CN116798937B - 升降机构及晶圆测试载物装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于晶圆测试装置技术领域，公开了一种升降机构及晶圆测试载物装置，升降机构包括基座、驱动组件、主动楔形块、从动抵接部及支撑台，驱动组件设置于基座；主动楔形块连接于驱动组件的输出端，主动楔形块包括第一倾斜面；从动抵接部活动抵接于第一倾斜面；支撑台沿着竖直方向滑动连接于基座，支撑台连接于从动抵接部的顶部；驱动组件能够驱动主动楔形块沿着第一方向移动，以使得第一倾斜面抵靠从动抵接部沿着竖直方向升降，第一方向和竖直方向呈夹角，在同一时间段内，主动楔形块沿第一方向的位移大于从动抵接部沿竖直方向的位移。晶圆测试载物装置包括上述的升降机构。本发明提高了升降的精度，能够保证待检测晶圆电路的位置精度。

Description

升降机构及晶圆测试载物装置

技术领域

本发明属于晶圆测试装置技术领域，尤其涉及一种升降机构及晶圆测试载物装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆测试载物装置用于承载待测试的晶圆电路，用以测试半导体前端加工工艺中的晶圆电路。

目前，晶圆测试载物装置中的升降结构采用丝杆带动皮带实现升降，但是这种结构的升降精度比较低，待检测晶圆电路的位置精度无法保证，从而影响到检测结果。

因此，亟需一种升降机构及晶圆测试载物装置解决上述技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提出一种升降机构及晶圆测试载物装置，用于解决现有技术中存在的升降机构的升降精度低，待检测晶圆电路的位置精度无法保证，从而影响到检测结果的技术问题。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

升降机构，包括：

基座；

驱动组件，设置于所述基座；

主动楔形块，连接于所述驱动组件的输出端，所述主动楔形块包括第一倾斜面；

从动抵接部，活动抵接于所述第一倾斜面；

支撑台，沿着竖直方向滑动连接于所述基座，所述支撑台连接于所述从动抵接部的顶部；

其中，所述驱动组件能够驱动所述主动楔形块沿着第一方向移动，以使得所述第一倾斜面抵靠所述从动抵接部沿着竖直方向升降，所述第一方向和所述竖直方向呈夹角，在同一时间段内，所述主动楔形块沿所述第一方向的位移大于所述从动抵接部沿所述竖直方向的位移。

作为上述升降机构的一种优选技术方案，所述主动楔形块相互间隔设置有多个，多个所述主动楔形块一一对应设置有多个所述从动抵接部。

作为上述升降机构的一种优选技术方案，多个所述主动楔形块的所述第一倾斜面的延伸方向相同，所述驱动组件能够驱动所有所述主动楔形块沿着所述第一方向同步移动。

作为上述升降机构的一种优选技术方案，所述驱动组件包括：

驱动件，设置于所述基座；

丝杠，沿着所述第一方向延伸，所述驱动件的输出端连接于所述丝杠，能够驱动所述丝杠转动；

螺母，螺纹套接于所述丝杠；

连接板，连接于所述螺母的顶部，所有所述主动楔形块连接于所述连接板的顶部。

作为上述升降机构的一种优选技术方案，部分数量的所述主动楔形块为第一主动楔形块，另一部分数量的所述主动楔形块为第二主动楔形块，所述第一主动楔形块的第一倾斜面沿所述第一方向的正向倾斜向上延伸，所述第二主动楔形块的第一倾斜面沿所述第一方向的反向倾斜向上延伸，所述驱动组件能够驱动所述第一主动楔形块和所述第二主动楔形块在所述第一方向上同时相向或同时相反移动。

作为上述升降机构的一种优选技术方案，所述驱动组件包括第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件设置于所述基座，能够驱动所有所述第一主动楔形块沿着所述第一方向往复移动，所述第二驱动组件设置于所述基座，能够驱动所有所述第二主动楔形块沿着所述第一方向往复移动。

作为上述升降机构的一种优选技术方案，所述第一主动楔形块的第一倾斜面的倾斜角度与所述第二主动楔形块的第一倾斜面的倾斜角度不同。

作为上述升降机构的一种优选技术方案，所述从动抵接部为从动楔形块，所述从动楔形块包括第二倾斜面，所述第二倾斜面和所述第一倾斜面相平行且滑动抵接。

作为上述升降机构的一种优选技术方案，所述基座为“凹”字型框型结构，所述驱动组件的部分设置于所述基座的内部空腔中，另一部分设置于所述基座的顶部凹槽内，所述主动楔形块设置于所述基座的顶部凹槽内。

晶圆测试载物装置，包括载台，还包括上述的升降机构，所述载台设置于所述支撑台的顶部。

本发明的有益效果：

本发明提供的升降机构进行升降时，驱动组件驱动主动楔形块沿着第一方向移动，第一倾斜面沿着第一方向移动抵靠从动抵接部沿着竖直方向升降，从而带动支撑台升降，实现了升降的功能。在同一时间段内，主动楔形块沿第一方向的位移大于从动抵接部沿竖直方向的位移，因此，该升降机构在升降时，将驱动的大行程转化为输出的小行程，使得输出的行程更加便于控制，提高了升降的精度，从而能够保证待检测晶圆电路的位置精度，进而确保了检测结果的准确性。

本发明还提供了一种晶圆测试载物装置，其包括上述的升降机构，该晶圆测试载物装置具有上述升降机构的所有有益效果，也即，本发明提供的晶圆测试载物装置保证待检测晶圆电路的位置精度，进而确保了检测结果的准确性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的晶圆测试载物装置的结构示意图；

图2是本发明实施例一提供的升降机构隐去缺口座后的结构示意图；

图3是本发明实施例一提供的升降机构的一部分结构的结构示意图；

图4是本发明实施例一提供的升降机构的另一部分结构的结构示意图；

图5是本发明实施例一提供的升降机构的再一部分结构的结构示意图；

图6是本发明实施例二提供的升降机构中的第一主动楔形块和第二主动楔形块的一种相对位置图；

图7是本发明实施例二提供的升降机构中的第一主动楔形块和第二主动楔形块的另一种相对位置图。

图中：

10、载台；101、工作台；102、转接座；

1、基座；11、缺口座；111、肋板；12、横板；13、L型连接板；

2、驱动组件；21、驱动件；22、丝杠；23、螺母；24、连接板；25、连杆；26、联轴器；27、电机支架；28、支撑座；

3、主动楔形块；31、第一主动楔形块；32、第二主动楔形块；

4、从动抵接部；

5、支撑台；51、安装架；

61、竖向滑轨；62、竖向滑块；

71、斜向滑轨；72、斜向滑块；

81、横向滑轨；82、横向滑块。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的零部件或具有相同或类似功能的零部件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“安装”应做广义理解，例如，可以是安装连接，也可以是可拆卸连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

现有技术中，晶圆测试载物装置的升降结构采用丝杆带动皮带实现升降，但是这种结构的升降精度比较低，待检测晶圆电路的位置精度无法保证，从而影响到检测结果，而且，皮带传动使得升降稳定性差，也会影响到检测结果。

为此，本申请提供了以下实施例，用于解决上述技术问题。

实施例

如图1和图2所示，本实施例提供了一种升降机构，其包括基座1、驱动组件2、主动楔形块3、从动抵接部4及支撑台5，驱动组件2设置于基座1；主动楔形块3连接于驱动组件2的输出端，主动楔形块3包括第一倾斜面；从动抵接部4活动抵接于第一倾斜面；支撑台5沿着竖直方向C滑动连接于基座1，支撑台5连接于从动抵接部4的顶部；其中，驱动组件2能够驱动主动楔形块3沿着第一方向A移动，以使得第一倾斜面抵靠从动抵接部4沿着竖直方向C升降，第一方向A和竖直方向C呈夹角，在同一时间段内，主动楔形块3沿第一方向A的位移大于从动抵接部4沿竖直方向C的位移。

本实施例提供的升降机构进行升降时，驱动组件2驱动主动楔形块3沿着第一方向A移动，第一倾斜面沿着第一方向A移动抵靠从动抵接部4沿着竖直方向C升降，从而带动支撑台5升降，实现了升降的功能。在同一时间段内，主动楔形块3沿第一方向A的位移大于从动抵接部4沿竖直方向C的位移，因此，该升降机构在升降时，将驱动的大行程转化为输出的小行程，使得输出的行程更加便于控制，提高了升降的精度，从而能够保证待检测晶圆电路的位置精度，进而确保了检测结果的准确性。

可以理解的是，第一方向A可以为水平方向，也可以为与水平面呈锐角的任意方向。

优选地，在本实施例中，第一方向A为水平方向，第一倾斜面与第一方向A间的夹角小于45°，如此，使得在同一时间段内，主动楔形块3沿第一方向A的位移大于从动抵接部4沿竖直方向C的位移。

示例性地，第一倾斜面与第一方向A间的夹角为15°、20°或30°等，在此不再一一列举。

具体地，主动楔形块3相互间隔设置有多个，多个主动楔形块3一一对应设置有多个从动抵接部4。主动楔形块3和从动抵接部4相互配合，且设置有多组，提高了对支撑台5升降传动的稳定性。

在本实施例中，主动楔形块3设置有四个，分别位于一个方形的四个拐角处。

一种示例中，如图2和图3所示，从动抵接部4为从动楔形块，从动楔形块包括第二倾斜面，第二倾斜面和第一倾斜面相平行且滑动抵接。从动楔形块和主动楔形块3形成斜面配合，提高了二者传动的稳定性。

可选地，在其他实施例中，第二倾斜面和第一倾斜面直接滑动接触。

具体地，在本实施例中，第二倾斜面和第一倾斜面通过斜向滑轨71和斜向滑块72的配合实现滑动连接。

具体地，参加图3和图4，第二倾斜面和第一倾斜面二者中 ，一个上设置有斜向滑轨71，另一个上设置有斜向滑块72，斜向滑轨71和斜向滑块72相滑接，斜向滑轨71沿着第一倾斜面的长度方向延伸，斜向滑轨71和斜向滑块72相配合，提高了从动抵接部4和主动楔形块3相对滑动的顺畅性。

可选地，斜向滑轨71设置于第二倾斜面上，斜向滑块72设置于第一倾斜面上；或者，斜向滑块72设置于第二倾斜面上，斜向滑轨71设置于第一倾斜面上。

具体地，斜向滑轨71上设置有燕尾凸起，斜向滑块72上开设有燕尾凹槽，燕尾凹槽和燕尾凸起滑动配合。

另一种示例中（图中未示出），从动抵接部4为滚轮，滚轮和第一倾斜面滚动抵接。滚轮和第一倾斜面滚动抵接，提高了二者相对移动的顺畅性。

具体地，如图3和图4所示，多个主动楔形块3的第一倾斜面的延伸方向相同，驱动组件2能够驱动所有主动楔形块3沿着第一方向A同步移动。所有主动楔形块3沿着第一方向A同步移动，抵靠所有抵接部4沿着竖直方向C同步升降，继而带动支撑台5竖直升降。

如图2和图4所示，多个主动楔形块3的第一倾斜面均沿着第一方向A的正向倾斜向下延伸。驱动组件2驱动主动楔形块3沿着第一方向A的正向移动时，第一倾斜面抵接抵接部4的部位逐渐向上改变，且由于支撑台5沿着竖直方向C滑动连接于基座1，因此，支撑台5限制了抵接部4除竖直方向C以外其他方向的移动，故而，主动楔形块3的第一倾斜面抵靠抵接部4竖直向上移动，从而带动支撑台5竖直上移；驱动组件2驱动主动楔形块3沿着第一方向A的反向移动时，第一倾斜面抵接抵接部4的部位逐渐向下改变，且由于支撑台5沿着竖直方向C滑动连接于基座1，因此，支撑台5限制了抵接部4除竖直方向C以外其他方向的移动，故而，主动楔形块3的第一倾斜面带动抵接部4竖直向下移动，从而带动支撑台5竖直下移。

需要说明的是，第一方向A的正向为图1中第一方向A箭头所指的方向，第一方向A的反向为图1中与第一方向A箭头所指方向相反的方向。

具体地，驱动组件2包括驱动件21、丝杠22、螺母23及连接板24，驱动件21设置于基座1；丝杠22沿着第一方向A延伸，驱动件21的输出端连接于丝杠22，能够驱动丝杠22转动；螺母23螺纹套接于丝杠22；连接板24连接于螺母23的顶部，所有主动楔形块3连接于连接板24的顶部。驱动件21驱动丝杠22绕着一个时针方向转动时，带动螺母23沿着第一方向A的正向移动，从而带动连接板24沿着第一方向A的正向移动，继而带动所有主动楔形块3沿着第一方向A的正向移动，所有主动楔形块3顶靠抵接部4和支撑台5上移；驱动件21驱动丝杠22绕着另一个时针方向转动时，带动螺母23沿着第一方向A的反向移动，从而带动连接板24沿着第一方向A的反向移动，继而带动所有主动楔形块3沿着第一方向A的反向移动，所有主动楔形块3带动抵接部4和支撑台5下移。如上，驱动件21、丝杠22、螺母23及连接板24相配合，实现了对所有主动楔形块3的同步驱动，并且丝杠22、螺母23螺纹配合，精度较高，相较于现有技术，本实施例的驱动精度得到了提高。而且，该升降机构的各个传动均为刚性传动，传动稳定性高。

具体地，为了提高连接板24在第一方向A上移动的稳定性及顺畅性，连接板24和基座1二者中，一个上设置有横向滑轨81，另一个上设置有横向滑块82，横向滑轨81沿着第一方向A延伸，横向滑轨81和横向滑块82配合滑接。在本实施例中，横向滑轨81和横向滑块82设置有两个，且一一配合，如此，进一步提高了连接板24在第一方向A上移动的稳定性。

更具体地，横向滑轨81上设置有燕尾凸起，横向滑块82上开设有燕尾凹槽，燕尾凹槽和燕尾凸起滑动配合。

具体地，为了实现支撑台5与基座1沿竖直方向C的滑动连接，支撑台5与基座1二者中，一个上设置有竖向滑轨61，另一个上设置有竖向滑块62，竖向滑轨61沿着竖直方向C延伸，竖向滑块62与竖向滑轨61滑动配合。在本实施例中，竖向滑块62与竖向滑轨61设置有四个，且一一配合，四个竖向滑轨61分别连接于支撑台5底部的四个角部。

更具体地，竖向滑轨61上设置有燕尾凸起，竖向滑块62上开设有燕尾凹槽，燕尾凹槽和燕尾凸起滑动配合。

具体地，如图5所示，基座1为“凹”字型框型结构，驱动组件2的部分设置于基座1的内部空腔中，另一部分设置于基座1的顶部凹槽内，主动楔形块3设置于基座1的顶部凹槽内。驱动组件2的安装位置布局合理，不占用多余空间，同样地，主动楔形块3布置合理，不占用多余空间，使得该升降机构的各个部件布局紧凑，整体体积较小。

更具体地，如图5所示，基座1包括缺口座11、横板12和两个L型连接板13，缺口座11的内部具有空腔且顶部具有缺口，缺口座11的缺口处沿第二方向B的两端各设置有一个L型连接板13，第二方向B垂直于第一方向A，且与竖直方向C呈夹角，L型连接板13的一个板连接于缺口座11的顶部，另一板通过缺口伸入空腔内，两个L型连接板13的位于空腔内的端部之间连接横板12，使得缺口座11、横板12和两个L型连接板13形成“凹”字型框型结构。驱动件21、丝杠22和螺母23设置于横板12的下方，即位于基座1的内部空腔中，连接板24设置于横板12的上方，即位于基座1的顶部凹槽内。横板12上开设有通孔，螺母2上连接有连杆25，连杆25背离螺母2的一端穿过通孔后连接于连接板24，为了保证连杆25沿着第一方向A能够移动，通孔为沿着第一方向A延伸的长形孔。在本实施例中，第二方向B位于水平面内。

更具体地，继续参见图5，缺口座11包括底板、两个侧板及两个顶板，两个侧板的底端分别垂直连接于底板的沿第二方向B的两端，两个顶板分别连接于两个侧板的底端，两个顶板的背离各自对应的侧板的一端之间形成所述缺口。

进一步具体地，为了保证缺口座11的结构强度，缺口座11还包括若干个肋板111，底板和侧板的连接处及侧板和顶板的连接处均设置有至少一个肋板111。

具体地，如图4和图5所示，驱动件21通过电机支架27固定连接于横板12的底部，丝杠22通过联轴器26连接于驱动件21的输出端，横板12的底部连接有支撑座28，丝杠22通过轴承转动连接于支撑座28。如此，实现了驱动组件2在基座1上的稳定安装。在本实施例中，驱动件21为电机。

具体地，横向滑轨81连接于横板12上，两个横向滑轨81在第二方向B上间隔设置，且位于横板12上通孔的相对两侧。

具体地，如图5所示，竖向滑块62连接于L型连接板13中的竖板上，每个L型连接板13对应设置有两个竖向滑块62；如图3所示，支撑台5的底部的四个角部各设置有一个安装架51，安装架51沿着竖直方向C延伸，每个安装架51上安装一个竖向滑轨61。

实施例二

本实施例提供了一种升降机构，其与实施例一相同或相应的零部件采用与实施例一相应的附图标记。为简便起见，仅描述实施例二与实施例一的区别点，区别点在于，多个主动楔形块3的方位设置及驱动组件2的具体结构均与实施例一中的不同。

具体地，如图6和图7所示，部分数量的主动楔形块3为第一主动楔形块31，另一部分数量的主动楔形块3为第二主动楔形块32，第一主动楔形块31的第一倾斜面沿第一方向A的正向倾斜向上延伸，第二主动楔形块32的第一倾斜面沿第一方向A的反向倾斜向上延伸，驱动组件2能够驱动第一主动楔形块31和第二主动楔形块32在第一方向A上同时相向或同时相反移动。

由于第一主动楔形块31的第一倾斜面和第二主动楔形块32的第一倾斜面的倾斜方向相反，因此，第一主动楔形块31和第二主动楔形块32相向或相反移动时，抵靠各自对应的抵接部4和支撑台5同时上升或同时下降，从而实现了支撑台5的升降。

由于第一主动楔形块31和第二主动楔形块32对各自对应的抵接部4的作用力在水平方向上的分力相反，因此，二者的分力在水平方向上对支撑台5起到受力平衡的作用，从而提高了升降机构的结构稳定性。

具体地，驱动组件2包括第一驱动组件和第二驱动组件，第一驱动组件设置于基座1，能够驱动所有第一主动楔形块31沿着第一方向A往复移动，第二驱动组件设置于基座1，能够驱动所有第二主动楔形块32沿着第一方向A往复移动。第一驱动组件和第二驱动组件分别驱动第一主动楔形块31和第二主动楔形块32移动，因此，可以通过匹配第一驱动组件和第二驱动组件的驱动方向来达到驱动第一主动楔形块31和第二主动楔形块32在第一方向A上同时相向或同时相反移动的目的。

一种示例中，如图6所示，第一主动楔形块31和第二主动楔形块32在第一方向A上间隔设置，且第二主动楔形块32在第一主动楔形块31沿第一方向A正向的方位处，在第一驱动组件驱动第一主动楔形块31沿着第一方向A的正向移动的同时，第二驱动组件驱动第二主动楔形块32沿着第一方向A的反向移动，第一主动楔形块31和第二主动楔形块32相互靠近，第一主动楔形块31和第二主动楔形块32抵靠各自对应的抵接部4的位置逐渐向下改变，因此，抵接部4和支撑台5下降；在第一驱动组件驱动第一主动楔形块31沿着第一方向A的反向移动的同时，第二驱动组件驱动第二主动楔形块32沿着第一方向A的正向移动，第一主动楔形块31和第二主动楔形块32相互远离，第一主动楔形块31和第二主动楔形块32抵靠各自对应的抵接部4的位置逐渐向上改变，因此，抵接部4和支撑台5上升。

另一种示例中，如图7所示，第一主动楔形块31和第二主动楔形块32在第一方向A上间隔设置，且第一主动楔形块31在第二主动楔形块32沿第一方向A正向的方位处，在第一驱动组件驱动第一主动楔形块31沿着第一方向A的正向移动的同时，第二驱动组件驱动第二主动楔形块32沿着第一方向A的反向移动，第一主动楔形块31和第二主动楔形块32相互远离，第一主动楔形块31和第二主动楔形块32抵靠各自对应的抵接部4的位置逐渐向下改变，因此，抵接部4和支撑台5下降；在第一驱动组件驱动第一主动楔形块31沿着第一方向A的反向移动的同时，第二驱动组件驱动第二主动楔形块32沿着第一方向A的正向移动，第一主动楔形块31和第二主动楔形块32相互靠近，第一主动楔形块31和第二主动楔形块32抵靠各自对应的抵接部4的位置逐渐向上改变，因此，抵接部4和支撑台5上升。

具体地，在本实施例中，主动楔形块3设置有四个，四个主动楔形块3分别设置于一个方形的四个角部，其中，位于靠近第一方向A正向的两个动楔形块3为第一主动楔形块31，另外两个为第二主动楔形块32；或者，位于靠近第一方向A正向的两个动楔形块3为第二主动楔形块32，另外两个为第一主动楔形块31。

具体地，第一驱动组件包括第一驱动件、第一丝杠、第一螺母及第一连接板，第一驱动件设置于基座1；第一丝杠沿着第一方向A延伸，第一驱动件的输出端连接于第一丝杠，能够驱动第一丝杠转动；第一螺母螺纹套接于第一丝杠；第一连接板连接于第一螺母的顶部，所有第一主动楔形块31连接于第一连接板的顶部。如此实现了第一驱动组件对第一主动楔形块31在第一方向A上的往复移动。在本实施例中，第一驱动件为电机。

具体地，第二驱动组件包括第二驱动件、第二丝杠、第二螺母及第二连接板，第二驱动件设置于基座1；第二丝杠沿着第一方向A延伸，第二驱动件的输出端连接于第二丝杠，能够驱动第二丝杠转动；第二螺母螺纹套接于第二丝杠；第二连接板连接于第二螺母的顶部，所有第二主动楔形块32连接于第二连接板的顶部。如此实现了第二驱动组件对第二主动楔形块32在第一方向A上的往复移动。在本实施例中，第二驱动件为电机。

一种示例中，如图6和图7所示，第一主动楔形块31的第一倾斜面的倾斜角度与第二主动楔形块32的第一倾斜面的倾斜角度相同。如此，第一主动楔形块3和第二主动楔形块32的结构相同，区别仅在于二者的安装方位相反，也就是说，第一主动楔形块31和第二主动楔形块32采用相同的加工制造工艺，生产成本低。而且，第一驱动件和第二驱动件采用相同的转速便可以保证第一主动楔形块31对应的抵接部4和第二主动楔形块32对应的抵接部4同步升降，保证了支撑台5的稳定升降，升降的驱动设置比较简捷。

另一种示例中，第一主动楔形块31的第一倾斜面的倾斜角度与第二主动楔形块32的第一倾斜面的倾斜角度不同。该种方案可以通过配置好第一驱动件和第二驱动件之间的转速关系，用于保证第一主动楔形块31对应的抵接部4和第二主动楔形块32对应的抵接部4同步升降，例如，如果第一主动楔形块31的第一倾斜面的倾斜角度较小，第二主动楔形块32的第一倾斜面的倾斜角度较大，那么，需要将第一驱动件的转速设置为大于第二驱动件的转速，以使得第一主动楔形块31对应的抵接部4和第二主动楔形块32对应的抵接部4同步升降。具体的倾斜角度与转速的关系式经过本领域技术人员的推导可以轻易的获得，因此，具体关系式在此不做具体推导。如此设置，使得该升降机构的结构设置更加灵活。

实施例三

如图1所示，本实施例提供了一种晶圆测试载物装置，其与实施例一相同或相应的零部件采用与实施例一相应的附图标记，该晶圆测试载物装置包括载台10，还包括实施例一或者实施例二中的升降机构，载台10设置于支撑台5的顶部。

由于该晶圆测试载物装置包括上述的升降机构，因此，晶圆测试载物装置具有上述升降机构的所有有益效果，也即，本实施例提供的晶圆测试载物装置保证待检测晶圆电路的位置精度，进而确保了检测结果的准确性。

具体地，如图1所示，载台10包括工作台101和转接座102，工作台101通过转接座102转动连接于支撑台5的顶部。如此设置，满足了对晶圆电路测试时的承载及转动需求。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (7)

1.升降机构，其特征在于，包括：

基座（1）；

驱动组件（2），设置于所述基座（1）；

主动楔形块（3），连接于所述驱动组件（2）的输出端，所述主动楔形块（3）包括第一倾斜面；

从动抵接部（4），活动抵接于所述第一倾斜面；

支撑台（5），沿着竖直方向滑动连接于所述基座（1），所述支撑台（5）连接于所述从动抵接部（4）的顶部；其中，所述驱动组件（2）能够驱动所述主动楔形块（3）沿着第一方向移动，以使得所述第一倾斜面抵靠所述从动抵接部（4）沿着竖直方向升降，所述第一方向和所述竖直方向呈夹角，在同一时间段内，所述主动楔形块（3）沿所述第一方向的位移大于所述从动抵接部（4）沿所述竖直方向的位移；

所述主动楔形块（3）相互间隔设置有多个，一一对应多个所述主动楔形块（3）设置有多个所述从动抵接部（4）；

所述驱动组件（2）包括：驱动件（21），设置于所述基座（1）；丝杠（22），沿着所述第一方向延伸，所述驱动件（21）的输出端连接于所述丝杠（22），能够驱动所述丝杠（22）转动；螺母（23），螺纹套接于所述丝杠（22）；连接板（24），连接于所述螺母（23）的顶部，多个所述主动楔形块（3）连接于所述连接板（24）的顶部；

所述基座（1）包括缺口座（11）、横板（12）和两个L型连接板（13），所述缺口座（11）的内部具有空腔且顶部具有缺口，所述缺口座（11）的缺口处沿第二方向的两端各设置有一个L型连接板（13），所述第二方向垂直于第一方向，且与竖直方向呈夹角，所述L型连接板（13）的一个板连接于所述缺口座（11）的顶部，另一板通过缺口伸入空腔内，两个L型连接板（13）的位于空腔内的端部之间连接所述横板（12），使得所述缺口座（11）、所述横板（12）和所述两个L型连接板（13）形成“凹”字型框型结构；所述驱动件（21）、丝杠（22）和螺母（23）设置于所述横板（12）的下方，所述连接板（24）设置于所述横板（12）的上方；所述横板（12）上开设有通孔，所述通孔为沿第一方向延伸的长形孔，所述螺母（23）上连接有连杆（25），所述连杆（25）背离所述螺母（23）的一端穿过通孔后连接于所述连接板（24）；

所述连接板（24）和基座（1）二者中，一个上设置有横向滑轨（81），另一个上设置有横向滑块（82），所述横向滑块（82）沿所述横向滑轨（81）滑动，其中，所述横向滑轨（81）上设置有燕尾凸起，所述横向滑块（82上）开设有燕尾凹槽，燕尾凹槽和燕尾凸起滑动配合；所述L型连接板中的竖板上设置有竖向滑块（62），所述支撑台（5）的底部的四个角部各设置有一个安装架（51），每个所述安装架（51）上安装一个竖向滑轨（61），所述竖向滑块（62）沿所述竖向滑轨（61）滑动。

2.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于，多个所述主动楔形块（3）的所述第一倾斜面的延伸方向相同，所述驱动组件（2）能够驱动所有所述主动楔形块（3）沿着所述第一方向同步移动。

3.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于，部分数量的所述主动楔形块（3）为第一主动楔形块（31），另一部分数量的所述主动楔形块（3）为第二主动楔形块（32），所述第一主动楔形块（31）的第一倾斜面沿所述第一方向的正向倾斜向上延伸，所述第二主动楔形块（32）的第一倾斜面沿所述第一方向的反向倾斜向上延伸，所述驱动组件（2）能够驱动所述第一主动楔形块（31）和所述第二主动楔形块（32）在所述第一方向上同时相向或同时相反移动。

4.根据权利要求3所述的升降机构，其特征在于，所述驱动组件（2）包括第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件设置于所述基座（1），能够驱动所有所述第一主动楔形块（31）沿着所述第一方向往复移动，所述第二驱动组件设置于所述基座（1），能够驱动所有所述第二主动楔形块（32）沿着所述第一方向往复移动。

5.根据权利要求4所述的升降机构，其特征在于，所述第一主动楔形块（31）的第一倾斜面的倾斜角度与所述第二主动楔形块（32）的第一倾斜面的倾斜角度不同。

6.根据权利要求1-5任一项所述的升降机构，其特征在于，所述从动抵接部（4）为从动楔形块，所述从动楔形块包括第二倾斜面，所述第二倾斜面和所述第一倾斜面相平行且滑动抵接。

7.晶圆测试载物装置，包括载台（10），其特征在于，还包括如权利要求1-6任一项所述的升降机构，所述载台（10）设置于所述支撑台（5）的顶部。