CN219728893U - 导向治具及晶圆料盒 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种导向治具及晶圆料盒，包括：壳体，壳体一端敞口，且壳体具有放置晶圆的容纳腔，容纳腔相对的侧壁上对应开设有支撑槽，支撑槽用于支撑晶圆；导向槽，导向槽位于壳体相对的两侧，且自支撑槽靠近壳体敞口的一端向壳体外部延伸设置，并与支撑槽连通，用于晶圆进出支撑槽。本申请的导向治具避免了在放置晶圆时容易倾斜或碰撞，造成的晶圆破损或损伤的问题，有效提高了晶圆良品率，同时解决了后续研磨作业扫描报警的问题，提高了生产效率。

Description

导向治具及晶圆料盒

技术领域

本实用新型一般涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种导向治具及晶圆料盒。

背景技术

目前，常将晶圆固定在晶圆的导向治具上，导向治具提供工作人员或者夹持机构持握的部位，从而在工作人员或者夹持机构移动单片晶圆时，不需要直接接触晶圆而避免对晶圆表面造成磨损。在实际生产加工中，在正面贴胶工序结束后，工作人员需要从导向治具中拿取晶圆检查，检查完毕后需要放回导向治具中，现有的12寸导向治具槽位间距宽度偏窄，人员在取放晶圆时容易斜插或碰撞，导致产品表面刮伤或者破裂，并且若斜插时未发现并送至研磨工序作业，研磨机作业前扫描报警影响作业效率。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种导向治具及晶圆料盒，结构简单，易于加工，能够避免晶圆斜插或碰撞，从而减少晶圆斜插造成的破损和/或刮伤问题，有利于有效提高生产效率。

第一方面，本实用新型提供一种导向治具，包括：

壳体，壳体一端敞口，且壳体具有放置晶圆的容纳腔，容纳腔相对的侧壁上对应开设有支撑槽，支撑槽用于支撑晶圆；

导向槽，导向槽位于壳体相对的两侧，且自支撑槽靠近壳体敞口的一端向壳体外部延伸设置并与支撑槽连通，用于晶圆进出支撑槽。

作为优选的方案，导向槽的长度为90mm-110mm，位于容纳腔两侧的导向槽之间的最大距离为300mm-310mm，位于容纳腔两侧的导向槽之间的最小距离为230mm-238mm。

作为优选的方案，支撑槽为多个，多个支撑槽沿着容纳腔的高度方向依次间隔排列，对应地，导向槽为多个，多个导向槽沿着容纳腔的高度方向与支撑槽对应设置。

作为优选的方案，壳体靠近敞口端相对的两侧壁上分别间隔设置有多个层板，多个层板沿着壳体的高度方向相互平行设置，每两相邻层板之间形成导向槽。

作为优选的方案，层板的厚度为20mm-30mm，相邻两个层板的层间距为18mm-20mm。

作为优选的方案，壳体每一侧的导向槽的数目为13个。

作为优选的方案，壳体敞口的一端上还设置有限位组件，限位组件包括第一板、第二板、第三板和第四板，第一板和第二板相互平行设置，第三板和第四板相互平行且固定在第一板的端部和第二板的端部之间，层板分别固定在第一板和第二板上、且位于第三板和第四板之间。

作为优选的方案，第一板和第二板上分别设置有第一把手和第二把手。

作为优选的方案，第三板和第四板上分别设置有第三把手和第四把手。

作为优选的方案，限位组件位于壳体底部的区域上设置有垫块，垫块对称布设在壳体两侧。

第二方面，本实用新型提供一种晶圆料盒，包括第一方面的导向治具。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型的导向治具及晶圆料盒，其中导向治具的导向槽有利于方便取放晶圆，避免了现有的治具在放置晶圆时容易倾斜或碰撞，造成的晶圆破损或损伤的问题，有效提高了晶圆良品率，同时解决了后续研磨作业扫描报警的问题，提高了生产效率。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型的一种导向治具的结构示意图；

图2为本实用新型的一种导向治具的结构示意图(去除壳体)。

图中，

100.导向治具；

11.壳体，12.晶圆，13.容纳腔，14.支撑槽，15.导向槽，16.层板，17.限位组件，171.第一板，172.第二板，173.第三板，174.第四板，175.垫块，18.第一把手，19.第二把手，20.第三把手。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

需要说明的是，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

第一方面，本申请提供了一种导向治具，该导向治具能够配套适用于晶圆料盒，方便取放晶圆，便于晶圆的转移搬运；其中，导向槽有效避免了在放置晶圆时容易倾斜或碰撞，造成的晶圆破损或损伤的问题，有效提高了晶圆良品率，同时解决了后续研磨作业扫描报警的问题，提高了生产效率。

如图1和图2所示，本申请的实施例提供一种导向治具100，包括：

壳体11，壳体11一端敞口，且壳体11具有放置晶圆12的容纳腔13，容纳腔13相对的侧壁上对应开设有支撑槽14，支撑槽14用于支撑晶圆12；

导向槽15，导向槽15位于壳体11相对的两侧，且自支撑槽14靠近壳体11敞口的一端向壳体11外部延伸设置并与支撑槽14连通，用于晶圆12进出支撑槽14。

可以理解的是，壳体11作为整个导向治具的防护罩，用于容纳和安装其他部件。为了便于晶圆12的取放，壳体11的一端敞口，敞口与容纳腔13连通，敞口供晶圆12进出容纳腔13。

支撑槽14用于晶圆12活动取放并承托晶圆12，在晶圆12插装于支撑槽14内部时，支撑槽14的槽壁支撑晶圆12，从而实现晶圆12存放在容纳腔13内；还可以理解的是，为了实现晶圆12的稳定承托，支撑槽14对应设置在容纳腔13的相对的两侧壁，对应位置位于两侧壁上的支撑槽14处于同一水平面且槽口相对，共同配合承托同一个晶圆12。

还可以理解的是，为了方便晶圆12进出容纳腔13，壳体11敞口一端设置有导向槽15，同样地，导向槽15对应设置在壳体11相对的两侧壁，对应位置位于两侧壁上的导向槽15处于同一水平面且槽口相对，共同配合承托同一个晶圆12；导向槽15与支撑槽14连通，方便晶圆12从导向槽15内部放置到支撑槽14中，进而便于晶圆12的取放。

导向槽15自支撑槽14靠近壳体11敞口的一端向外部延伸，相当于对支撑槽14做了延伸，这样有利于方便工作人员取放晶圆，工作人员在取放晶圆时，由于导向槽的存在，使得放置在相邻两个支撑槽中的晶圆相互隔离开，晶圆不会发生倾斜碰撞，工作人员在取放晶圆时也不会碰到相邻的晶圆，从而避免了晶圆刮伤或破损。

本申请实施例的导向治具解决了现有治具放置晶圆时，晶圆容易发生刮伤或破损的问题。本申请实施例的导向治具通过设置导向槽有利于方便取放晶圆，避免了现有的治具在放置晶圆时容易倾斜，造成的晶圆破损或损伤的问题，有效提高了晶圆良品率，同时解决了后续研磨作业扫描报警的问题，提高了生产效率。

作为可实现的方式，导向槽15的长度为90mm-110mm，位于容纳腔13两侧的导向槽15之间的最大距离为300mm-310mm，位于容纳腔13两侧的导向槽15之间的最小距离为230mm-238mm

需要说明的是，导向槽15的长度是指导向槽15在延伸方向的尺寸，导向槽15的长度可以是90mm，100mm，110mm，当导向槽15的长度为90mm时，隔离开相邻两个晶圆，同时方便取放晶圆12，占用壳体11的空间小，当导向槽15的长度为110mm时，具有足够的空间供晶圆进出容纳腔，工作人员取放晶圆更方便。位于容纳13腔两侧的导向槽15之间的最大距离是指两侧导向槽15的槽底之间的距离，其可以是300mm，304mm，308mm以及310mm，本申请公开的导向槽15之间的最大距离有利于更好放置晶圆，可靠保证晶圆不发生倾斜；位于容纳腔13两侧的导向槽15之间的最小距离是指导向槽15的槽顶部之间的距离，其可以是230mm，234mm以及238mm，本实施方式公开的最小距离，能够满足晶圆的尺寸，防止晶圆斜插。

作为可实现的方式，支撑槽14为多个，多个支撑槽14沿着容纳腔13的高度方向依次间隔排列，对应地，导向槽15为多个，多个导向槽15沿着容纳腔13的高度方向与支撑槽14对应设置。本实施方式中，支撑槽14的数目和导向槽15的数目相同，导向槽15与支撑槽14对应设置，有利于保证导向治具可以存放多个晶圆，并且每个晶圆之间由于导向槽15的存在，更好的支撑晶圆使其不会发生倾斜，同时将相邻两个晶圆更好的隔开，工作人员在取放时也不会碰到相邻的晶圆，进一步保证了晶圆的良品率。

作为可实现的方式，壳体11靠近敞口端相对的两侧壁上分别间隔设置有多个层板16，多个层板16沿着壳体的高度方向相互平行设置，每两相邻层板16之间形成导向槽15。本实施方式结构简单，易于加工。

作为可实现的方式，层板16的厚度为20mm-30mm，相邻两个层板的层间距为18mm-20mm。其中，层板的厚度可以是20mm、25mm、30mm等，当层板的厚度为20mm时，可以有效支撑晶圆并隔离开相邻晶圆；当层板的厚度为30mm时，增加了相邻两个晶圆之间的距离，更方便晶圆的取放。层间距也可以理解为导向槽15的槽宽，其可以是18mm、19mm，20mm等，本申请实施方式公开的层间距有利于方便晶圆的取放。

作为可实现的方式，壳体每一侧的导向槽的数目为13个。本申请实施方式中的导向槽的数目满足大多数生产的需求，当然在实际生产加工中，导向槽的数目也可以是根据实际需要对应支撑槽的数目调整。

作为可实现的方式，壳体11敞口的一端上还设置有限位组件17，限位组件17包括第一板171、第二板172、第三板173和第四板174，第一板171和第二板172相互平行设置，第三板173和第四板174相互平行且固定在第一板171的端部和第二板172的端部之间，层板16分别固定在第一板171和第二板172上、且位于第三板173和第四板174之间。本申请实施方式的限位组件有利于更好的限位固定层板，进行固定导向槽，保证在使用过程中不易发生脱落。

作为可实现的方式，第一板171和第二板172上分别设置有第一把手18和第二把手19，第三板173和第四板174上分别设置有第三把手20和第四把手。本实施方式中通过设置把手，方便导向治具的搬运，同时方便搬运晶圆。

作为可实现的方式，限位组件17位于壳体11底部的区域上设置有垫块175，垫块175对称布设在壳体11两侧。本申请实施例的垫块有利于使得导向治具稳定放置于晶圆料盒中。

第二方面，本申请实施例提供一种晶圆料盒，包括第一方面的导向治具。可以理解的是，本申请实施例的晶圆料盒具备上述导向治具的所有特点和优势，在实际工作中，工作人员直接通过搬运料盒实现晶圆转移。本申请实施例的晶圆料盒，避免了现有的治具在放置晶圆时容易倾斜，造成的晶圆破损或损伤的问题，有效提高了晶圆良品率。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的实用新型范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述实用新型构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (9)

1.导向治具，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体一端敞口，且所述壳体具有放置晶圆的容纳腔，所述容纳腔相对的侧壁上对应开设有支撑槽，所述支撑槽用于支撑所述晶圆；

导向槽，所述导向槽位于所述壳体相对的两侧，且自所述支撑槽靠近所述壳体敞口的一端向所述壳体外部延伸设置，并与所述支撑槽连通，用于晶圆进出所述支撑槽；

所述导向槽的长度为90mm-110mm，位于所述容纳腔两侧的所述导向槽之间的最大距离为300mm-310mm，位于所述容纳腔两侧的所述导向槽之间的最小距离为230mm-238mm。

2.根据权利要求1所述的导向治具，其特征在于，所述支撑槽为多个，多个所述支撑槽沿着所述容纳腔的高度方向依次间隔排列，对应地，所述导向槽为多个，多个所述导向槽沿着所述容纳腔的高度方向与所述支撑槽对应设置。

3.根据权利要求1所述的导向治具，其特征在于，所述壳体靠近敞口端相对的两侧壁上分别间隔设置有多个层板，多个层板沿着所述壳体的高度方向相互平行设置，每两相邻所述层板之间形成所述导向槽。

4.根据权利要求3所述的导向治具，其特征在于，所述层板的厚度为20mm-30mm，相邻两个所述层板的层间距为18mm-20mm。

5.根据权利要求1-4任一项所述的导向治具，其特征在于，所述壳体每一侧的所述导向槽的数目为13个。

6.根据权利要求3所述的导向治具，其特征在于，所述壳体敞口的一端上还设置有限位组件，所述限位组件包括第一板、第二板、第三板和第四板，所述第一板和所述第二板相互平行设置，所述第三板和所述第四板相互平行且固定在所述第一板的端部和所述第二板的端部之间，所述层板分别固定在所述第一板和所述第二板上、且位于所述第三板和所述第四板之间。

7.根据权利要求6所述的导向治具，其特征在于，所述第一板和所述第二板上分别设置有第一把手和第二把手，所述第三板和所述第四板上分别设置有第三把手和第四把手。

8.根据权利要求6所述的导向治具，其特征在于，所述限位组件位于所述壳体底部的区域上设置有垫块，所述垫块对称布设在所述壳体两侧。

9.晶圆料盒，其特征在于，包括根据权利要求1-8任一项所述的导向治具。