CN219880785U - 一种升降式超声波清洗设备 - Google Patents
一种升降式超声波清洗设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN219880785U CN219880785U CN202321314458.5U CN202321314458U CN219880785U CN 219880785 U CN219880785 U CN 219880785U CN 202321314458 U CN202321314458 U CN 202321314458U CN 219880785 U CN219880785 U CN 219880785U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- ultrasonic cleaning
- fixedly connected
- outside
- electric
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 54
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 45
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 claims description 6
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 39
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 39
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 39
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 16
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 35
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000007605 air drying Methods 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种升降式超声波清洗设备,包括超声波清洗设备本体,所述超声波清洗设备本体的外部设置有烘干结构,所述烘干结构的外部设置有限位环,所述限位环的外部固定连接有过滤篮;所述烘干结构包括电滑轨、电滑台、安装台、第一电动伸缩杆和第二电动伸缩杆。该升降式超声波清洗设备,通过设置电滑台在电滑轨的外部滑动,方便前后调节烘干风机对硅晶片烘干的位置,通过设置安装台和第一电动伸缩杆,方便上下调节烘干风机对硅晶片烘干的位置,通过设置第二电动伸缩杆,方便左右调节烘干风机对硅晶片烘干的位置,通过设置安装箱体、电热丝和烘干风机,方便可快速将硅晶片表面的水渍烘干,提高工作效率,省时省力,烘干效果好。
Description
技术领域
本实用新型涉及超声波清洗设备技术领域,具体为一种升降式超声波清洗设备。
背景技术
超声波清洗设备是一种工业机器设备,采用超声波清洗的原理,利用超声波在液体中的社会化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、超声波清洗间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的,超声波清洗设备的使用范围极广,在机械加工、半导体加工等领域都有应用,例如在集成电路的制造中,硅晶片在生产完成后,需要对其进行清洗,通常就会使用超声波清洗设备来清洗。
超声波清洗设备通常是先将硅晶片放置在过滤篮中,接着将装有硅晶片的过滤篮浸入超声波清洗设备内部清洗槽的水中进行超声波清洗,但现有的超声波清洗设备将硅晶片清洗完成后,硅晶片表面还残留有水渍,需要将硅晶片表面水渍清理干净,大多是将其进行自然晾干或者擦拭干净,进行自然晾干需要一定的晾干时间,降低工作效率,且晾干效果较差,擦拭干净需要耗费人力,效率也较低,故而提出一种升降式超声波清洗设备来解决上述问题。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种升降式超声波清洗设备,具备不需要进行自然晾干或者擦拭干净,可快速将硅晶片表面的水渍烘干,提高工作效率,省时省力,烘干效果好等优点,解决了现有的超声波清洗设备将硅晶片清洗完成后,硅晶片表面还残留有水渍,需要将硅晶片表面水渍清理干净,大多是将其进行自然晾干或者擦拭干净,进行自然晾干需要一定的晾干时间,降低工作效率,且晾干效果较差,擦拭干净需要耗费人力,效率也较低的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种升降式超声波清洗设备,包括超声波清洗设备本体,所述超声波清洗设备本体的外部设置有烘干结构,所述烘干结构的外部设置有限位环,所述限位环的外部固定连接有过滤篮;
所述烘干结构包括电滑轨、电滑台、安装台、第一电动伸缩杆、第二电动伸缩杆、第一电机、安装箱体、电热丝、烘干风机、固定条、第二电机、螺纹杆、活动块和放置杆,所述电滑轨固定连接在超声波清洗设备本体的外部,所述电滑轨的外部活动连接有电滑台,所述电滑台的外部固定连接有安装台,所述安装台的外部固定连接有第一电动伸缩杆,所述第一电动伸缩杆的外部固定连接有第二电动伸缩杆,所述第二电动伸缩杆的外部固定连接有第一电机,所述第一电机的输出轴处固定连接有安装箱体,所述安装箱体的内部固定连接有电热丝,所述安装箱体的内部固定连接有烘干风机,所述超声波清洗设备本体的内部固定连接有固定条,所述固定条的外部固定连接有第二电机,所述第二电机的输出轴处固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的外部活动连接有活动块,所述活动块的外部固定连接有放置杆。
进一步,所述电滑轨的左侧与超声波清洗设备本体底部的右侧固定连接,所述电滑台左侧的内部与电滑轨右侧的外部滑动连接,所述安装台的左侧与电滑台的右侧固定连接,所述超声波清洗设备本体由清洗箱体、排液管、超声波发生器和超声波换能器组成。
进一步,所述第一电动伸缩杆的底部与安装台右侧的顶部固定连接,所述第二电动伸缩杆的底部与第一电动伸缩杆的顶部固定连接,所述第一电机底部的右侧与第二电动伸缩杆的左侧固定连接。
进一步,所述安装箱体的右侧与第一电机的左侧输出轴处固定连接,所述安装箱体的顶部内侧和底部内侧均固定连接有过滤网,所述电热丝的外部与安装箱体靠顶部的内侧固定连接。
进一步,所述烘干风机的外部与安装箱体靠底部的内侧固定连接,所述固定条底部的外侧与超声波清洗设备本体左侧的内部固定连接。
进一步,所述第二电机的底部与固定条的顶部固定连接,所述螺纹杆的顶部与第二电机的底部输出轴处固定连接,所述活动块的内部螺纹连接在螺纹杆的外部。
进一步,所述放置杆的左侧与活动块的右侧固定连接,所述限位环的数量为两个,两个所述限位环分别套接在放置杆的外部,两个所述限位环的底部分别与过滤篮的顶部固定连接。
与现有技术相比,本申请的技术方案具备以下有益效果:
该升降式超声波清洗设备,通过设置电滑台在电滑轨的外部滑动,方便前后调节烘干风机对硅晶片烘干的位置,通过设置安装台和第一电动伸缩杆,方便上下调节烘干风机对硅晶片烘干的位置,通过设置第二电动伸缩杆,方便左右调节烘干风机对硅晶片烘干的位置,通过设置第一电机,方便转动调节烘干风机对硅晶片烘干的位置,通过设置安装箱体、电热丝和烘干风机,方便可快速将硅晶片表面的水渍烘干,提高工作效率,省时省力,烘干效果好,通过设置固定条、第二电机、螺纹杆、活动块和放置杆,方便上下调节过滤篮及其内部硅晶片的位置。
附图说明
图1为本实用新型正面结构示意图;
图2为本实用新型正面剖视结构示意图;
图3为本实用新型俯视结构示意图;
图4为本实用新型局部侧面结构示意图。
图中:1、超声波清洗设备本体;2、烘干结构;3、限位环;4、过滤篮;201、电滑轨;202、电滑台;203、安装台;204、第一电动伸缩杆;205、第二电动伸缩杆;206、第一电机;207、安装箱体;208、电热丝;209、烘干风机;210、固定条;211、第二电机;212、螺纹杆;213、活动块;214、放置杆。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
参照图1-4,为本实用新型公开的一种升降式超声波清洗设备,包括超声波清洗设备本体1,超声波清洗设备本体1由清洗箱体、排液管、超声波发生器和超声波换能器组成,超声波清洗设备本体1的外部设置有烘干结构2,烘干结构2的外部设置有限位环3,限位环3的外部固定连接有过滤篮4,通过设置过滤篮4,方便放置硅晶片;
烘干结构2包括电滑轨201、电滑台202、安装台203、第一电动伸缩杆204、第二电动伸缩杆205、第一电机206、安装箱体207、电热丝208、烘干风机209、固定条210、第二电机211、螺纹杆212、活动块213和放置杆214,电滑轨201固定连接在超声波清洗设备本体1的外部,电滑轨201的外部活动连接有电滑台202,通过设置电滑台202在电滑轨201的外部滑动,方便前后调节烘干风机209对硅晶片烘干的位置,电滑台202的外部固定连接有安装台203,安装台203的外部固定连接有第一电动伸缩杆204,通过设置安装台203和第一电动伸缩杆204,方便上下调节烘干风机209对硅晶片烘干的位置,第一电动伸缩杆204的外部固定连接有第二电动伸缩杆205,通过设置第二电动伸缩杆205,方便左右调节烘干风机209对硅晶片烘干的位置,第二电动伸缩杆205的外部固定连接有第一电机206,通过设置第一电机206,方便转动调节烘干风机209对硅晶片烘干的位置,第一电机206的输出轴处固定连接有安装箱体207,安装箱体207的内部固定连接有电热丝208,安装箱体207的内部固定连接有烘干风机209,通过设置安装箱体207、电热丝208和烘干风机209,方便可快速将硅晶片表面的水渍烘干,提高工作效率,省时省力,烘干效果好,超声波清洗设备本体1的内部固定连接有固定条210,固定条210的外部固定连接有第二电机211,第二电机211的输出轴处固定连接有螺纹杆212,螺纹杆212的外部活动连接有活动块213,活动块213的外部固定连接有放置杆214,通过设置固定条210、第二电机211、螺纹杆212、活动块213和放置杆214,方便上下调节过滤篮4及其内部硅晶片的位置。
在图2中,在安装的时候,第二电机211的底部固定安装在固定条210的顶部,螺纹杆212的顶部固定安装在第二电机211的底部输出轴处,且螺纹杆212的外部转动安装在固定条210的内部,在安装的时候,活动块213的内部螺纹安装在螺纹杆212的外部,且活动块213左侧的外部滑动安装在固定条210右侧的内部。
在图2、图3和图4中,在安装的时候,放置杆214的左侧固定安装在活动块213的右侧,放置杆214左右两侧的内部分别开设有两个限位槽,限位环3的数量为两个,在安装的时候,两个限位环3的内部分别套接在放置杆214的左右两侧,且两个限位环3分别位于两个限位槽的内部,两个限位环3的底部分别固定安装在过滤篮4左右两侧的顶部。
本实施例的实施原理为:首先将硅晶片放置在过滤篮4的内部,接着将过滤篮4顶部安装的限位环3套接在放置杆214的外部,然后启动第二电机211,第二电机211驱动螺纹杆212进行转动,转动的螺纹杆212使得活动块213在其外部向下运动,从而带动过滤篮4向下运动,使得过滤篮4及其内部硅晶片浸入超声波清洗设备本体1内部的水中,接着启动超声波清洗设备本体1进行超声波清洗,再接着清洗完成后,启动第二电机211,第二电机211驱动活动块213向上运动,从而带动过滤篮4及其内部硅晶片向上运动,调节到合适的位置,通过过滤篮4自身的特性沥干硅晶片上的水渍,最后启动电热丝208和烘干风机209,电热丝208将周围空气加热成为热空气,烘干风机209将热空气吹向硅晶片进行烘干,同时通过电滑台202在电滑轨201的外部滑动,前后调节烘干风机209对硅晶片合适的烘干位置,通过第一电动伸缩杆204伸缩,上下调节烘干风机209对硅晶片合适的烘干位置,通过第二电动伸缩杆205,左右调节烘干风机209对硅晶片合适的烘干位置,通过第一电机206驱动安装箱体207转动,方便转动调节烘干风机209对硅晶片合适的烘干位置,解决了现有的超声波清洗设备将硅晶片清洗完成后,硅晶片表面还残留有水渍,需要将硅晶片表面水渍清理干净,大多是将其进行自然晾干或者擦拭干净,进行自然晾干需要一定的晾干时间,降低工作效率,且晾干效果较差,擦拭干净需要耗费人力,效率也较低的问题。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种升降式超声波清洗设备,包括超声波清洗设备本体(1),其特征在于:所述超声波清洗设备本体(1)的外部设置有烘干结构(2),所述烘干结构(2)的外部设置有限位环(3),所述限位环(3)的外部固定连接有过滤篮(4);
所述烘干结构(2)包括电滑轨(201)、电滑台(202)、安装台(203)、第一电动伸缩杆(204)、第二电动伸缩杆(205)、第一电机(206)、安装箱体(207)、电热丝(208)、烘干风机(209)、固定条(210)、第二电机(211)、螺纹杆(212)、活动块(213)和放置杆(214),所述电滑轨(201)固定连接在超声波清洗设备本体(1)的外部,所述电滑轨(201)的外部活动连接有电滑台(202),所述电滑台(202)的外部固定连接有安装台(203),所述安装台(203)的外部固定连接有第一电动伸缩杆(204),所述第一电动伸缩杆(204)的外部固定连接有第二电动伸缩杆(205),所述第二电动伸缩杆(205)的外部固定连接有第一电机(206),所述第一电机(206)的输出轴处固定连接有安装箱体(207),所述安装箱体(207)的内部固定连接有电热丝(208),所述安装箱体(207)的内部固定连接有烘干风机(209),所述超声波清洗设备本体(1)的内部固定连接有固定条(210),所述固定条(210)的外部固定连接有第二电机(211),所述第二电机(211)的输出轴处固定连接有螺纹杆(212),所述螺纹杆(212)的外部活动连接有活动块(213),所述活动块(213)的外部固定连接有放置杆(214)。
2.根据权利要求1所述的一种升降式超声波清洗设备,其特征在于:所述电滑轨(201)的左侧与超声波清洗设备本体(1)底部的右侧固定连接,所述电滑台(202)左侧的内部与电滑轨(201)右侧的外部滑动连接,所述安装台(203)的左侧与电滑台(202)的右侧固定连接,所述超声波清洗设备本体(1)由清洗箱体、排液管、超声波发生器和超声波换能器组成。
3.根据权利要求1所述的一种升降式超声波清洗设备,其特征在于:所述第一电动伸缩杆(204)的底部与安装台(203)右侧的顶部固定连接,所述第二电动伸缩杆(205)的底部与第一电动伸缩杆(204)的顶部固定连接,所述第一电机(206)底部的右侧与第二电动伸缩杆(205)的左侧固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种升降式超声波清洗设备,其特征在于:所述安装箱体(207)的右侧与第一电机(206)的左侧输出轴处固定连接,所述安装箱体(207)的顶部内侧和底部内侧均固定连接有过滤网,所述电热丝(208)的外部与安装箱体(207)靠顶部的内侧固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种升降式超声波清洗设备,其特征在于:所述烘干风机(209)的外部与安装箱体(207)靠底部的内侧固定连接,所述固定条(210)底部的外侧与超声波清洗设备本体(1)左侧的内部固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种升降式超声波清洗设备,其特征在于:所述第二电机(211)的底部与固定条(210)的顶部固定连接,所述螺纹杆(212)的顶部与第二电机(211)的底部输出轴处固定连接,所述活动块(213)的内部螺纹连接在螺纹杆(212)的外部。
7.根据权利要求1所述的一种升降式超声波清洗设备,其特征在于:所述放置杆(214)的左侧与活动块(213)的右侧固定连接,所述限位环(3)的数量为两个,两个所述限位环(3)分别套接在放置杆(214)的外部,两个所述限位环(3)的底部分别与过滤篮(4)的顶部固定连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202321314458.5U CN219880785U (zh) | 2023-05-29 | 2023-05-29 | 一种升降式超声波清洗设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202321314458.5U CN219880785U (zh) | 2023-05-29 | 2023-05-29 | 一种升降式超声波清洗设备 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN219880785U true CN219880785U (zh) | 2023-10-24 |
Family
ID=88398650
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202321314458.5U Active CN219880785U (zh) | 2023-05-29 | 2023-05-29 | 一种升降式超声波清洗设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN219880785U (zh) |
-
2023
- 2023-05-29 CN CN202321314458.5U patent/CN219880785U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN206046627U (zh) | 一种玻璃清洗生产线 | |
CN204448701U (zh) | 一种超声波眼镜自动清洗干燥装置 | |
CN205762686U (zh) | 一种齿轮超声波清洗装置 | |
CN208712352U (zh) | 一种传动式履带清洗装置 | |
CN111254451A (zh) | 一种电机转子硅钢片酸洗装置 | |
CN219880785U (zh) | 一种升降式超声波清洗设备 | |
CN211587742U (zh) | 一种晶圆加工用湿法清洗设备 | |
CN112246736A (zh) | 一种带有过滤机构的均热板蚀刻清洗装置 | |
CN107650147A (zh) | 一种机械臂清洗装置 | |
CN206604894U (zh) | 圆线在线清洁机 | |
CN106392079A (zh) | 全自动粉末冶金非金属过滤装置及其过滤方法 | |
CN109433727A (zh) | 一种新型晶片自动清洗机 | |
CN111084224B (zh) | 一种鸡脖加工用解冻清洗装置 | |
CN108532979B (zh) | 一种建筑玻璃幕墙设备 | |
CN109499984B (zh) | 一种集成电路通用制造装置 | |
CN206659739U (zh) | 生活坐凳擦玻璃两用装置 | |
CN111070083A (zh) | 抛光垫清洗装置 | |
CN220426128U (zh) | 单晶圆清洗机 | |
CN216054593U (zh) | 一种集成电路晶圆再生制程的处理装置 | |
CN216262768U (zh) | 一种自动化铝管清洗装置 | |
CN218591264U (zh) | 一种节能洗水槽设备 | |
CN220450306U (zh) | 一种万向节加工设备 | |
CN211263085U (zh) | 一种珠芽黄魔芋黏度的测量装置 | |
CN220092452U (zh) | 一种硅材料表面处理机构 | |
CN218360991U (zh) | 一种生产加工用清洗装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |