CN219930235U - 供料装置及真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及供料装置技术领域，具体公开了供料装置及真空镀膜设备。该装置包括量化腔、储料模块、搅拌模块和螺旋绞龙轴；螺旋绞龙轴包括绞龙壳体和能绕自身轴线旋转以带动物料的绞龙主体，绞龙主体同轴固接有偏心轮，偏心轮偏心铰接有穿设于导嘴管的疏通顶针；量化腔同时与储料模块和螺旋绞龙轴相连通，量化腔内活动设置有外表面与量化腔的内侧壁相匹配的分料量具，分料量具能在量具收料状态与量具排料状态之间切换，分料量具贯通有传料通孔，分料量具处于量具收料状态时，传料通孔连通储料模块，分料量具处于量具排料状态时，传料通孔连通螺旋绞龙轴。该装置利用疏通顶针起到了疏通螺旋绞龙轴的作用，利用分料量具达到了量化加料的目的。

Description

供料装置及真空镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及供料装置技术领域，尤其涉及供料装置及真空镀膜设备。

背景技术

在自动化连续镀膜过程中，供料装置的自动化程度和供料精度直接影响到真空镀膜的生产效率和镀膜品质。在现有技术中，真空镀膜设备的供料装置存在供料量难以准确量化的问题，从而难以达到对物料进行准确供应的目的，致使供料的速度缓慢且准确度差，同时还增加了操作人员的工作量。另外，供料装置的绞龙还存在有堵塞的风险。

综上所述，亟需一种供料装置。该装置需要实现对物料的准确量化和传送，同时还需要考虑到绞龙的疏通需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供供料装置及真空镀膜设备，通过设置偏心的疏通顶针，实现了对螺旋绞龙轴的周期性疏通，利用分料量具与量化腔的配合，达到了对螺旋绞龙轴进行量化加料的目的，提高了加料的准确度和效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

供料装置，包括储料模块、搅拌模块、螺旋绞龙轴和量化腔；所述储料模块用于存储物料；所述搅拌模块用于搅拌所述储料模块内的所述物料；所述螺旋绞龙轴用于排出所述物料，包括绞龙壳体、连通于所述绞龙壳体输出端的导嘴管和穿设于所述绞龙壳体的绞龙主体，所述绞龙主体能绕自身轴线旋转以带动所述物料，所述绞龙主体同轴固接有偏心轮，所述偏心轮偏心转动连接有疏通顶针，所述疏通顶针穿设于所述导嘴管；所述量化腔同时与所述储料模块的输出端和所述螺旋绞龙轴的输入端相连通，所述量化腔内活动设置有分料量具，且所述分料量具的外表面与所述量化腔的内侧壁相匹配，所述分料量具能在量具收料状态与量具排料状态之间切换，所述分料量具贯通有传料通孔，当所述分料量具处于所述量具收料状态时，所述传料通孔的上开口与所述储料模块的输出端相连通，当所述分料量具处于所述量具排料状态时，所述传料通孔的下开口与所述螺旋绞龙轴的输入端相连通。

作为供料装置的优选技术方案，所述量化腔为长方体腔，所述分料量具包括长方体的推送量具，所述传料通孔包括量化通孔，所述量化通孔的长度方向垂直于所述推送量具的长度方向；所述推送量具能沿所述量化腔的长度方向往复移动，以使所述推送量具在所述量具收料状态与所述量具排料状态之间切换。

作为供料装置的优选技术方案，所述量化腔为圆柱形腔，所述分料量具包括圆柱形的分料轮盘，所述传料通孔包括分料通孔，所述分料通孔沿所述分料轮盘的轴线方向延伸；所述分料轮盘能绕自身轴线旋转，以使所述分料轮盘在所述量具收料状态与所述量具排料状态之间切换。

作为供料装置的优选技术方案，所述分料通孔设有多个，多个所述分料通孔绕所述分料轮盘的轴线周向分布。

作为供料装置的优选技术方案，所述分料轮盘的侧壁环设有排泄凹槽；所述量化腔的侧壁上开设有排泄孔，所述排泄孔连通所述排泄凹槽和盛料盘，所述盛料盘用于收集从所述排泄凹槽排出的所述物料。

作为供料装置的优选技术方案，所述量化腔的输出端通过连接腔与所述螺旋绞龙轴的输入端相连通，所述连接腔的容积大于或等于所述传料通孔的容积。

作为供料装置的优选技术方案，所述螺旋绞龙轴还包括绞龙驱动单元，所述绞龙驱动单元的输出端与所述绞龙主体的一端同轴固接，所述绞龙主体的另一端与所述偏心轮同轴固接。

作为供料装置的优选技术方案，所述储料模块包括用于容纳所述物料的储料仓和用于加热所述储料仓内所述物料的加热器，所述加热器盘绕于所述储料仓的外侧壁，所述储料仓的输入端开设有料仓入料口。

作为供料装置的优选技术方案，所述搅拌模块包括搅拌轴和用于驱动所述搅拌轴的搅拌驱动单元，所述搅拌轴能够绕自身轴线旋转，所述搅拌轴周向分布有若干搅拌爪。

真空镀膜设备，包括加料室、用于对基板治具进行镀膜的镀膜室以及上述的供料装置，所述加料室选择性连通所述镀膜室，所述供料装置设于加料室内，所述供料装置能向所述镀膜室内加料；所述加料室与外部环境选择性连通，所述加料室的顶部设有选择性开闭的补料口，所述加料室的上方安装有补料组件，所述补料组件能从所述补料口向所述供料装置供料，所述加料室上安装有加料门，所述加料门选择性开闭所述补料口。

本实用新型的有益效果：

该供料装置通过在螺旋绞龙轴中设置偏心的疏通顶针的方式，完成了对导嘴管的周期性疏通动作，利用分料量具与量化腔的配合，达到了对螺旋绞龙轴进行量化加料的目的，由此提高了加料的准确度和效率。以上设计实现了对物料供料量的准确量化，从而满足了对物料的精确供应，致使供料装置的自动化程度大幅提升，供料速度快且准确度高，而且还减少了操作人员的工作量。供料装置实现了对物料的量化传送，同时还考虑到了对螺旋绞龙轴的输出端的疏通需求。

该真空镀膜设备借助加料门的设计，限定了加料室与外部环境的连通方式，进而使得加料室的破真空情况直观可控，补料组件与补料口的设计，使得物料得以利用自重实现从补料组件到供料装置上的传递，结构简单且占用空间小，工作的稳定性能够保障。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种供料装置的结构示意图，推送量具处于接料位置；

图2是本实用新型实施例提供的一种供料装置的结构示意图，推送量具处于接料位置与放料位置之间；

图3是本实用新型实施例提供的一种供料装置的结构示意图，推送量具处于放料位置；

图4是本实用新型实施例提供的另一种供料装置的结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的分料轮盘的结构示意图；

图6是本实用新型实施例提供的导嘴疏通组件的结构示意图；

图7是本实用新型实施例提供的蒸发装置、供料装置和部分定位装置的结构示意图。

图中：

110、镀膜室；120、加料室；

300、供料装置；310、储料模块；311、储料仓；3111、料位检测器；312、加热器；313、料仓入料口；320、搅拌模块；321、搅拌驱动单元；322、搅拌轴；323、搅拌爪；324、螺旋搅拌棒；330、推送量具；331、量化通孔；332、量具连接端；340、量化腔；341、连接腔；342、盛料盘；343、排泄孔；350、螺旋绞龙轴；351、绞龙驱动单元；352、绞龙主体；353、绞龙壳体；354、导嘴管；360、分料轮盘；361、分料通孔；362、定位通孔；363、排泄凹槽；370、导嘴疏通组件；371、疏通顶针；372、偏心轮；380、供料升降装置；

400、基板治具。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

如图1至图7所示，基板治具400上能够放置待镀膜的基板。

本实施例提供了供料装置300，供料装置300包括储料模块310、搅拌模块320、螺旋绞龙轴350和量化腔340；储料模块310用于存储物料；搅拌模块320用于搅拌储料模块310内的物料；螺旋绞龙轴350用于排出物料，包括绞龙壳体353、连通于绞龙壳体353输出端的导嘴管354和穿设于绞龙壳体353的绞龙主体352，绞龙主体352能绕自身轴线旋转以带动物料，绞龙主体352同轴固接有偏心轮372，偏心轮372偏心转动连接有疏通顶针371，疏通顶针371穿设于导嘴管354；量化腔340同时与储料模块310的输出端和螺旋绞龙轴350的输入端相连通，量化腔340内活动设置有分料量具，且分料量具的外表面与量化腔340的内侧壁相匹配，分料量具能在量具收料状态与量具排料状态之间切换，分料量具贯通有传料通孔，当分料量具处于量具收料状态时，传料通孔的上开口与储料模块310的输出端相连通，当分料量具处于量具排料状态时，传料通孔的下开口与螺旋绞龙轴350的输入端相连通。

示例性地，疏通顶针371和偏心轮372被视作导嘴疏通组件370的一部分。

分料量具每次推送定量体积的物料，通过计算推送次数，来模拟推导加料量。本实施例中，物料为CsI(碘化铯)。由于CsI易潮解，储料模块310追加了加热及搅拌功能，以防止CsI粘结导致供料机构堵塞问题的发生。

该供料装置300通过在螺旋绞龙轴350中设置偏心的疏通顶针371的方式，完成了对导嘴管354的周期性疏通动作，利用分料量具与量化腔340的配合，达到了对螺旋绞龙轴350进行量化加料的目的，由此提高了加料的准确度和效率。以上设计实现了对物料供料量的准确量化，从而满足了对物料的精确供应，致使供料装置的自动化程度大幅提升，供料速度快且准确度高，而且还减少了操作人员的工作量。供料装置300实现了对物料的量化传送，同时还考虑到了对螺旋绞龙轴350的输出端的疏通需求。具体地，物料的量化重量为1克-100克。

如图1至图3所示，在本实施例的一种实施方式中，量化腔340为长方体腔，分料量具包括长方体的推送量具330，传料通孔包括量化通孔331，量化通孔331的长度方向垂直于推送量具330的长度方向；推送量具330能沿量化腔340的长度方向往复移动，以使推送量具330在量具收料状态与量具排料状态之间切换。该实施方式通过将推送量具330沿量化腔340的长度方向往复移动的方式，完成对推送量具330的状态切换，推送量具330的动作简单可靠，工作稳定性高且便于驱动，确保了物料的量化传送能够顺利地完成。

本实施例中，外部驱动单元的输出轴做往复伸缩运动，且外部驱动单元的输出轴与量具连接端332相固接。

如图4至图5所示，在本实施例的另一种实施方式中，量化腔340为圆柱形腔，分料量具包括圆柱形的分料轮盘360，传料通孔包括分料通孔361，分料通孔361沿分料轮盘360的轴线方向延伸；分料轮盘360能绕自身轴线旋转，以使分料轮盘360在量具收料状态与量具排料状态之间切换。该实施方式通过将分料轮盘360绕分料轮盘360的轴线旋转的方式，完成对分料轮盘360的状态切换，分料轮盘360的动作简单可靠，工作稳定性高且便于驱动，确保了物料的量化传送能够顺利地完成。

进一步地，分料通孔361设有多个，多个分料通孔361绕分料轮盘360的轴线周向分布。多个分料通孔361的设置提高了分料轮盘360向螺旋绞龙轴350供料的频率，降低了供料装置300对分料轮盘360转速的需求，有助于减少供料装置300的能耗，降低供料装置300运行的成本。

具体地，分料轮盘360的中部贯通有定位通孔362，用于驱动的分料轮盘360的驱动单元输出端穿接于定位通孔362。

示例性地，分料轮盘360的侧壁环设有排泄凹槽363；量化腔340的侧壁上开设有排泄孔343，排泄孔343连通排泄凹槽363和盛料盘342，盛料盘342用于收集从排泄凹槽363排出的物料。排泄凹槽363起到了收集位于量化腔340内壁与分料轮盘360外表面之间物料的作用，配合排泄凹槽363和盛料盘342的设置，能够将处于缝隙中的物料顺利地排泄，由此减少了物料堵塞量化腔340内缝隙的风险，规避了分料轮盘360无法转动的情况，减少了分料轮盘360损坏的风险，降低了供料装置300的维护频率，延长了供料装置300的使用寿命。

继续参考图1至图7，在本实施例中，量化腔340的输出端通过连接腔341与螺旋绞龙轴350的输入端相连通，连接腔341的容积大于或等于传料通孔的容积。连接腔341的设计实现了对物料的临时储存，避免了大量物料直接输入螺旋绞龙轴350后，导致绞龙主体352堵塞而无法正常排出的情况，以上设计减少了螺旋绞龙轴350损坏的风险，降低了供料装置300的维护频率，延长了供料装置300的使用寿命。

具体地，沿分料轮盘360的轴线自上而下的方向，排泄凹槽363逐渐收窄。排泄凹槽363逐渐收窄的设计对物料实现了向排泄孔343导流的效果，减少了物料在排泄凹槽363内长时间堆积的风险，提高了对物料进行排泄的效率。

示例性地，螺旋绞龙轴350还包括绞龙驱动单元351，绞龙驱动单元351的输出端与绞龙主体352的一端同轴固接，绞龙主体352的另一端与偏心轮372同轴固接。绞龙主体352与偏心轮372同轴驱动的设计优化了螺旋绞龙轴350的结构，减少了对驱动单元的需求，同时还使得绞龙主体352与疏通顶针371能够同步开始和结束动作。以上设计降低了螺旋绞龙轴350的控制难度，规避了因误操作而导致疏通顶针371无法顺利运行的情况，保障了疏通顶针371对导嘴管354的疏通效果，从而大幅减少了螺旋绞龙轴350堵塞的风险，降低了螺旋绞龙轴350的维护频率，延长了供料装置300的使用寿命。

在本实施例中，储料模块310包括用于容纳物料的储料仓311和用于加热储料仓311内物料的加热器312，加热器312盘绕于储料仓311的外侧壁，储料仓311的输入端开设有料仓入料口313。加热器312的设置达到了对物料的加热效果，从而满足了物料的使用需求，结合料仓入料口313与储料仓311的设置，能够完成对物料的储存和排出操作。储料模块310的结构简单可靠，占用空间小且工作稳定性高。

示例性地，储料仓311的外侧壁上设有若干用于检测储料仓311内物料高度的料位检测器3111。

进一步地，搅拌模块320包括搅拌轴322和用于驱动搅拌轴322的搅拌驱动单元321，搅拌轴322能够绕自身轴线旋转，搅拌轴322周向分布有若干搅拌爪323。通过将具有搅拌爪323的搅拌轴322绕搅拌轴322的轴线旋转的方式，能够完成对物料的搅拌操作，进而满足了物料的使用需求。搅拌模块320的结构简单可靠，占用空间小且工作稳定性高。具体地，搅拌轴322的侧壁上还盘绕有螺旋搅拌棒324。具体地，搅拌爪323周向分布于搅拌轴322的侧面。

具体地，供料装置300通过供料升降装置380活动安装于加料室120内，使供料装置300能够在加料室120内自由活动。

本实施例还提供了真空镀膜设备，包括加料室120、用于对基板治具400进行镀膜的镀膜室110以及上述的供料装置，加料室120选择性连通镀膜室110，供料装置设于加料室120内，供料装置能向镀膜室110内加料；加料室120与外部环境选择性连通，加料室120的顶部设有选择性开闭的补料口，加料室120的上方安装有补料组件，补料组件能从补料口向供料装置供料，加料室120上安装有加料门，加料门选择性开闭补料口。

该真空镀膜设备借助加料门的设计，限定了加料室与外部环境的连通方式，进而使得加料室的破真空情况直观可控，补料组件与补料口的设计，使得物料得以利用自重实现从补料组件到供料装置上的传递，结构简单且占用空间小，工作的稳定性能够保障。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.供料装置，其特征在于，包括：

储料模块(310)，用于存储物料；

搅拌模块(320)，用于搅拌所述储料模块(310)内的所述物料；

螺旋绞龙轴(350)，用于排出所述物料，包括绞龙壳体(353)、连通于所述绞龙壳体(353)输出端的导嘴管(354)和穿设于所述绞龙壳体(353)的绞龙主体(352)，所述绞龙主体(352)能绕自身轴线旋转以带动所述物料，所述绞龙主体(352)同轴固接有偏心轮(372)，所述偏心轮(372)偏心转动连接有疏通顶针(371)，所述疏通顶针(371)穿设于所述导嘴管(354)；

量化腔(340)，同时与所述储料模块(310)的输出端和所述螺旋绞龙轴(350)的输入端相连通，所述量化腔(340)内活动设置有分料量具，且所述分料量具的外表面与所述量化腔(340)的内侧壁相匹配，所述分料量具能在量具收料状态与量具排料状态之间切换，所述分料量具贯通有传料通孔，当所述分料量具处于所述量具收料状态时，所述传料通孔的上开口与所述储料模块(310)的输出端相连通，当所述分料量具处于所述量具排料状态时，所述传料通孔的下开口与所述螺旋绞龙轴(350)的输入端相连通。

2.根据权利要求1所述的供料装置，其特征在于，所述量化腔(340)为长方体腔，所述分料量具包括长方体的推送量具(330)，所述传料通孔包括量化通孔(331)，所述量化通孔(331)的长度方向垂直于所述推送量具(330)的长度方向；所述推送量具(330)能沿所述量化腔(340)的长度方向往复移动，以使所述推送量具(330)在所述量具收料状态与所述量具排料状态之间切换。

3.根据权利要求1所述的供料装置，其特征在于，所述量化腔(340)为圆柱形腔，所述分料量具包括圆柱形的分料轮盘(360)，所述传料通孔包括分料通孔(361)，所述分料通孔(361)沿所述分料轮盘(360)的轴线方向延伸；所述分料轮盘(360)能绕自身轴线旋转，以使所述分料轮盘(360)在所述量具收料状态与所述量具排料状态之间切换。

4.根据权利要求3所述的供料装置，其特征在于，所述分料通孔(361)设有多个，多个所述分料通孔(361)绕所述分料轮盘(360)的轴线周向分布。

5.根据权利要求3所述的供料装置，其特征在于，所述分料轮盘(360)的侧壁环设有排泄凹槽(363)；所述量化腔(340)的侧壁上开设有排泄孔(343)，所述排泄孔(343)连通所述排泄凹槽(363)和盛料盘(342)，所述盛料盘(342)用于收集从所述排泄凹槽(363)排出的所述物料。

6.根据权利要求1所述的供料装置，其特征在于，所述量化腔(340)的输出端通过连接腔(341)与所述螺旋绞龙轴(350)的输入端相连通，所述连接腔(341)的容积大于或等于所述传料通孔的容积。

7.根据权利要求1所述的供料装置，其特征在于，所述螺旋绞龙轴(350)还包括绞龙驱动单元(351)，所述绞龙驱动单元(351)的输出端与所述绞龙主体(352)的一端同轴固接，所述绞龙主体(352)的另一端与所述偏心轮(372)同轴固接。

8.根据权利要求1-7任一项所述的供料装置，其特征在于，所述储料模块(310)包括用于容纳所述物料的储料仓(311)和用于加热所述储料仓(311)内所述物料的加热器(312)，所述加热器(312)盘绕于所述储料仓(311)的外侧壁，所述储料仓(311)的输入端开设有料仓入料口(313)。

9.根据权利要求8所述的供料装置，其特征在于，所述搅拌模块(320)包括搅拌轴(322)和用于驱动所述搅拌轴(322)的搅拌驱动单元(321)，所述搅拌轴(322)能够绕自身轴线旋转，所述搅拌轴(322)周向分布有若干搅拌爪(323)。

10.真空镀膜设备，其特征在于，包括加料室(120)、用于对基板治具(400)进行镀膜的镀膜室(110)以及权利要求1-9任一项所述的供料装置，所述加料室(120)选择性连通所述镀膜室(110)，所述供料装置设于加料室(120)内，所述供料装置能向所述镀膜室(110)内加料；所述加料室(120)与外部环境选择性连通，所述加料室(120)的顶部设有选择性开闭的补料口，所述加料室(120)的上方安装有补料组件，所述补料组件能从所述补料口向所述供料装置供料，所述加料室(120)上安装有加料门，所述加料门选择性开闭所述补料口。