CN219869143U - 一种支撑桨及热炉结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种支撑桨及热炉结构，该支撑桨包括桨本体和移动支撑件，支撑桨包括桨本体和移动支撑件，移动支撑件设置于桨本体上，且移动支撑件用于将桨本体撑于炉体的支撑机构上。桨本体上设有支撑部，支撑部用于支撑载具。当支撑桨进入炉体内部后，桨本体的一端可以由炉门上桨头支撑架支撑，另一端的移动支撑件用于将桨本体支撑于炉体的支撑机构上，这就使得整个支撑桨被支撑在炉体内部，相比于本申请中支撑桨进入热炉后一端出于悬臂状态的技术方案，该支撑桨能够实现两头支撑，解决了支撑桨在载具以及片材的重力作用下变形量过大的问题。

Description

一种支撑桨及热炉结构

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种支撑桨及热炉结构。

背景技术

半导体及光伏行业通常用碳化硅材质的支撑桨将硅片的载具及批量的硅片搬运至加热炉体中进行扩散或者镀膜。现有的支撑桨包含单桨以及双桨，无论是单桨还是双桨的固定方式均为悬臂形式(单头固定)，即支撑桨进入炉体后，远离搬舟机构的一侧悬空设置，在受产品及载具重力作用下，悬臂桨的非固定端会下垂，下垂量大小直接影响载具及硅片产品进出加热炉体的顺畅度以及整体的产能排布，下垂量过大时甚至会导致支撑桨断裂。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种支撑桨，该支撑桨在进入炉体后两端均能够存在支撑，解决了支撑桨在载具以及片材的重力作用下变形量过大的问题，使得片材的搬运更加稳定，有利于提升热炉产能。

本实用新型的第二个目的在于提出一种热炉结构，该热炉结构的片材搬运较为稳定，支撑桨的可靠性较高，产能较大。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开了一种支撑桨，包括桨本体；移动支撑件，所述移动支撑件设置于所述桨本体上，且所述移动支撑件用于将所述桨本体支撑于炉体的支撑机构上；支撑部，所述支撑部设置于所述桨本体上，且用于支撑载具。

在一些实施例中，所述移动支撑件包括移动部，所述移动部用于与所述炉体的支撑机构配合。

在一些实施例中，所述移动支撑件包括：第一安装轴，所述第一安装轴连接于所述桨本体；第一转动件，所述第一转动件可转动地连接于所述第一安装轴。

在一些具体的实施例中，所述第一转动件为两个，且分别可转动地连接于所述第一安装轴的两端。

在一些更具体的实施例中，所述移动支撑件还包括第一锁定件，所述第一锁定件穿设于所述第一安装轴且止抵于所述第一转动件的端面。

在一些具体的实施例中，所述移动支撑件包括移动件，所述移动件可拆卸的与所述桨本体的一端连接。

在一些更具体的实施例中，所述移动件插接于所述桨本体的一端，所述移动支撑件包括：第二锁定件，所述第二锁定件穿设于所述桨本体及所述移动件，以使以将所述移动件固定于所述桨本体。

在一些可选的实施例中，所述移动支撑件包括：第二安装轴，所述第二安装轴连接于所述移动件；第二转动件，所述第二转动件可转动地连接于所述第二安装轴。

在一些可选的实施例中，所述移动支撑件还包括：第三锁定件，所述第三锁定件穿设于所述第二安装轴且止抵于所述第二转动件的端面。

在一些实施例中，所述支撑部沿所述桨本体的长度方向间隔设置。

在一些更具体的实施例中，所述桨本体上还设有限位件，所述载具沿所述桨本体长度方向的两端止抵于所述限位件上。

本实用新型还公开了一种热炉结构，包括前文所述的支撑桨和炉体，所述炉体内具有沿其轴向延伸设置的支撑机构，所述支撑桨的所述桨本体能够相对炉体内部的支撑机构滑动，且所述桨本体上与所述载具止抵的部分能够抵接于所述支撑机构。

本实用新型的支撑桨的有益效果：在实际工作过程中，将装载有片材的载具安放到支撑部上后，采用推舟机构或者操作人员手动推动桨本体相对炉体内部的支撑机构滑动，当支撑桨进入炉体内部后，桨本体的一端可以由炉门上桨头支撑架支撑，另一端的移动支撑件用于将桨本体支撑于炉体的支撑机构上，这就使得整个支撑桨被支撑在炉体内部，相比于本申请中支撑桨进入热炉后一端出于悬臂状态的技术方案，本实施例的支撑桨能够实现两头支撑，解决了支撑桨在载具以及片材的重力作用下变形量过大的问题，使得片材的搬运更加稳定，有利于提升热炉产能。

本实用新型的热炉结构的有益效果，由于具有前文所述的支撑桨，该热炉结构的片材搬运较为稳定，支撑桨的可靠性较高，产能较大。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的支撑桨的结构示意图；

图2是图1圈示A处的放大示意图；

图3是本实用新型实施例的支撑桨的分解结构示意图。

图4是图2圈示B处的放大示意图；

图5是图2圈示C处的放大示意图；

图6是本实用新型实施例一移动支撑件与支撑机构的配合结构示意图；

图7是本实用新型的实施例二的移动支撑件与支撑机构的配合结构示意图；

图8是本实用新型实施例三的移动支撑件的支撑机构的配合结构示意图；附图标记：

100、桨本体；110、支撑部；120、限位件；

200、移动支撑件；210、第一安装轴；220、第一转动件；230、第一锁定件；240、移动件；250、第二安装轴；260、第二转动件；270、第三锁定件；280、第二锁定件；

300、炉体；310、支撑机构；

400、载具。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图1-图8描述本实用新型实施例的支撑桨的具体结构。

本实用新型公开了一种支撑桨，如图1所示，支撑桨包括桨本体100和移动支撑件200，移动支撑件200设置于桨本体100上，且移动支撑件200用于将桨本体100支撑在炉体300的支撑机构310上。桨本体100上设有支撑部110，支撑部110用于支撑载具400。其中该载具400可以装载片材、棒材等，例如硅片、晶圆、电池片、晶棒等。可以理解的是，在实际工作过程中，将载具400安放到支撑部110上后，采用推舟机构或者操作人员手动推动桨本体100相对炉体300内部的支撑机构310滑动，当支撑桨进入炉体300内部后，桨本体100的一端能够与炉门上的桨头支撑架支撑，另一端通过移动支撑件200用于将桨本体100支撑在炉体300内的支撑机构310上，这就使得整个支撑桨被支撑在炉体300内，相比于现有技术中支撑桨进入热炉后一端处于悬臂状态的技术方案，本实施例的支撑桨能够实现两头支撑，解决了支撑桨在载具400以及片材的重力作用下变形量过大的问题，使得片材的搬运更加稳定，有利于提升热炉产能。

优选的，桨本体100的桨头端(即远离炉体300的一端)固定在推舟机构的桨头固定架，从而使得推舟机构能够推动桨本体100进入炉体300。

在一些实施例中，移动支撑件200为多个，可以理解的是，移动支撑件200为多个，一方面当一个移动支撑件200损坏后，不至于整个支撑桨报废，可以用其他的移动支撑件200继续满足使用需求，从而达到提高桨寿命的目的，另一方面，多个转动支撑轴同时使用减轻支撑桨负担达到延长支撑桨寿命的目的，满足行业大产能的需求。

在一些实施例中，如图5所示，移动支撑件200包括第一安装轴210和第一转动件220，第一安装轴210连接于桨本体100，第一转动件220可转动地连接于第一安装轴210，且第一转动件220止抵于支撑机构310。由此，能够确保第一转动件220顺畅地转动，从而方便了推动桨本体100。这里需要说明的是，在本实用新型的实施例中，第一安装轴210与桨本体100可以是一体成型，也可以是通过螺钉等连接件连接于桨本体100，还可以是通过卡扣卡接在桨本体100上，还可以是直接粘接在桨本体100上，第一安装轴210与桨本体100的连接方式可以根据实际需要选择。

在一些具体的实施例中，如图5所示，第一转动件220为两个，且分别连接于第一安装轴210的两端，炉体300内设有两个支撑机构310，每个第一转动件220止抵于一个支撑机构310。可以理解的是，炉体300内设有两个支撑机构310，桨本体100在运动过程中位于两个支撑机构310之间，一方面避免了桨本体100发生歪斜，另一方面每个第一转动件220止抵于一个支撑机构310，方便了推动桨本体100。

在一些具体的实施例中，第一转动件220可以是一个、两个或多个，设置于第一安装轴210的中部位置，桨本体100上设有与该第一转动件220对应的槽以用于容纳第一转动件220，第一转动件220在该槽内相对于第一安装轴210可转动。将第一转动件220设置于第一安装轴210的中部位置，利用了桨本体100的空间，整体减小了整个支撑桨的大小，且减轻了支撑桨的重量，同时第一转动件220设置于第一安装轴210的中部位置能够更好地承载来自载具400的压力，进而使得支撑将在炉体300内移动过程中更加稳定。

在一些更具体的实施例中，如图5所示，移动支撑件200还包括第一锁定件230，第一锁定件230穿设于第一安装轴210且止抵于第一转动件220的端面。可以理解的是，第一转动件220与第一安装轴210间隙配合，能够确保第一转动件220顺畅地转动，而增设的第一锁定件230能够避免第一转动件220沿第一安装轴210的轴向发生窜动，从而确保了第一转动件220能够止抵于支撑机构310上。

可选的，第一锁定件230为固定销，第一转动件220为碳化硅球轴承。

在一些实施例中，如图5所示，移动支撑件200包括移动件240，移动件240可拆卸的与桨本体100的一端连接。可以理解的是，增加了一个移动件240，可提高承载能力与运输稳定性；在支撑桨放入到炉体300时，移动件240与桨本体100可拆卸连接，可以便于更换，不需要更换整个桨本体100，侧面提升了桨本体100的寿命。

在一些具体的实施例中，如图5所示，移动支撑件200还包括第二锁定件280，第二锁定件280穿设于桨本体100及移动件240，以将移动件240固定于桨本体100。由此，能够确保移动件240被固定于桨本体100上，避免在桨本体100的运动过程中出现移动支撑件200脱离的现象发生。

在一些具体的实施例中，如图5所示，移动支撑件200包括第二安装轴250和第二转动件260，移动件240插接于桨本体100的一端，第二安装轴250连接于移动件240，第二转动件260可转动地连接于第二安装轴250，且第二转动件260止抵于支撑机构310。由此，如果第二转动件260或者第二安装轴250出现问题，直接将移动件240从桨本体100上拔出更换即可，操作非常方便，从而方便了移动支撑件200的检修以及更换。

在一些更具体的实施例中，如图5所示，第二转动件260为两个，且分别连接于第二安装轴250的两端，炉体300内设有两个支撑机构310，每个第二转动件260止抵于一个支撑机构310。可以理解的是，炉体300内设有两个支撑机构310，桨本体100在运动过程中位于两个支撑机构310之间，一方面避免了桨本体100发生歪斜，另一方面每个第二转动件260止抵于一个支撑机构310，方便了推动桨本体100。

一些具体的实施例中，第二转动件260可以是一个、两个或多个，设置于第二安装轴250的中部位置，移动件240上设有与该第二转动件260对应的槽，以用于容纳第二转动件260，第二转动件260在该槽内相对于第二安装轴250可转动。将第二转动件260设置于第二安装轴250的中部位置，利用了移动件240的空间，整体减小了整个支撑桨的大小，且减轻了支撑桨的重量，第二转动件260设置于第二安装轴250的中部位置能够更好地承载来自载具400的压力，进而使得支撑桨在炉体300内移动过程中更加稳定。

在一些更具体的实施例中，如图5所示，移动支撑件200还包括第三锁定件270，第三锁定件270穿设于第二安装轴250且止抵于第二转动件260的端面。可以理解的是，第二转动件260与第二安装轴250间隙配合，能够确保第二转动件260顺畅的转动，而增设的第三锁定件270能够避免第二转动件260沿第二安装轴250的轴向发生窜动，从而确保了第二转动件260能够止抵于支撑机构310上。

可选的，第三锁定件270为固定销，第二转动件260为碳化硅球轴承。

在一些实施例中，如图3所示，支撑部110为多个，多个支撑部110沿桨本体100的长度方向间隔设置。可以理解的是，支撑部110为多个，能够提升与载具400的接触面积，从而较好地实现对载具400的支撑

在一些更具体的实施例中，支撑部110成对设置且为多对，成对设置的支撑部110分别连接于桨本体100相对设置的两侧，可以理解的是，支撑部110成对，能够进一步提升与载具400的接触面积，从而较好地实现对载具400的支撑。这里需要说明的是，支撑部110可以是与桨本体100一体成型的，也可以是通过螺钉等连接件连接于桨本体100，还可以是通过卡扣卡接在桨本体100上，支撑部110与桨本体100的连接方式可以根据实际需要选择。

在一些实施例中，如图2及图4所示，桨本体100上还设有限位件120，载具400沿桨本体100长度方向的两端止抵于限位件120上。可以理解的是，限位件120能够沿桨本体100长度方向的两端限制载具400，避免在桨本体100运动过程中载具400沿桨本体100的长度方向出现窜动，确保了载具400在桨本体100上的安装稳定性。

可选的，限位件120通过销钉可拆卸地连接在桨本体100上。由此，方便限位件120的安装和拆卸。当然，在本实用新型的其他实施例中，限位件120也可以直接粘接在桨本体100上。

在一些实施例中，移动支撑件200包括移动部，移动部用于与炉体300的支撑机构310配合。由此，移动部能够使得支撑桨在炉体300内移动过程中更加稳定。

在一些具体的实施例中，如图7所示，移动部包括滑块，炉体300内部的支撑机构310形成为与滑块配合的滑轨。可以理解的是，根据前文所述，将装载有片材的载具400安放到支撑部110上后，采用推舟机构或者操作人员手动推动桨本体100相对炉体300内部的支撑机构310滑动，将移动部设置为滑块，炉体300内部的支撑机构310形成为滑轨，在实际推动桨本体100运动时，移动部相对炉体300内部的支撑机构310滑动，降低了桨本体100与支撑机构310之间的摩擦，方便了推动桨本体100。移动部还能够将桨本体100与炉体300的内壁分隔开来，从而避免桨本体100和炉体300的内壁之间发生不必要的磨损。

在一些具体的实施例中，如图8所示，移动部包括沿炉体300的轴向延伸设置的导轨，炉体300内部的支撑机构310形成为与导轨配合的滚轮。可以理解的是，根据前文所述，将装载有片材的载具400安放到支撑部110上后，采用推舟机构或者操作人员手动推动桨本体100进入炉体300，将移动部设置为导轨，炉体300内部的支撑机构310形成为滚轮，降低了桨本体100与支撑机构310之间的摩擦，方便了推动桨本体100。

实施例一：

如图1-图6所示，本实施例的支撑桨包括桨本体100和移动支撑件200，支撑部110成对设置且为三对，成对设置的支撑部110分别连接于桨本体100相对设置的两侧，三对支撑部110沿桨本体100的长度方向间隔设置。支撑部110上还设有限位件120，载具400沿桨本体100长度方向的两端止抵于限位件120上。限位件120通过销钉可拆卸地连接在支撑部110上。移动支撑件200为三个，其中两个移动支撑件200的结构相同，且包括第一安装轴210、两个第一转动件220和第一锁定件230，第一安装轴210与桨本体100一体成型，第一转动件220可转动地连接于第一安装轴210的两个端部，且每个第一转动件220止抵于一条支撑机构310。第一锁定件230穿设于第一安装轴210且止抵于第一转动件220的端面。剩余一个移动支撑件200包括移动支撑件200包括移动件240、第二安装轴250、两个第二转动件260、第三锁定件270以及第二锁定件280。第三锁定件270穿设于第二安装250且止抵于第二转动件260的端面。第二锁定件280穿设于桨本体100及移动件240，以将移动件240固定于桨本体100。

实施例二：

如图7所示，本实施例的移动支撑件200包括滑块，炉体300内部的支撑机构310形成为与滑块配合的滑轨。

实施例三：

如图8所示，本实施例的移动支撑件200包括沿炉体300的轴向延伸设置的导轨，炉体300内部的支撑机构310形成为与导轨配合的滚轮

上述支撑桨的优点如下：

第一：采用双头支撑代替现有技术中的悬臂结构，解决支撑桨负重后的末端下垂的问题，增加桨的使用寿命，利于增加产能；

第二：增设的支撑部110增加了支撑桨与载具400的接触面积大，使得片材运输更加平稳；

第三：增设的限位件120，能够让载具400保持在固有位置，有助于载具400后期的搬运。

本实用新型还公开了一种热炉结构，包括前文的支撑桨和炉体300，炉体300内具有沿其轴向延伸设置的支撑机构310，支撑机构310为间隔设置的两个，支撑桨的桨本体100能够相对炉体300内部的支撑机构310滑动，且桨本体100上与载具400止抵的部分能够抵接于支撑机构310。

本实用新型的热炉结构，由于具有前文所述的支撑桨，该热炉结构的片材搬运较为稳定，支撑桨的可靠性较高，产能较大。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (12)

1.一种支撑桨，其特征在于，包括桨本体(100)；

移动支撑件(200)，所述移动支撑件(200)设置于所述桨本体(100)上，且所述移动支撑件(200)用于所述桨本体(100)支撑于炉体(300)的支撑机构(310)上；

支撑部(110)，所述支撑部(110)设置于所述桨本体(100)上，且用于支撑载具(400)。

2.根据权利要求1所述的支撑桨，其特征在于，所述移动支撑件(200)包括：移动部，所述移动部用于与所述炉体(300)的支撑机构(310)配合。

3.根据权利要求1所述的支撑桨，其特征在于，所述移动支撑件(200)包括：

第一安装轴(210)，所述第一安装轴(210)连接于所述桨本体(100)；

第一转动件(220)，所述第一转动件(220)可转动地连接于所述第一安装轴(210)。

4.根据权利要求3所述的支撑桨，其特征在于，所述第一转动件(220)为两个，且分别可转动地连接于所述第一安装轴(210)的两端。

5.根据权利要求4所述的支撑桨，其特征在于，所述移动支撑件(200)还包括第一锁定件(230)，所述第一锁定件(230)穿设于所述第一安装轴(210)且止抵于所述第一转动件(220)的端面。

6.根据权利要求3所述的支撑桨，其特征在于，所述移动支撑件(200)包括移动件(240)，所述移动件(240)可拆卸的与所述桨本体(100)的一端连接。

7.根据权利要求6所述的支撑桨，其特征在于，所述移动件(240)插接于所述桨本体(100)的一端，所述移动支撑件(200)包括：

第二锁定件(280)，所述第二锁定件(280)穿设于所述桨本体(100)及所述移动件(240)，以使以将所述移动件(240)固定于所述桨本体(100)。

8.根据权利要求7所述的支撑桨，其特征在于，所述移动支撑件(200)包括：

第二安装轴(250)，所述第二安装轴(250)连接于所述移动件(240)；

第二转动件(260)，所述第二转动件(260)可转动地连接于所述第二安装轴(250)。

9.根据权利要求8所述的支撑桨，其特征在于，所述移动支撑件(200)还包括：

第三锁定件(270)，所述第三锁定件(270)穿设于所述第二安装轴(250)且止抵于所述第二转动件(260)的端面。

10.根据权利要求1所述的支撑桨，其特征在于，所述支撑部(110)为多个，且多个所述支撑部(110)沿所述桨本体(100)的长度方向间隔设置。

11.根据权利要求1所述的支撑桨，其特征在于，所述桨本体(100)上还设有限位件(120)，所述载具(400)沿所述桨本体(100)长度方向的两端止抵于所述限位件(120)上。

12.一种热炉结构，其特征在于，包括如权利要求1-11中任一项所述的支撑桨和炉体(300)，所述炉体(300)内具有沿其轴向延伸设置的支撑机构(310)，所述支撑桨的所述桨本体(100)能够相对所述炉体(300)内部的支撑机构(310)滑动，且所述桨本体(100)上与所述载具(400)止抵的部分能够抵接于所述支撑机构(310)。