过滤箱内的第一斜板、第二斜板和第三斜板，第一斜板上活动装配有弹性滤板，第二斜板上活动设置有推滤板。本实用新型提供的划片刀的清洗冷却液回收系统，通过进入到过滤箱内的废液在多个弹性滤板作用下进行过滤处理，并剔除直径最大的硅粉颗粒，以使过滤后的废液下落至推滤板上进行二次过滤，以剔除直径中等的硅粉颗粒，最后，过滤后的废液再次下落至多个拦截滤板上进行三次过滤，以吸附剔除直径最小的硅粉颗粒，从而完成高效去除废液中的硅粉颗粒并得到干净的纯水，方便处理后的纯水再次作用于划片刀上。

Description

一种划片刀的清洗冷却液回收系统

技术领域

本实用新型涉及划片刀的清洗冷却液技术领域，具体来说涉及一种划片刀的清洗冷却液回收系统。

背景技术

半导体芯片在进行划片工序操作时，需配备划片刀来将大晶片分割成具有独立单元集成电路的小芯片，而此过程中需要使用大量的纯水来清洗晶圆表面和划片刀上残留的微小颗粒，同时也对划片刀冷却。

根据公开(公告)号：CN110937733A,公开(公告)日：2020-03-31,公开了一种划片刀清洗冷却液回用装置，该发明提供的划片刀清洗冷却液回用装置可对划片工艺产生的清洗冷却液进行回收处理，满足再次应用于划片工艺中的纯水要求，达到了节能、减排以及降低生产成本的目的。

根据公开(公告)号：CN218139100U，公开(公告)日：2022-12-27，公开了清洗冷却装置及划片机，该实用新型在喷液块上设置第一喷液孔对刀片的刀刃进行清洗和冷却，同时对第一喷液孔的第一出液端到刀片的距离的设计可以有效地保证第一喷液孔喷出的第一水柱不会出现散射，保证了清洗冷却效果，还可避免由于第一出液端距离刀片太近影响刀片转动速率的问题；并且，第二喷液孔能够对与刀片轴线垂直的划痕进行清洗。

在包括上述专利的现有技术中，由于切割后所产生的清洗冷却废液中含有大小不一的硅粉颗粒，在将废液直接排出时会因硅粉颗粒的存在而影响环境水资源，通常情况下会将废液进行过滤处理，并再次作用于划片刀上，但现有技术中对废液进行过滤过程中会采用单个过滤板进行过滤，而长期进行过滤工作的过滤板上会因其吸附滞留的硅粉颗粒而堵塞过滤板，造成过滤板对废液的过滤效果降低，而反复将废液在单个过滤板上进行多次过滤又会出现水资源浪费和加重损伤过滤板的情况，从而降低对废液的过滤处理效果而影响水资源的利用循环。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种划片刀的清洗冷却液回收系统，解决了划片刀的清洗冷却废液在回收过滤过程中，因为单个过滤板的长期使用而降低对废液的过滤效果，降低对废液的过滤效果的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种划片刀的清洗冷却液回收系统，包括设置有排污口的过滤箱，还包括交错布置于过滤箱内的第一斜板、第二斜板和第三斜板；

所述第一斜板上活动装配有弹性滤板，所述第二斜板上活动设置有推滤板，所述第三斜板上固定安装有多个拦截滤板。

优选的，所述第一斜板上设置有多个阵列布置的斜齿块，每两个斜齿块之间形成储存腔，所述弹性滤板卡接于储存腔内；

第一斜板上开设有流腔，所述流腔分别与储存腔和第二斜板相配合。

优选的，所述第二斜板上固定装配有遮挡板，所述推滤板活动于遮挡板和第二斜板之间；

所述推滤板移动至排污口端口处，并以所述排污口端口为轴心偏转。

优选的，所述遮挡板上滑动设置有推块，所述推块上铰接设置有连接块，所述推滤板滑动于连接块上。

优选的，所述推滤板和连接块之间设置有第一弹性件，所述推滤板偏转以使第一弹性件形变。

优选的，所述第一斜板上活动装配有多个顶杆及异型驱杆，所述过滤箱内滑动设置有驱动长杆，所述驱动长杆端部固定安装有勾拉块；

所述推块顶推勾拉块，以使所述异型驱杆推动顶杆朝向弹性滤板。

优选的，所述异型驱杆上固定安装有弧凸，所述异型驱杆受驱动长杆牵拉，以使顶杆端部抵接于弧凸弧顶处。

优选的，所述顶杆上固定安装有顶板，所述顶板抵接弹性滤板，以使弹性滤板端口朝向更改。

优选的，所述排污口端口处设置有第一排污孔和第二排污孔，多个所述弹性滤板与第一排污孔相配合，所述推滤板和第二排污孔相配合。

优选的，所述过滤箱上固定安装有多个驱动电机，所述驱动电机输出端固定安装有螺杆，所述推块螺纹连接于螺杆上；

所述推块上固定安装有卡块，所述卡块滑动于遮挡板上开设的卡道内。

在上述技术方案中，本实用新型提供的一种划片刀的清洗冷却液回收系统，具备以下有益效果：通过进入到过滤箱内的废液在多个弹性滤板作用下进行过滤处理，并剔除直径最大的硅粉颗粒，以使过滤后的废液下落至推滤板上进行二次过滤，以剔除直径中等的硅粉颗粒，最后，过滤后的废液再次下落至多个拦截滤板上进行三次过滤，以吸附剔除直径最小的硅粉颗粒，从而完成高效去除废液中的硅粉颗粒并得到干净的纯水，方便处理后的纯水再次作用于划片刀上。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的过滤箱结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的过滤箱正面剖视结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的第一斜板、第二斜板和第三斜板仰面结构示意图；

图4为图2的A处放大结构示意图。

附图标记说明：

1、过滤箱；11、排污口；12、防护罩；2、第一斜板；21、流腔；22、斜齿块；221、储存腔；222、穿孔；23、弹性滤板；3、第二斜板；31、遮挡板；32、驱动电机；321、螺杆；33、推块；331、卡块；332、连接块；34、推滤板；341、滑块；342、第一弹性件；4、第三斜板；41、拦截滤板；5、驱动长杆；51、勾拉块；52、异型驱杆；521、弧凸；522、导向轴；523、导向孔；53、顶杆；531、顶板；532、挡块；533、第二弹性件；61、第一排污孔；62、第二排污孔。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面将结合附图对本实用新型作进一步的详细介绍。

如图1-4所示，一种划片刀的清洗冷却液回收系统，包括设置有排污口11的过滤箱1，还包括交错布置于过滤箱1内的第一斜板2、第二斜板3和第三斜板4；

第一斜板2上活动装配有弹性滤板23，第二斜板3上活动设置有推滤板34，第三斜板4上固定安装有多个拦截滤板41。

具体的，如图1、图2和图3所示，过滤箱1上方和下方分别设置有进料口和出料口，且排污口11处于过滤箱1侧壁上，弹性滤板23的孔径较大，能将直径最大的硅粉颗粒进行拦截过滤，推滤板34的孔径中等，能将直径较为中等的硅粉颗粒进行拦截过滤，拦截滤板41的孔径最小，能将直径最小的硅粉颗粒进行连接过滤，并实现最终的过滤而得到干净的纯水，且三个滤板及其过滤方式均为现有技术，在此不作赘述；第一斜板2、第二斜板3和第三斜板4呈“Z”字形分布，且三者均保持倾斜布置。

通过进入到过滤箱1内的废液在多个弹性滤板23作用下进行过滤处理，并剔除直径最大的硅粉颗粒，以使过滤后的废液下落至推滤板34上进行二次过滤，以剔除直径中等的硅粉颗粒，最后，过滤后的废液再次下落至多个拦截滤板41上进行三次过滤，以吸附剔除直径最小的硅粉颗粒，从而完成高效去除废液中的硅粉颗粒并得到干净的纯水，方便处理后的纯水再次作用于划片刀上。

作为本实用进一步提供的一个实施例，第一斜板2上设置有多个阵列布置的斜齿块22，每两个斜齿块22之间形成储存腔221，弹性滤板23卡接于储存腔221内；

第一斜板2上开设有流腔21，流腔21分别与储存腔221和第二斜板3相配合。

具体的，如图2、图3和图4所示，斜齿块22固定安装于第一斜板2上，三角形斜齿块22的斜面和第一斜板2之间的夹角具体为150°，以使三角形斜齿块22的较短面和另一个三角形斜齿块22的斜面配合而使储存腔221热量更大，以收集更多的硅粉颗粒，且收集的硅粉颗粒不容易从储存腔221内掉落；默认状态下弧形的弹性滤板23端口朝上，以使其方便收集存储硅粉颗粒；第一斜板2上开设有多个穿孔222，且穿孔222分别连通于储存腔221和流腔21，且流腔21低位上开设有导流孔，以使弹性滤板23过滤后的废液经过穿孔222到达流腔21，并使流腔21内的废液从导流孔流向第二斜板3。

通过弹性滤板23能将废液进行初步过滤，并使过滤后的废液穿过第一斜板2而流向第二斜板3，且弹性滤板23能将大量的硅粉颗粒进行存储收集，以增加过滤箱1对废液的过滤时间。

作为本实用进一步提供的又一个实施例，第二斜板3上固定装配有遮挡板31，推滤板34活动于遮挡板31和第二斜板3之间；

推滤板34移动至排污口11端口处，并以排污口11端口为轴心偏转。

具体的，如图2、图3和图4所示，默认状态下推滤板34分别和第二斜板3、遮挡板31之间保持垂直，当推滤板34到达排污口11端口位置时，推滤板34下方一端抵接于过滤箱1内壁，使得推滤板34向上偏转，并使推滤板34端面朝向排污口11，以达到倾倒的目的。

通过推滤板34在对流向第二斜板3和遮挡板31之间的废液进行过滤，同时，当推滤板34向上移动过程中能将残留于第二斜板3上的硅粉颗粒进行刮除，以使刮除后的硅粉颗粒随推滤板34一同平移至排污口11处，使得偏转倾斜后的推滤板34将其上拦截的直径较为中等硅粉颗粒和刮除的直径较为中等硅粉颗粒从排污口11排出过滤箱1。

作为本实用进一步提供的另一个实施例，遮挡板架31上滑动设置有推块33，推块33上铰接设置有连接块332，推滤板34滑动于连接块332上。

具体的，如图3和图4所示，推块33对称布置于遮挡板31上，推块33和连接块332之间的铰接位置设置有扭簧，以使扭簧在默认状态下将推滤板34和第二斜板3保持垂直布置；当推滤板34偏转过程中，其上方端部运动轨迹为弧形，以使推滤板34上方端部在偏转前会短暂脱离遮挡板31，且伴随着推滤板34滑动于连接块332上。

通过推块33驱使推滤板34移动至排污口11位置，此时推滤板34抵接于排污口11处的过滤箱1内壁，以使推滤板34开始偏转，同时推滤板34会脱离遮挡板31，使得推块33在继续保持移动过程中，扭簧形变，以使推滤板34同连接块332一起偏转倾斜。

作为本实用进一步提供的再一个实施例，推滤板34和连接块332之间设置有第一弹性件342，推滤板34偏转以使第一弹性件342形变。

具体的，如图3和图4所示，推滤板34上固定安装有对称布置的滑块341，滑块341滑动于连接块332上开设的滑道内，且第一弹性件342固定安装于滑块341和滑道之间，第一弹性件342具体为弹簧，且推滤板34开始倾斜时，因其运动轨迹为弧形来使第一弹性件342受滑块341挤压形变。

通过推块33继续保持移动过程中推滤板34产生倾斜，以使其脱离遮挡板31，同时伴随着第一弹性件342挤压形变，以使推滤板34上的滑块341滑动于滑道内。

作为本实用进一步提供的再一个实施例，第一斜板2上活动装配有多个顶杆53及异型驱杆52，过滤箱1内滑动设置有驱动长杆5，驱动长杆5端部固定安装有勾拉块51；

推块33顶推勾拉块51，以使异型驱杆52推动顶杆53朝向弹性滤板23。

具体的，如图2、图3和图4所示，驱动长杆5上开设有多个通孔，通孔内固定安装有导向轴522，异型驱杆52上开设有导向孔523，导向轴522滑动于导向孔523内，且异型驱杆52中部周向转动设置于过滤箱1内，弹性滤板23具体为不锈钢金属滤板。

通过继续保持移动过程的推块33推动勾拉块51移动，以使勾拉块51拉动驱动长杆5滑动于过滤箱1内，使得驱动长杆5拖动多个异型驱杆52转动于过滤箱1内，且异型驱杆52的端部运动轨迹为弧形，使得驱动长杆5上的导向轴522滑动于异型驱杆52上开设的导向孔523内，从而使得异型驱杆52斜向上推动顶杆53，使得顶杆53将能形变的弹性滤板23向上隆起，使得弹性滤板23内存储的硅粉颗粒沿着多个隆起的弹性滤板23表面在重力作用下滚向排污口11，从而实现对直径最大的硅粉颗粒进行排出过滤箱1。

作为本实用进一步提供的再一个实施例，异型驱杆52上固定安装有弧凸521，异型驱杆52受驱动长杆5牵拉，以使顶杆53端部抵接于弧凸521弧顶处。

具体的，如图2、图3和图4所示，顶杆53上固定套设有挡块532，挡块532和第一斜板2之间固定安装有第二弹性件533，第二弹性件533环形布置于顶杆53外侧，且第二弹性件533具体为弹簧，以使第二弹性件533在默认状态下将顶杆53端部抵接于弧凸521边缘。

通过异型驱杆52受驱动长杆5牵拉偏转过程中，以使异型驱杆52上的弧凸521将顶杆53端部从边缘移动至弧顶位置，且因弧顶较边缘的间距增加，使得顶杆53具有斜向上的间距移动，同时伴随着第二弹性件533形变，以使顶杆53能将弹性滤板23推动形变。

作为本实用进一步提供的再一个实施例，顶杆53上固定安装有顶板531，顶板531抵接弹性滤板23，以使弹性滤板23端口朝向更改。

具体的，如图2、图3和图4所示，通过顶杆53斜向上移动过程中，以使顶板531具有更大的接触面而推动弹性滤板23向上隆起，使得多个隆起的弹性滤板23和多个斜齿块22形成较为平整的平面，方便弹性滤板23将其内部储存的最大直径硅粉颗粒向排污口11滚动。

作为本实用进一步提供的再一个实施例，排污口11端口处设置有第一排污孔61和第二排污孔62，多个弹性滤板23与第一排污孔61相配合，推滤板34和第二排污孔62相配合。

具体的，如图2、图3和图4所示，第一排污孔61和第二排污孔62内均设置有电动封板，且电动封板及其封堵方式为现有技术，在此不作赘述。

通过打开第一排污孔61内的电动封板，以使第一斜板2上滚落的最大直径硅粉颗粒能排向排污口11，打开第二排污孔62内的电动封板，以使推滤板34将其上拦截的直径较为中等硅粉颗粒和刮除的直径较为中等硅粉颗粒推向排污口11，使得排放最大直径的硅粉颗粒和较为中等的硅粉颗粒过程中不会相互干扰，同时两种直径的硅粉颗粒能从同一排污口11排出，方便对硅粉颗粒进行统一回收。

作为本实用进一步提供的再一个实施例，过滤箱1上固定安装有多个驱动电机32，驱动电机32输出端固定安装有螺杆321，推块33螺纹连接于螺杆321上；

推块33上固定安装有卡块331，卡块331滑动于遮挡板31上开设的卡道内。

具体的，如图1、图2、图3和图4所示，过滤箱1侧壁上固定安装有防护罩12，驱动电机32固定安装于防护罩12内。通过防护罩12提高对驱动电机32的防护工作，当驱动电机32工作时，螺杆321转动配合推块33上的卡块331所提供的导向限位，使得推块33能保持稳固的滑动于遮挡板31上，方便推块33能进行一系列驱动工作。

工作原理：通过进入到过滤箱1内的废液在多个弹性滤板23作用下进行过滤处理，并剔除直径最大的硅粉颗粒，以使过滤后的废液下落至推滤板34上进行二次过滤，以剔除直径中等的硅粉颗粒，最后，过滤后的废液再次下落至多个拦截滤板41上进行三次过滤，以吸附剔除直径最小的硅粉颗粒，从而完成高效去除废液中的硅粉颗粒并得到干净的纯水，方便处理后的纯水再次作用于划片刀上。

通过驱动电机32工作时，螺杆321转动配合推块33上的卡块331所提供的导向限位，使得推块33能保持稳固的滑动于遮挡板31上，以使推块33驱使推滤板34移动，且推滤板34向上移动过程中能将残留于第二斜板3上的硅粉颗粒进行刮除，以使刮除后的硅粉颗粒随推滤板34一同平移至排污口11处，此时推滤板34抵接于排污口11处的过滤箱1内壁，以使推滤板34开始偏转，同时推滤板34会脱离遮挡板31，此时，继续保持移动过程的推块33推动勾拉块51移动，以使勾拉块51拉动驱动长杆5滑动于过滤箱1内，使得驱动长杆5拖动多个异型驱杆52转动于过滤箱1内，且异型驱杆52的端部运动轨迹为弧形，使得驱动长杆5上的导向轴522滑动于异型驱杆52上开设的导向孔523内，从而使得异型驱杆52斜向上推动顶杆53，使得顶杆53将能形变的弹性滤板23向上隆起，使得弹性滤板23内存储的硅粉颗粒沿着多个隆起的弹性滤板23表面在重力作用下滚向排污口11，再打开第一排污孔61内的电动封板，以使第一斜板2上滚落的最大直径硅粉颗粒能排向排污口11，打开第二排污孔62内的电动封板，以使推滤板34将其上拦截的直径较为中等硅粉颗粒和刮除的直径较为中等硅粉颗粒推向排污口11，使得排放最大直径的硅粉颗粒和较为中等的硅粉颗粒过程中不会相互干扰，同时两种直径的硅粉颗粒能从同一排污口11排出，方便对硅粉颗粒进行统一回收。

以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。

Claims (10)

1.一种划片刀的清洗冷却液回收系统，包括设置有排污口(11)的过滤箱(1)，其特征在于，还包括交错布置于过滤箱(1)内的第一斜板(2)、第二斜板(3)和第三斜板(4)；

所述第一斜板(2)上活动装配有弹性滤板(23)，所述第二斜板(3)上活动设置有推滤板(34)，所述第三斜板(4)上固定安装有多个拦截滤板(41)。

2.根据权利要求1所述的一种划片刀的清洗冷却液回收系统，其特征在于，所述第一斜板(2)上设置有多个阵列布置的斜齿块(22)，每两个斜齿块(22)之间形成储存腔(221)，所述弹性滤板(23)卡接于储存腔(221)内；

第一斜板(2)上开设有流腔(21)，所述流腔(21)分别与储存腔(221)和第二斜板(3)相配合。

3.根据权利要求1所述的一种划片刀的清洗冷却液回收系统，其特征在于，所述第二斜板(3)上固定装配有遮挡板(31)，所述推滤板(34)活动于遮挡板(31)和第二斜板(3)之间；

所述推滤板(34)移动至排污口(11)端口处，并以所述排污口(11)端口为轴心偏转。

4.根据权利要求3所述的一种划片刀的清洗冷却液回收系统，其特征在于，所述遮挡板(31)上滑动设置有推块(33)，所述推块(33)上铰接设置有连接块(332)，所述推滤板(34)滑动于连接块(332)上。

5.根据权利要求4所述的一种划片刀的清洗冷却液回收系统，其特征在于，所述推滤板(34)和连接块(332)之间设置有第一弹性件(342)，所述推滤板(34)偏转以使第一弹性件(342)形变。

6.根据权利要求4所述的一种划片刀的清洗冷却液回收系统，其特征在于，所述第一斜板(2)上活动装配有多个顶杆(53)及异型驱杆(52)，所述过滤箱(1)内滑动设置有驱动长杆(5)，所述驱动长杆(5)端部固定安装有勾拉块(51)；

所述推块(33)顶推勾拉块(51)，以使所述异型驱杆(52)推动顶杆(53)朝向弹性滤板(23)。

7.根据权利要求6所述的一种划片刀的清洗冷却液回收系统，其特征在于，所述异型驱杆(52)上固定安装有弧凸(521)，所述异型驱杆(52)受驱动长杆(5)牵拉，以使顶杆(53)端部抵接于弧凸(521)弧顶处。

8.根据权利要求6所述的一种划片刀的清洗冷却液回收系统，其特征在于，所述顶杆(53)上固定安装有顶板(531)，所述顶板(531)抵接弹性滤板(23)，以使弹性滤板(23)端口朝向更改。

9.根据权利要求1所述的一种划片刀的清洗冷却液回收系统，其特征在于，所述排污口(11)端口处设置有第一排污孔(61)和第二排污孔(62)，多个所述弹性滤板(23)与第一排污孔(61)相配合，所述推滤板(34)和第二排污孔(62)相配合。

10.根据权利要求6所述的一种划片刀的清洗冷却液回收系统，其特征在于，所述过滤箱(1)上固定安装有多个驱动电机(32)，所述驱动电机(32)输出端固定安装有螺杆(321)，所述推块(33)螺纹连接于螺杆(321)上；

所述推块(33)上固定安装有卡块(331)，所述卡块(331)滑动于遮挡板(31)上开设的卡道内。