CN220062530U - 隧道窑炉的输送机构和隧道窑炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型的实施例提出一种隧道窑炉的输送机构和隧道窑炉。其中，所述的输送机构包括输送机架、滚轴、驱动件和传动滚轮。所述输送机架包括输送架体、第一支架和第二支架，所述第一支架和所述第二支架沿所述输送机架的宽度方向相对设置在所述输送架体上，所述滚轴具有多个，多个所述滚轴沿所述输送机架的长度方向间隔开地设置，每个所述滚轴的两端对应地穿设在所述第一支架和所述第二支架上，所述驱动件设置在所述滚轴上以便驱动多个所述滚轴转动；所述传动滚轮具有多个，多个所述传动滚轮套设在多个所述滚轴上。因此，根据本实用新型的实施例的隧道窑炉的输送机构具有避免产品中间凹陷及合格率高的优点。

Description

隧道窑炉的输送机构和隧道窑炉

技术领域

本实用新型涉及窑炉技术领域，具体涉及一种隧道窑炉的输送机构和具有该隧道窑炉的输送机构的隧道窑炉。

背景技术

连续生产式隧道窑炉是目前工业自动化生产线中常用的热处理工艺设备，广泛应用于电真空、航空航天、电力电子、稀有金属、磁性材料、核材料等诸多热处理领域。相关技术中，隧道窑炉的输送机构包括架体、滚筒、金属输送网及驱动机构，所述滚筒设置在架体上，且滚筒设置金属输送网的两端。但在高温下，金属输送网承重的能力有限，例如，当炉内的温度超过900℃，金属网带会变软，导致强度低，进而导致产品(例如，硅片产品)会朝中间凹陷变形，影响产品的合格率。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种隧道窑炉的输送机构。该隧道窑炉的输送机构具有避免产品中间凹陷及合格率高的优点。

本实用新型的实施例还提出一种隧道窑炉。

本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构包括输送机架、滚轴、驱动件和传动滚轮。

所述输送机架包括输送架体、第一支架和第二支架，所述第一支架和所述第二支架沿所述输送机架的宽度方向相对设置在所述输送架体上；所述滚轴具有多个，多个所述滚轴沿所述输送机架的长度方向间隔开地设置，每个所述滚轴沿所述输送机架的宽度方向延伸设置，每个所述滚轴的两端对应地穿设在所述第一支架和所述第二支架上，所述驱动件设置在所述滚轴以便驱动所述滚轴转动；所述传动滚轮具有多个，多个所述传动滚轮套设在多个所述滚轴上。可以理解的是，产品可以沿所述输送机架的长度方向进行运输。

本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构，通过设置滚轴和传动滚轮，通过滚轴和传动滚轮结合替代相关技术中金属网和滚筒，可以避免输送机构因高温造成的易形变进而导致设置在其上的产品中间出现凹陷的问题。本实用新型实施例的输送机构通过滚轴和传动滚轮可以对产品(硅片产品)起到平面支撑，以确保产品在窑炉内具有稳定不变形的支撑面。由此，本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构具有避免产品的中部凹陷，进而提升了硅片产品合格率的优点。

因此，本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构具有避免产品中间凹陷及合格率高的优点。

在一些实施例中，每个所述滚轴具有多个所述传动滚轮，多个所述传动滚轮沿所述输送机架的宽度方向间隔开地设置在每个所述滚轴上。

在一些实施例中，所述传动滚轮为陶瓷滚轮。

在一些实施例中，所述传动滚轮沿其厚度方向具有相对设置的第一侧和第二侧，所述第一侧和所述第二侧中的至少一者为内凹面。

在一些实施例中，所述传动滚轮上设有中空孔。

在一些实施例中，所述中空孔具有多个，多个所述中空孔沿所述传动滚轮的周向间隔开地设置。

在一些实施例中，所述中空孔为圆型孔或扇形孔。

在一些实施例中，所述的隧道窑炉的输送机构还包括支撑滚轮，每个所述滚轴上均穿设有至少两个所述传动滚轮，在每个所述滚轴上，所述支撑滚轮设置在两个相邻所述传动滚轮之间。

在一些实施例中，所述滚轴包括滚轴本体和驱动轮，所述滚轴本体的两端对应地穿设在所述第一支架和所述第二支架上，所述驱动轮套设在所述滚轴本体位于所述输送机架外侧的两端，所述驱动件包括链条，所述链条与每个所述驱动轮啮合以保证多个所述滚轴同步转动。

在一些实施例中，所述滚轴本体具有冷却通道，所述冷却通道能够与冷却气源或冷却液源连通。

本实用新型实施例的隧道窑炉可以包括上述任一项实施例所述的隧道窑炉的输送机构。

附图说明

图1是本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构的立体图。

图2是本实用新型实施例的滚轴、传动滚轮和支撑滚轮配合示意图。

图3是本实用新型一个实施例的传动滚轮的立体图。

图4是本实用新型另一个实施例的传动滚轮的立体图。

图5是本实用新型实施例的支撑滚轮的立体图。

附图标记：

输送机构100；硅片产品200；

输送机架1；输送架体11；第一支架12；第二支架13；

滚轴2；滚轴本体21；驱动轮22；冷却通道23；

传动滚轮3；第一侧31；第二侧32；中空孔33；

支撑滚轮4。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考图1-图5描述本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100和隧道窑炉。

本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100包括输送机架1、滚轴2、驱动件(未示出)和传动滚轮3。

输送机架1包括输送架体11、第一支架12和第二支架13，第一支架12和第二支架13沿输送机架1的宽度方向相对设置在输送架体11上；滚轴2具有多个，多个滚轴2沿输送机架1的长度方向间隔开地设置，每个滚轴2沿输送机架1的宽度方向延伸设置，每个滚轴2的两端对应地穿设在第一支架12和第二支架13上，驱动件设置在滚轴2上以便驱动滚轴2转动，传动滚轮3具有多个，多个传动滚轮3套设在多个滚轴2上。可以理解的是，产品可以沿输送机架1的长度方向进行运输。

本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100，通过设置滚轴2和传动滚轮3，通过滚轴2和传动滚轮3结合替代相关技术中金属网和滚筒，可以避免输送机构100因高温造成的易形变进而导致设置在其上的产品中间出现凹陷的问题。本实用新型实施例的输送机构100通过滚轴2和传动滚轮3可以对产品(硅片产品200)起到平面支撑，以确保产品在窑炉内具有稳定不变形的支撑面。由此，本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100具有避免产品的中部凹陷，进而提升了硅片产品200合格率和产品质量的优点。

因此，本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100具有避免产品中间凹陷及合格率高的优点。

具体地，第一支架12和第二支架13设置在输送架体11的左右两侧，滚轴2穿设在第一支架12和第二支架13上，以便形成平整的支撑面，硅片产品200设置在该支撑面。即至少两个滚轴2之间，并通过滚轴2的转动，带动硅片产品200沿输送机架1的长度方向移动。从而将硅片产品200从上个工序移送至下个工序的过程中还在隧道窑炉进行了加热工序。

可选地，输送架体11、第一支架12和第二支架13均为平面板体式结构，滚轴2的下端面悬设在输送架体11的上方，传动滚轮3可以与输送架体11接触或具有间隙。

如图1和图2所示，每个滚轴2具有多个传动滚轮3，多个传动滚轮3沿输送机架1的宽度方向间隔开地设置在每个滚轴2上。

本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100，通过在每个滚轴2上均设置多个传动滚轮3，一方面可以形成多个对硅片产品200的支撑位点，以便进一步避免硅片产品200在受热过程中因支撑力和重力之间的不平稳而导致的形变的问题。另一方面，还可以沿输送机架1的宽度方向(图1中所示的左右方向)同时放置多块硅片产品200以提升输送的效率。硅片产品200可以搭设在相邻的两个沿输送机架1的宽度方向的传动滚轮3之间。

传动滚轮3为陶瓷传动滚轮3。本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100，通过将传动滚轮3设置作为陶瓷传动滚轮3，可以避免在高温下会造成离子析出，影响产品(例如，硅片产品200)的质量的问题。例如，金属传动滚轮3在过高的温度下，金属网会析出金属离子，影响产品(例如，硅片产品200)的质量。此外，还具有耐热性能好不易形变的优点。由此，本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100具有进一步提升产品质量的优点。

如图2至图4所示，传动滚轮3沿其厚度方向具有相对设置的第一侧31和第二侧32，第一侧31和第二侧32中的至少一者为内凹面。可以理解的是，传动滚轮3的第一侧31为内凹面；或传动滚轮3的第二侧32为内凹面；亦或者传动滚轮3的第一侧31为内凹面，且传动滚轮3的第二侧32为内凹面。

本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100，通过将传动滚轮3的第一侧31和第二侧32中的至少一者为内凹面。一方面降低了传动滚轮3的重量和体积，另一方面提升散热面积。由此，本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100具有减重和提升冷却效率的优点。

可选地，内凹面可以为弧形内凹面。

如图3和图4所示，传动滚轮3上设有中空孔33。本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100，通过传动滚轮3上设置中空孔33。由此，可以降低传动滚轮3的体积并提升传动滚轮3的散热面积及散热效率的优点。

进一步地，传动滚轮3的两侧均具有内凹面，该中空孔33开设在传动滚轮3的内凹面上。由此，本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100可以进一步降低传动滚轮3的体积并提升传动滚轮3的散热面积。

如图3和图4所示，中空孔33具有多个，多个中空孔33沿传动滚轮3的周向间隔开地设置在该传动滚轮3上。

本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100，通过将中空孔33设置为多个，因而可以进一步提升传动滚轮3的散热面积。因而，提升了传动滚轮3的散热效率。此外，多个中空孔33沿传动滚轮3的周向间隔开地设置，有利于保证传动滚轮3转动时受力的平衡性。由此，本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100具有结构的稳定性好的优点。

进一步地，中空孔33为圆型孔。

本实用新型实施例不限于此，在其他实施例中，中空孔33还可以为扇形孔。进一步地，中空孔33还可以为扇形通孔。

多个中空孔33对称设置。由此，以便有利于保证传动滚轮3转动时受力的平衡性。

如图1和图2所示，本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100还包括支撑滚轮4，每个滚轴2上均穿设有至少两个传动滚轮3，在每个滚轴2上，支撑滚轮4设置在两个相邻传动滚轮3之间。

本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100，通过多个中空孔33沿传动滚轮3的周向间隔开地设置，有利于保证传动滚轮3转动时受力的平衡性。由此，具有结构的稳定性好的优点。同时还可以避免硅片产品200出现掉片的问题，具有运输平稳性高的优点。

可选地，如图2和图5所示，支撑滚轮4上也可以设置有多个中空孔33，中空孔33沿支撑滚轮4的周向间隔开地设置。

可选地，支撑滚轮4可以为陶瓷滚轮。由此，本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100具有耐热性能好的优点。

如图1和图2所示，滚轴2包括滚轴本体21和驱动轮22，滚轴本体21的两端对应地穿设在第一支架12和第二支架13上，驱动轮22套设在滚轴本体21位于输送机架1外侧的两端，驱动件包括链条，该链条可以与每个驱动轮22啮合以保证多个滚轴2同步转动。

本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100，通过驱动件的链条与滚轴2的驱动轮22相互配合以便实现滚轴2的转动。由此，本实用新型实施例的隧道窑炉的输送机构100具有结构简单的优点。

如图1和图2所示，滚轴本体21具有冷却通道23。可以理解的是，冷却通道23开设在滚轴本体21上。

可选地，滚轴本体21具有沿其轴向延伸的冷却通道23。该冷却通道23与冷却液源或冷却气源连通。例如，滚轴本体21为筒体，传动滚轮3和支撑滚轮4套设在滚轴本体21上。

如图1至图5所示，本实用新型实施例的隧道窑炉包括炉体和根据上述任一项的隧道窑炉的输送机构100，隧道窑炉的输送机构100设置在炉体内。

因此，本实用新型实施例的隧道窑炉具有避免产品中间凹陷及合格率高的优点。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种隧道窑炉的输送机构，其特征在于，包括：

输送机架，所述输送机架包括输送架体、第一支架和第二支架，所述第一支架和所述第二支架沿所述输送机架的宽度方向相对设置在所述输送架体上；

滚轴和驱动件，所述滚轴具有多个，多个所述滚轴沿所述输送机架的长度方向间隔开地设置，每个所述滚轴沿所述输送机架的宽度方向延伸设置，每个所述滚轴的两端对应地穿设在所述第一支架和所述第二支架上，所述驱动件设置在所述滚轴上以便驱动多个所述滚轴转动；

传动滚轮，所述传动滚轮具有多个，多个所述传动滚轮套设在多个所述滚轴上。

2.根据权利要求1所述的隧道窑炉的输送机构，其特征在于，每个所述滚轴具有多个所述传动滚轮，多个所述传动滚轮沿所述输送机架的宽度方向间隔开地设置在每个所述滚轴上。

3.根据权利要求1所述的隧道窑炉的输送机构，其特征在于，所述传动滚轮为陶瓷滚轮。

4.根据权利要求1所述的隧道窑炉的输送机构，其特征在于，所述传动滚轮沿其厚度方向具有相对设置的第一侧和第二侧，所述第一侧和所述第二侧中的至少一者为内凹面。

5.根据权利要求1所述的隧道窑炉的输送机构，其特征在于，所述传动滚轮上设有中空孔。

6.根据权利要求5所述的隧道窑炉的输送机构，其特征在于，所述中空孔具有多个，多个所述中空孔沿所述传动滚轮的周向间隔开地设置；

和/或，所述中空孔为圆型孔或扇形孔。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的隧道窑炉的输送机构，其特征在于，还包括支撑滚轮，每个所述滚轴上均穿设有至少两个所述传动滚轮，在每个所述滚轴上，所述支撑滚轮设置在两个相邻所述传动滚轮之间。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的隧道窑炉的输送机构，其特征在于，所述滚轴包括滚轴本体和驱动轮，所述滚轴本体的两端对应地穿设在所述第一支架和所述第二支架上，所述驱动轮套设在所述滚轴本体位于所述输送机架外侧的两端，所述驱动件包括链条，所述链条与每个所述驱动轮啮合以保证多个所述滚轴同步转动。

9.根据权利要求8所述的隧道窑炉的输送机构，其特征在于，所述滚轴本体具有冷却通道，所述冷却通道能够与冷却气源或冷却液源连通。

10.一种隧道窑炉，其特征在于，包括炉体和根据权利要求1-9任一项所述的隧道窑炉的输送机构，所述隧道窑炉的输送机构设置在所述炉体内。