CN220375662U - 一种靶材翻面机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及靶材加工领域，公开了一种靶材翻面机构，其技术方案要点是包括电动三爪卡盘、移动组件以及翻面组件，电动三爪卡盘包括盘体以及三个夹爪，通过移动组件带动盘体上下移动，从而形成对靶材的翻面空间，以使得靶材能够正常翻面，不会与其它零部件发生干涉，并且通过翻面组件实现对靶材的翻面，并且在翻面后，移动组件带动盘体向下移动，将靶材置于输送带上，使得靶材可以进入下一工位，无需人工对靶材进行翻面，实现了翻面的自动化，提高了工作效率，也提高了翻面的安全性。
Description
技术领域
本实用新型涉及靶材加工领域，更具体的说是涉及一种靶材翻面机构。
背景技术
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，靶材应用于微电子领域、显示器以及存储领域等；
其中，高纯铝靶材加工时，一般通过机械臂进行移动，靶材包括圆环以及一体成型的凸环，机械臂夹紧圆环以带动靶材移动，一般情况下，圆环位于凸环上方，便于机械臂夹取，在对凸环处进行加工、擦拭或者检测时，通过人工对靶材进行翻面，效率较低，另外，可能发生靶材脱离手的情况发生。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种靶材翻面机构，用于实现对靶材翻面的自动化。
为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种靶材翻面机构，包括电动三爪卡盘、移动组件以及翻面组件，所述电动三爪卡盘包括盘体以及三个夹爪，所述夹爪上可拆卸连接有第一硅胶柱，所述盘体上可拆卸连接有多个第二硅胶柱，所述第一硅胶柱的位置高度高于所述第二硅胶柱的位置高度，所述移动组件用于带动所述电动三爪卡盘沿竖直方向移动，所述翻面组件用于带动所述电动三爪卡盘转动。
作为本实用新型的进一步改进，所述第一硅胶柱以及第二硅胶柱均沿所述电动三爪卡盘的中心轴线周向均匀分布。
作为本实用新型的进一步改进，所述第一硅胶柱上开设有第一沉孔，所述夹爪上开设有第一螺纹孔，所述第一沉孔与所述第一螺纹孔之间连接有第一螺栓，所述第二硅胶柱上开设有第二沉孔，所述盘体上开设有多个与所述第二硅胶柱对应的第二螺纹孔，所述第二沉孔与所述第二螺纹孔之间连接有第二螺栓。
作为本实用新型的进一步改进，所述第一硅胶柱周向开设有环槽。
作为本实用新型的进一步改进，所述移动组件包括两个相对的移动部，所述移动部包括支架以及无杆气缸，所述无杆气缸固定连接于所述支架上，并且所述无杆气缸的输出端上固定连接有移动架，所述翻面组件包括两个相对的翻面部，所述翻面部分别设置于对应的所述移动架上。
作为本实用新型的进一步改进，所述移动架上开设有多个通孔，所述支架上固定连接有多个与所述通孔对应的支杆，并且所述支杆穿过对应的所述通孔。
作为本实用新型的进一步改进，所述翻面组件包括旋转电机以及旋转架，所述旋转电机的输出端与所述旋转架固定连接，所述旋转架与所述电动三爪卡盘固定连接。
本实用新型的有益效果：本实用新型中通过移动组件带动盘体上下移动，从而形成对靶材的翻面空间，以使得靶材能够正常翻面，不会与其它零部件发生干涉，并且通过翻面组件实现对靶材的翻面，并且在翻面后，移动组件带动盘体向下移动，将靶材置于输送带上，使得靶材可以进入下一工位，无需人工对靶材进行翻面，实现了翻面的自动化，提高了工作效率，也提高了翻面的安全性。
附图说明
图1是本实用新型的立体结构示意图；
图2是本实用新型中电动三爪卡盘处的结构示意图；
图3是本实用新型中第二硅胶柱的结构示意图。
附图标记：1、电动三爪卡盘；11、盘体；12、夹爪；2、移动部；21、支架；22、无杆气缸；23、移动架；24、支杆；3、翻转部；31、旋转电机；32、旋转架；4、第一硅胶柱；41、第一沉孔；42、第一螺栓；43、环槽；5、第二硅胶柱；51、第二沉孔；52、第二螺栓。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
参照图1至图3所示，本实施例的一种靶材翻面机构，包括电动三爪卡盘1、移动组件以及翻面组件，电动三爪卡盘1包括盘体11以及三个夹爪12，夹爪12上可拆卸连接有第一硅胶柱4，盘体11上可拆卸连接有多个第二硅胶柱5，第一硅胶柱4的位置高度高于第二硅胶柱5的位置高度，第二硅胶柱5用于支撑靶材，第一硅胶柱4在夹爪12的带动下，用于夹紧靶材，第一硅胶柱4以及第二硅胶柱5的材料均为硅胶，防止对靶材造成损坏，移动组件用于带动电动三爪卡盘1沿竖直方向移动，翻面组件用于带动电动三爪卡盘1转动，机械臂将靶材移动至第二硅胶柱5上，形成对靶材的支撑，通过电动三爪卡盘1将靶材进行夹紧，随后，移动组件带动靶材向上移动，使得靶材与输送带之间形成能够对靶材进行翻面的空间，从而翻面组件可以对靶材进行翻面，即将靶材旋转180度，翻面完成后，移动组件带动靶材向下移动，电动三爪卡盘1松开后，可以将靶材置于输送带上，将靶材置于输送带上的过程中，输送带停止输送，通过输送带将靶材输送至下一工位；
一开始盘体11位于较低的位置高度，便于工人对靶材的上表面进行检测或者擦拭。
参照图1和图2所示，第一硅胶柱4以及第二硅胶柱5均沿电动三爪卡盘1的中心轴线周向均匀分布，第一硅胶柱4的数量与夹爪12的数量一致，均为三个，第二硅胶柱5的数量为三个或者六个，从而提高对靶材支撑的稳定性。
第一硅胶柱4上开设有第一沉孔41，夹爪12上开设有第一螺纹孔，第一沉孔41与第一螺纹孔之间连接有第一螺栓42，第一沉孔41可以将第一螺栓42进行隐藏，防止靶材与第一螺栓42接触，第二硅胶柱5上开设有第二沉孔51，盘体11上开设有多个与第二硅胶柱5对应的第二螺纹孔，第二沉孔51与第二螺纹孔之间连接有第二螺栓52，第二沉孔51可以将第二螺栓52进行隐藏，防止靶材与第二螺栓52接触，防止靶材的损坏，通过第一螺栓42与第一螺纹孔以及第二螺栓52与第二螺纹孔的结合，便于对第一硅胶柱4和第二硅胶柱5的拆装。
参照图2所示，第一硅胶柱4周向开设有环槽43，环槽43的设置，使得第一硅胶柱4的顶部以及底部均形成有凸环，使得凸环可以防止靶材与第一硅胶柱4的脱离，防止靶材在翻面过程中掉落。
参照图1所示，移动组件包括两个相对的移动部2，移动部2包括支架21以及无杆气缸22，无杆气缸22固定连接于支架21上，并且无杆气缸22的输出端上固定连接有移动架23，翻面组件包括两个相对的翻面部，翻面部分别设置于对应的移动架23上，通过无杆气缸22带动移动架23上下移动，从而通过翻面部带动盘体11上下移动，实现盘体11的上下移动，在对靶材进行翻面前，因靶材的位置高度较低，无法实现直接翻面，需要将靶材进行抬高，然后对其进行翻面，翻面完成后，再将靶材向下移动，以便于后续检查加工，或者机械臂的夹取。
移动架23上开设有多个通孔，支架21上固定连接有多个与通孔对应的支杆24，并且支杆24穿过对应的通孔，通孔设置有两个，支杆24亦设置有两个，在移动架23上下移动的过程中，支杆24在对应的通孔内滑动，从而增加了移动架23上下移动的稳定性。
翻面组件包括旋转电机31以及旋转架32，旋转电机31的输出端与旋转架32固定连接，旋转架32与电动三爪卡盘1固定连接，通过旋转电机31带动旋转架32转动，从而通过旋转加带动盘体11转动，在对盘体11顺时针转动180度后，将靶材置于输送带上后，移动组件再次带动盘体11向上移动，随后旋转电机31带动盘体11逆时针转动180度，实现盘体11的复位。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.一种靶材翻面机构，其特征在于：包括电动三爪卡盘(1)、移动组件以及翻面组件，所述电动三爪卡盘(1)包括盘体(11)以及三个夹爪(12)，所述夹爪(12)上可拆卸连接有第一硅胶柱(4)，所述盘体(11)上可拆卸连接有多个第二硅胶柱(5)，所述第一硅胶柱(4)的位置高度高于所述第二硅胶柱(5)的位置高度，所述移动组件用于带动所述电动三爪卡盘(1)沿竖直方向移动，所述翻面组件用于带动所述电动三爪卡盘(1)转动。
2.根据权利要求1所述的一种靶材翻面机构，其特征在于：所述第一硅胶柱(4)以及第二硅胶柱(5)均沿所述电动三爪卡盘(1)的中心轴线周向均匀分布。
3.根据权利要求2所述的一种靶材翻面机构，其特征在于：所述第一硅胶柱(4)上开设有第一沉孔(41)，所述夹爪(12)上开设有第一螺纹孔，所述第一沉孔(41)与所述第一螺纹孔之间连接有第一螺栓(42)，所述第二硅胶柱(5)上开设有第二沉孔(51)，所述盘体(11)上开设有多个与所述第二硅胶柱(5)对应的第二螺纹孔，所述第二沉孔(51)与所述第二螺纹孔之间连接有第二螺栓(52)。
4.根据权利要求3所述的一种靶材翻面机构，其特征在于：所述第一硅胶柱(4)周向开设有环槽(43)。
5.根据权利要求1所述的一种靶材翻面机构，其特征在于：所述移动组件包括两个相对的移动部(2)，所述移动部(2)包括支架(21)以及无杆气缸(22)，所述无杆气缸(22)固定连接于所述支架(21)上，并且所述无杆气缸(22)的输出端上固定连接有移动架(23)，所述翻面组件包括两个相对的翻面部，所述翻面部分别设置于对应的所述移动架(23)上。
6.根据权利要求5所述的一种靶材翻面机构，其特征在于：所述移动架(23)上开设有多个通孔，所述支架(21)上固定连接有多个与所述通孔对应的支杆(24)，并且所述支杆(24)穿过对应的所述通孔。
7.根据权利要求5所述的一种靶材翻面机构，其特征在于：所述翻面组件包括旋转电机(31)以及旋转架(32)，所述旋转电机(31)的输出端与所述旋转架(32)固定连接，所述旋转架(32)与所述电动三爪卡盘(1)固定连接。
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