CN220331635U - 一种便于拆装的晶元切割的装夹装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，包括工作台和固定板一，所述固定板一上表面的一侧固定连接有立柱，所述立柱上表面的一侧固定连接有滑台；所述滑台的上表面设置有滑槽，所述滑槽内底璧的一侧滑动连接有滑块，所述固定板一上表面的一侧设置有螺钉一。该一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，通过螺钉一、固定板二、滑台、工作台、螺钉二、支撑柱、螺钉三和固定板二的设置，在使用过程中，用工具将螺钉一进行拆卸，可以使滑台与工作台分离，达到可以拆卸的目的，用工具将螺钉二进行拆卸，可以使支撑柱与工作台分离，达到可以拆卸的目的，用工具将螺钉三进行拆卸，可以使固定板二与工作台分离，达到可以拆卸的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶元切割技术领域，特别涉及一种便于拆装的晶元切割的装夹装置。
背景技术
在半导体工艺制造过程中，在晶圆上形成多个集成电路芯片后，需要对集成电路芯片进行物理特性分析，目的是进一步保证集成电路芯片的质量，有助于进一步提高出厂的合格率。而要对集成电路芯片进行物理特性分析，需要从晶圆上切取一个或几个集成电路芯片，而在后续的检测工序中，需要对晶圆进行探针测试，这就需要将切割下来的晶圆再次重新粘合在一起，重新粘合的过程不仅过程复杂，而且耗费人力，提高成本。
经检索，中国专利申请号为CN201420824454.6的专利，公开了一种晶圆切割装置，上述专利能够从晶圆上切取待检集成电路芯片，但不切断晶圆其他部分，这样就不需要对晶圆进行重新粘合，简化了工艺流程，提高了成品的制作效率，且降低成本，但是上述专利不能便于拆卸，导致移动过程中会比较麻烦，同时在切割过程中会产生细小的废屑，积攒在装置表面，无法清理，因此设计一种便于拆装的晶元切割的装夹装置。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，包括工作台和固定板一，所述固定板一上表面的一侧固定连接有立柱，所述立柱上表面的一侧固定连接有滑台；所述滑台的上表面设置有滑槽，所述滑槽内底璧的一侧滑动连接有滑块，所述固定板一上表面的一侧设置有螺钉一。
为了使得达到收集废屑的目的，作为本实用新型一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，所述工作台上表面的一侧开设有清理口，所述工作台下表面的一侧固定连接有收集箱。
为了使得达到调节距离的目的，作为本实用新型一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，所述滑块上表面的一侧固定连接有吸盘，所述吸盘外表面的一侧固定连接有横杆，所述横杆外表面的一侧开设有通孔，所述通孔的内部滑动连接有滑杆，所述滑杆的上表面开设有限位孔，所述横杆的上表面开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺栓。
为了使得达到固定的目的，作为本实用新型一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，所述滑杆的一侧固定连接有挡块，所述滑杆外表面靠近挡块的一侧转动连接有转轴，所述转轴的外表面固定连接有卡扣，所述卡扣的一端固定连接有配重块。
为了使得达到方便拆卸的目的，作为本实用新型一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，所述工作台上表面的一侧活动连接有支撑柱，所述支撑柱上表面的一侧设置有螺钉二，所述支撑柱外表面的一侧固定连接有支撑板。
为了使得达到切割的目的，作为本实用新型一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，所述支撑板上表面的一侧设置有伺服装置，所述伺服装置的输出端固定连接有伸缩轴，所述伸缩轴的下表面固定连接有切割片。
为了使得达到移动的目的，作为本实用新型一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，所述工作台上表面的一侧活动连接有固定板二，所述固定板二上表面的一侧设置有电机，所述电机的输出端固定连接有螺纹轴，所述螺纹轴的一端固定连接有吸附块，所述固定板二上表面的一侧设置有螺钉三。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
1.本实用新型中，通过螺钉一、固定板二、滑台、工作台、螺钉二、支撑柱、螺钉三和固定板二的设置，在使用过程中，用工具将螺钉一进行拆卸，可以使滑台与工作台分离，达到可以拆卸的目的，用工具将螺钉二进行拆卸，可以使支撑柱与工作台分离，达到可以拆卸的目的，用工具将螺钉三进行拆卸，可以使固定板二与工作台分离，达到可以拆卸的目的。
2.本实用新型中，通过清理口和收集箱的设置，在切割完成后，会有许多细小的废料产生，积攒在装置表面，无法清理，可以利用工具将废屑从清理口打扫到收集箱中，达到可以清理废屑的目的。
附图说明
图1为本实用新型一种便于拆装的晶元切割的装夹装置的正视结构示意图；
图2为本实用新型一种便于拆装的晶元切割的装夹装置的拆卸结构示意图；
图3为本实用新型一种便于拆装的晶元切割的装夹装置的支撑柱结构示意图；
图4为本实用新型一种便于拆装的晶元切割的装夹装置的吸盘结构示意图。
图中：1、工作台；2、固定板一；3、立柱；4、滑台；5、滑槽；6、滑块；7、螺钉一；8、清理口；9、收集箱；10、吸盘；11、横杆；12、滑杆；13、限位孔；14、螺栓；15、挡块；16、转轴；17、卡扣；18、配重块；19、支撑柱；20、螺钉二；21、支撑板；22、伺服装置；23、伸缩轴；24、切割片；25、固定板二；26、电机；27、螺纹轴；28、吸附块；29、螺钉三。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1
如图1-4所示，一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，包括工作台1和固定板一2，固定板一2上表面的一侧固定连接有立柱3，立柱3上表面的一侧固定连接有滑台4；
在本实施例中，滑台4的上表面设置有滑槽5，滑槽5内底璧的一侧滑动连接有滑块6，固定板一2上表面的一侧设置有螺钉一7。
具体使用时，用工具将螺钉一7进行拆卸，可以使滑台4与工作台1分离，达到可以拆卸的目的。
在本实施例中，工作台1上表面的一侧开设有清理口8，工作台1下表面的一侧固定连接有收集箱9。
具体使用时，在切割完成后，会有许多细小的废料产生，积攒在装置表面，无法清理，可以利用工具将废屑从清理口8打扫到收集箱9中，达到可以清理废屑的目的。
在本实施例中，滑块6上表面的一侧固定连接有吸盘10，吸盘10外表面的一侧固定连接有横杆11，横杆11外表面的一侧开设有通孔，通孔的内部滑动连接有滑杆12，滑杆12的上表面开设有限位孔13，横杆11的上表面开设有螺纹孔，螺纹孔的内部螺纹连接有螺栓14。
具体使用时，如果晶元尺寸较小时，可先松动螺栓14后，通过滑杆12能在横杆11上左右移动，推动滑杆12带动挡块15向吸盘10中心靠近，使挡块15紧贴与晶元，此时将螺栓14紧固在限位孔13内，使滑杆12可以固定在横杆11上。
在本实施例中，滑杆12的一侧固定连接有挡块15，滑杆12外表面靠近挡块15的一侧转动连接有转轴16，转轴16的外表面固定连接有卡扣17，卡扣17的一端固定连接有配重块18。
具体使用时，通过挡块15具有阻挡的效果，能够卡住晶元边缘，切割完成后，通过配重块18重于卡扣17，使卡扣17呈向上倾斜状态，加工过程中，降低配重块18的重量，使卡扣17落在晶元上，产生压合效果。
在本实施例中，工作台1上表面的一侧活动连接有支撑柱19，支撑柱19上表面的一侧设置有螺钉二20，支撑柱19外表面的一侧固定连接有支撑板21。
具体使用时，用工具将螺钉二20进行拆卸，可以使支撑柱19与工作台1分离，达到可以拆卸的目的。
在本实施例中，支撑板21上表面的一侧设置有伺服装置22，伺服装置22的输出端固定连接有伸缩轴23，伸缩轴23的下表面固定连接有切割片24。
具体使用时，加工过程中，利用伺服装置22带动伸缩轴23进行上下移动进行加工，利用切割片24的设置进行切割。
在本实施例中，工作台1上表面的一侧活动连接有固定板二25，固定板二25上表面的一侧设置有电机26，电机26的输出端固定连接有螺纹轴27，螺纹轴27的一端固定连接有吸附块28，固定板二25上表面的一侧设置有螺钉三29。
具体使用时，用工具将螺钉三29进行拆卸，可以使固定板二25与工作台1分离，达到可以拆卸的目的，通过电机26的转动，可以使螺纹轴27利用吸附块28的吸附作用，从而使滑块6在滑槽5中进行移动。
工作原理；在使用过程中，用工具将螺钉一7进行拆卸，可以使滑台4与工作台1分离，用工具将螺钉二20进行拆卸，可以使支撑柱19与工作台1分离，用工具将螺钉三29进行拆卸，可以使固定板二25与工作台1分离，达到可以拆卸的目的，同理可以将装置进行安装，在使用切割时，如果晶元尺寸较小时，可先松动螺栓14后，通过滑杆12能在横杆11上左右移动，推动滑杆12带动挡块15向吸盘10中心靠近，使挡块15紧贴与晶元，此时将螺栓14紧固在限位孔13内，使滑杆12可以固定在横杆11上，通过挡块15具有阻挡的效果，能够卡住晶元边缘，加工过程中，降低配重块18的重量，使卡扣17落在晶元上，产生压合效果，通过电机26的转动，可以使螺纹轴27利用吸附块28的吸附作用，从而使滑块6在滑槽5中进行移动，利用伺服装置22带动伸缩轴23进行上下移动进行加工，利用切割片24的设置进行切割，切割完成后，通过配重块18重于卡扣17，使卡扣17呈向上倾斜状态，会有许多细小的废料产生，积攒在装置表面，无法清理，可以利用工具将废屑从清理口8打扫到收集箱9中，达到可以清理废屑的目的。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，包括工作台（1）和固定板一（2），其特征在于：所述固定板一（2）上表面的一侧固定连接有立柱（3），所述立柱（3）上表面的一侧固定连接有滑台（4）；
所述滑台（4）的上表面设置有滑槽（5），所述滑槽（5）内底璧的一侧滑动连接有滑块（6），所述固定板一（2）上表面的一侧设置有螺钉一（7）。
2.根据权利要求1所述的一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，其特征在于：所述工作台（1）上表面的一侧开设有清理口（8），所述工作台（1）下表面的一侧固定连接有收集箱（9）。
3.根据权利要求1所述的一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，其特征在于：所述滑块（6）上表面的一侧固定连接有吸盘（10），所述吸盘（10）外表面的一侧固定连接有横杆（11），所述横杆（11）外表面的一侧开设有通孔，所述通孔的内部滑动连接有滑杆（12），所述滑杆（12）的上表面开设有限位孔（13），所述横杆（11）的上表面开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺栓（14）。
4.根据权利要求3所述的一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，其特征在于：所述滑杆（12）的一侧固定连接有挡块（15），所述滑杆（12）外表面靠近挡块（15）的一侧转动连接有转轴（16），所述转轴（16）的外表面固定连接有卡扣（17），所述卡扣（17）的一端固定连接有配重块（18）。
5.根据权利要求1所述的一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，其特征在于：所述工作台（1）上表面的一侧活动连接有支撑柱（19），所述支撑柱（19）上表面的一侧设置有螺钉二（20），所述支撑柱（19）外表面的一侧固定连接有支撑板（21）。
6.根据权利要求5所述的一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，其特征在于：所述支撑板（21）上表面的一侧设置有伺服装置（22），所述伺服装置（22）的输出端固定连接有伸缩轴（23），所述伸缩轴（23）的下表面固定连接有切割片（24）。
7.根据权利要求1所述的一种便于拆装的晶元切割的装夹装置，其特征在于：所述工作台（1）上表面的一侧活动连接有固定板二（25），所述固定板二（25）上表面的一侧设置有电机（26），所述电机（26）的输出端固定连接有螺纹轴（27），所述螺纹轴（27）的一端固定连接有吸附块（28），所述固定板二（25）上表面的一侧设置有螺钉三（29）。
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