CN219861682U - 一种单晶炉、加热器和脚板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种脚板，用于单晶炉的加热器，包括：连接部和脚部；所述连接部的第一端用于连接所述加热器，所述连接部的第二端连接于所述脚部的第一端；所述脚部的上表面具有坡面，且所述坡面的方向为所述脚部的第一端高于所述脚部的第二端。本方案将脚板设计为坡面，同时将电极孔的位置加高，做成井口式，防止硅液流入。本实用新型还公开了一种应用上述脚板的加热器和单晶炉。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域，特别涉及一种单晶炉、加热器和脚板。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
拉晶过程中受人为操作及原辅材的质量影响，会出现石英坩埚漏硅事故，漏硅后硅液从坩埚沿着热场内石墨件流流在加热器脚板上，冷却后，造成加热器脚板、电极螺栓、石墨电极粘死，最后只能通过将脚板及石墨电极打碎才可拆卸。
现有加热器脚板上表面均为平面，当硅液流在上面，硅液会无阻碍的流入石墨电极与脚板连接处，冷却后造成其粘死。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型提供了一种脚板，将脚板设计为坡面，同时将电极孔的位置加高，做成井口式，防止硅液流入。
本实用新型还提供了一种应用上述脚板的加热器。
本实用新型还提供了一种应用上述加热器的单晶炉。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种脚板，用于单晶炉的加热器，包括：连接部和脚部；
所述连接部的第一端用于连接所述加热器，所述连接部的第二端连接于所述脚部的第一端；
所述脚部的上表面具有坡面，且所述坡面的方向为所述脚部的第一端高于所述脚部的第二端。
优选的，所述坡面的起点为所述脚部的第一端。
优选的，所述坡面的终点为所述脚部的第二端。
优选的，所述坡面由所述脚部的第一端延伸至所述脚部的第二端。
优选的，所述脚部的上表面位于同一平面，与所述连接部之间呈95°-105°的夹角。
优选的，所述脚部开设有电极孔，且所述电极孔的上端凸出于所述脚部的上表面形成阻挡部。
优选的，所述阻挡部为与所述电极孔同轴的圆环结构。
优选的，所述阻挡部的顶面为平面，垂直于所述连接部。
一种加热器，包括如上述的脚板。
一种单晶炉，包括如上述的加热器。
从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供的脚板，将脚板设计为坡面，同时将电极孔的位置加高，做成井口式，防止硅液流入。本实用新型还提供了一种应用上述脚板的加热器和单晶炉。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例提供的脚板的立体结构示意图；
图2为本实用新型实施例提供的脚板的侧视结构示意图。
其中，10为连接部，20为脚部，21为坡面，22为电极孔，23为阻挡部。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型实施例提供的脚板，用于单晶炉的加热器，包括：连接部10和脚部20，其结构可以参照图1和图2所示；
其中，连接部10的第一端用于连接加热器，如图中的上端所示，开设有连接孔；连接部10的第二端(图中的下端)连接于脚部20的第一端，构成L形的结构；
脚部20的上表面具有坡面21，且该坡面21方向为脚部20的第一端高于脚部20的第二端。可以理解的是，脚部20的第二端远离其第一端。
从上述的技术方案可以看出，本实用新型实施例提供的脚板，将其脚部20的上表面设计为坡面21，当硅液流在上面时，则硅液会顺着坡面21及时流走，避免冷却后造成粘死的情况。
作为优选，坡面21的起点为脚部20的第一端。即脚部20的第一端具有上述的坡面21结构，避免硅液积聚于连接部10和脚部20的连接处。
进一步的，坡面21的终点为脚部20的第二端。即脚部20的第二端具有上述的坡面21结构，以便于硅液流至边缘落下。
具体的，坡面21由脚部20的第一端延伸至脚部20的第二端。即脚部20的整个上表面具有上述的坡面21结构，最大程度避免硅液积聚，避免冷却后造成粘死的情况。
在本实施例中，脚部20的上表面位于同一平面，与连接部10之间呈95°-105°的夹角，即与水平面之间夹角5°-15°向下倾斜，更优选为7°-12°，这里具体为8°，其结构可以参照图2所示，便于加工得到和形成前述的完整坡面21。可以理解的是，连接部10沿竖直方向安装。
作为优选，脚部20开设有电极孔22，且该电极孔22的上端凸出于脚部20的上表面形成阻挡部23，其结构可以参照图1和图2所示的井口形式。当硅液流在上面时，则硅液会顺着坡面21及时流走，避免冷却后造成粘死的情况。电极孔22在脚部20居中开设，可便于硅液在其阻挡部23周围流走。
进一步的，阻挡部23为与电极孔22同轴的圆环结构，其结构可以参照图1和图2所示，与现有的电极孔22圆形结构相匹配，同时圆环结构的阻挡部23便于硅液沿其流动，不存在死角。
具体的，阻挡部23的顶面为平面，垂直于连接部10，即为沿水平方向，其结构可以参照图1所示。
本实用新型实施例还提供了一种加热器，包括如上述的脚板。多个该脚板可拆卸安装于加热器本体，且沿周向均匀排布。
本实用新型实施例还提供了一种单晶炉，包括如上述的的加热器。
综上所述，本实用新型实施例公开了一种单晶炉、加热器和脚板，将脚板设计为坡面，同时将电极孔的位置加高，防止硅液流入。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (10)
1.一种脚板，用于单晶炉的加热器，其特征在于，包括：连接部(10)和脚部(20)；
所述连接部(10)的第一端用于连接所述加热器，所述连接部(10)的第二端连接于所述脚部(20)的第一端；
所述脚部(20)的上表面具有坡面(21)，且所述坡面(21)的方向为所述脚部(20)的第一端高于所述脚部(20)的第二端。
2.根据权利要求1所述的脚板，其特征在于，所述坡面(21)的起点为所述脚部(20)的第一端。
3.根据权利要求1所述的脚板，其特征在于，所述坡面(21)的终点为所述脚部(20)的第二端。
4.根据权利要求1所述的脚板，其特征在于，所述坡面(21)由所述脚部(20)的第一端延伸至所述脚部(20)的第二端。
5.根据权利要求1所述的脚板，其特征在于，所述脚部(20)的上表面位于同一平面，与所述连接部(10)之间呈95°-105°的夹角。
6.根据权利要求1所述的脚板，其特征在于，所述脚部(20)开设有电极孔(22)，且所述电极孔(22)的上端凸出于所述脚部(20)的上表面形成阻挡部(23)。
7.根据权利要求6所述的脚板，其特征在于，所述阻挡部(23)为与所述电极孔(22)同轴的圆环结构。
8.根据权利要求6所述的脚板，其特征在于，所述阻挡部(23)的顶面为平面，垂直于所述连接部(10)。
9.一种加热器，其特征在于，包括如权利要求1-8任意一项所述的脚板。
10.一种单晶炉，其特征在于，包括如权利要求9所述的加热器。
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