CN220310399U - 一种多晶硅生产副产物反歧化系统 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种多晶硅生产副产物反歧化系统，尾气回收系统的还原四氯化硅出口和还原二氯二氢硅出口均与还原反歧化器的进口相连，还原反歧化器的出口还与分离精馏塔的进口相连，塔侧出口得到特级三氯氢硅，塔顶出口与还原反歧化器的进口相连，分离精馏塔的塔底出口与精馏系统的进口相连，精馏系统的氢化四氯化硅出口和氢化二氯二氢硅出口均与氢化反歧化器的进口相连。将四种物料分别进行反歧化，实现这四种物料的精细化、分门别类的反歧化处理，避免污染，能够得到纯度品质高的三氯氢硅，且能够得到不同等级的三氯氢硅，可以根据使用要求灵活选择，通过分离精馏塔能够进一步除杂提纯，使得反歧化得到的三氯氢硅纯度品质得到较大提升。
Description
技术领域
本申请涉及多晶硅生产技术领域，特别是涉及一种多晶硅生产副产物反歧化系统。
背景技术
目前，改良西门子法多晶硅生产过程中，多晶硅的生产中普遍采用了二氯二氢硅（DCS）的反歧化工艺，其原理是将来自多晶硅生产过程中产生的副产物二氯二氢硅与副产物四氯化硅（STC）按照一定的摩尔比或质量比配比后，送入反歧化器中，二氯二氢硅和四氯化硅在反歧化器内可以反歧化生成三氯氢硅（TCS），其反应式：SiH2Cl2+SiCl4=2SiHCl3。
在多晶硅的生产过程中，三氯氢硅和氢气在还原炉中进行还原反应生成多晶硅，反应过程中三氯氢硅并不能完全参与反应，未参加反应的三氯氢硅、氢气与产生的副产物四氯化硅、二氯二氢硅一起进入尾气回收系统，经尾气回收系统回收分离后可以得到还原四氯化硅和还原二氯二氢硅。同时，冶金硅和氯化氢在三氯氢硅合成器中合成三氯氢硅，合成过程中伴随着大量副产物的产生，合成产物三氯氢硅与产生的副产物四氯化硅、二氯二氢硅一起进入精馏系统进行提纯分离，经精馏系统提纯分离后可以得到氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅。
现有技术中，将还原四氯化硅、还原二氯二氢硅、氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅混合到一起并通入到反歧化器中进行反歧化反应，由于氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅纯度低、杂质（主要是硼、磷、碳）含量多，导致反歧化得到的三氯氢硅中杂质含量高且复杂、纯度低、品质差。同时，还原四氯化硅和还原二氯二氢硅纯度高、杂质含量少，四种物料混合反歧化会导致原本纯净的还原四氯化硅和还原二氯二氢硅被污染，从而无法提供纯净的反歧化原料（四氯化硅和二氯二氢硅）以得到纯度品质高的三氯氢硅，进而导致反歧化得到的三氯氢硅纯度品质较难提升。
实用新型内容
基于此，有必要针对现有技术中，将还原四氯化硅、还原二氯二氢硅、氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅混合到一起进行反歧化反应，导致反歧化得到的三氯氢硅中杂质含量高且复杂、纯度低、品质差，且反歧化得到的三氯氢硅纯度品质较难提升的问题。提供一种多晶硅生产副产物反歧化系统，能够解决现有技术中的上述问题。
一种多晶硅生产副产物反歧化系统，包括精馏系统、尾气回收系统、氢化反歧化器、还原反歧化器和分离精馏塔，所述尾气回收系统的还原四氯化硅出口和还原二氯二氢硅出口均与所述还原反歧化器的进口相连，所述还原反歧化器的出口得到第一等级三氯氢硅，所述还原反歧化器的出口还与所述分离精馏塔的进口相连，所述分离精馏塔的塔侧出口得到特级三氯氢硅，所述分离精馏塔的塔顶出口与所述还原反歧化器的进口相连，所述分离精馏塔的塔底出口与所述精馏系统的进口相连，所述精馏系统的氢化四氯化硅出口和氢化二氯二氢硅出口均与所述氢化反歧化器的进口相连，所述氢化反歧化器的出口得到第四等级三氯氢硅。
优选地，上述一种多晶硅生产副产物反歧化系统中，所述氢化四氯化硅出口和所述氢化二氯二氢硅出口均还与所述还原反歧化器的进口相连，且通过阀门切换导通，或，所述还原四氯化硅出口和所述还原二氯二氢硅出口均还与所述氢化反歧化器的进口相连，且通过阀门切换导通。
优选地，上述一种多晶硅生产副产物反歧化系统中，所述还原四氯化硅出口和所述还原二氯二氢硅出口均还与所述氢化反歧化器的进口相连，且通过阀门切换导通。
优选地，上述一种多晶硅生产副产物反歧化系统中，所述氢化反歧化器的出口与所述精馏系统的进口相连。
优选地，上述一种多晶硅生产副产物反歧化系统中，所述氢化二氯二氢硅出口设置有除硼装置。
优选地，上述一种多晶硅生产副产物反歧化系统中，所述氢化四氯化硅出口串联设置有除碳装置和除磷装置。
优选地，上述一种多晶硅生产副产物反歧化系统中，所述尾气回收系统的三氯氢硅出口与所述分离精馏塔的进口相连。
优选地，上述一种多晶硅生产副产物反歧化系统中，还包括还原炉，所述精馏系统的三氯氢硅出口、和/或、所述还原反歧化器的出口、和/或、所述分离精馏塔的塔侧出口与所述还原炉的原料进口相连，所述还原炉的尾气出口与所述尾气回收系统相连。
本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：
本申请实施例公开的一种多晶硅生产副产物反歧化系统中，将还原四氯化硅和还原二氯二氢硅用于反歧化生产第一等级三氯氢硅，将氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅用于反歧化生产第四等级三氯氢硅，也就是说，将还原四氯化硅和还原二氯二氢硅、氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅分别进行反歧化，并对反歧化产物进行等级划分，不同等级三氯氢硅进行不同的处理，实现这四种物料的精细化、分门别类的反歧化处理，使得每种物料均得到针对性的处理，避免浪费，且避免了现有技术中四种物料混合反歧化而导致原本纯净的还原四氯化硅和还原二氯二氢硅被污染，从而能够提供纯净的反歧化原料以得到纯度品质高的三氯氢硅，即第一等级三氯氢硅，这四种物料分别进行反歧化后，能够得到纯度高、品质优的第一等级三氯氢硅，也得到纯度较低、品质较差的第四等级三氯氢硅，具体可以根据使用要求灵活选择，满足生产冶金级、太阳能级、电子级多晶硅的纯度品质要求，避免现有技术中这四种物料混合反歧化而导致得到的所有三氯氢硅中杂质含量高且复杂、纯度低、品质差，只能用于生产冶金级的多晶硅，无法用于生产太阳能级的多晶硅。同时，通过分离精馏塔对第一等级三氯氢硅进一步除杂提纯，得到可以用于生产电子级多晶硅的特级三氯氢硅，使得反歧化得到的三氯氢硅纯度品质得到较大提升，解决现有技术中反歧化得到的三氯氢硅纯度品质较难提升的问题。
附图说明
图1为本申请实施例中公开的一种多晶硅生产副产物反歧化系统的示意图；
图2为本申请另一实施例中公开的一种多晶硅生产副产物反歧化系统的示意图。
附图说明：精馏系统100、尾气回收系统200、氢化反歧化器300、还原反歧化器400、分离精馏塔500。
实施方式
为了便于理解本申请，下面将参照相关实施例对本申请进行更全面的描述。实施例中给出了本申请的较佳实施方式。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本申请的公开内容理解的更加透彻全面。
需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“顶部”、“底部”、“底端”、“顶端”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“和／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
请参考图1至图2，本申请实施例公开一种多晶硅生产副产物反歧化系统，包括精馏系统100、尾气回收系统200、氢化反歧化器300、还原反歧化器400和分离精馏塔500，其中：
在多晶硅的生产过程中，冶金硅和氯化氢在三氯氢硅合成器中合成三氯氢硅，合成过程中伴随着大量副产物的产生，合成产物三氯氢硅与产生的副产物四氯化硅、二氯二氢硅一起通入到精馏系统100进行分离，以对三氯氢硅进行提纯，精馏系统100能够将三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅分离，分别从三氯氢硅出口、氢化四氯化硅出口、氢化二氯二氢硅出口排出，且分别得到三氯氢硅、氢化四氯化硅、氢化二氯二氢硅。三氯氢硅和氢气在还原炉中进行还原反应生成多晶硅，反应过程中三氯氢硅并不能完全参与反应，且存在歧化反应（三氯氢硅歧化反应生成四氯化硅和二氯二氢硅），未参加反应的三氯氢硅、氢气与产生的副产物四氯化硅、二氯二氢硅一起进入尾气回收系统200，尾气回收系统200能够将上述成分分离，分别从三氯氢硅出口、还原四氯化硅出口、还原二氯二氢硅出口排出，且分别得到三氯氢硅、还原四氯化硅、还原二氯二氢硅。
尾气回收系统200的还原四氯化硅出口和还原二氯二氢硅出口均与还原反歧化器400的进口相连，以将还原四氯化硅和还原二氯二氢硅按比例通入到还原反歧化器400中进行反歧化反应，生成三氯氢硅，由于通过还原尾气回收分离得到的还原四氯化硅和还原二氯二氢硅纯度高、杂质（主要是硼、磷、碳）含量少，因此，所生成的三氯氢硅纯度高、品质优，将此种品质的三氯氢硅划分为第一等级三氯氢硅，所以，从还原反歧化器400的出口能够得到第一等级三氯氢硅，可以用于生产太阳能级的多晶硅。
进一步地，还原反歧化器400的出口还与分离精馏塔500的进口相连，以将从还原反歧化器400的出口得到第一等级三氯氢硅通入到分离精馏塔500进一步提纯，第一等级三氯氢硅中或多或少含有四氯化硅、二氯二氢硅、碳杂质、磷杂质和硼杂质，在分离精馏塔500中，第一等级三氯氢硅中的四氯化硅、碳杂质、磷杂质为重组分，二氯二氢硅、硼杂质为轻组分，只有三氯氢硅为中组分，因此，将轻组分的二氯二氢硅、硼杂质从分离精馏塔500的塔顶出口采出，将重组分的四氯化硅、碳杂质、磷杂质从分离精馏塔500的塔底出口采出，将更加纯净的中组分三氯氢硅从分离精馏塔500的塔侧出口采出，通过分离精馏塔500去除第一等级三氯氢硅中的四氯化硅、二氯二氢硅、碳杂质、磷杂质和硼杂质，以对第一等级三氯氢硅进一步提纯，从分离精馏塔500的塔侧出口采出的三氯氢硅纯度更高、品质更优，基本没有其他杂质，为高纯三氯氢硅，也就是说，通过分离精馏塔500对第一等级三氯氢硅进一步除杂提纯，得到高纯三氯氢硅，将此种品质的三氯氢硅划分为特级三氯氢硅，可以用于生产电子级的多晶硅。
分离精馏塔500的塔顶出口与还原反歧化器400的进口相连，由于这部分二氯二氢硅中杂质含量少，并没有其他杂质引入，即硼杂质含量少，因此，将采出的二氯二氢硅重新通入到还原反歧化器400中进行参与反歧化反应，避免浪费。分离精馏塔500的塔底出口与精馏系统100的进口相连，由于从分离精馏塔500的塔底出口采出的重组分中，包括四氯化硅、碳杂质、磷杂质，由于塔底出口采出的重组分量较多，若将这部分重组分继续通入到还原反歧化器400中进行参与反歧化反应，势必会造成碳杂质、磷杂质的快速积累而含量超标，因此，将这部分重组分通入到精馏系统100中，经精馏系统100多级分离将碳杂质、磷杂质出去，得到氢化四氯化硅。
精馏系统100的氢化四氯化硅出口和氢化二氯二氢硅出口均与氢化反歧化器300的进口相连，以将氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅按比例通入到氢化反歧化器300中进行反歧化反应，生成三氯氢硅，由于氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅纯度低、杂质含量多，因此，所生成的三氯氢硅纯度较低、品质较差，将此种品质的三氯氢硅划分为第四等级三氯氢硅，所以，从氢化反歧化器300的出口能够得到第四等级三氯氢硅，可以用于生产冶金级的多晶硅，也可以作为降级产品销售或处理，或者再通过精馏提纯，达到第一等级三氯氢硅的纯度要求，以满足生产太阳能级多晶硅的纯度品质要求。
本申请实施例公开的一种多晶硅生产副产物反歧化系统中，将还原四氯化硅和还原二氯二氢硅用于反歧化生产第一等级三氯氢硅，将氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅用于反歧化生产第四等级三氯氢硅，也就是说，将还原四氯化硅和还原二氯二氢硅、氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅分别进行反歧化，并对反歧化产物进行等级划分，不同等级三氯氢硅进行不同的处理，实现这四种物料的精细化、分门别类的反歧化处理，使得每种物料均得到针对性的处理，避免浪费，且避免了现有技术中四种物料混合反歧化而导致原本纯净的还原四氯化硅和还原二氯二氢硅被污染，从而能够提供纯净的反歧化原料以得到纯度品质高的三氯氢硅，即第一等级三氯氢硅，这四种物料分别进行反歧化后，能够得到纯度高、品质优的第一等级三氯氢硅，也得到纯度较低、品质较差的第四等级三氯氢硅，具体可以根据使用要求灵活选择，满足生产冶金级、太阳能级、电子级多晶硅的纯度品质要求，避免现有技术中这四种物料混合反歧化而导致得到的所有三氯氢硅中杂质含量高且复杂、纯度低、品质差，只能用于生产冶金级的多晶硅，无法用于生产太阳能级的多晶硅。同时，通过分离精馏塔500对第一等级三氯氢硅进一步除杂提纯，得到可以用于生产电子级多晶硅的特级三氯氢硅，使得反歧化得到的三氯氢硅纯度品质得到较大提升，解决现有技术中反歧化得到的三氯氢硅纯度品质较难提升的问题。
当然，可以用较为纯净的还原四氯化硅和还原二氯二氢硅，与氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅进行参配，以降低参与反歧化反应的四氯化硅和二氯二氢硅中杂质含量较少，从而提升反歧化得到的三氯氢硅纯度品质，避免氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅仅能够用于生产低等级的第四等级三氯氢硅。具体地，氢化四氯化硅出口和氢化二氯二氢硅出口均还与还原反歧化器400的进口相连，且通过阀门切换导通，参考图1，或，还原四氯化硅出口和还原二氯二氢硅出口均还与氢化反歧化器300的进口相连，且通过阀门切换导通，参考图2。
当氢化四氯化硅出口和氢化二氯二氢硅出口均还与还原反歧化器400的进口相连时，通过阀门切换，还原四氯化硅出口和还原二氯二氢硅出口均与还原反歧化器400的进口导通，还原反歧化器400的出口得到第一等级三氯氢硅，还原四氯化硅出口和氢化二氯二氢硅出口均与还原反歧化器400的进口导通，还原反歧化器400的出口得到第二等级三氯氢硅，氢化四氯化硅出口和还原二氯二氢硅出口均与还原反歧化器400的进口导通，还原反歧化器400的出口得到第三等级三氯氢硅。
当还原四氯化硅出口和还原二氯二氢硅出口均还与氢化反歧化器300的进口相连时，通过阀门切换，氢化四氯化硅出口和氢化二氯二氢硅出口均与氢化反歧化器300的进口导通，氢化反歧化器300的出口得到第四等级三氯氢硅，还原四氯化硅出口和氢化二氯二氢硅出口均与氢化反歧化器300的进口导通，氢化反歧化器300的出口得到第二等级三氯氢硅，氢化四氯化硅出口和还原二氯二氢硅出口均与氢化反歧化器300的进口导通，氢化反歧化器300的出口得到第三等级三氯氢硅。
由于氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅中，氢化四氯化硅的量较大，因此其杂质也较多，故，氢化四氯化硅与还原二氯二氢硅反歧化得到第二等级三氯氢硅，比氢化二氯二氢硅与还原四氯化硅反歧化得到第三等级三氯氢硅纯度品质要高。以此通过较为纯净的还原四氯化硅和还原二氯二氢硅，与氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅进行参配，还能够得到纯度品质高于第四等级三氯氢硅、低于第一等级三氯氢硅的第二等级三氯氢硅、第三等级三氯氢硅，可以用于生产冶金级的多晶硅，也可以作为降级产品销售或处理，或者再通过精馏提纯，达到第一等级三氯氢硅的纯度要求，以满足生产太阳能级多晶硅的纯度品质要求。
通过较为纯净的还原四氯化硅和还原二氯二氢硅，与氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅进行参配，以降低参与反歧化反应的四氯化硅和二氯二氢硅中杂质含量较少，从而提升反歧化得到的三氯氢硅纯度品质，得到第二等级三氯氢硅、第三等级三氯氢硅，避免氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅仅能够用于生产低等级的第四等级三氯氢硅，相较于第四等级三氯氢硅，第二等级三氯氢硅和第三等级三氯氢硅的售价更高，精馏提纯至第一等级三氯氢硅的难度小。同时，为用户提供多种品质等级的三氯氢硅以供选择，根据实际情况进行选择价格低、品质合适的三氯氢硅，提高性价比。
作为优选，还原四氯化硅出口和还原二氯二氢硅出口均还与氢化反歧化器300的进口相连，且通过阀门切换导通，避免将氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅通入到还原反歧化器400中参配生产第二等级三氯氢硅和第三等级三氯氢硅的时候，氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅中的杂质污染还原反歧化器400，导致后续使用还原四氯化硅和还原二氯二氢硅进行反歧化生产的第一等级三氯氢硅中杂质含量高、品质降低，从而保证还原反歧化器400不被氢化四氯化硅和氢化二氯二氢硅中的杂质污染，防止混用而造成第一等级三氯氢硅纯度降低而降级，保证多晶硅生产副产物反歧化系统能够得到纯度品质高第一等级三氯氢硅。
如上文所述，第四等级三氯氢硅纯度较低、品质较差，仅能够用于生产冶金级的多晶硅，作为优选，氢化反歧化器300的出口与精馏系统100的进口相连，以将第四等级三氯氢硅通入到精馏系统100中进行精馏提纯，由于精馏系统100精馏提纯得到的三氯氢硅能够用于生产太阳能级的多晶硅，因此，在第四等级三氯氢硅被精馏系统100精馏提纯后，能够满足生产太阳能级多晶硅的纯度品质要求，避免仅能够用于生产冶金级的多晶硅，提高本申请公开的多晶硅生产副产物反歧化系统所生产的三氯氢硅可用范围，提高使用灵活性。
作为优选，氢化二氯二氢硅出口设置有除硼装置，由于氢化二氯二氢硅作为轻组分从精馏系统100中精馏塔的塔顶采出，其中的杂质主要是硼杂质，因此，对氢化二氯二氢硅进行除硼，能够有效减少通入到氢化反歧化器300中的硼杂质，从而能够使得提高第四等级三氯氢硅的纯度品质，有利于第四等级三氯氢硅的品质提级。
当然，氢化四氯化硅出口可以串联设置有除碳装置和除磷装置，由于氢化四氯化硅作为重组分从精馏系统100中精馏塔的塔低采出，其中的杂质主要是碳杂质和磷杂质，因此，对氢化四氯化硅除碳、除磷，能够有效减少通入到氢化反歧化器300中的碳、磷杂质，从而能够使得提高第四等级三氯氢硅的纯度品质，有利于第四等级三氯氢硅的品质提级。
在本申请中，通过分离精馏塔500对第一等级三氯氢硅进一步除杂提纯，得到可以用于生产电子级多晶硅的特级三氯氢硅，由于用于生产第一等级三氯氢硅的还原四氯化硅和还原二氯二氢硅是从尾气回收系统200分离得到的，这也说明从尾气回收系统200分离得到的三氯氢硅杂质含量也较少，纯度较高，因此，可以直接用于进一步提纯得到特级三氯氢硅，具体地，尾气回收系统200的三氯氢硅出口与分离精馏塔500的进口相连，以将尾气回收系统200分离得到的三氯氢硅通入到分离精馏塔500中进一步提纯，得到更多的特级三氯氢硅，有助于促进电子级多晶硅的产能提升，且通过尾气回收系统200分离得到的三氯氢硅精馏提纯至特级三氯氢硅的难度小，便于实施。
在本申请中，还包括还原炉，精馏系统100的三氯氢硅出口、和/或、还原反歧化器400的出口、和/或、分离精馏塔500的塔侧出口与还原炉的原料进口相连，还原炉的尾气出口与尾气回收系统200相连，也就是说，通过精馏系统100的三氯氢硅出口、还原反歧化器400的出口和分离精馏塔500的塔侧出口得到的三氯氢硅能够通入到还原炉用于生产太阳能级的多晶硅，甚至电子级多晶硅，至于冶金级多晶硅的生产，本申请不做限制。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (7)
1.一种多晶硅生产副产物反歧化系统，其特征在于，包括精馏系统（100）、尾气回收系统（200）、氢化反歧化器（300）、还原反歧化器（400）和分离精馏塔（500），所述尾气回收系统（200）的还原四氯化硅出口和还原二氯二氢硅出口均与所述还原反歧化器（400）的进口相连，所述还原反歧化器（400）的出口得到第一等级三氯氢硅，所述还原反歧化器（400）的出口还与所述分离精馏塔（500）的进口相连，所述分离精馏塔（500）的塔侧出口得到特级三氯氢硅，所述分离精馏塔（500）的塔顶出口与所述还原反歧化器（400）的进口相连，所述分离精馏塔（500）的塔底出口与所述精馏系统（100）的进口相连，所述精馏系统（100）的氢化四氯化硅出口和氢化二氯二氢硅出口均与所述氢化反歧化器（300）的进口相连，所述氢化反歧化器（300）的出口得到第四等级三氯氢硅。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产副产物反歧化系统，其特征在于，所述氢化四氯化硅出口和所述氢化二氯二氢硅出口均还与所述还原反歧化器（400）的进口相连，且通过阀门切换导通，或，所述还原四氯化硅出口和所述还原二氯二氢硅出口均还与所述氢化反歧化器（300）的进口相连，且通过阀门切换导通。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产副产物反歧化系统，其特征在于，所述氢化反歧化器（300）的出口与所述精馏系统（100）的进口相连。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产副产物反歧化系统，其特征在于，所述氢化二氯二氢硅出口设置有除硼装置。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产副产物反歧化系统，其特征在于，所述氢化四氯化硅出口串联设置有除碳装置和除磷装置。
6.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产副产物反歧化系统，其特征在于，所述尾气回收系统（200）的三氯氢硅出口与所述分离精馏塔（500）的进口相连。
7.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产副产物反歧化系统，其特征在于，还包括还原炉，所述精馏系统（100）的三氯氢硅出口、和/或、所述还原反歧化器（400）的出口、和/或、所述分离精馏塔（500）的塔侧出口与所述还原炉的原料进口相连，所述还原炉的尾气出口与所述尾气回收系统（200）相连。
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| CN202321611662.3U CN220310399U (zh) | 2023-06-25 | 2023-06-25 | 一种多晶硅生产副产物反歧化系统 |
Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
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2023
- 2023-06-25 CN CN202321611662.3U patent/CN220310399U/zh active Active
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