CN219785762U - 一种硅片酸洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片酸洗装置，包括安装板，所述安装板顶部的后侧通过螺栓连接有驱动机构，所述驱动机构的底部通过螺栓连接有清洗篮，所述安装板的顶部通过螺栓连接有清洗箱，所述清洗箱内腔的左右两侧均焊接有隔板，左右两个隔板之间通过螺栓连接有冲洗管，冲洗管的后侧连通有冲洗机构，清洗箱的右侧和前后两侧的右侧均通过螺栓贯穿连接有安装壳，安装壳的内腔通过螺栓连接有加热器，安装壳远离清洗箱的一侧通过螺栓贯穿连接有吹风机。本实用新型通过冲洗管、驱动机构、清洗箱、抽水泵、蓄水箱和连接水管的配合使用，具备快速冲洗的优点，能够对硅片表面残留的酸洗液进行快速冲洗，更加有利于后续加工。

Description

一种硅片酸洗装置

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗生产技术领域，具体为一种硅片酸洗装置。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种，化学清洗是为了除去原子、离子不可见的污染，有溶剂萃取、酸洗和等离子体法等方法。

专利申请公布号CN216174622U的实用新型专利公开了一种硅片制备旋转式酸洗装置，并排设置有多个工位，工位包括盛装箱、部件箱和管道箱，盛装箱的下侧设置有部件箱，盛装箱和部件箱通过分隔板相互分隔，盛装箱和部件箱的一侧设置有管道箱，支撑杆的中部固定连接有第一喷头，第二导管的另一端与第二喷头的一端相连通，分隔板的中部设置有支撑筒，支撑筒的下端固定连接有从动齿轮，部件箱的内部一侧设置有驱动电机，驱动电机的驱动轴端部固定连接有主动齿轮，主动齿轮与从动齿轮相互啮合，转动并推动支撑杆，对第一喷头的角度和位置进行调整，通过多工位的设置，使得装置在同一时间对不同规格、数量众多的硅片进行酸洗，从而极大地提高了工作效率。

但是上述装置在实际使用时仍旧存在一些缺点，较为明显的就是不具备冲洗功能，硅片酸洗完成后表面会残留有酸洗液，由于污染物混合在酸洗液中，因此硅片表面也会附着有污染物，无法快速把硅片表面酸洗液清除会对后续加工产生影响，而且无法对硅片表面进行快速烘干，导致表面的液体滴落污染工作台。

因此，发明一种硅片酸洗装置来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片酸洗装置，具备冲洗功能，能够对表面残留的酸洗液快速清除，提高后续加工质量，具备快速烘干功能，防止液体滴落的优点，解决了无法快速对硅片表面进行冲洗，影响后续加工质量，无法快速对硅片进行烘干，导致液体滴落污染工作台的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片酸洗装置，包括安装板，所述安装板顶部的后侧通过螺栓连接有驱动机构，所述驱动机构的底部通过螺栓连接有清洗篮，所述安装板的顶部通过螺栓连接有清洗箱，所述清洗箱内腔的左右两侧均焊接有隔板，左右两个隔板之间通过螺栓连接有冲洗管，所述冲洗管的后侧连通有冲洗机构，所述清洗箱的右侧和前后两侧的右侧均通过螺栓贯穿连接有安装壳，所述安装壳的内腔通过螺栓连接有加热器，所述安装壳远离清洗箱的一侧通过螺栓贯穿连接有吹风机，所述清洗箱内腔后侧的左侧通过螺栓连接有超声波清洗器。

采用上述结构设计，通过冲洗管、驱动机构、清洗箱、抽水泵、蓄水箱和连接水管的配合使用，能够对硅片表面残留的酸洗液进行快速冲洗，同时配合吹风机和加热器的使用，能够对硅片表面的冲洗水进行快速烘干。

优选的，所述安装板底部的四角均焊接有支撑柱，左右两个支撑柱之间的底部焊接有加强板，加强板的顶部放置有集水箱，所述清洗箱底部的右侧连通有排水管，所述排水管的底部贯穿至安装板的底部。

采用上述结构设计，通过设置集水箱，能完成对冲洗液的收集。

优选的，所述清洗箱的左侧连通有注液斗，所述安装板顶部的右侧通过螺栓连接有垫块，所述清洗箱内腔的左侧通过螺栓连接有挡水板。

优选的，所述驱动机构包括固定架，所述固定架的顶部开设有滑动开口，所述固定架顶部的前侧通过螺栓连接有导向滑杆，所述固定架顶部后侧的右侧通过螺栓连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有驱动丝杆，所述驱动丝杆和导向滑杆的表面活动套设有滑动横板，所述滑动横板的顶部通过螺栓贯穿连接有电动推杆，所述电动推杆的底部贯穿滑动开口并与清洗篮固定连接。

优选的，所述驱动丝杆的表面与固定架通过轴承活动连接，所述驱动丝杆的表面与滑动横板螺纹连接。

优选的，所述冲洗机构包括蓄水箱，所述蓄水箱的后侧连通有抽水泵，所述抽水泵的出水端连通有连接水管，所述连接水管远离抽水泵的一侧依次贯穿驱动机构和清洗箱并与冲洗管连通，所述蓄水箱顶部的前侧连通有加水斗。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过冲洗管、驱动机构、清洗箱、抽水泵、蓄水箱和连接水管的配合使用，具备快速冲洗的优点，能够对硅片表面残留的酸洗液进行快速冲洗，更加有利于后续加工。

2、本实用新型通过清洗篮、安装壳、吹风机和加热器的配合使用，具备快速烘干的优点，能够对硅片表面的冲洗水进行快速烘干，避免冲洗水滴落到工作台上。

附图说明

图1为本实用新型结构的轴测图；

图2为本实用新型清洗箱的剖视轴测图；

图3为本实用新型驱动机构的俯视轴测图；

图4为本实用新型局部结构的后视轴测图。

图中：1、安装板；2、注液斗；3、清洗篮；4、冲洗管；5、驱动机构；6、安装壳；7、垫块；8、冲洗机构；9、吹风机；10、集水箱；11、清洗箱；12、挡水板；13、超声波清洗器；14、隔板；15、加热器；16、排水管；17、导向滑杆；18、电动推杆；19、滑动横板；20、驱动丝杆；21、滑动开口；22、固定架；23、驱动电机；24、抽水泵；25、蓄水箱；26、加水斗；27、连接水管。

具体实施方式

请参阅图1-图4，一种硅片酸洗装置，包括安装板1，安装板1顶部的后侧通过螺栓连接有驱动机构5，驱动机构5的底部通过螺栓连接有清洗篮3，安装板1的顶部通过螺栓连接有清洗箱11，清洗箱11内腔的左右两侧均焊接有隔板14，左右两个隔板14之间通过螺栓连接有冲洗管4，冲洗管4的后侧连通有冲洗机构8，清洗箱11的右侧和前后两侧的右侧均通过螺栓贯穿连接有安装壳6，安装壳6的内腔通过螺栓连接有加热器15，安装壳6远离清洗箱11的一侧通过螺栓贯穿连接有吹风机9，清洗箱11内腔后侧的左侧通过螺栓连接有超声波清洗器13。

安装板1底部的四角均焊接有支撑柱，左右两个支撑柱之间的底部焊接有加强板，加强板的顶部放置有集水箱10，清洗箱11底部的右侧连通有排水管16，排水管16的底部贯穿至安装板1的底部，通过设置集水箱10，具备收集冲洗液的功能，解决了无法对冲洗液进行收集的问题。

清洗箱11的左侧连通有注液斗2，安装板1顶部的右侧通过螺栓连接有垫块7，清洗箱11内腔的左侧通过螺栓连接有挡水板12，通过设置注液斗2，具备加注酸洗液的功能，解决了无法往清洗箱11内加注酸洗液的问题。

驱动机构5包括固定架22，固定架22的顶部开设有滑动开口21，固定架22顶部的前侧通过螺栓连接有导向滑杆17，固定架22顶部后侧的右侧通过螺栓连接有驱动电机23，驱动电机23的输出端固定连接有驱动丝杆20，驱动丝杆20和导向滑杆17的表面活动套设有滑动横板19，滑动横板19的顶部通过螺栓贯穿连接有电动推杆18，电动推杆18的底部贯穿滑动开口21并与清洗篮3固定连接，通过设置导向滑杆17，具备支撑导向的功能，解决了滑动横板19移动过程中不平稳的问题。

驱动丝杆20的表面与固定架22通过轴承活动连接，驱动丝杆20的表面与滑动横板19螺纹连接。

冲洗机构8包括蓄水箱25，蓄水箱25的后侧连通有抽水泵24，抽水泵24的出水端连通有连接水管27，连接水管27远离抽水泵24的一侧依次贯穿驱动机构5和清洗箱11并与冲洗管4连通，蓄水箱25顶部的前侧连通有加水斗26，通过设置排水管16，具备导流的功能，解决了清洗箱11内的冲洗液无法排出的问题。

使用时，把本装置外接电源和控制器，控制电动推杆18工作带动清洗篮3上升，然后再控制驱动电机23工作带动驱动丝杆20反转，反转的驱动丝杆20使表面螺纹连接的滑动横板19向右移动，当移动至最右侧后，控制电动推杆18伸出推动清洗篮3下移，然后把需要酸洗的硅片放置在清洗篮3内，放置完成后，控制清洗篮3升起，然后驱动电机23带动驱动丝杆20正转使滑动横板19移动至最右侧，然后电动推杆18推动清洗篮3内的硅片下移进入清洗箱11的内部，使酸洗液漫过硅片，然后控制超声波清洗器13工作对硅片表面进行超声波清洗，清洗完成后，清洗篮3升起向右移动至清洗箱11的中间位置，然后推动清洗篮3向下移动再次进入清洗箱11内，此时控制抽水泵24工作把蓄水箱25内的冲洗液抽出通过连接水管27输送到冲洗管4内，通过冲洗管4表面的喷头喷向清洗篮3内的硅片，对硅片表面残留的酸洗液进行冲洗，冲洗完成后，控制清洗篮3再次升起，然后向右移动至清洗箱11内部的右侧，此时控制前后两侧和右侧的加热器15和吹风机9工作，吹风机9把加热器15加热的高温空气吹向冲洗后的硅片，对硅片表面进行快速烘干，烘干后控制清洗篮3升起移动最右侧，然后取出硅片即可，能够对表面残留的酸洗液快速清除，提高后续加工质量，具备快速烘干功能，防止液体滴落。

综上所述：该硅片酸洗装置，通过冲洗管4、驱动机构5、清洗箱11、抽水泵24、蓄水箱25、连接水管27、清洗篮3、安装壳6、吹风机9和加热器15的配合使用，解决了无法快速对硅片表面进行冲洗，影响后续加工质量，无法快速对硅片进行烘干，导致液体滴落污染工作台的问题。

Claims (6)

1.一种硅片酸洗装置，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)顶部的后侧通过螺栓连接有驱动机构(5)，所述驱动机构(5)的底部通过螺栓连接有清洗篮(3)，所述安装板(1)的顶部通过螺栓连接有清洗箱(11)，所述清洗箱(11)内腔的左右两侧均焊接有隔板(14)，左右两个隔板(14)之间通过螺栓连接有冲洗管(4)，所述冲洗管(4)的后侧连通有冲洗机构(8)，所述清洗箱(11)的右侧和前后两侧的右侧均通过螺栓贯穿连接有安装壳(6)，所述安装壳(6)的内腔通过螺栓连接有加热器(15)，所述安装壳(6)远离清洗箱(11)的一侧通过螺栓贯穿连接有吹风机(9)，所述清洗箱(11)内腔后侧的左侧通过螺栓连接有超声波清洗器(13)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片酸洗装置，其特征在于：所述安装板(1)底部的四角均焊接有支撑柱，左右两个支撑柱之间的底部焊接有加强板，加强板的顶部放置有集水箱(10)，所述清洗箱(11)底部的右侧连通有排水管(16)，所述排水管(16)的底部贯穿至安装板(1)的底部。

3.根据权利要求1所述的一种硅片酸洗装置，其特征在于：所述清洗箱(11)的左侧连通有注液斗(2)，所述安装板(1)顶部的右侧通过螺栓连接有垫块(7)，所述清洗箱(11)内腔的左侧通过螺栓连接有挡水板(12)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片酸洗装置，其特征在于：所述驱动机构(5)包括固定架(22)，所述固定架(22)的顶部开设有滑动开口(21)，所述固定架(22)顶部的前侧通过螺栓连接有导向滑杆(17)，所述固定架(22)顶部后侧的右侧通过螺栓连接有驱动电机(23)，所述驱动电机(23)的输出端固定连接有驱动丝杆(20)，所述驱动丝杆(20)和导向滑杆(17)的表面活动套设有滑动横板(19)，所述滑动横板(19)的顶部通过螺栓贯穿连接有电动推杆(18)，所述电动推杆(18)的底部贯穿滑动开口(21)并与清洗篮(3)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种硅片酸洗装置，其特征在于：所述驱动丝杆(20)的表面与固定架(22)通过轴承活动连接，所述驱动丝杆(20)的表面与滑动横板(19)螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片酸洗装置，其特征在于：所述冲洗机构(8)包括蓄水箱(25)，所述蓄水箱(25)的后侧连通有抽水泵(24)，所述抽水泵(24)的出水端连通有连接水管(27)，所述连接水管(27)远离抽水泵(24)的一侧依次贯穿驱动机构(5)和清洗箱(11)并与冲洗管(4)连通，所述蓄水箱(25)顶部的前侧连通有加水斗(26)。