CN219752470U - 水平电镀槽及水平电镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种水平电镀槽，并公开了具有水平电镀槽的水平电镀装置，其中水平电镀槽包括槽体、上阳极件、下阳极件、承载组件及压紧组件，上阳极件和下阳极件设于槽体内，承载组件包括承载件和第一柔性件，承载件设于槽体内，并位于上阳极件和下阳极件之间，第一柔性件设于承载件，压紧组件包括压紧件和第二柔性件，压紧件设于承载件，第二柔性件设于压紧件，并与第一柔性件沿上下方向相对设置，第一柔性件和第二柔性件分别能够与待镀工件的相对的两侧抵接，使得待镀工件与第一柔性件与第二柔性件之间的接触为柔性接触，以减少第一柔性件和第二柔性件挤压待镀工件碎裂的情况发生，能够避免待镀工件发生碎片。

Description

水平电镀槽及水平电镀装置

技术领域

本实用新型涉及电镀技术领域，特别涉及一种水平电镀槽及水平电镀装置。

背景技术

在太阳能电池和半导体行业中硅片被广泛应用，而硅片的电镀处理尤为重要。为了提高硅片的生产效率，一般通过水平电镀的方式对硅片进行电镀。电镀时，硅片作为待镀工件，水平电镀槽的导电辊与硅片的接触为刚性接触，在电镀过程中，导电辊易挤压硅片，导致硅片碎片。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种水平电镀槽，能够避免待镀工件发生碎片。

本实用新型还提出一种具有上述水平电镀槽的水平电镀装置。

根据本实用新型的第一方面实施例的水平电镀槽，包括槽体、上阳极件、下阳极件、承载组件及压紧组件，所述上阳极件和所述下阳极件均设于所述槽体内，所述下阳极件与所述上阳极件沿上下方向相对设置，所述承载组件包括承载件和第一柔性件，所述承载件设于所述槽体内，并位于所述上阳极件和所述下阳极件之间，所述第一柔性件设于所述承载件，所述压紧组件包括压紧件和第二柔性件，所述压紧件设于所述承载件，所述第二柔性件设于所述压紧件，并与所述第一柔性件沿上下方向相对设置，所述第一柔性件和所述第二柔性件分别能够与待镀工件的相对的两侧抵接。

根据本实用新型的第一方面实施例的水平电镀槽，至少具有如下有益效果：

电镀时，先将待镀工件放置在承载件上，并通过第一柔性件支撑待镀工件的下表面，再将压紧件放置在承载件上，并通过第二柔性件抵压待镀工件的上表面，第一柔性件和第二柔性件能够导电，以在待镀工件的上表面和下表面导电，待镀工件与第一柔性件与第二柔性件之间的接触为柔性接触，以减少第一柔性件和第二柔性件挤压待镀工件碎裂的情况发生，能够避免待镀工件发生碎片。

根据本实用新型的一些实施例,所述第一柔性件远离所述承载件的一端设有第一抵接点，所述第一抵接点用于与所述待镀工件表面抵接。

根据本实用新型的一些实施例,所述第二柔性件远离所述压紧件的一端设有第二抵接点，所述第二抵接点用于与所述待镀工件的表面抵接。

根据本实用新型的一些实施例,其特征在于，所述第一柔性件的轴线与所述第二柔性件的轴线位于同一直线上。

根据本实用新型的一些实施例,所述承载件设有用于容置待镀工件的容纳槽，所述第一柔性件设于所述容纳槽的底部。

根据本实用新型的一些实施例,所述容纳槽配置有多个，多个所述容纳槽阵列间隔设置。

根据本实用新型的一些实施例,所述容纳槽的底壁设有多个贯穿所述承载件的通孔。

根据本实用新型的一些实施例,所述压紧件与所述承载件之间设有定位结构，所述定位结构用于定位所述压紧件。

根据本实用新型的一些实施例,所述定位结构包括设于所述承载件的定位销和设于所述压紧件的定位孔，所述定位销容置于所述定位孔。

根据本实用新型的一些实施例,所述第一柔性件与所述承载件可拆卸连接，和/或，所述第二柔性件与所述压紧件可拆卸连接。

根据本实用新型的第二方面实施例的水平电镀装置，包括以上实施例所述的水平电镀槽。

根据本实用新型的第二方面实施例的水平电镀装置，至少具有如下有益效果：

电镀时，先将待镀工件放置在承载件上，并通过第一柔性件支撑待镀工件的下表面，再将压紧件放置在承载件上，并通过第二柔性件抵压待镀工件的上表面，第一柔性件和第二柔性件能够导电，以在待镀工件的上表面和下表面导电，待镀工件与第一柔性件与第二柔性件之间的接触为柔性接触，以减少第一柔性件和第二柔性件挤压待镀工件碎裂的情况发生，能够避免待镀工件发生碎片。

根据本实用新型的一些实施例,还包括传送机构，所述承载组件还包括第一连接件和第二连接件，所述第二连接件的一测与所述承载件连接，所述第二连接件的相对的另一侧与所述第一连接件连接，所述第一连接件用于与传送机构连接。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本实用新型实施例的水平电镀槽的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的水平电镀槽的俯视图；

图3为图1中A部分的局部放大图；

图4为图3中B部分的局部放大图。

附图标记：

槽体100、上阳极件200、下阳极件300、承载组件400、承载件410、容纳槽411、通孔412、定位销413、第一柔性件420、第一抵接点421、第一连接件430、第二连接件440、压紧组件500、压紧件510、定位孔511、第二柔性件520、第二抵接点521、传送机构600、待镀工件700。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

参照图1、图2，根据本实用新型第一方面实施例的水平电镀槽，包括槽体100、上阳极件200、下阳极件300、承载组件400及压紧组件500，上阳极件200和下阳极件300设于槽体100内，承载组件400包括承载件410和第一柔性件420，承载件410设于槽体100内，并位于上阳极件200和下阳极件300之间，第一柔性件420设于承载件410，压紧组件500包括压紧件510和第二柔性件520，压紧件510设于承载件410，第二柔性件520设于压紧件510，并与第一柔性件420沿上下方向相对设置，第一柔性件420和第二柔性件520分别能够与待镀工件700的相对的两侧抵接，如此，通过设置第一柔性件420和第二柔性件520，使得待镀工件700与第一柔性件420与第二柔性件520之间的接触为柔性接触，以减少第一柔性件420和第二柔性件520挤压待镀工件700碎裂的情况发生，能够避免待镀工件700发生碎片。

具体地，电镀时，先将待镀工件700放置在承载件410上，并通过第一柔性件420支撑待镀工件700的下表面，再将压紧件510放置在承载件410上，并通过第二柔性件520抵压待镀工件700的上表面，第一柔性件420和第二柔性件520能够导电，以在待镀工件700的上表面和下表面导电，待镀工件700与第一柔性件420与第二柔性件520之间的接触为柔性接触，以减少第一柔性件420和第二柔性件520挤压待镀工件700碎裂的情况发生，能够避免待镀工件700发生碎片。

可以理解的是，压紧件510位于承载件410的上方，第一柔性件420朝向压紧件510，第二柔性件520朝向承载件410，使得第一柔性件420能够支撑待镀工件700的下表面，第二柔性件520能够抵压待镀工件700的上表面，从而限制待镀工件700沿竖直方向移动，能够保证待镀工件700的电镀质量。当然，在一些具体实施方式中，还可以是压紧件510位于承载件410的下方，第二柔性件520支撑待镀工件700的下表面，第一柔性件420抵压待镀工件700的上表面即可，在此不做详述。

需要说明的是，该待镀工件700可以为硅片等片状产品，在此不作限制。

需要指出的是，第一柔性件420可以为石墨等能够导电的软质碳纤维材质，也可以为金属纤维材料；第二柔性件520可以为石墨等能够导电的软质碳纤维材质，也可以为金属纤维材料，在此不作限制。

需要指出的是，上阳极件200和下阳极件300均为板状结构，上阳极件200和下阳极件300均沿水平方向设置，且上阳极件200和下阳极件300平行设置，能够提高待镀工件700的电镀质量。

参照图3、图4，在本实用新型的一些实施例中，第一柔性件420远离承载件410的一端设有第一抵接点421，第一抵接点421用于与待镀工件700表面抵接，能够减少第一柔性件420与待镀工件700的接触面积，从而提高待镀工件700的电镀一致性。

具体地，第一柔性件420的一端可以为锥状结构，锥状结构的锥点为第一抵接点421，第一抵接点421与待镀工件700的下表面抵接，能够减少第一柔性件420与待镀工件700的接触面积，从而提高待镀工件700的电镀一致性。

需要说明的是，第一抵接件的一端可以为球状结构，第一抵接点421可以为球状结构的球面的切点，在此不作限制。

在本实用新型的一些实施例中，第二柔性件520设有第二抵接点521，第二抵接点521用于与待镀工件700的表面抵接，能够减少第二柔性件520与待镀工件700的接触面积，从而提高待镀工件700的电镀一致性。

具体地，第二柔性件520的一端可以为锥状结构，锥状结构的锥点为第二抵接点521，第二抵接点521与待镀工件700的上表面抵接，能够减少第二柔性件520与待镀工件700的接触面积，从而提高待镀工件700的电镀一致性。

需要说明的是，第二抵接件的一端可以为球状结构，第二抵接点521可以为球状结构的球面的切点，在此不作限制。

在本实用新型的一些实施例中，第一柔性件420的轴线与第二柔性件520的轴线位于同一直线上，使得第一柔性件420与第二柔性件520对待镀工件700的作用力能够相互抵消，以避免待镀工件700的碎裂的情况发生。

具体地，第一柔性件420和第二柔性件520均沿竖直方向设置，第一柔性件420和第二柔性件520在水平方向的投影重合，使得第一柔性件420与第二柔性件520对待镀工件700的作用力能够相互抵消，以避免待镀工件700的碎裂的情况发生。

当然，在一些具体实施方式中，第一柔性件420和第二柔性件520在水平方向的投影也可以错开，在此不作限制。

在本实用新型的一些实施例中，承载件410设有用于容置待镀工件700的容纳槽411，第一柔性件420设于容纳槽411的底部，能够对待镀工件700进行周向定位，以便于对待镀工件700进行定位。

具体地，待镀工件700容置在容纳槽411内，能够对待镀工件700进行周向定位，以待镀工件700沿水平方向移动，能够对待镀工件700进行定位。

需要说明的是，容纳槽411的侧壁的边角处设有避让槽，以避让待镀工件700的边角，能够避免待镀工件700的边角被磕碰的情况发生。

在本实用新型的一些实施例中，容纳槽411配置有多个，多个容纳槽411阵列间隔设置，使得承载组件400能够一次承载多个待镀工件700，并同时对多个待镀工件700进行电镀，能够提高水平电镀槽的电镀效率。

具体地，多个容纳槽411第一方向和第二方向阵列并排间隔设置，第一方向与第二方向垂直设置，使得承载组件400能够一次承载多个待镀工件700，并同时对多个待镀工件700进行电镀，能够提高水平电镀槽的电镀效率。

在本实用新型的一些实施例中，容纳槽411的底壁设有通孔412，使得槽体100内的电镀液能够通过通孔412进入容纳槽411内，方便电镀液的流动，以便于在待镀工件700上电镀。

在本实用新型的一些实施例中，压紧件510与承载件410之间设有定位结构，定位结构用于定位压紧件510，便于装配压紧件510。

在本实用新型的一些实施例中，定位结构包括设于承载件410的定位销413和设于压紧件510的定位孔511，定位销413容置于定位孔511，便于装配压紧件510。

具体地，定位销413配置有四个，四个定位销413分别设置在承载件410的边角处，定位孔511对应配置有四个，定位销413容置在对应的定位孔511内，并与对应的定位孔511的侧壁连接，能够对压紧件510进行周向定位，从而限制压紧件510沿水平方向移动，能够便于装配压紧件510。

需要说明的是，定位销413和定位孔511的位置还可以互换，即定位销413设于压紧件510，定位孔511设于承载件410，在此不作限制。

需要指出的是，定位结构还可以是定位凸起与定位孔511配合的结构，定位凸起设于承载件410，定位孔511设于压紧件510，定位凸起容置在定位孔511内，亦能够对压紧件510进行周向定位，在此不作限制。

可以理解的是，定位销413远离承载件410的一端设于导向部，导向部可以为斜面结构或者弧面结构，能够方便定位销413插入定位孔511内，在此不作限制。

在本实用新型的一些实施例中，第一柔性件420与承载件410可拆卸连接，第二柔性件520与压紧件510可拆卸连接，当第一柔性件420或第二柔性件520损坏时，能够单独更换第一柔性件420或第二柔性件520，而无需整体更换承载组件400或压紧组件500，能够降低水平电镀槽的维修成本。

具体地，第一柔性件420可以通过螺纹连接或者螺母与螺栓配合的结构可拆卸地安装在承载件410上，第二柔性件520可以通过螺纹连接或者螺母与螺栓配合的结构可拆卸地安装在压紧件510上，能够便于更换第一柔性件420或第二柔性件520，以降低水平电镀槽的维修成本。

参照图1、图2，根据本实用新型第二方面实施例的水平电镀装置，包括本实用新型第一方面实施例的水平电镀槽，如此，通过设置第一柔性件420和第二柔性件520，使得待镀工件700与第一柔性件420与第二柔性件520之间的接触为柔性接触，以减少第一柔性件420和第二柔性件520挤压待镀工件700碎裂的情况发生，能够避免待镀工件700发生碎片。

具体地，电镀时，先将待镀工件700放置在承载件410上，并通过第一柔性件420支撑待镀工件700的下表面，再将压紧件510放置在承载件410上，并通过第二柔性件520抵压待镀工件700的上表面，第一柔性件420和第二柔性件520能够导电，以在待镀工件700的上表面和下表面导电，待镀工件700与第一柔性件420与第二柔性件520之间的接触为柔性接触，以减少第一柔性件420和第二柔性件520挤压待镀工件700碎裂的情况发生，能够避免待镀工件700发生碎片。

在本实用新型的一些实施例中，还包括传送机构600，承载组件400还包括第一连接件430和第二连接件440，第二连接件440的一测与承载件410连接，第二连接件440的相对的另一侧与第一连接件430连接，第一连接件430用于与传送机构600连接，以自动输送承载组件400，方便待镀工件700在槽体100内的不同位置进行电镀。

具体地，第二连接件440位于上阳极件200与槽体100的侧壁之间，传送机构600能够通过带动第一连接件430移动驱动待镀承载件410移动，使得承载件410能够自动移动，方便待镀工件700在槽体100内的不同位置进行电镀。

需要指出的是，传送机构600配置有两个，两个传送机构600分别设置在槽体100的相对的两侧，第一连接件430和第二连接件440也分别对应配置有两个，两个第二连接件440相对设置，两个第一连接件430分别与对应的传送机构600连接，能够提高待镀工件700的输送稳定性。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

上面结合附图对本实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本宗旨的前提下作出各种变化。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (12)

1.一种水平电镀槽,其特征在于，包括：

槽体(100)；

上阳极件(200)，设于所述槽体(100)内；

下阳极件(300)，设于所述槽体(100)内，所述下阳极件(300)与所述上阳极件(200)沿上下方向相对设置；

承载组件(400)，包括承载件(410)和第一柔性件(420)，所述承载件(410)设于所述槽体(100)内，并位于所述上阳极件(200)和所述下阳极件(300)之间，所述第一柔性件(420)设于所述承载件(410)；

压紧组件(500)，包括压紧件(510)和第二柔性件(520)，所述压紧件(510)设于所述承载件(410)，所述第二柔性件(520)设于所述压紧件(510)，并与所述第一柔性件(420)沿上下方向相对设置，所述第一柔性件(420)和所述第二柔性件(520)分别能够与待镀工件(700)的相对的两侧抵接。

2.根据权利要求1所述的水平电镀槽，其特征在于，所述第一柔性件(420)远离所述承载件(410)的一端设有第一抵接点(421)，所述第一抵接点(421)用于与所述待镀工件(700)表面抵接。

3.根据权利要求1所述的水平电镀槽，其特征在于，所述第二柔性件(520)远离所述压紧件(510)的一端设有第二抵接点(521)，所述第二抵接点(521)用于与所述待镀工件(700)的表面抵接。

4.根据权利要求1所述的水平电镀槽，其特征在于，所述第一柔性件(420)的轴线与所述第二柔性件(520)的轴线位于同一直线上。

5.根据权利要求1所述的水平电镀槽，其特征在于，所述承载件(410)设有用于容置待镀工件(700)的容纳槽(411)，所述第一柔性件(420)设于所述容纳槽(411)的底部。

6.根据权利要求5所述的水平电镀槽，其特征在于，所述容纳槽(411)配置有多个，多个所述容纳槽(411)阵列间隔设置。

7.根据权利要求5所述的水平电镀槽，其特征在于，所述容纳槽(411)的底壁设有多个贯穿所述承载件(410)的通孔(412)。

8.根据权利要求1所述的水平电镀槽，其特征在于，所述压紧件(510)与所述承载件(410)之间设有定位结构，所述定位结构用于定位所述压紧件(510)。

9.根据权利要求8所述的水平电镀槽，其特征在于，所述定位结构包括设于所述承载件(410)的定位销(413)和设于所述压紧件(510)的定位孔(511)，所述定位销(413)容置于所述定位孔(511)。

10.根据权利要求1所述的水平电镀槽，其特征在于，所述第一柔性件(420)与所述承载件(410)可拆卸连接，和/或，所述第二柔性件(520)与所述压紧件(510)可拆卸连接。

11.一种水平电镀装置，其特征在于，包括如权利要求1至10任一项所述的水平电镀槽。

12.根据权利要求11所述的水平电镀装置，其特征在于，还包括传送机构(600)，所述承载组件(400)还包括第一连接件(430)和第二连接件(440)，所述第二连接件(440)的一测与所述承载件(410)连接，所述第二连接件(440)的相对的另一侧与所述第一连接件(430)连接，所述第一连接件(430)用于与传送机构(600)连接。