CN220359671U - 部件的取出装置、电子部件的制造装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供能够不使部件损伤等而取出的部件的取出装置、部件的载置装置、电子部件的制造装置。利用吸附喷嘴(210)吸附通过绕线机等卷绕于芯棒(710)的空芯线圈(810)，使操作部(100)的柱状部(101a、101b)的凸部(140、140)的接触面(142、142)从芯棒(710)的基端侧与空芯线圈(810)接触，并使操作部(100)向芯棒(710)的前端侧移动，从而使空芯线圈(810)从芯棒(710)脱离。

Description

部件的取出装置、电子部件的制造装置

技术领域

本实用新型涉及适用于部件从制造装置等取出的部件的取出装置、部件的载置装置、及由此制造电子部件的电子部件的制造装置。

背景技术

作为将电子部件从制造装置或搬入装置等供给源输送至下一工序的制造装置或封装装置等供给目的地的装置，例如有专利文献1所记载的装置。在专利文献1的装置中，将卷绕于轴构件的空芯线圈利用两个保持器夹持并从轴构件拉出而输送到基板上，并且在输送目的地利用推动件将空芯线圈推出并插入到基板的规定位置。

另外，作为与输送的电子部件的载置相关的装置，例如有专利文献2所记载的装置。在专利文献2所记载的装置中，检查载置于基板的部件的平坦度，在部件从基板浮起的情况等下，按压部件进行安装状态的修正。特别是当电子部件小型化时，通常电子部件的机械强度变弱，难以进行处理。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9－320873号公报

专利文献2：日本特开2007－067343号公报

实用新型内容

但是，专利文献1所公开的那样的机械性地保持部件或对部件加压的方法中，在对部件施加必要以上的力或定位精度降低的情况下，存在使部件破损的危险性。特别是当部件变小时(例如，成为0.6mm×0.6mm×0.3mm以下的外形尺寸的大致长方体形状的表面安装型电子部件)，强度变低，有时部件由于极小的过负荷而损伤。另外，当部件变小时，可能由于保持部件的工作位置的极小的误差而不能保持部件、或与部件的不适当的部位接触而使部件掉落损伤等。

另外，在如专利文献2所公开的那样机械性地按压部件进行安装状态的修正的情况下，存在对部件施加必要以上的力而使部件破损、或由于机械接触而损伤部件的表面之类的技术问题，需要改善。

本实用新型的一方面提供不会产生部件的损伤或掉落等而能够从供给源的装置或部件适当取出的部件的取出装置、及使用了这种部件的取出装置的电子部件的制造装置。

另外，本实用新型的一方面提供不会损伤部件而能够以规定的姿势适当载置部件的部件的载置装置、及由此能够高效地制造电子部件的电子部件的制造装置。

另外，所述部件也可以是空芯线圈。

空芯线圈若施加过量的力，则容易变形，另外，难以可靠地保持卷绕有绕线的形状的部件，其结果，如果应用本实用新型的部件的取出方法，则能够适当防止变形并且防止掉落等，能够从绕线机等可靠地取出并输送。特别是微细的空芯线圈的处理变得更加困难，但如果是组合了利用接触构件仅与端部周缘接触和利用吸附部吸附的本实用新型的部件的取出方法，则能够防止损伤及丢失(掉落)，适当且高效地进行取出及输送。

另外，本实用新型的部件的取出装置，是取出配置于一端侧开放的棒状构件的周围的部件的部件的取出装置，具有：

吸附部，其吸附配置于所述棒状构件的周围的所述部件；

脱离部，其通过从所述棒状构件的另一端侧与所述部件接触并向所述棒状构件的所述一端侧移动，使所述部件从所述棒状构件脱离，

所述吸附部根据所述脱离部的所述移动，在吸附有所述部件的状态下向所述棒状构件的所述一端侧移动。

在本实用新型的部件的取出装置中，利用吸附部吸附部件，并且脱离部与部件接触而使部件从棒状构件脱离，因此，与利用保持器等把持并取出的情况相比，能够减轻对部件的机械负荷，能够防止部件的损伤。另外，与仅利用吸附部吸附的情况相比，即使吸附力弱，也能够防止部件的掉落等。其结果，根据本实用新型的部件的取出装置，例如在制造装置及搬入装置等供给源中，能够适当取出配置于棒状构件的周围的部件，而不会使其损伤及掉落等。

也可以设为如下结构：所述脱离部具有可以在与所述棒状构件的轴向垂直的方向上开闭地配置，且可以沿着所述棒状构件的轴向移动的一对柱状部，

所述一对柱状部分别具有在该一对柱状部开闭的方向上突出，且形成于指向所述棒状构件的所述一端侧的端面与所述部件接触的接触面的凸部。

所述脱离部也可以使所述一对柱状部的所述接触面与所述部件的所述另一端侧的周缘接触。另外，所述一对柱状部也可以分别具有以规定间隙与所述部件的周面相对地配置的部件相对面。所述一对柱状部也可以形成为相对于该一对柱状部进行所述开闭的方向上的所述部件的宽度(W)，所述一对柱状部的所述部件相对面的间隔(La)及所述一对柱状部的所述凸部的间隔(Lb)成为La＞W＞Lb的关系。

根据这种结构，一对柱状部通过仅使接触面与部件的另一端侧的周缘接触的结构，部件可移动地与部件卡合或支撑部件。因此，防止柱状部对部件施加过度的负荷(力)而使部件损伤。另外，一对柱状部的部件相对面不与部件接触，但与部件的周面以规定的间隙与部件的周面接近配置，因此，即使假设基于吸附部的部件的吸附变弱而不能保持部件，也能够防止部件掉落而破损。另外，如果设为在部件与部件相对面接触的情况下再吸附那样的结构，则也可完成取出，而不使部件损伤。

所述吸附部也可以对所述部件的周面、即指向与所述棒状构件的所述轴向垂直且与所述一对柱状部进行所述开闭的方向垂直的方向的面进行所述吸附。或者，所述吸附部也可以吸附所述部件的周面、即指向所述棒状构件的所述轴向的面。

即，吸附部也可以根据取出对象的部件的形状等吸附部件的任意的部位。部件即使由一对柱状部也被卡合或支撑，因此，即使在部件的表面上具有台阶或凹凸而减弱吸附力的状况下，也能够持续保持部件并取出。换言之，部件即使由一对柱状部也被卡合或支撑，因此，即使是吸附作用稍微变弱的部分，也能够在不损伤部件等的点上吸附适当的部分，与一对柱状部协作而保持并取出部件。

也可以具有将从所述棒状构件脱离的所述部件输送并配置于规定的目的场所的输送单元。另外，所述输送单元也可以构成为具有：所述吸附部，其将所述脱离了的所述部件输送并配置于预置部，解除所述吸附；调整部，其调整配置于所述预置部的所述部件的位置及姿势中的至少一方；第二吸附部，其吸附所述调整了的所述部件，输送并配置于规定的载置部。另外，所述吸附部也可以构成为可以在与所述一对柱状部的所述开闭的方向垂直的面内旋转。再有，也可以还具有检查单元，该检查单元进行从所述棒状构件脱离之后且所述输送之前、所述输送的中途、或所述输送之后且所述配置之前的所述部件的单体的检查、及所述配置了的所述部件的姿势及位置的检查中的至少任一检查。

根据这种结构，能够利用输送单元将取出的部件适当输送至期望的目的场所。另外，根据利用吸附部将取出的部件载置于预置部，利用调整部调整位置等，且利用第二吸附部重新吸附的结构，能够通过适当的吸附力分别执行部件的取出和输送，能够更安全且高效地取出并输送部件。再有，如果设为在输送时变更部件的姿势的结构，则能够将部件以适于下一工序等的方式配置于目的场所。再有，如果在输送时进行部件的检查，则能够将正常的良品以适当的配置提供给下一工序等。

另外，所述部件也可以是空芯线圈。

空芯线圈若施加过量的力，则容易变形，另外，难以可靠地保持卷绕有绕线的形状的部件，但如果使用本实用新型的部件的取出装置，则能够适当防止变形，并且防止掉落等，能够从绕线机等可靠地取出并输送。特别是微细的空芯线圈的处理变得更加困难，但如果是组合了脱离部仅与端部周缘接触的结构和利用吸附部吸附的结构的本实用新型的部件的取出装置，则能够防止损伤及丢失(掉落)，适当进行取出及输送。

另外，本实用新型的电子部件的制造装置，利用上述的部件的取出装置取出电子部件。

根据这种电子部件的制造装置，能够从制造装置或搬入装置等适当取出电子部件，而不使其损伤及掉落等，能够提高生产线整体的效率。

另外，本实用新型的一实施方式所涉及的部件的载置装置，具有以具有粘着预定面的部件成为期望的粘着状态的方式，对所述部件的规定部位非接触地作用力的单元。

在这种部件的载置装置中，因为对部件的规定部位非接触地作用力，所以相较于与部件机械接触而作用力的情况，能够对部件作用极小的力。因此，部件不会由于过负荷而破损，能够使部件在规定部位高精度地移动。其结果，即使部件小型，也不会使部件破损，能够以极小的力高精度地将部件的粘着预定面设为期望的粘着状态。

另外，因为对部件的规定部位非接触地作用力，所以工具及装置的一部分等结构物不与部件机械接触。其结果，能够对部件作用力而不损伤部件的表面等，将具有粘着预定面的部件设为期望的粘着状态。

在上述载置装置中，也可以对多个所述部件一并所述非接触地作用力。

在上述任一载置装置中，也可以还具有检测所述部件的粘着状态的工序，

相对于检测到的所述粘着状态不适当的所述部件，至少对该部件的所述规定部位所述非接触地作用力。

在上述载置装置中，检测的所述部件的所述粘着状态也可以是所述部件的所述粘着预定面的角度。

在上述任一载置装置中，也可以通过对所述部件的所述规定部位吹附空气，而对该规定部位所述非接触地作用力。

在上述任一载置装置中，吹附所述空气的所述部件的所述规定部位也可以是形成有所述粘着预定面的所述部件的脚部。

在上述任一载置装置中，所述空气也可以从相对于与所述粘着预定面垂直的方向倾斜的方向对所述部件的所述规定部位吹附。

本实用新型的一实施方式所涉及的电子部件的制造装置具有上述任一的部件的载置装置，在使电子部件粘着于基板时，对所述电子部件的规定部位非接触地作用力。

根据本实用新型一实施方式的电子部件的制造装置，对部件的规定部位非接触地作用力，将具有粘着预定面的部件高精度地设为期望的粘着状态，而不使其损伤。因此，即使是小型的电子部件，也能够高效地制造。

附图说明

图1是表示一实施方式的线圈输送装置的操作部的结构的立体图。

图2A是表示图1所示的操作部的柱状部的结构的图，是从图2B的A－A观察柱状部的截面图。

图2B是该操作部的柱状部的侧面图。

图3A是表示一实施方式的线圈输送装置的吸附喷嘴的结构的图，是吸附喷嘴的侧面图。

图3B是从长边方向前端侧观察该吸附喷嘴的正面图。

图4是用于说明输送对象的空芯线圈与吸附喷嘴的关系的图。

图5是用于说明图1所示的柱状部、图3A及图3B所示的吸附喷嘴及输送对象的空芯线圈的配置的图。

图6是表示一实施方式的线圈输送装置的处理流程的流程图。

图7A是示意性地表示卷绕有绕线的空芯线圈的图，是从水平方向观察的图。

图7B是示意性地表示该空芯线圈的立体图。

图8A是示意性地表示操作部及吸附喷嘴下降至空芯线圈附近的状态的图，是从水平方向观察的图。

图8B是示意性地表示操作部及吸附喷嘴下降至空芯线圈附近的状态的立体图。

图9A是示意性地表示操作部及吸附喷嘴前进至空芯线圈侧的状态的图，是从水平方向观察的图。

图9B是示意性地表示操作部及吸附喷嘴前进至空芯线圈侧的状态的立体图。

图10A是示意性地表示操作部关闭的状态的图，是从水平方向观察的图。

图10B是示意性地表示操作部关闭的状态的立体图。

图11A是示意性地表示操作部及吸附喷嘴保持空芯线圈进行上升的状态的图，是从水平方向观察的图。

图11B是示意性地表示操作部及吸附喷嘴保持空芯线圈进行上升的状态的立体图。

图12A是示意性地表示操作部及吸附喷嘴旋转且操作部打开的状态的图，是从水平方向观察的图。

图12B是示意性地表示操作部及吸附喷嘴旋转且操作部打开的状态的立体图。

图13A是用于说明预置部中的空芯线圈的定位的图，是表示在预置台上载置空芯线圈的状态的图。

图13B是表示在预置部进行空芯线圈的定位的状态的图。

图13C是表示再吸附被定位于预置部的空芯线圈的状态的图。

图14A是表示将空芯线圈载置于载置部的状态的图，是表示空芯线圈被载置于载置部的状态的图。

图14B是用于说明依次排列于载置部的空芯线圈的配置的图。

图15A是用于说明空芯线圈的单体检查的图，是用于说明来自空芯线圈的一侧面方向的尺寸检查内容的图。

图15B是用于说明来自空芯线圈的另一侧面方向的尺寸检查内容的图。

图16A是用于说明空芯线圈的载置状态(配置状态)的检查的图，是用于说明空芯线圈的水平面内的载置姿势(配置姿势)的检查的图。

图16B是用于说明空芯线圈的高度方向上的载置姿势(配置姿势)的图。

图17A是表示空芯线圈的提供方式的第一变形例的图，是表示在形成于多个柱状部件的上表面的突起配置有空芯线圈的提供方式的图。

图17B是表示空芯线圈的提供方式的第二变形例的图，是表示在矩阵状地形成于基板上的多个突起配置有空芯线圈的提供方式的图。

图18A是表示空芯线圈的提供方式的第三变形例的图，是表示在沿水平方向形成于在水平方向上突出的柱的端面的突起配置有空芯线圈的提供方式的图。

图18B是用于说明操作部的动作的图，该操作部的动作用于说明取出图18A所示的空芯线圈的方法。

图19是表示图1所示的操作部的变形例的立体图。

图20A是表示图19所示的操作部的柱状部的结构的图，是从图20B的B－B观察柱状部的截面图。

图20B是该操作部的柱状部的侧面图。

图21A是示意性地表示取出扁立(edgewise)线圈时的操作部及吸附喷嘴的配置的图，是从上方向观察的图。

图21B是从水平方向观察其配置的图。

图22A是示意性地表示取出另一扁立线圈时的操作部及吸附喷嘴的配置的图，是从上方向观察的图。

图22B是表示从水平方向观察其配置的图。

图23A是示意性地表示取出交叉调宽(crosswise)线圈时的操作部及吸附喷嘴的配置的图，是从上方向观察的图。

图23B是表示从水平方向观察其配置的图。

图24是表示将图7A及图7B所示的空芯线圈外装密封的线圈部件的透视立体图。

图25A是用于说明对载置姿势不良的空芯线圈吹附空气的状态的第一图。

图25B是表示通过空气的吹附修正载置姿势的空芯线圈的图。

图26A是用于说明对载置姿势不良的空芯线圈吹附空气的状态的第二图。

图26B是表示通过空气的吹附修正载置姿势或形状的空芯线圈的一个例子的图。

图27是用于说明对形状不良的空芯线圈吹附空气的状态的一个例子的第一图。

图28是用于说明对形状不良的空芯线圈吹附空气的状态的一个例子的第二图。

图29是表示利用多个空气喷射喷嘴对空芯线圈吹附空气的结构的一个例子的图。

图30是表示对载置的多个空芯线圈一并吹附空气的结构的一个例子的俯视图。

图31是表示对载置的多个空芯线圈一并吹附空气的结构的一个例子的侧面图。

符号的说明

10…线圈输送装置

100、170…操作部

101a、171a…第一柱状部

101b、171b…第二柱状部

103、173…柱状部主体

104、174…前端部

105…基端侧柱状部

140、180…凸部

141…台阶面

142、182…接触面

143…扩宽部

145、185…内侧端面

146、186…倾斜面

151…柱状部内侧面

152、192…部件相对面

153…内侧面扩宽部(倾斜面)

210、230…吸附喷嘴(吸附部)

220…输送喷嘴(吸附部)

240…姿势修正部(空气喷射部)

241…空气喷射喷嘴

202…内管

204…前端部

205…前端吸附孔

300…预置部

310…预置台

320…定位部件

500…载置部(输送目的场所、粘着片)

510…载置面(粘着面)

511…基准线

700…芯棒基台

710…芯棒(棒状构件)

715…芯棒侧面

722…基柱

723…突起(棒状构件)

731…基板

733…突起(棒状构件)

741…垂直壁部

742…水平柱

743…突起(棒状构件)

810…空芯线圈

811…圆线

812…卷绕部

812a…上表面

812b…下表面

812c、812d…侧面

813a、913b…脚部

820、830…扁立线圈

840…交叉调宽线圈

821、831、841…扁平线

824…空芯部

900…线圈部件(电子部件)

910…素体

913…安装面。

具体实施方式

以下，参照附图，对本实用新型的实施方式进行说明。以下说明的本实用新型的实施方式是用于说明本实用新型的示例。本实用新型的实施方式的各种构成要素、例如数值、形状、材料、制造工序等能够在技术上不会产生问题的范围内进行改变或变更。

另外，本实用新型的附图中表示的形状等未必与实际的形状等一致。这是因为，为了进行说明，有时改变形状等。

参照图1～图31对应用了本实用新型的一实施方式的部件的取出方法(取出装置)及部件的载置方法(载置装置)的线圈输送装置进行说明。本实施方式的线圈输送装置10是将利用图7A及图7B所示那样的例如自动绕线机形成于芯棒710的周围的空芯线圈810以规定的配置且图25B及图26B所示那样的适当的姿势载置于图14A及图14B所示那样的载置部500的装置。

更具体而言，线圈输送装置10将卷绕于芯棒710的空芯线圈810从芯棒710取出(拔出)，输送至载置部500，并载置于载置部500上。载置部500例如是用于向用于制造线圈部件的外装密封工序供给空芯线圈810的粘接片(粘着片)，空芯线圈810以二维排列载置于粘着面510。此时，例如在空芯线圈810的脚(粘着预定面)浮起而被载置等、载置状态(粘着状态)不适当的情况下，线圈输送装置10修正空芯线圈810的载置状态并设为适当的姿势。

此外，例如如图24所示，对载置于载置部500的空芯线圈810实施外装密封工序而制造的本实用新型的电子部件是在素体910的内部密封收纳有作为电子要素的空芯线圈(线圈部)810的电子部件、即在素体910埋入有空芯线圈的线圈部件900。线圈部件900具有素体910及线圈部810，线圈部810具有卷绕部812及作为一对电极端子的脚部813a、813b。

另外，线圈部件900是平面方向的最大边的长度例如为5mm以下、或3mm以下、或0.6mm以下、高度例如为3mm以下、或2mm以下、或0.3mm以下的小型的电子部件。

以下，对这种线圈输送装置10进行详细说明。

线圈输送装置10具有图1～图2B所示的操作部100、图3A～图4所示的吸附喷嘴210、图13A～图14B所示的输送喷嘴220、图13A～图13C所示的预置部300、及图25A所示的空气喷射喷嘴241。另外，线圈输送装置10具有检测各构成部分、输送对象部件的位置、姿势、动作状态的传感器及摄像头。

另外，线圈输送装置10具有驱动包含操作部100、吸附喷嘴210及空气喷射喷嘴241在内的各构成部分的驱动部。另外，线圈输送装置10具有经由吸附喷嘴210抽吸空气的抽吸装置、经由空气喷射喷嘴241喷射空气的空气喷射装置。另外，线圈输送装置10具有控制这些各构成部，并且执行输送对象部件的检查所涉及的处理的控制部(运算处理装置)。

以下，说明各部的结构。

如图10A及图10B所示，操作部100是用于使取出对象的空芯线圈810卡合(挂设)于柱状部101a、101b之间，并从芯棒710拔出的构件。

如图1所示，操作部100具有相对地配置的一对柱状部101a、101b。柱状部101a、101b各自具有棱柱形状的主体103。柱状部主体103中，作为一端部的前端部104构成为自由端，作为另一端部的基端部与未图示的驱动装置连接。

此外，参照图1时，如图示那样，将一对柱状部101a、101b的延伸方向设为Z轴方向，将基端部侧(Z轴正方向)设为上侧(上方向)，将前端部104侧(Z轴负方向)设为下侧(下方向)。另外，将一对柱状部101a、101b相对的方向设为X轴方向，将与Z轴方向和X轴方向分别垂直的方向设为Y轴方向。

在一对柱状部101a、101b的各前端部104形成有凸部140，该凸部140以规定的微小高度W1朝向相对的另一方的柱状部101b、101a突出。因此，在柱状部主体103的相对面(柱状部内侧面)151形成台阶面141。台阶面141是凸部140的基端侧的侧面。

台阶面141具有占Y轴方向的一侧的接触面142和占Y轴方向的另一侧的扩宽部143。接触面142是X轴方向的长度恒定的部分，扩宽部143是X轴方向的长度随着离开接触面142而逐渐变宽的部分。扩宽部143因为与其上侧相邻的柱状部内侧面151形成于在相对的一对柱状部101a、101b之间其距离逐渐扩大的倾斜面153，所以与其对应地成为宽度逐渐变宽的形状。柱状部内侧面151中与接触面142的上侧相邻的部分152形成于在相对的一对柱状部101a、101b之间不改变距离的平行的面。

在柱状部101a、101b的各个中，与凸部140的台阶面141相邻的面是与Z轴方向平行的内侧端面145，是一对柱状部101a、101b中最接近的(距离最短的)部分。从内侧端面145进一步靠前端侧的部分形成于在相对的柱状部101a、101b之间距离逐渐扩大的倾斜面146。

这种形状的一对柱状部101a、101b构成为，基端侧与未图示的驱动部连接，在X方向上分别可移动。即，一对柱状部101a、101b构成为可任意变更其间隔(距离)。在本实施方式中，一对柱状部101a、101b对特定的空芯线圈810进行处理(取出)时，一对柱状部101a、101b至少开闭(移动)成与空芯线圈810的尺寸对应的规定的打开状态和与空芯线圈810的尺寸对应的规定的关闭的状态。

另外，具有这样开闭自如的一对柱状部101a、101b的操作部100作为整体进一步与未图示的驱动部连接，作为操作部100整体，即，将一对柱状部101a、101b一体构成为可以在任意方向上平行移动或旋转移动。操作部100构成为在一对柱状部101a、101b关闭的状态或打开的状态下，能够一体地在垂直方向上上升或下降，或在水平方向上移动，或以任意的方向为旋转轴进行旋转移动。

这种形状的结构的操作部100即一对柱状部101a、101b中，如图5所示，柱状部101a、101b的接触面142、142与取出(拔出)对象的空芯线圈810接触，将其卡合或支撑。在操作部100中，接触面142、142是与空芯线圈810接触的唯一的面(部分)。

柱状部内侧面151、151的与接触面142、142相邻的部分152、152是在利用操作部100卡合空芯线圈810时与空芯线圈810的周面相对的部件相对面。部件相对面152、152虽然与空芯线圈810的周面接近配置，但与空芯线圈810的周面隔开规定的微小间隔而配置，不与空芯线圈810的周面相接。

图5表示为了从芯棒710取出卷绕于芯棒710的周围的空芯线圈810，一对柱状部101a、101b关闭的状态。如图5所示，柱状部101a、101b使接触面142、142与空芯线圈810的底面的周缘部接触，部件相对面152、152不与空芯线圈810接触。

为了在这种状态下与空芯线圈810卡合，一对柱状部101a、101b被设计为在其关闭时，满足关系式：La＞W＞Lb(W：柱状部101a、101b的开闭方向上的空芯线圈810的宽度，La：柱状部101a、101b的部件相对面152、152的间隔，Lb：柱状部101a、101b的内侧端面145、145的间隔)，被控制开闭。

另外，操作部100的一对柱状部101a、101b的内侧端面145、145被设计为在柱状部101a、101b关闭的情况下也不与芯棒710接触，或控制柱状部101a、101b的开闭。

操作部100的凸部140的高度W1即接触面142的宽度W1及接触面142的Y方向的长度W2可以根据取出对象的空芯线圈810的尺寸及绕线直径适当设定。例如，接触面142的宽度W1也可以小于形成空芯线圈810的绕线的直径。

此外，如图5所示，在从沿垂直方向设置的芯棒710拉出空芯线圈810的情况下，操作部100不仅使接触面142与空芯线圈810卡合而使其移动，还发挥从垂直方向下方支撑空芯线圈810的作用。另一方面，在沿水平方向拉出配置于沿水平方向设置的棒状构件的空芯线圈810的情况下，操作部100通过单单仅使接触面142与空芯线圈810卡合而使空芯线圈810移动，不支撑空芯线圈810。操作部100的作用根据取出对象部件的供给方式而存在这种差异，但在本实施方式的线圈输送装置10中，操作部100与下述的吸附喷嘴210一起保持并输送空芯线圈810，因此，至少只要能够发挥与部件卡合并使其移动的作用即可。

在操作部100中，内侧面扩宽部153及台阶面141的扩宽部143、及内侧端面145的前端部104侧的倾斜面146作为所谓的避让空间、空间余量而形成，以使得在上述的空芯线圈810的取出动作中等，不与空芯线圈810及其它的机械、器具、装置干涉。通过设为这种结构，可以使操作部100安全地动作。

另外，在操作部100中，一对柱状部101a、101b的各部件相对面152、152被镜面加工。在利用操作部100正常卡合空芯线圈810的情况下，如上所述，部件相对面152、152不与空芯线圈810接触，但在由于一些原因而空芯线圈810的姿势失衡的情况下等，有时空芯线圈810与部件相对面152接触。为了在这种情况下也不会损伤空芯线圈810或减轻损伤，对部件相对面152、152进行镜面加工。

如图3A及图3B所示，吸附喷嘴210是用于吸附保持空芯线圈810的构件。

吸附喷嘴210是在内部形成有连通路202的筒状构件，在作为一端部的前端部204形成有连通路202的端部开口即前端吸附孔205。吸附喷嘴210的另一端部经由未图示的管与抽吸装置连通，抽吸装置进行工作，从吸附喷嘴210的前端部204的前端吸附孔205抽吸空气，由此，在前端吸附孔205产生负压，吸附前端吸附孔205抵接的空芯线圈810。

如图4所示，吸附喷嘴210的外径S1可以大于取出对象的空芯线圈810的磁路长(相当于作为线圈发挥作用的空芯线圈810的高度)L1，也可以是图示那样吸附喷嘴210的端部从空芯线圈810的周面突出的方式。另一方面，优选前端吸附孔205的孔径S2小于空芯线圈810的磁路长L1。更优选前端吸附孔205的孔径S2为空芯线圈810的磁路长L1的40％～90％。此外，作为吸附喷嘴的孔的形状，能够使用圆型、长圆型、方型的孔。在该情况下，外径S1相当于孔的最长部的长度。(例如，在圆型的情况下相当于直径，在方孔的情况下相当于对角线长度。)

此外，吸附喷嘴210的前端部204也可以由形成有多个微细孔的多孔质体构成，而不是具有一个前端吸附孔205的结构。经由吸附喷嘴210的连通路202的来自抽吸装置的抽吸力经由多孔质体的微细孔被赋予至空芯线圈810，对吸附微细的空芯线圈810或周面上凹凸多的空芯线圈810等是有效的。

吸附喷嘴210的材质没有特别限定，例如优选使用不锈钢那样的金属钢材。

以不损伤吸附喷嘴210的前端部204接触的空芯线圈810的方式由适当的材质对前端部204进行表面涂层。

这种形状的吸附喷嘴210构成为与未图示的驱动部连接，可以在任意方向上平行移动或旋转移动。吸附喷嘴210构成为可以与上述的操作部100一体地或与操作部100单独独立地沿垂直方向上升或下降，或沿水平方向移动，或以任意的方向为旋转轴进行旋转移动。

此外，上述的操作部100和吸附喷嘴210也可以构成为被相同的驱动装置及控制装置一体驱动且控制。如下所述，操作部100和吸附喷嘴210也可以构成为可以以相同支点为轴进行旋转的动作也多，可共用的部分利用相同的驱动装置一体驱动。如果这样构成，则能够简化装置结构，从而优选。

预置部300是用于将利用操作部100及吸附喷嘴210从芯棒710取出的空芯线圈810暂时载置并重新再吸附的结构。

如图13A～图13C所示，预置部300具有预置台310、定位构件320及未图示的气流产生装置。

预置台310是暂时载置利用操作部100及吸附喷嘴210从芯棒710取出的空芯线圈810的基台。预置台310的表面被加工成容易滑动，被载置的空芯线圈810可以容易地移动。

如图13A所示，定位构件320是L字状的构件，被固定设置于预置台310的上表面。如图13B所示，通过气流f1、f2使载置于预置台310的上表面的空芯线圈810朝向定位部件320的内侧角部移动，由此，空芯线圈810的位置及姿势被精确规定为沿着定位构件320的内侧角部的位置和姿势。

如图13C所示，将这样精确地进行了定位及姿势的调整的空芯线圈810此次利用输送喷嘴220再吸附，并输送至作为输送目的场所的载置部500。

在本实施方式的线圈输送装置10中，当空芯线圈810从吸附喷嘴210向输送喷嘴220交接时，为了以适当的位置及姿势吸附空芯线圈810，使用这种预置部300。

如上所述，输送喷嘴220是用于将空芯线圈810从预置部300输送到载置部500的吸附构件。在本实施方式中，输送喷嘴220是与吸附喷嘴210相同的结构。

载置部500是输送空芯线圈810的目的场所，并且是用于以规定的配置载置输送的空芯线圈810的构件。通常，载置部500是用于向下一工序供给空芯线圈810的部件交接场所(位置)。在本实施方式中，载置部500是用于向作为下一工序的外装密封工序供给空芯线圈810的粘着片。如图14A～图16B所示，依次被输送的空芯线圈810以规定的二维排列载置于粘着片500上。

但是，具体的载置部500的结构不限于此，也可以是设置有收纳各个空芯线圈810的凹部的托盘、设置有收纳各个空芯线圈810的袋的带构件等。另外，也可以是下一工序的处理机械中的部件投入口(供给口)那样的部位，而不是输送构件。

线圈输送装置10省略图示，但具有多个摄像头。

摄像头遍及线圈输送装置10的整体设置多个，但大致分为具有作为用于控制线圈输送装置10的传感器单元的第一系统的摄像头、用于检查作为取出输送对象的部件的空芯线圈810的第二系统的摄像头、以及用于检查作为输送目的场所的载置部500中的空芯线圈810的排列状态及载置状态的第三系统的摄像头。

第一系统的摄像头例如拍摄空芯线圈810向芯棒710的形成状态、柱状部101a、101b及吸附喷嘴210的移动状态及位置、柱状部101a、101b及吸附喷嘴210进行的空芯线圈810的支撑状态、吸附状态、保持状态、载置于预置部300的空芯线圈810的位置及姿势，除此之外，为了掌握构成线圈输送装置10的各部的相对的位置关系及工作状况等，还拍摄对象物，并将得到的图像数据发送至控制部。基于这些数据，在控制部中，探测线圈输送装置10的工作状况，通过包含所谓的反馈控制的控制方式控制各部，以使线圈输送装置10进行期望的动作。

第二系统的摄像头例如拍摄由吸附喷嘴210或输送喷嘴220吸附并输送时的空芯线圈810，将得到的图像数据发送至控制部。基于该数据，在控制部中，掌握空芯线圈810的作为部件单体的状态、即外观、端子的位置及形状、引线端子的粘接状态等，进行良品/次品的判定、次品的标记及排除等处理。

第三系统的摄像头拍摄载置于载置部500的空芯线圈810，将得到的图像数据发送至控制部。基于该数据，在控制部中，检测空芯线圈810的载置状态、即空芯线圈810的载置位置及空芯线圈810的载置姿势及形状等，并判断其是否适当。是否适当的判断(好坏判断)通过如下进行：检测空芯线圈810的倾斜及空芯线圈810间的间距等，预测特定被载置的空芯线圈810的位置、载置姿势及形状，判别其是否在规定的范围内。

具体而言，例如如图16A或图16B所示，在具有载置于载置部500的粘着面510的空芯线圈810a～810f的情况下，空芯线圈810d在粘着面510内大幅倾斜地载置，判断为不良。另外，空芯线圈810f相对于粘着面510在垂直方向上大幅倾斜地载置，判断为不良。其它的空芯线圈810a～810c及810e适当配置，在规定的范围内并判断为良品。

作为第三系统的摄像头，优选具有至少从上表面拍摄载置部500的粘着面510的摄像头，以能够获取图16A所示那样的图像数据。另外，作为第三系统的摄像头，例如也可以具有以粘着面510的高度水平从侧面方向(也可以是斜上方向或斜侧方)拍摄载置于载置部500的空芯线圈810的摄像头，以能够获取图16B所示那样的图像数据。

但是，在控制部中的空芯线圈810的载置状态、载置姿势及形状的检测时，不仅利用从第三系统的摄像头发送的图像数据，还利用从第一系统及第二系统的摄像头发送的图像数据。由此，作为第三系统的摄像头，即使不具备从侧面方向拍摄载置部500的粘着面510的摄像头，也能够检测不能从上表面拍摄的空芯线圈810的脚部的形状的不良等。

对于判断为不良的空芯线圈810中、与粘着面510平行的面上的配置不适当的空芯线圈810，该空芯线圈810直接被判断为次品，并进行次品的标记等的处理。这是因为，由于需要变更空芯线圈810和粘着面510的粘接位置，所以再配置不容易。

另一方面，对于判断为不良的空芯线圈810中、载置姿势及形状不适当的空芯线圈810，进行修正该空芯线圈810的载置姿势及形状的处理。例如如图25A所示，空芯线圈810的载置姿势及形状的修正通过使用空气喷射喷嘴241对与该空芯线圈810的不适当的状态对应的规定位置吹附空气而进行。作为其原因，是因为这种不良能够在不将已经粘接于粘着面510的部位从粘着面510剥离的情况下修正不良。

在本实施方式中，进行了载置姿势及形状的修正的空芯线圈810直接输送至下一工序。但是，对于通过空气喷射喷嘴241进行的空气的吹附进行了载置姿势及形状的修正的空芯线圈810，也可以再次拍摄其载置状态，并判断载置状态是否适当。其结果，判别为载置状态适当的(判断为进行了适当修正)空芯线圈810判断为良品，再次判别为载置状态不适当的空芯线圈810判断为次品，也可以进行标记等处理。另外，在空芯线圈810的载置姿势及形状的不适当的状态是空气的吹附中不能修正的种类或程度的情况下，也可以不通过经由空气喷射喷嘴241的空气的吹附进行载置姿势及形状的修正，而直接判断为次品，进行次品的标记等处理。

此外，标记等不仅是物理上的标记，也可以是数据处理上的标记。

此外，在部件的输送方法的说明中，作为部件的排列状态检查(检查2)工序S10(参照图6)的说明，后面叙述空芯线圈810的载置状态的更具体的检查方法。

此外，使用了这些摄像头产生的拍摄图像数据的处理中，可使用的传感器也可以是摄像头(拍摄单元)以外的传感器。

如图25A所示，空气喷射喷嘴241是用于向空芯线圈810喷射空气的构件。空气喷射喷嘴241对与空芯线圈810的不良的状态对应的规定位置吹附空气，修正(变更)其姿势及形状。

参照图3A及图3B，空气喷射喷嘴241具有与上述的吸附喷嘴210大致相同的结构。即，空气喷射喷嘴241是在内部形成有连通路202的筒状构件，在作为一端部的前端部204形成有连通路202的端部开口。空气喷射喷嘴241的另一端部经由未图示的管与例如压缩机等空气送出装置连接，通过从空气喷射喷嘴241的前端部204的开口喷出经由管输送的空气，向空芯线圈810的规定部位吹附规定压力的空气。

吹附的空气压力是能够在空芯线圈810不从粘着面510剥离的(被吹飞)的范围内改变空芯线圈810的载置姿势及形状的压力、即能够修正载置姿势及形状的压力。此外，在部件的输送方法的说明中，作为部件的载置状态修正工序S11(参照图6)的说明，后面叙述吹附空气的空芯线圈810的部位。

另外，空气喷射喷嘴241的材质没有特别限定，例如也可以使用不锈钢那样的金属钢材。

空气喷射喷嘴241设置于未图示的驱动部，可以移动至载置部500的粘着面510(参照图16A及图16B)上的任意的位置。另外，空气喷射喷嘴241在载置部500的粘着面510上，可以相对于与粘着面510垂直的方向以任意的角度倾斜。如果是这种结构，则空气喷射喷嘴241能够以任意角度向载置于载置部500的粘着面510上的空芯线圈810的任意位置吹附空气。因此，可以利用一个空气喷射喷嘴241修正以比较狭窄的间距载置于载置部500的粘着面510的多个(许多)空芯线圈810的载置姿势等，能够使线圈输送装置10的结构简单。

但是，线圈输送装置10也可以设为具有多个空气喷射喷嘴的结构。例如，如图29所示，也可以是具有两个空气喷射喷嘴241、241，以能够对一个空芯线圈810的两个脚部813a、813b同时吹附空气的结构。

在这种结构中，多个空气喷射喷嘴241、…、241(例如两个空气喷射喷嘴241、241)也可以设为如下结构：通过未图示的控制部及驱动部，能够分别独立地以任意角度向粘着面510上的任意位置移动且可吹附空气。另外，例如也可以设为如下结构：规定的多个空气喷射喷嘴241、…、241针对某规定的多个空气喷射喷嘴241、…、241，能够一体地以任意角度向粘着面510上的任意位置移动且可吹附空气。或者还可以设为如下结构：针对规定的多个空气喷射喷嘴241、…、241，能够向粘着面510上的任意位置一体地移动，另一方面，在移动的位置，针对各个空气喷射喷嘴241进行其位置的微调整或其角度的调整，能够针对各个空气喷射喷嘴241向各个对象部位吹附空气。

通过设为这种结构，能够对多个空芯线圈810或对多个不良部位同时并行地吹附空气，空芯线圈810的载置效率提高，进而能够高效地进行线圈部件900(参照图24)的制造。

另外，例如如图30及图31所示，也可以设为如下结构：相对于载置于载置部500的粘着面510的多个(许多)空芯线圈810分别固定设置各两个空气喷射喷嘴241、241。使用这些空气喷射喷嘴241、…、241，通过未图示的控制部及驱动部，对载置于粘着面510的所有的空芯线圈810一并吹附空气，由此，能够同时修正载置于粘着面510的所有的空芯线圈810的载置状态，空芯线圈810的载置效率进一步提高，能够更高效地进行线圈部件900的制造。

此外，在相对于载置于粘着面510的全部空芯线圈810，与脚部813a、813b对应地固定设置空气喷射喷嘴241、241的结构中，也可以对经由上述的第三系统等的摄像头的不适当的载置姿势及形状的空芯线圈810不进行检测处理。通过对包含以适当的载置状态载置的空芯线圈810的所有的空芯线圈810、…，810吹附空气，结果是不良的载置状态的空芯线圈810被选择性地修正其载置状态，能够省略检测不良的空芯线圈810的处理所涉及的结构及处理时间。

此外，如图16A及图16B所示，多个空芯线圈810以与相邻的空芯线圈810的距离为规定的间距D8(X方向)及D9(Y方向)配置于载置部500的粘着面510。另外，如上所述，在本实施方式中，空芯线圈810本身是例如为0.6mm×0.6mm×0.3mm以下的极小的(微小)尺寸，其配置间距D8、D9通常也狭窄。

因此，如图30及图31所示，在与载置于粘着面510的所有(或多个)的空芯线圈810、…、810的脚部813a、813b对应地固定设置多个空气喷射喷嘴241、241的结构中，各空气喷射喷嘴241、…、241以不与相邻的空气喷射喷嘴241干涉的方式被调整其位置及角度进行设置。或者，以能够这样设置空气喷射喷嘴241、…、241的方式确定载置部500的粘着面510上的空芯线圈810、…、810的配置间距。

以上，对线圈输送装置10的结构进行了说明。这种线圈输送装置10的各部的动作由未图示的控制部控制并执行。线圈输送装置10具有用于该动作的控制部。控制部可以是设置于线圈输送装置10的处理器那样的方式，也可以是经由通信I/F连接的通用的计算机。

接着，参照图6～图16B说明利用这种结构的线圈输送装置10取出空芯线圈810，并将其输送至输送目的场所的处理。

此外，在参照图7A～图12B的以下的说明中，将垂直方向设为Z轴方向，将取出形成于芯棒710的空芯线圈810时的操作部100的柱状部101a、101b的开闭方向设为X轴方向，将与Z轴方向和X轴方向垂直的方向设为Y轴方向。另外，有时也将Z轴正方向称为上，将Z轴负方向侧称为下，将Y轴负方向称为前，将Y轴正方向称为后。

图6是表示其处理工序的流程图。

首先，如图7A及图7B所示，在芯棒710形成取出·输送对象的空芯线圈810(工序S1)。在本实施方式中，芯棒710是利用未图示的自动绕线机卷绕有绕线的卷芯轴。芯棒710设置于基台700之上。基台700可以是自动绕线机所附带的结构，也可以是与自动绕线机不同的构件。另外，芯棒710也可以在基台700构成有多个。

芯棒710是从基台700向垂直方向(Z轴方向)上侧延伸的棒状构件，上端部构成为开放的自由端。在芯棒710，利用未图示的自动绕线机依次卷绕绕线，形成线圈810。在本实施方式中，卷绕于芯棒710的绕线是圆线811(参照图4)。

此外，在图7A～图12B中，从说明绕线卷绕于芯棒710的工序及状态的观点来看，构成空芯线圈810的绕线的两端部以圆线的状态图示。但是，虽然省略详细的说明，但对于该空芯线圈810，例如在卷绕于芯棒710的状态下或载置于预置台300前被供给到未图示的脚部形成单元，如图14A所示，形成脚部813a、813b。

在本实施方式中，脚部813a、813b通过在构成空芯线圈810的绕线的两端部设置例如平板状的构件，或通过压扁加工绕线的两端部制成平板状而形成。但是，脚部813a、813b只要是空芯线圈810能够自立的方式的脚部，就可以是任意形状，另外，可以通过任意方法形成。

如果空芯线圈810的准备完成、即空芯线圈810相对于芯棒710的制造结束，则使线圈输送装置10的操作部100移动至空芯线圈810的附近，并且利用吸附喷嘴210吸附空芯线圈810(工序S2)。

为此，首先，如图8A及图8B所示，使一对柱状部101a、101b及吸附喷嘴210下降(向Z轴方向下方移动)。此时，一对柱状部101a、101b是打开的状态。对于吸附喷嘴210，下降的位置是前端部204的前端吸附孔205与空芯线圈810的周面成为相同高度的位置，对于一对柱状部101a、101b，下降的位置是柱状部101a、101b的接触面142、142成为比空芯线圈810的底面更靠下侧的位置。

接着，如图9A及图9B所示，使一对柱状部101a、101b及吸附喷嘴210前进。即，使柱状部101a、101b及吸附喷嘴210在Y轴方向上向接近空芯线圈810的方向移动。柱状部101a、101b被移动至接触面142、142的Y轴方向的位置与空芯线圈810的底面周缘部的接触面142、142接触的位置的Y轴方向的位置相同的位置。吸附喷嘴210被移动至前端部204与空芯线圈810的周面抵接的位置。

如果吸附喷嘴210的前端部204与空芯线圈810接触，则经由未图示的抽吸装置并经由吸附喷嘴210的连通路202抽吸空气。由此，在吸附喷嘴210的前端吸附孔205产生负压，空芯线圈810的周面被真空吸附于吸附喷嘴210的前端部204，成为空芯线圈810被吸附喷嘴210吸附保持的状态。

此时，吸附喷嘴210进行的空芯线圈810的周面的吸附是吸附空芯线圈810的周面中指向与柱状部101a、101b开闭的方向(x方向)垂直的方向(y方向)的面(在y方向上将吸附喷嘴210朝向设为面方向的面)。吸附喷嘴210的吸附部位只要是能够不与操作部100及芯棒710干涉地吸附的部位，就可以吸附任意的部位。

此外，空芯线圈810的周面为曲面，在卷绕的圆线811之间具有凹部，因此，即使利用吸附喷嘴210进行抽吸，也产生泄漏，难以成为密合状态。但是，如果以某程度的抽吸力抽吸，则即使产生一些泄漏，吸附喷嘴210也可以吸附。另外，在线圈输送装置10中，操作部100也同时卡合支撑空芯线圈810，因此，即使抽吸力稍微减弱，也能够与操作部100协作地适当保持空芯线圈810。

接着，如图10A及图10B所示，关闭操作部100(工序S3)。即，使一对柱状部101a、101b分别向内侧移动。一对柱状部101a、101b移动至成为参照图5而上述的位置关系。即，接触面142、142配置于空芯线圈810的底面的下方(可卡合的位置、拉出位置)，内侧端面145、145配置于不与芯棒710的侧面715接触的位置。另外，部件相对面152、152配置于不与空芯线圈810的周面接触，但与空芯线圈810的周面隔开规定间隔的接近的位置。此时，如图10A及图10B所示，柱状部101a、101b的接触面142、142配置于不与空芯线圈810的底面接触而隔开规定的间隔的位置。

这样，如果吸附喷嘴210吸附空芯线圈810，且柱状部101a、101b的接触面142、142配置于拉出位置，则如图11A及图11B所示，使操作部100及吸附喷嘴210上升，从芯棒710拉出空芯线圈810(工序S4)。

柱状部101a、101b的接触面142、142配置于空芯线圈810的Z轴方向下侧，因此，当柱状部101a、101b上升时，接触面142、142与空芯线圈810接触，空芯线圈810与柱状部101a、101b一起向上方移动。

此时，吸附喷嘴210继续空芯线圈810的吸附，与空芯线圈810一体向上移动。因此，吸附喷嘴210从一对柱状部101a、101b的向上移动的开始延迟，从柱状部101a、101b的接触面142、142与空芯线圈810的下表面抵接时开始向上移动。由此，一边维持吸附喷嘴210的吸附，一边通过操作部100的接触面142、142的卡合使空芯线圈810向上侧移动，并从芯棒710脱离。

如果空芯线圈810从芯棒710脱离，则将空芯线圈810输送至预置部300(工序S5)。

在本实施方式中，操作部100及吸附喷嘴210在从芯棒710拉出空芯线圈810时的状态下，将空芯线圈810输送至预置部300的上部。如果这样输送空芯线圈810，则空芯线圈810利用柱状部101a、101b的接触面142、142使底面端部被支撑，因此，即使假设解除吸附喷嘴210的吸附力，也不会掉落。此外，在意外地解除了吸附喷嘴210的吸附的情况下，也可以具备探测该情况并再吸附的机构及控制部。

如果将空芯线圈810输送至预置部300的上部，则将空芯线圈810临时放置于预置台310上(工序S6)。

如图12A及图12B所示，操作部100及吸附喷嘴210绕X轴旋转大致90°，空芯线圈810的脚部成为垂直方向下侧，吸附喷嘴210成为从上侧吸附空芯线圈810的姿势。由此，空芯线圈810成为可载置于预置部300的姿势。另外，通过该旋转，解除操作部100进行的空芯线圈810的支撑，因此，一对柱状部101a、101b向外侧打开，退避到分离的位置，以不与空芯线圈810干涉。

如果空芯线圈810成为可载置于预置部300的姿势，则吸附喷嘴210下降，在预置台310上载置空芯线圈810。如果载置完成，则吸附喷嘴210解除空芯线圈810的吸附，返回至预置部300的上部。在该时刻，操作部100及吸附喷嘴210的作用结束，因此，操作部100及空芯线圈810转移到下一空芯线圈810的取出处理。

另一方面，例如对以图13A所示那样的状态载置于预置台310的空芯线圈810，如图13B所示吹附气流f1、f2，空芯线圈810移动至定位构件320的内侧角部。此外，气流f1、f2例如可以经由形成于定位构件320的负压产生孔而产生。另外，气流f1、f2例如也可以通过在图13B所示的方向的上游配置正压生成喷嘴而产生。于是，相对于这样修正了位置及姿势的空芯线圈810，如图13C所示，实际上与吸附喷嘴210相同结构的输送喷嘴220下降，将其吸附，用于向作为线圈输送装置10的最终的输送目的场所即载置部500的输送(工序S7)。

在输送喷嘴220进行的向载置部500的输送时，利用上述的第二系统的摄像头，进行作为空芯线圈810单体的检查(检查1)(工序S8)。

在该检查工序中，利用未图示的摄像头从多个方向拍摄空芯线圈810，例如，调查空芯线圈810的尺寸是否在规定的范围内，空芯线圈810是否受伤或变形。

在此，例如，如图15A及图15B所示，基于摄像头拍摄图像检查一方向的线圈的宽度D1、线圈高度D2、引线宽度D3a、D3b、另一方向的线圈的宽度D4、引线端子的高度D5等外观尺寸。

如果经过这种检查并被输送至载置部500的上部，则空芯线圈810被载置于载置部500的规定位置(工序S9)。

如图14A及图14B所示，输送喷嘴220下降，在载置部500的载置面510的规定位置载置空芯线圈810。在本实施方式中，载置部500是以二维排列载置有空芯线圈810的粘着片，重新载置的空芯线圈810如图14B所示在载置面510上被严格控制与周围的空芯线圈810的距离，另外，空芯线圈810的姿势也被适当控制，并载置于期望的位置。

如果空芯线圈810载置于载置部500上，则进行载置部500上的空芯线圈810的载置状态(粘着状态)等的检查(检查2)(工序S10)。

在该检查工序中，拍摄图16A所示那样的包含基准线511的载置面510的上表面的状态，或者，如图16B所示，从与载置面510大致相同的高度(视点)拍摄载置部500的上部，基于拍摄到的图像数据检查空芯线圈810的载置状态(好坏判断)。或者另外，在该检查工序中，在从预置台300向载置部500输送时，也参照利用第二系统的摄像头拍摄的图像数据，检查空芯线圈810的载置状态。

具体而言，针对图16A所示那样的载置状态，对于各空芯线圈810a～810d，检查与基准线511的距离D6、D7是否适当、与相邻的空芯线圈810的距离D8、D9是否适当、是否适当地配置于规定的区域P1～P4中、或者在与粘着面510平行的面内是否不倾斜地载置等载置位置所涉及的状态。其结果，例如，空芯线圈810d被检测相对于基准线511的平行度的异常、或不适于区域P4的异常等，被判断为不良。

另外，针对图16B所示那样的载置状态，检查距载置面510的高度D10是否适当、空芯线圈810是否不向高度方向倾斜、脚部813a、813b是否未从载置面510浮起(未粘接于粘着面510)、或者空芯线圈810的形状是否适当等。其结果，例如，空芯线圈810f的高度D10在规定范围外，被判断为不良。

如果检测了空芯线圈810的载置状态(粘着状态)，则进行载置状态不良的空芯线圈810的载置状态的修正(工序S11)。空芯线圈810的载置状态的修正通过使用空气喷射喷嘴241向空芯线圈810的规定部位吹付空气而进行。

使用具体例说明工序S10中的空芯线圈810的载置姿势及形状的检查、及工序S11中的不良的空芯线圈810的姿势等的修正。

如图25A所示，在脚部813a浮起的状态下，有时脚部813a、813b被载置于载置部500的粘着面510。即，在本实施方式中，因为载置面510是粘着的，所以如果一脚部813b粘着于粘着面510，则即使另一脚部813a浮起，空芯线圈810有时也以该姿势被维持。在这种情况下，空芯线圈810以图25A所示那样的相对于粘着面沿垂直方向倾斜的不适当的姿势被载置于粘着面510。

在本实施方式中，基于从第三系统的摄像头等获得的图像数据，检测空芯线圈810的卷绕部812的上表面812a相对于粘着面510的倾斜角度θ1，在该倾斜角度θ1大幅超过规定的范围的情况下，判别为脚部813a未粘着而浮起。即，判断为将空芯线圈810载置于载置部500的粘着面510时的粘着预定面即脚部813a(的下表面)不是适当的粘着状态(载置状态)。

基于该判断结果，通过未图示的控制部的控制，空气喷射喷嘴241向空芯线圈810的脚部813a的斜上方移动，前端部204相对于与粘着面510垂直的方向倾斜规定的角度α1而被取向，相对于脚部813a喷出空气f3。其结果，通过空气f3对脚部813a作用使脚部813a向粘着面510的方向移动的力F3，如图25B所示，成为脚部813a粘着于粘着面510的状态。即，成为空芯线圈810以适当的姿势载置于粘着面510上的状态。

如图26A所示，不适当的载置状态在与空芯线圈810的卷绕部812的卷绕轴平行的方向上也可产生。图26A所示的空芯线圈810的脚部813a(或脚部813b)中的脚跟部分(与卷绕部812的连接部分)粘着于粘着面510，但前端部为从粘着面510浮起的状态。在该情况下，空芯线圈810也以图26A所示那样的相对于粘着面沿垂直方向倾斜的不适当的姿势被载置于粘着面510。

在该情况下，在线圈输送装置10中，也基于从第三系统的摄像头等获得的图像数据检测空芯线圈810的卷绕部812的上表面812a的倾斜角度θ2，在该倾斜角度θ2大幅超过规定的范围的情况下，判别为脚部813a(813b)的前端部分未粘着而浮起。

然后，基于该判断结果，使空气喷射喷嘴241向与空芯线圈810的卷绕部812的卷绕部上表面812a相对的位置，即与脚部813a的前端部分对应的位置移动，相对于卷绕部上表面812a喷出空气f4。由此，相对于空芯线圈810的整体作用以脚部813a的脚跟部分(脚部813a和粘着面510粘着的部分)为支点的扭矩F4，脚部813a的前端部分向粘着面510的方向移动。其结果，如图26B所示，成为脚部813a(脚部813b)的下侧的面(粘着预定面)的整个面粘着于粘着面510的状态。即，成为空芯线圈810以适当的姿势载置于粘着面510上的状态。

图27表示空芯线圈810的脚部813a(或813b)不与卷绕部812的下表面812b平行而朝向脚部813a的前端侧以角度θ3打开的状态。即为空芯线圈810的形状不适当的状态。

该状态因为卷绕部上表面812a与粘着面510大致平行，所以仅通过从上表面拍摄到空芯线圈810的图像难以进行检测。但是，如果基于从侧面侧拍摄到空芯线圈810的图像数据、及将空芯线圈810从预置台300输送到载置部500时利用第二系统的摄像头拍摄到的图像数据，则能够进行检测。

相对于这种空芯线圈810使空气喷射喷嘴241移动到与空芯线圈810的卷绕部812的卷绕部上表面812a相对的位置的大致中央部，相对于卷绕部上表面812a喷出空气f5。由此，相对于空芯线圈810的卷绕部812作用使卷绕部812的整体接近粘着面510的方向的向下的力F5。

由此，卷绕部812在维持上下表面812a、812b与粘着面510平行的姿势的状态下向粘着面510的方向移动，在脚部813a中，前端部因为与粘着面510接触，所以不移动，仅脚跟部分被压向粘着面510的方向。其结果，如图26B所示，成为脚部813a(脚部813b)的下侧的面(粘着预定面)的整个面粘着于粘着面510的状态。即，成为空芯线圈810的形状被适当地修正，并且空芯线圈810以适当的姿势载置于粘着面510上的状态。

另外，图28表示空芯线圈810的脚部813a(或813b)不与卷绕部812的下表面812b平行而朝向脚部813a的前端侧以角度θ4变窄的状态。该状态也是空芯线圈810的形状不适当的状态。

该状态也因为卷绕部上表面812a与粘着面510大致平行，所以仅通过从上表面拍摄到空芯线圈810的图像难以进行检测，但如果基于从侧面侧拍摄到空芯线圈810的图像数据、及通过第二系统的摄像头拍摄到的图像数据，则能够进行检测。

相对于这种空芯线圈810，使空气喷射喷嘴241相对于与粘着面510垂直的方向倾斜规定的角度α2地朝向空芯线圈810的脚部813a的前端部分，相对于脚部813a和卷绕部下表面812b之间喷出空气f6。

其结果，通过空气f6对脚部813a作用使前端部分向粘着面510的方向移动的力F6。另外，通过空气f6进入卷绕部下表面812b和脚部813a(813b)之间的凹部，对卷绕部812作用使卷绕部812向上方向移动的力。此时，因为卷绕部812的与脚部813a(812b)的脚跟部分通过脚部813a、813b粘着于粘着面510而不移动，所以对卷绕部812的与脚部813a的前端侧相对的部分作用使其向上方向移动的力F7。

其结果，如图26B所示，脚部813a成为粘着于粘着面510的状态。另外，卷绕部812成为与脚部813a的前端侧对应的部分稍微向上方向移动的状态，卷绕部812的下表面812b和脚部813a的前端部分变窄的状态被修正。即，在空芯线圈810的形状被适当地修正的同时，空芯线圈810的形状的不良被修正。

相对于在检查2工序(参照图6)中判断为载置状态不良的空芯线圈810应用在载置状态修正工序S11中实现这种载置状态的修正或形状的修正的处理。另一方面，对于判定为检查的结果不良的空芯线圈810，进行次品的标记等处理，进行在下一工序不会混入良品中的处理。此外，也可以具备再吸附并再配置判断为不良的空芯线圈810的机构及控制部。

线圈输送装置10执行如上的处理，进行空芯线圈810的取出、输送。

关于本实用新型的电子部件的制造方法及制造装置，说明使用如上所述通过线圈输送装置10输送的空芯线圈810，进一步制造图24所示的线圈部件900的工序。

载置于载置部500的空芯线圈810被供给到作为下一工序的外装密封工序。在外装密封工序中，例如，相对于作为载置部的粘着片500以包围载置于粘着面510的多个空芯线圈810的周围的方式形成型框，向型框注入树脂并使其固化而单片化。此时，根据需要，也可以在脚部813a、813b的露出面形成镀膜。其结果，如图24所示，制造在素体910的内部密封收纳有作为电子要素的空芯线圈(线圈部)810的电子部件、即在素体910埋入有空芯线圈的线圈部件900。

另外，根据本实施方式的线圈输送装置10，例如即使是在制造装置或搬入装置等的供给源中配置于芯棒710的周围的空芯线圈810等、微小且机械强度弱的部件，也能够实现适当地取出、输送，而不会损伤、掉落等。

当仅通过操作部100进行的接触来拉出空芯线圈810时，可能使空芯线圈810掉落。另外，当仅通过吸附喷嘴进行的吸附来保持空芯线圈810时，从空芯线圈810的周面的台阶或凹凸漏出空气而不能充分进行吸附，空芯线圈810可能掉落。但是，在本实用新型的线圈输送装置10中，因为利用吸附喷嘴210吸附空芯线圈810，并且使操作部100的接触面142、142与空芯线圈810接触而进行拉出·保持，所以能够防止掉落。

另外，根据线圈输送装置10，不利用操作部100把持空芯线圈810，就能够使空芯线圈810向芯棒710的开放端侧移动而将其拔出。即，通过组合吸附喷嘴210和操作部100，由操作部100支撑空芯线圈810，且利用吸附喷嘴210吸附空芯线圈810，取出空芯线圈810。其结果，根据线圈输送装置10，能够不损伤空芯线圈810而适当且稳定地取出并输送空芯线圈810。

另外，根据这种构成及方法的线圈输送装置，通过向部件的规定部位吹附从空气喷射喷嘴241喷出的空气，相对于空芯线圈810的规定部位、或相对于空芯线圈810非接触地作用力。因此，相较于与空芯线圈810机械地接触而作用力的情况，能够对空芯线圈810的脚部813a、813b等规定部位作用极小的力，修正空芯线圈810的载置状态、形状。其结果，空芯线圈810不易因过负荷而破损，能够高精度地修正空芯线圈810的载置状态或形状。

本实施方式的线圈输送装置10特别是在空芯线圈810小型的情况下是有效的。即，本实施方式的线圈输送装置10因为通过非接触的气流那样的手段对部件作用力，所以在空芯线圈810小型且机械强度低的情况下，空芯线圈810也不易破损，能够高精度地将具有粘着预定面(例如脚部)的部件设为期望的载置状态(粘着状态)。

另外，根据本实施方式的线圈输送装置10，因为相对于空芯线圈810的规定部位、或相对于空芯线圈810非接触地作用力，所以工具或装置的一部等结构物不会与空芯线圈810机械接触。其结果，不易损伤空芯线圈810的表面等。即，相对于形成空芯线圈810的绕线，能够抑制其覆膜被损伤。因此，从这一点来看，也能够对空芯线圈810适当地作用力，将具有粘着预定面(脚部813a、813b)的空芯线圈810设为期望的载置状态(粘着状态)。

此外，本实用新型不限于上述的实施方式，能够进行如以下示例的任意优选的各种改变。

在上述的实施方式中，在取出设置于芯棒710的空芯线圈810时，首先，使吸附喷嘴210吸附于空芯线圈810，之后，使操作部100的柱状部101a、101b的接触面142、142与空芯线圈810接触，从芯棒710拔出空芯线圈810。但是，吸附喷嘴210进行的吸附和操作部100进行的接触不限于该顺序。从部件(空芯线圈810)的取出效率、或取出时的安全性的观点出发，柱状部101a、101b的移动，吸附喷嘴210的移动及吸附喷嘴210进行的抽吸(吸附)等的动作定时等可以任意适当地设定.

即，可以大致同时地进行吸附和接触，也可以是先使操作部100的接触面142、142与空芯线圈810接触，之后进行吸附喷嘴210进行的吸附的顺序。或者，也可以是如下结构：使吸附喷嘴210的前端部204与空芯线圈810的周面抵接的动作先于操作部100向空芯线圈810的接触进行，吸附喷嘴210进行的吸附在与操作部100向空芯线圈810的接触大致同时、或者通过操作部100使空芯线圈810向上方移动的期间进行。为了通过与上述的实施方式相同的作用·效果，进行空芯线圈810的取出、输送，只要在空芯线圈810从芯棒710拉出之前(拉出时)，完成操作部100进行的接触和吸附喷嘴210进行的吸附双方即可。

另外，向空芯线圈810的脚部813a(813b)及卷绕部812作用粘着面510方向的力的方法(即，对部件的规定部位非接触地作用力的方法)不限于经由空气喷射喷嘴241的空气的喷射。例如，也可以是在载置部件的载置面(例如包含粘着面510的载置部500)开设多个微细孔，经由该孔抽吸所载置的空芯线圈810的周围的气体(空气等)，由此对空芯线圈810的脚部813a(813b)等作用向载置面的方向的非接触的力(抽吸力)。

或者，也可以在载置空芯线圈810的空间形成磁场等，以对空芯线圈810的卷绕部812、空芯线圈810的脚部813a(813b)或空芯线圈810的整体作用磁力的方式，通过磁力对空芯线圈810的卷绕部812或脚部813(813b)等作用载置面(粘着面)510方向的非接触的力。或者，也可以在载置空芯线圈810的空间形成电场等，以对空芯线圈810的卷绕部812、空芯线圈810的脚部813a(813b)或空芯线圈810的整体作用静电力的方式，通过静电力对空芯线圈810的卷绕部812或脚部813(813b)等作用载置面(粘着面)510方向的非接触的力。这可以根据被作用力的部位的材料(例如，导体或电介质等)而适当应用有效的方法。

另外，也可以是将从芯棒710拔出的空芯线圈810不载置于预置部300而直接输送到载置部500的结构。在吸附喷嘴210的吸附力充分而无需通过输送喷嘴220重新吸附的情况、或者通过吸附喷嘴210吸附的空芯线圈810的位置精度充分、不要求高精度的定位的情况下，能够设为这种结构。如果设为这种结构，则无需预置·再吸附工序，能够提高部件的输送效率，简化输送工序。另外，因为无需具备输送喷嘴220，所以能够简化线圈输送装置10的结构。

此时，操作部100的接触面142、142进行的空芯线圈810的支撑进行到哪个地点这一点、及使吸附喷嘴210在哪个地点旋转而将空芯线圈810设为可载置于载置部500的姿势这一点可以任意构成。

在通过操作部100及吸附喷嘴210从芯棒710拉出空芯线圈810的时刻，操作部100通过接触面142、142在垂直方向上支撑空芯线圈810。因此，从安全地输送空心线圈810这一点出发，优选将空芯线圈810以操作部100进行的支撑和吸附喷嘴210进行的吸附双方作用的状态及姿势输送至载置部500的上部，至少吸附喷嘴210在载置部500的上部旋转并将空芯线圈810设为可载置于载置部500的姿势。

但是，在吸附喷嘴210的吸附力充分的情况下，也可以在从芯棒710拉出空芯线圈810的时刻，立即打开一对柱状部101a、101b，解除操作部100进行的空芯线圈810的支撑。如果设为这种结构，则能够将操作部100用于下一工序。

另外，在早期解除操作部100进行的空芯线圈810的支撑的情况下，从克服从重力或输送方向收到的阻力而继续稳定地吸附空芯线圈810这一点、或将空心线圈810在短时间内载置于载置部500这种效率的点出发，在之后的哪一时刻(地点)使吸附喷嘴210旋转可以任意确定。可以在操作部100的支撑被解除的时刻进行旋转，也可以在即将载置空芯线圈810之前在载置部500的上部进行旋转，还可以在从拉出空芯线圈810的地点移动至载置部500的期间一边移动一边旋转。

另外，在上述的实施方式中，包含使用了摄像头的2阶段的检查工序，但良品/次品的判定通过其它工序或其它装置进行，在线圈输送装置10中，也可以设为单单将空芯线圈810从芯棒710取出并输送的结构。即，也可以是不执行检查工序的方式，这种方式也在本实用新型的范围内。

另外，空芯线圈810的供给方式不限于卷绕于单一的芯棒710的空芯线圈810的取出及输送的情况。

例如，如图17A所示，也有时在多个基柱722的上表面分别设置突起723，在其上依次卷绕空芯线圈810而供给。另外，如图17B所示，也有时在成为基底的基板731的表面设置多个突起733，在其上分别依次卷绕空芯线圈810而供给。这些任一种情况都能够利用上述的线圈输送装置10，通过与上述的方法相同的顺序进行空芯线圈810的取出、输送。

另外，例如如图18A所示，也有时从垂直壁部741沿水平方向突出多个柱741，在该垂直壁部741的端面形成突起743，在其上依次卷绕空芯线圈810而供给。针对这种方式，如图18B所示，只要以一对柱状部101a、101b的相对面方向成为垂直方向的方式配置操作部100，将操作部100沿水平方向拉动而拔出空芯线圈810即可。

在该情况下，一对柱状部101a、101b的接触面142、142不会成为沿重力方向支撑空芯线圈810的状况，因此，需要通过吸附喷嘴210的吸附力保持空芯线圈810，但因为相对面152、152的一方位于接近空芯线圈810的下侧的位置，所以即使假设吸附喷嘴210的吸附力减弱，也能够防止停留在部件相对面152并掉落到下方。因此，这种方式也能够防止损伤。

另外，在图18B中，操作部100的一对柱状部101a、101b被配置为在Z方向上成对，但柱状部101a、101b也可以配置为在Y方向上成对。在该情况下，吸附喷嘴从Z方向的上侧、或从下侧朝向空芯线圈810配置。

另外，在上述的实施方式中，作为操作部100的一对柱状部101a、101b，如图1所示，例示了在台阶面141形成有接触面142和扩宽部143，另外，在柱状部内侧面151形成有部件相对面152和内侧面扩宽部153的一对柱状部101a、101b。但是，操作部100的柱状部的结构不限于这种结构，操作部100的柱状部的结构例如也可以是图19～图20B所示那样的结构。

在图19～图20B所示的一对柱状部171a、171b中，在前端部174形成有凸部180，且在柱状部主体173的内侧面192形成有台阶面182这一点与图1所示的方式相同。但是，在图19所示的柱状部171a、171b中，台阶面182的全域形成于接触面，没有如扩宽部143那样的部分。另外，内侧面192的全域形成于相对面192，不是如扩宽部153那样的结构。操作部的一对柱状部也可以由这种形状构成。如果设为这种结构，则加工变得容易，能够廉价地制造操作部100。

另外，在上述的实施方式中，对取出并输送卷绕有圆线的空芯线圈810的方式进行了说明，但线圈输送装置10也可以适用于其它线圈。

例如，如图21A及图21B所示，也可以对扁立卷绕扁平线821的扁立线圈820的取出及输送应用线圈输送装置10。另外，在该方式中，例如，如图21A及图21B所示，也可以为使吸附喷嘴210与扁立线圈820的上表面抵接，吸附扁立线圈820的上表面的结构。如果扁立卷绕扁平线821，则能够在上表面形成平坦面，因此，如果利用吸附喷嘴210对其吸附，则能够以充分的吸附力进行吸附。另外，在使用了扁平线821的线圈、特别是微细的线圈的情况下，如图21A及图21B所示，有时空芯部824的面积小于扁平线821的面积，在这种情况下，吸附扁立线圈820的上表面特别有效。

另外，例如，如图22A及图22B所示，也可以利用两个吸附喷嘴230从上表面吸附扁立线圈830。就图22A及图22B所示的扁立线圈830而言，扁平线831的宽度比图21A及图21B所示的扁立线圈820更宽。针对这种扁立线圈830，可能存在前端吸附孔205比扁平线831的宽度小的吸附喷嘴210，如图22A及图22B所示，也可以为利用两个吸附喷嘴210、或利用更多的吸附喷嘴210吸附吸附喷嘴230的结构。

另外，例如，如图23A及图23B所示，关于将扁平线841双重锭子卷绕的交叉调宽线圈840的取出及输送，也能够应用线圈输送装置10。在该交叉调宽线圈840中，在主面形成平坦的面，因此，如上述的实施方式那样，使吸附喷嘴210从水平方向密合于交叉调宽线圈840的周面是有效的。

这样，本实用新型的线圈输送装置10能够适用于各种线圈。

Claims (14)

1.一种部件的取出装置，其中，

是取出配置于一端侧开放的棒状构件的周围的部件的部件的取出装置，

具有：

吸附部，其吸附配置于所述棒状构件的周围的所述部件；以及

脱离部，其通过从所述棒状构件的另一端侧与所述部件接触并向所述棒状构件的所述一端侧移动，从而使所述部件从所述棒状构件脱离，

所述吸附部根据所述脱离部的所述移动，在吸附有所述部件的状态下向所述棒状构件的所述一端侧移动。

2.根据权利要求1所述的部件的取出装置，其中，

所述脱离部具有能够在与所述棒状构件的轴向垂直的方向上开闭地配置，且能够沿着所述棒状构件的轴向移动的一对柱状部，

所述一对柱状部分别具有在该一对柱状部开闭的方向上突出，且形成于指向所述棒状构件的所述一端侧的端面与所述部件接触的接触面的凸部。

3.根据权利要求2所述的部件的取出装置，其中，

所述脱离部使所述一对柱状部的所述接触面与所述部件的所述另一端侧的周缘接触。

4.根据权利要求2或3所述的部件的取出装置，其中，

所述一对柱状部分别具有以规定间隙与所述部件的周面相对地配置的部件相对面。

5.根据权利要求3所述的部件的取出装置，其中，

所述一对柱状部形成为相对于该一对柱状部进行所述开闭的方向上的所述部件的宽度W，所述一对柱状部的所述部件相对面的间隔La及所述一对柱状部的所述凸部的间隔Lb成为La＞W＞Lb的关系。

6.根据权利要求2、3或5中任一项所述的部件的取出装置，其中，

所述吸附部对作为所述部件的周面的指向与所述棒状构件的所述轴向垂直且与所述一对柱状部进行所述开闭的方向垂直的方向的面进行所述吸附。

7.根据权利要求2、3或5中任一项所述的部件的取出装置，其中，

所述吸附部吸附作为所述部件的周面的指向所述棒状构件的所述轴向的面。

8.根据权利要求1～3或5中任一项所述的部件的取出装置，其中，

具有将从所述棒状构件脱离的所述部件输送并配置于规定的目的场所的输送单元。

9.根据权利要求8所述的部件的取出装置，其中，

所述输送单元具有：

所述吸附部，其将所述脱离了的所述部件输送并配置于预置部，解除所述吸附；

调整部，其调整配置于所述预置部的所述部件的位置及姿势的至少一方；以及

第二吸附部，其吸附所述调整了的所述部件，输送并配置于规定的载置部。

10.根据权利要求2、3或5中任一项所述的部件的取出装置，其中，

所述吸附部构成为能够在与所述一对柱状部的所述开闭的方向垂直的面内旋转。

11.根据权利要求8所述的部件的取出装置，其中，

还具有：检查单元，其进行从所述棒状构件脱离之后且所述输送之前、所述输送的中途、或所述输送之后且所述配置之前的所述部件的单体的检查、及所述配置了的所述部件的姿势及位置的检查中的至少任一检查。

12.根据权利要求1～3或5中任一项所述的部件的取出装置，其中，

所述部件是空芯线圈，取出利用绕线机卷绕于所述棒状构件的所述空芯线圈。

13.一种电子部件的制造装置，其中，

具有权利要求1～12中任一项所述的部件的取出装置。

14.根据权利要求13所述的电子部件的制造装置，其中，

还具有：部件的载置装置，其具有以所述部件具有粘着预定面，且所述部件成为所期望的粘着状态的方式，对所述部件的规定部位非接触地作用力的单元。