CN220420553U - 一种具有升降锁定功能的晶圆翻转装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，升降组件负责部分晶圆支撑柱的升降，锁定驱动件负责固定第一升降板，以防止翻转时发生松动，升降组件由升降滚轮在具有斜面的升降滑块顶部运动而发生升降，由于升降滚轮只是作用在升降滑块顶部，因此不容易卡住，同时锁定驱动件的设置起到了固定作用，防止因为，升降滚轮上方没有限制作用而导致的第一升降板在翻转时发生移动，提高了设备的使用寿命。

Description

一种具有升降锁定功能的晶圆翻转装置

技术领域

本申请属于晶圆生产设备技术领域，尤其是涉及一种具有升降锁定功能的晶圆翻转装置。

背景技术

晶圆生产过程中，需要不断对晶圆进行加工成形、抛光处理和清洗。因此，晶圆清洗是晶圆制造过程中的一个重要的工艺步骤，需要在不破坏晶圆表面特性及电特性的前提下使用化学溶液、清水或气体清除残留在晶圆表面的杂质。在晶圆清洗工艺流程中，当晶圆一面清洗完毕后需要对其进行翻转以备另一面的清洗，故需要对晶圆进行翻转。

中国专利文献CN115410984A公开了一种晶圆清洗机翻转结构，包括底座和翻转支架，以及四个晶圆支撑柱，在该专利文献的附图4中，可以看到，其通过一倾斜块的移动并与位于倾斜块顶部和底部的两个滑轮的作用来实现升降驱动。这种驱动方式使用时间较长时，容易导致两个滑块与倾斜块卡死导致结构失效。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种使用寿命较长的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，包括：

底座；

旋转座，所述旋转座两端通过转轴固定在底座上；

旋转动力件，驱动旋转座在底座上发生旋转；

晶圆支撑柱，设置在旋转座上，所述晶圆支撑柱能够受旋转驱动件的作用下发生旋转，所述晶圆支撑柱上具有成排设置的若干晶圆容纳槽，旋转座的旋转能够带动晶圆支撑柱在竖直状态和水平状态之间变化；

部分所述晶圆支撑柱设置在升降组件上，能够升降；

升降组件包括，第一升降板、升降驱动机构和第二升降板，第二升降板通过水平滑动件固定在第一升降板顶部，能够升降地所述晶圆支撑柱和旋转气缸设置在第二升降板顶部，第二升降板能够在水平滑动件上滑动；

所述升降驱动机构，用于驱动第一升降板升降，包括升降驱动件、升降滑块、升降滑轨和升降滚轮，所述升降滑块顶部具有斜面，升降滑轨设置在旋转座底板上，所述升降滚轮设置在第一升降板底部；升降滑块受升降驱动件驱动而在升降滑轨上水平运动并通过顶部的斜面与所述升降滚轮的配合实现第一升降板的升降；

导轨穿过旋转座底板，且导轨两端分别与第一升降板底部和锁定板固定连接，旋转座底板底部设置有锁定驱动件，锁定驱动件的伸缩杆伸出时能够抵靠住锁定板，从而使第一升降板固定住。

优选地，本实用新型的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，所述升降滚轮为两个。

优选地，本实用新型的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，所述升降滑块顶部分为平面部分和斜面部分，其中平面部分处于最高端，且平面部分具有容纳定位升降滚轮的凹槽。

优选地，本实用新型的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，所述旋转座顶部还设置有挡杆，挡杆设置在水平滑动组件上，晶圆在装入晶圆支撑柱上后，挡杆能够移动到晶圆支撑柱的中间位置，并抵靠住晶圆的外侧边缘。

优选地，本实用新型的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，所述晶圆支撑柱两侧均具有成排设置的若干晶圆容纳槽，两侧的晶圆容纳槽分别用于容纳清洗前后的晶圆。

优选地，本实用新型的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，所有的所述晶圆支撑柱通过皮带联动机构实现联动旋转。

优选地，本实用新型的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，每个能够升降的所述晶圆支撑柱均单独设置在一个旋转气缸上。

优选地，本实用新型的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，不能升降的所述晶圆支撑柱晶圆容纳槽为弧形，且晶圆容纳槽位于长度较短的两边。

优选地，本实用新型的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，能够升降地所述晶圆支撑柱的晶圆容纳槽位于长度较长的两边。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，升降组件负责第二晶圆支撑柱的升降，锁定驱动件负责固定第一升降板，以防止翻转时发生松动，升降组件由升降滚轮在具有斜面的升降滑块顶部运动而发生升降，由于升降滚轮只是作用在升降滑块顶部，因此不容易卡住，同时锁定驱动件的设置起到了固定作用，防止因为，升降滚轮上方没有限制作用而导致的第一升降板在翻转时发生移动，提高了设备的使用寿命。

附图说明

下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。

图1是本申请实施例的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置的结构示意图；

图2是本申请实施例的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置翻转后的结构示意图；

图3是本申请实施例的皮带联动机构和旋转气缸的结构示意图；

图4是本申请实施例的升降组件的结构示意图；

图5是图4中结构的正视图。

图中的附图标记为：

1 底座；

2 旋转座；

3 旋转动力件；

4 晶圆支撑柱；

6 挡杆；

9 晶圆；

20 旋转座底板；

21 升降组件；

40 晶圆容纳槽；

41 第一晶圆支撑柱；

42 第二晶圆支撑柱；

51 旋转气缸；

52 皮带联动机构；

211 锁定驱动件；

212 第一升降板；

213 水平滑动件；

214 第二升降板；

215 升降驱动机构；

216 锁定板；

217 导轨；

2151 升降驱动件；

2152 升降滑块；

2153 升降滑轨；

2154 升降滚轮。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。

实施例

本实施例提供一种具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，如图1所示，包括：

底座1；

旋转座2，所述旋转座2两端通过转轴固定在底座1上；

旋转动力件3，驱动旋转座2在底座1上发生旋转，旋转角度为90°；

晶圆支撑柱4，设置在旋转座2上，所述晶圆支撑柱4能够受旋转驱动件的作用下发生旋转(旋转角度180°)，所述晶圆支撑柱4两侧均具有成排设置的若干晶圆容纳槽40，两侧的晶圆容纳槽40分别用于容纳清洗前后的晶圆9，以防止晶圆9的污染(进槽时的未清洗的晶圆和出槽时的清洗过的晶圆始终由一侧的晶圆容纳槽40所支撑)，旋转座2的旋转能够带动晶圆支撑柱4在竖直状态和水平状态之间变化；

所述晶圆支撑柱4为4个，如图2所示，包括两个第一晶圆支撑柱41和两个第二晶圆支撑柱42，处于水平状态时，第一晶圆支撑柱41位于第二晶圆支撑柱42的下方；两个第一晶圆支撑柱41通过皮带联动机构52实现联动旋转(如图3所示，由电机、皮带轮、张紧轮和皮带组成，两个第一晶圆支撑柱41的旋转方向相反)，每个第二晶圆支撑柱42均单独设置在一个旋转气缸51上；

两个第二晶圆支撑柱42设置在升降组件21上，通过升降组件21的驱动能够使第二晶圆支撑柱42升降一个晶圆容纳槽40的高度；

升降组件21包括，第一升降板212、升降驱动机构215和第二升降板214，第二升降板214通过水平滑动件213固定在第一升降板212顶部，第二晶圆支撑柱42和旋转气缸51设置在第二升降板214顶部，第二升降板214在水平滑动件213滑动时，能够调整第二晶圆支撑柱42与第一晶圆支撑柱41的距离(第二升降板214的驱动装置在图4中被遮挡)；

所述升降驱动机构215，用于驱动第一升降板212升降，包括升降驱动件2151、升降滑块2152、升降滑轨2153和升降滚轮2154(升降滚轮2154为两个)，所述升降滑块2152顶部具有斜面，升降滑轨2153设置在旋转座底板20上，所述升降滚轮2154设置在第一升降板212底部；升降滑块2152受升降驱动件2151驱动而在升降滑轨2153上水平运动并通过顶部的斜面与所述升降滚轮2154的配合实现第一升降板212的升降；

导轨217穿过旋转座底板20(通过直线轴承连接)，且导轨217两端分别与第一升降板212底部和锁定板216固定连接，旋转座底板20底部设置有锁定驱动件211，锁定驱动件211的伸缩杆伸出时能够抵靠住锁定板216，从而使第一升降板212固定住。

本实施例的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，升降组件21负责第二晶圆支撑柱42的升降，锁定驱动件211负责固定第一升降板212，以防止翻转时发生松动，升降组件21由升降滚轮2154在具有斜面的升降滑块2152顶部运动而发生升降，由于升降滚轮2154只是作用在升降滑块2152顶部，因此不容易卡住，同时锁定驱动件211的设置起到了固定作用，防止因为，升降滚轮2154上方没有限制作用而导致的第一升降板212在翻转时发生移动，提高了设备的使用寿命。

进一步地，所述升降滑块2152顶部分为平面部分和斜面部分，其中平面部分处于最高端，且平面部分具有容纳定位升降滚轮2154的凹槽，也即起到固定升降滚轮2154的作用，凹槽的深度较浅，升降滑块2152的平移能够将升降滚轮2154从凹槽内推出。

进一步地，所述旋转座2顶部还设置有挡杆6，挡杆6的高度与晶圆支撑柱4的高度相吻合，挡杆6设置在水平滑动组件上(未示出)，晶圆9在装入晶圆支撑柱4上，挡杆6会移动到晶圆支撑柱4的中间位置，并抵靠住晶圆9的外侧边缘。

进一步的，所述第一晶圆支撑柱41晶圆容纳槽40为弧形，且晶圆容纳槽40位于长度较短的两边。所述第二晶圆支撑柱42的晶圆容纳槽40位于长度较长的两边。第一晶圆支撑柱41和第二晶圆支撑柱42可以适配晶圆9的形状。

以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (9)

1.一种具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，包括：

底座(1)；

旋转座(2)，所述旋转座(2)两端通过转轴固定在底座(1)上；

旋转动力件(3)，驱动旋转座(2)在底座(1)上发生旋转；

晶圆支撑柱(4)，设置在旋转座(2)上，所述晶圆支撑柱(4)能够受旋转驱动件的作用下发生旋转，所述晶圆支撑柱(4)上具有成排设置的若干晶圆容纳槽(40)，旋转座(2)的旋转能够带动晶圆支撑柱(4)在竖直状态和水平状态之间变化；

部分所述晶圆支撑柱(4)设置在升降组件(21)上，能够升降；

升降组件(21)包括，第一升降板(212)、升降驱动机构(215)和第二升降板(214)，第二升降板(214)通过水平滑动件(213)固定在第一升降板(212)顶部，能够升降地所述晶圆支撑柱(4)和旋转气缸(51)设置在第二升降板(214)顶部，第二升降板(214)能够在水平滑动件(213)上滑动；

所述升降驱动机构(215)，用于驱动第一升降板(212)升降，包括升降驱动件(2151)、升降滑块(2152)、升降滑轨(2153)和升降滚轮(2154)，所述升降滑块(2152)顶部具有斜面，升降滑轨(2153)设置在旋转座底板(20)上，所述升降滚轮(2154)设置在第一升降板(212)底部；升降滑块(2152)受升降驱动件(2151)驱动而在升降滑轨(2153)上水平运动并通过顶部的斜面与所述升降滚轮(2154)的配合实现第一升降板(212)的升降；

导轨(217)穿过旋转座底板(20)，且导轨(217)两端分别与第一升降板(212)底部和锁定板(216)固定连接，旋转座底板(20)底部设置有锁定驱动件(211)，锁定驱动件(211)的伸缩杆伸出时能够抵靠住锁定板(216)，从而使第一升降板(212)固定住。

2.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，所述升降滚轮(2154)为两个。

3.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，所述升降滑块(2152)顶部分为平面部分和斜面部分，其中平面部分处于最高端，且平面部分具有容纳定位升降滚轮(2154)的凹槽。

4.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，所述旋转座(2)顶部还设置有挡杆(6)，挡杆(6)设置在水平滑动组件上，晶圆(9)在装入晶圆支撑柱(4)上后，挡杆(6)能够移动到晶圆支撑柱(4)的中间位置，并抵靠住晶圆(9)的外侧边缘。

5.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，所述晶圆支撑柱(4)两侧均具有成排设置的若干晶圆容纳槽(40)，两侧的晶圆容纳槽(40)分别用于容纳清洗前后的晶圆(9)。

6.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，所有的所述晶圆支撑柱(4)通过皮带联动机构(52)实现联动旋转。

7.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，每个能够升降的所述晶圆支撑柱(4)均单独设置在一个旋转气缸(51)上。

8.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，不能升降的所述晶圆支撑柱(4)晶圆容纳槽(40)为弧形，且晶圆容纳槽(40)位于长度较短的两边。

9.根据权利要求8所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，能够升降地所述晶圆支撑柱(4)的晶圆容纳槽(40)位于长度较长的两边。