CN219957766U - Die测试装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种DIE测试装置，包括针卡模块、测试控制模块、测试程序模块、电源模块和DIE切换模块，针卡模块用于放置待检测DIE；测试控制模块与针卡模块连接，测试控制模块包括多个不同的测试单元；测试程序模块与测试控制模块连接，测试程序模块中存储有不同的测试程序；电源模块与测序程序模块连接；DIE切换模块与测试控制模块连接，DIE切换模块设置有多个切换开关，切换开关对应连通不同的测试单元时，激活不同的测试程序，以实现测试不同型号的待检测DIE。本申请通过以上方式，设置DIE切换模块，通过连通测试控制模块中的不同测试单元，就可以激活不同的测试程序，实现测试不同型号的待检测DIE，提高DIE测试装置的通用性。

Description

DIE测试装置

技术领域

本申请涉及半导体器件测试领域，尤其涉及一种DIE测试装置。

背景技术

随着晶圆(Wafer)制程技术飞速发展，更新迭代迅速，在每次制程技术升级过程中都会一定不足，从而出现一些良率偏低的产品，如果直接选用这些较低良率的晶圆直接封装，就会导致含有大量不可用坏块的产品，当封装费用消耗大于良品产出时企业就开始亏损。

传统使用的DIE测试装置采用一个die test(晶粒测试)针卡，再通过模拟操作，筛选掉晶圆中的坏块，从而达到测试的目的选出晶圆中的良品进行封装。传统测试装置在测试不同DIE就需要选用对应支持的控制芯片的测试装置，还需要更换测试设备，存在成本高和测试设备更换麻烦等缺点。

因此，一种测试简单，适用各种不同型号DIE测试的测试装备被人们迫切需要。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种DIE测试装置，通过设置DIE切换模块，提高DIE测试装置的通用性。

本申请公开了一种DIE测试装置，包括针卡模块、测试控制模块、测试程序模块、电源模块和DIE切换模块，针卡模块用于放置待检测DIE；测试控制模块与所述针卡模块连接，所述测试控制模块包括多个不同的测试单元；测试程序模块与所述测试控制模块连接，所述测试程序模块中存储有不同的测试程序；电源模块与所述测序程序模块连接；DIE切换模块与所述测试控制模块连接，所述DIE切换模块设置有多个切换开关，所述切换开关对应连通不同的所述测试单元时，激活不同的所述测试程序，以实现测试不同型号的所述待检测DIE。

可选地，所述测试控制模块还包括主控单元，所述主控单元的一端与所述DIE切换模块连接，另一端与所述测试程序模块连接，所述切换开关对应连通不同的所述测试单元时，通过所述主控单元激活不同的所述测试程序。

可选地，所述测试控制模块通过所述测试单元的一端连接所述针卡模块，所述切换开关对应连通不同的所述测试单元时，通过所述主控单元激活不同的所述测试程序，并连通所述针卡模块。

可选地，所述针卡模块是可更换的。

可选地，所述针卡模块包括多个针卡单元，每个所述针卡单元对应一个所述待检测DIE。

可选地，所述DIE切换模块包括多个控制端子，多个所述控制端子的一端与多个所述切换开关一一对应连接，另一端与多个所述测试单元一一对应连接。

可选地，所述测试控制模块包括探针卡，所述探针卡设置至少一种，所述探针卡用于检测所述待检测DIE的待检测部；所述探针卡至少包括一个探针卡组，每个探针卡组设置至少一个探针卡。

可选地，所述DIE测试装置还包括显示模块，所述显示模块与测试控制模块连接，且位于所述针卡模块的正上方，通过所述显示模块观察所述待检测DIE。

可选地，所述DIE测试装置还包括串口模块和上位机模块，所述串口模块的一端与所述测试控制模块连接，另一端与所述上位机模块连接。

可选地，所述DIE测试装置还包括电源开关模块，所述电源开关模块与所述电源模块连接，所述电源开关模块内设置有多个电源切换开关，不同的所述电源切换开关导通不同的供电模式，所述供电模式包括外部供电模式和直接供电模式。

相对于测试不同DIE需要更换测试控制芯片和测试设备，存在成本高和测试设备更换麻烦的方案来说，本申请的DIE测试装置除了设置针卡模块、测试控制模块、测试程序模块和电源模块各个模块外，还设置有DIE切换模块，DIE切换模块内设置有多个切换开关，每个切换开关连通不同的测试单元，当更换需要检测的待检测DIE时，切换开关对应连通不同的测试单元，测试控制模块激活不同的测试程序，以实现测试不同型号的待检测DIE，通过优化DIE测试装置，避免了更换测试设备麻烦，减少以往DIE测试不同而需要不同设备的购买成本，以及频繁使用不同设备切换的人力成本；同时，仅通过切换开关就可以连通测试单元，切换不同的测试程序，实现不同型号DIE测试切换，实现一机多用，降低了所需更换对应支持的控制芯片的成本，为企业节约一定的经济成本，还减少了设备购买成本，以及后期DIE测试装置的更换维护成本，增强市场竞争力。

附图说明

所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1是本申请DIE测试装置的示意图；

图2是本申请电源开关模块的电路原理示意图；

图3是本申请针卡模块的示意图；

图4是本申请DIE切换模块的电路原理示意图；

图5是本申请测试控制模块的电路原理示意图；

图6是本申请DIE切换模块和测试控制模块的电连接示意图。

其中，10、DIE测试装置；20、针卡模块；210、针卡单元；30、测试控制模块；310、测试单元；320、主控单元；40、测试程序模块；50、电源模块；510、电源开关模块；60、DIE切换模块；610、切换开关；620、控制端子；70、串口模块；80、上位机模块。

具体实施方式

需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。

在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示相对重要性，或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，除非另有说明，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；“多个”的含义是两个或两个以上。术语“包括”及其任何变形，意为不排他的包含，可能存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。

另外，“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系的术语，是基于附图所示的方位或相对位置关系描述的，仅是为了便于描述本申请的简化描述，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，或是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面参考附图和可选的实施例对本申请作详细说明。

图1是本申请DIE测试装置的示意图，参考图1可知，作为本申请的一实施例，公开了一种DIE测试装置10，包括针卡模块20、测试控制模块30、测试程序模块40、电源模块50和DIE切换模块60，针卡模块20用于放置待检测DIE；测试控制模块30与针卡模块20连接，测试控制模块30包括多个不同的测试单元310；测试程序模块40与测试控制模块30连接，测试程序模块40中存储有不同的测试程序；电源模块50与测序程序模块连接；DIE切换模块60与测试控制模块30连接，DIE切换模块60设置有多个切换开关610，切换开关610对应连通不同的测试单元310时，激活不同的测试程序，以实现测试不同型号的待检测DIE。

相对于测试不同DIE需要更换测试控制芯片和测试设备，存在成本高和测试设备更换麻烦的方案来说，本申请的DIE测试装置10除了设置针卡模块20、测试控制模块30、测试程序模块40和电源模块50各个模块外，还设置有DIE切换模块60，DIE切换模块60内设置有多个切换开关610，每个切换开关610连通不同的测试单元310，当更换需要检测的待检测DIE时，切换开关610对应连通不同的测试单元310，测试控制模块30激活不同的测试程序，以实现测试不同型号的待检测DIE，通过优化DIE测试装置10，避免了更换测试设备麻烦，减少以往DIE测试不同而需要不同设备的购买成本，以及频繁使用不同设备切换的人力成本；同时，仅通过切换开关610就可以连通测试单元310，切换不同的测试程序，实现不同型号DIE测试切换，实现一机多用，降低了所需更换对应支持的控制芯片的成本，为企业节约一定的经济成本，还减少了设备购买成本，以及后期DIE测试装置10的更换维护成本，增强市场竞争力。

DIE测试装置10还包括串口模块70和上位机模块80，串口模块70的一端与测试控制模块30连接，另一端与上位机模块80连接。串口模块70接收测试控制模块30检测出来的测试结果，并将该测试结果上传至上位机模块80，上位机模块80接收该结果并反馈给测试人员。

图2是本申请电源开关模块的电路原理示意图，参考图2可知，DIE测试装置10还包括电源开关模块510，电源开关模块510与电源模块50连接，电源开关模块510内设置有多个电源切换开关610，不同的电源切换开关610导通不同的供电模式，供电模式包括外部供电模式和直接供电模式。

本实施方式中，不仅设置了电源模块50，电源模块50为整个DIE测试装置10供电，还设置了电源开关模块510，电源开关模块510与电源模块50连接，并且电源开关模块510内设置有多个电源切换开关610，不同的电源切换开关610启动时，开启不同的供电模式，供电模式主要包括外部供电模式和直接供电模式，外部供电模式可以防止供电不足；直接供电模式可直接选用USB-A接口即插即用，这样就可以提高DIE测试装置10的使用性能，延长使用时间，还可以避免由于供电不足导致的DIE测试装置10测试异常，或者不能测试的情况发生。

具体地，针卡模块20是可更换的。针卡模块20可以放置不同类型的待检测DIE，通常不同型号的DIE尺寸大小会不相同，比如：N38A的尺寸为10.936*7.404MM；N28A的尺寸为8.130*12.24MM。本申请的针卡模块20是可以更换的，可以适配不同型号的DIE测试，当一块待检测DIE测试盘测试完成后，只需要更换下一型号的待检测DIE的针卡模块20，就可以实现不同型号DIE测试，操作更加方便。

并且，DIE测试装置10还包括显示模块，显示模块与测试控制模块30连接，且位于针卡模块20的正上方，通过显示模块观察待检测DIE。当更换针卡模块20时，通过显示模块可以观察需要检测的待检测DIE是否放置在正确位置，可以提高测试精度，避免由于待检测DIE与针卡模块20位置不对应导致的结果异常问题，提高检测结果的准确性。其中，显示模块可以是电子显微镜等仪器，具有观察直观的优点。

图3是本申请针卡模块的示意图，参考图3可知，针卡模块20包括多个针卡单元210，每个针卡单元210对应一个待检测DIE，每个针卡模块20包括多个针卡单元210，每个针卡单元210与每个待检测DIE一一对应，以图2为例，本示意图中的针卡模块20上设置有多个针卡单元210，针卡单元210在针卡模块20上的排布方式可以根据待检测DIE的位置设定，以保证每个针卡单元210可以对应检测一个待检测DIE，实现一个针卡模块20上就可以完成多个待检测DIE的性能测试，比如N38A型号的DIE尺寸大于N28A型号的DIE，对应的相邻待检测DIE之间的间距也会不相同，不同型号DIE对应的针卡模块20上针卡单元210的位置也会不相同。当然，每个针卡模块20上针卡单元210的位置排布，也可以根据针卡模块20的大小，以及需要检测的DIE尺寸，排布针卡单元210的位置，以实现不同型号的DIE测试。

测试控制模块30还包括主控单元320，主控单元320的一端与DIE切换模块60连接，另一端与测试程序模块40连接，切换开关610对应连通不同的测试单元310时，通过主控单元320激活不同的测试程序；测试控制模块30通过测试单元310的一端连接针卡模块20，切换开关610对应连通不同的测试单元310时，通过主控单元320激活不同的测试程序，并连通针卡模块20。

本实施方式中，测试控制模块30除了测试单元310外，还包括主控单元320，主控单元320的一端与DIE切换模块60连接，具体是与切换开关610连接，另一端与测试程序模块40连接，测试控制模块30还通过测试单元310的一端连通针卡模块20，当对应的针卡模块20上更换了待检测DIE时，切换开关610对应连通不同的测试单元310，同时主控单元320激活不同的测试程序，并连通针卡模块20，以完成不同待检测DIE的测试，操作简单便捷，在一个DIE测试装置10中就可以实现不同类型的DIE测试，适用性更强。

测试控制模块30包括探针卡，探针卡设置至少一种，探针卡用于检测待检测DIE的待检测部；探针卡至少包括一个探针卡组，每个探针卡组设置至少一个探针卡。测试控制模块30包括有探针卡，探针卡用于检测待检测DIE，通常，每个型号的DIE需要不同的探针卡，探针卡上包括多个探针卡组，每个探针卡组设置至少一个探针卡，由于不同针卡模块20上的DIE型号不同，相邻两个DIE之间的间距也可能不同，而一个探针卡或者多个探针卡对应检测一个待检测DIE，因此，将探针卡设置为探针卡组，可以根据不同型号的DIE预先设置不同的探针卡组，以适应不同类型的DIE测试，提高测试效率。

图4是本申请DIE切换模块的电路原理示意图，图5是本申请测试控制模块的电路原理示意图，图6是本申请DIE切换模块和测试控制模块的电连接示意图，参考图4和图5可知，DIE切换模块60包括多个控制端子620，多个控制端子620的一端与多个切换开关610一一对应连接，另一端与多个测试单元310一一对应连接。

DIE切换模块60通常设置有多组切换开关610，DIE切换模块60还包括多个控制端子620，每一组切换开关610内的切换开关610都一一对应设置一个控制端子620，控制端子620的另一端与多个测试单元310一一对应连接，切换开关610与控制端子620连通时，控制端子620的另一端与测试单元310连通，实现信号的导通，进而测试控制模块30的主控单元320激活对应的测试程序，以实现待检测DIE的性能测试。

本申请的DIE测试装置10，通过共用测试程序模块40，增加了DIE切换模块60，通过设置切换开关610，切换开关610分别连通不同的测试单元310，测试单元310导通时，主控单元320激活不同的测试程序，并连通对应的针卡模块20，测试人员需要测试不同型号的待检测DIE时，仅需要更换不同型号DIE的针卡模块20，然后再拨动切换开关610，就可以切换到不同型号DIE的测试程序，实现一机多用，操作简单快捷，省去了频繁更换不同DIE测试装置10所需的人力成本，还减少了以往测试不同型号DIE，所需测试设备的购买成本，大大提高经济效益，进而增强企业的市场竞争力。

需要说明的是，本申请的发明构思可以形成非常多的实施例，但是申请文件的篇幅有限，无法一一列出，因而，在不相冲突的前提下，以上描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例，各实施例或技术特征组合之后，将会增强原有的技术效果。

以上内容是结合具体的可选实施方式对本申请所作的进一步详细说明，不能认定本申请的具体实施只局限于这些说明。对于本申请所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本申请的保护范围。

Claims (10)

1.一种DIE测试装置，其特征在于，包括

针卡模块，用于放置待检测DIE；

测试控制模块，与所述针卡模块连接，所述测试控制模块包括多个不同的测试单元；

测试程序模块，与所述测试控制模块连接，所述测试程序模块中存储有不同的测试程序；

电源模块，与所述测试程序模块连接；以及

DIE切换模块，与所述测试控制模块连接，所述DIE切换模块设置有多个切换开关，所述切换开关对应连通不同的所述测试单元时，激活不同的所述测试程序，以实现测试不同型号的所述待检测DIE。

2.根据权利要求1所述的DIE测试装置，其特征在于，所述测试控制模块还包括主控单元，所述主控单元的一端与所述DIE切换模块连接，另一端与所述测试程序模块连接，所述切换开关对应连通不同的所述测试单元时，通过所述主控单元激活不同的所述测试程序。

3.根据权利要求2所述的DIE测试装置，其特征在于，所述测试控制模块通过所述测试单元的一端连接所述针卡模块，所述切换开关对应连通不同的所述测试单元时，通过所述主控单元激活不同的所述测试程序，并连通所述针卡模块。

4.根据权利要求1所述的DIE测试装置，其特征在于，所述针卡模块是可更换的。

5.根据权利要求1所述的DIE测试装置，其特征在于，所述针卡模块包括多个针卡单元，每个所述针卡单元对应一个所述待检测DIE。

6.根据权利要求1所述的DIE测试装置，其特征在于，所述DIE切换模块包括多个控制端子，多个所述控制端子的一端与多个所述切换开关一一对应连接，另一端与多个所述测试单元一一对应连接。

7.根据权利要求1所述的DIE测试装置，其特征在于，所述测试控制模块包括探针卡，所述探针卡设置至少一种，所述探针卡用于检测所述待检测DIE的待检测部；所述探针卡至少包括一个探针卡组，每个探针卡组设置至少一个探针卡。

8.根据权利要求1所述的DIE测试装置，其特征在于，所述DIE测试装置还包括显示模块，所述显示模块与测试控制模块连接，且位于所述针卡模块的正上方，通过所述显示模块观察所述待检测DIE。

9.根据权利要求1所述的DIE测试装置，其特征在于，所述DIE测试装置还包括串口模块和上位机模块，所述串口模块的一端与所述测试控制模块连接，另一端与所述上位机模块连接。

10.根据权利要求1所述的DIE测试装置，其特征在于，所述DIE测试装置还包括电源开关模块，所述电源开关模块与所述电源模块连接，所述电源开关模块内设置有多个电源切换开关，不同的所述电源切换开关导通不同的供电模式，所述供电模式包括外部供电模式和直接供电模式。