CN220456363U - 一种具有上下料功能的晶圆用解uv机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，包括安装在机台上的解UV机本体，所述解UV机本体上具有用于放置晶圆片的抽拉式放料抽屉，所述解UV机本体上还具有推杆电机，所述推杆电机的推杆端部和抽拉式放料抽屉相连，所述机台上安装有立柱，所述立柱上设置有升降座，所述升降座与一能使其上下移动的驱动结构相连，所述升降座上通过可拆卸的方式安装有晶圆片储存盒，所述机台上固定有安装杆，所述安装杆上固定有动力电机，且动力电机的输出轴竖直布置，所述动力电机为双输出轴电机，所述动力电机的输出轴端部均固定有连接板，所述连接板上安装有气缸，且气缸的活塞杆竖直向下，所述气缸的活塞杆端部和取放杆相连，所述取放杆上安装有吸盘。

Description

一种具有上下料功能的晶圆用解UV机

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种具有上下料功能的晶圆用解UV机。

背景技术

在半导体工业生产过程中，需要在晶圆的表面贴上UV膜以便于对晶圆进行加工，而在加工完成后又需要将UV膜去除掉，利用解UV机的UV灯照射后，UV膜的粘度降低，从而方便去除UV膜。经检索，如中国专利文献公开了一种晶圆UV除胶设备【申请号：2015200909512；公开号：CN204441252U】。这种设备需要人工将晶圆片取出或者放入，因此，设计出一种具有上下料功能的晶圆用解UV机是很有必要的。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种具有上下料功能的晶圆用解UV机。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，包括安装在机台上的解UV机本体，所述解UV机本体上具有用于放置晶圆片的抽拉式放料抽屉，其特征在于，所述解UV机本体上还具有推杆电机，所述推杆电机的推杆端部和抽拉式放料抽屉相连，所述机台上安装有立柱，所述立柱上设置有升降座，所述升降座与一能使其上下移动的驱动结构相连，所述升降座上通过可拆卸的方式安装有晶圆片储存盒，所述机台上固定有安装杆，所述安装杆上固定有动力电机，且动力电机的输出轴竖直布置，所述动力电机为双输出轴电机，所述动力电机的输出轴端部均固定有连接板，所述连接板上安装有气缸，且气缸的活塞杆竖直向下，所述气缸的活塞杆端部和取放杆相连，所述取放杆上安装有吸盘。

所述驱动结构包括伺服电机、导轨、滑块、丝杆和螺母，所述导轨竖直固定在立柱上，所述滑动设置在导轨上，所述丝杆竖直转动安装在立柱上，所述丝杆上端与伺服电机的输出轴相连，所述伺服电机的机身安装在立柱上，所述螺母螺纹连接在丝杆上，所述螺母和滑块同时与升降座相连。

所述机台上还开设有与晶圆片储存盒相配合的让位槽。

所述晶圆片储存盒具有呈上下布置的若干置物层。

所述机台上还开设有散热孔。

与现有技术相比，本具有上下料功能的晶圆用解UV机具有该优点：

本实用新型中晶圆片储存盒可根据需要逐渐向上移动，与动力电机相配合，使取放杆转动到所需位置，其中一个吸盘将照射后的晶圆片取下放入到晶圆片储存盒处，而另一个吸盘将待照射的晶圆片放入到抽拉式放料抽屉处，从而实现自动上下料。

附图说明

图1是本实用新型的平面结构示意图；

图2是本实用新型中机台处的立体结构示意图；

图3是本实用新型中拆去部分的平面结构示意图；

图4是本实用新型中立柱处的立体结构示意图；

图中，1、解UV机本体；1a、推杆电机；1b、抽拉式放料抽屉；2、吸盘；3、取放杆；4、气缸；5、连接板；6、动力电机；7、升降座；8、滑块；9、导轨；10、立柱；11、晶圆片储存盒；11a、置物层；12、安装杆；13、机台；13a、让位槽；13b、散热孔；14、伺服电机；15、丝杆；16、螺母。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1-图4所示，本具有上下料功能的晶圆用解UV机，包括安装在机台13上的解UV机本体1，解UV机本体1上具有用于放置晶圆片的抽拉式放料抽屉1b，上述的解UV机本体1采用的是现有技术；解UV机本体1上还具有推杆电机1a，推杆电机1a的推杆端部和抽拉式放料抽屉1b相连，采用该结构，通过推杆电机1a可实现抽拉式放料抽屉1b的打开或者关闭；机台13上安装有立柱10，立柱10上设置有升降座7，升降座7与一能使其上下移动的驱动结构相连，升降座7上通过可拆卸的方式安装有晶圆片储存盒11，具体的：晶圆片储存盒11具有呈上下布置的若干置物层11a；机台13上固定有安装杆12，安装杆12上固定有动力电机6，且动力电机6的输出轴竖直布置，动力电机6为双输出轴电机，动力电机6采用市场上可以买到的现有产品；动力电机6的输出轴端部均固定有连接板5，连接板5上安装有气缸4，且气缸4的活塞杆竖直向下，气缸4的活塞杆端部和取放杆3相连，取放杆3上安装有吸盘2。

驱动结构包括伺服电机14、导轨9、滑块8、丝杆15和螺母16，导轨9竖直固定在立柱10上，滑动设置在导轨9上，丝杆15竖直转动安装在立柱10上，丝杆15上端与伺服电机14的输出轴相连，伺服电机14的机身安装在立柱10上，螺母16螺纹连接在丝杆15上，螺母16和滑块8同时与升降座7相连；在本实施例中，导轨9的数量为两根。

机台13上还开设有与晶圆片储存盒11相配合的让位槽13a；机台13上还开设有散热孔13b。

本实用新型中：晶圆片储存盒11最多可以存放九片，每次装待照射的晶圆片为八片，晶圆片储存盒11的最上层空置，将晶圆片储存盒11安装到升降座7后，取出下层位置处待照射的晶圆片，放入照射好的晶圆片到上层位置处；

晶圆片储存盒11可根据需要逐渐向上移动，通过动力电机6使取放杆3转动，取放杆3每次转动的角度为180°，使其中一个吸盘2位于晶圆片储存盒11内，使其中另一个吸盘2位于抽拉式放料抽屉1b处，通过气缸4使吸盘2向下移动，其中一个吸盘2将晶圆片储存盒11内待照射的晶圆片抓取，其中另一个吸盘2将抽拉式放料抽屉1b处照射好的晶圆片抓取，使取放杆3转动180°后，将待照射的晶圆片放入到抽拉式放料抽屉1b处，并将照射好的晶圆片放入到晶圆片储存盒11处。

以上部件均为通用标准件或本技术领域人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (5)

1.一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，包括安装在机台(13)上的解UV机本体(1)，所述解UV机本体(1)上具有用于放置晶圆片的抽拉式放料抽屉(1b)，其特征在于，所述解UV机本体(1)上还具有推杆电机(1a)，所述推杆电机(1a)的推杆端部和抽拉式放料抽屉(1b)相连，所述机台(13)上安装有立柱(10)，所述立柱(10)上设置有升降座(7)，所述升降座(7)与一能使其上下移动的驱动结构相连，所述升降座(7)上通过可拆卸的方式安装有晶圆片储存盒(11)，所述机台(13)上固定有安装杆(12)，所述安装杆(12)上固定有动力电机(6)，且动力电机(6)的输出轴竖直布置，所述动力电机(6)为双输出轴电机，所述动力电机(6)的输出轴端部均固定有连接板(5)，所述连接板(5)上安装有气缸(4)，且气缸(4)的活塞杆竖直向下，所述气缸(4)的活塞杆端部和取放杆(3)相连，所述取放杆(3)上安装有吸盘(2)。

2.根据权利要求1所述的一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，其特征在于，所述驱动结构包括伺服电机(14)、导轨(9)、滑块(8)、丝杆(15)和螺母(16)，所述导轨(9)竖直固定在立柱(10)上，所述滑块设置在导轨(9)上，所述丝杆(15)竖直转动安装在立柱(10)上，所述丝杆(15)上端与伺服电机(14)的输出轴相连，所述伺服电机(14)的机身安装在立柱(10)上，所述螺母(16)螺纹连接在丝杆(15)上，所述螺母(16)和滑块(8)同时与升降座(7)相连。

3.根据权利要求1所述的一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，其特征在于，所述机台(13)上还开设有与晶圆片储存盒(11)相配合的让位槽(13a)。

4.根据权利要求1所述的一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，其特征在于，所述晶圆片储存盒(11)具有呈上下布置的若干置物层(11a)。

5.根据权利要求3所述的一种具有上下料功能的晶圆用解UV机，其特征在于，所述机台(13)上还开设有散热孔(13b)。