CN219705715U - 一种切棒夹装装置 - Google Patents

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高贻刚
牛文富
汪沛渊
汪高峰
李一得
何曙光
王鹏
张林儿
苏明
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Abstract

本实用新型涉及硅棒加工技术领域,提供了一种切棒夹装装置。包括:包括:支架、轴向夹装夹具、径向夹装夹具和切割锯;其中,所述轴向夹装夹具、径向夹装夹具安装在所述支架上部,所述切割锯安装在所述支架下部;所述径向夹装夹具为三个以上,且均匀布置在所述支架的横梁上,每个所述径向夹装夹具的结构相同,每个所述径向夹装夹具包括两个夹块,两个所述夹块可开合夹紧待切割硅棒。有益效果在于:轴向夹装夹具和径向夹装夹具配合使用,结构简单,可有效地对硅棒进行双向限位。需要指出的是,多个径向夹装夹具均匀布置在横梁上,切割锯在一次行程中可将硅棒切割成多段,硅棒无需多次装夹即可被切割成多段,提高了切割效率。

Description

一种切棒夹装装置
技术领域
本实用新型涉及硅棒加工技术领域,具体涉及一种切棒夹装装置。
背景技术
目前,随着电子芯片领域的发展,晶体硅、硅片需求逐渐增大,这种硅片从提拉或浇铸的硅锭后通过切割而成。在硅片切割过程中,利用切割机构对固定状态下的硅棒进行分段切割,再将硅棒进行切片。
但是现有的硅棒切割装置定位结构复杂,且不能根据所需硅棒的长短进行有效调整,进而不能完成一次性地对较长的硅棒进行多段切割。鉴于此,提出本实用新型。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种切棒夹装装置,以解决现有技术中存在的技术问题。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种切棒夹装装置,包括:支架、轴向夹装夹具、径向夹装夹具和切割锯;其中,所述轴向夹装夹具、径向夹装夹具安装在所述支架上部,所述切割锯安装在所述支架下部;所述径向夹装夹具为三个以上,且均匀布置在所述支架的横梁上,每个所述径向夹装夹具的结构相同,每个所述径向夹装夹具包括两个夹块,两个所述夹块可开合夹紧待切割硅棒。
可选实施例中,所述支架包括底座,所述底座的两侧分别设置有左立柱和右立柱,所述左立柱和右立柱的顶端连接所述横梁。
可选实施例中,每个所述径向夹装夹具分别包括一个前夹块和一个后夹块,所述前夹块设置在相应的前电动导轨上,所述后夹块设置在相应的后电动导轨上。
可选实施例中,所述径向夹装夹具的数量为3个或5个。
可选实施例中,一组所述前夹块和后夹块为对称结构,所述前夹块和后夹块分别设置有导向孔和用于限位所述硅棒的弧形限位槽。
可选实施例中,所述轴向夹装夹具包括设置在所述左立柱上的左顶杆和设置在所述右立柱上的右顶杆,所述左顶杆、右顶杆与所述硅棒接触的部位分别设置有胶垫。
可选实施例中,所述左顶杆、右顶杆为电动伸缩杆或伸缩气缸。
可选实施例中,所述切割锯的电动滑块沿设置于所述底座上的滑轨轴向滑动。
可选实施例中,所述电动滑块上设置有升降杆,所述升降杆的顶部设置有支撑座,所述支撑座的两端分别安装有主动轮和从动轮,所述主动轮和从动轮上设置有切割线。
可选实施例中,所述支撑座上还设置有电机,所述电机的输出轴与所述主动轮传动连接。
本实用新型的有益效果在于:
该切棒夹装装置的轴向夹装夹具和径向夹装夹具配合使用,结构简单,可有效地对硅棒进行双向限位。需要指出的是,多个径向夹装夹具均匀布置在横梁上,切割锯在一次行程中可将硅棒切割成多段,硅棒无需多次装夹即可被切割成多段,提高了切割效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本实用新型一实施例中提供的切棒夹装装置的结构示意图一;
图2为本实用新型一实施例中提供的切棒夹装装置的结构示意图二;
图3为本实用新型一实施例中提供的切棒夹装装置的结构示意图三;
图4为本实用新型一实施例中提供的切棒夹装装置中夹块的结构示意图;
图5为本实用新型一实施例中提供的切棒夹装装置中切割锯的结构示意图。
其中,附图标记为:
1-支架,11-底座,12-右立柱,13-左立柱,14-横梁;
2-轴向夹装夹具,21-左顶杆,22-右顶杆;
3-径向夹装夹具,31-第一径向夹具,32-第二径向夹具,33-第三径向夹具,34-第四径向夹具,35-第五径向夹具,311-前电动导轨,312-后电动导轨,313-前夹块,314-后夹块,315-导向孔,316-弧形限位槽;
4-切割锯,41-滑轨,42-电动滑块,43-升降杆,44-支撑座,45-从动轮,46-主动轮,47-电机,48-切割线。
具体实施方式
为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
需要说明的是,当部件被称为“固定于”或“设置于”另一个部件,它可以直接或者间接位于该另一个部件上。当一个部件被称为“连接于”另一个部件,它可以是直接或者间接连接至该另一个部件上。术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置为基于附图所示的方位或位置,仅是为了便于描述,不能理解为对本技术方案的限制。术语“第一”、“第二”仅用于便于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明技术特征的数量。“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
实施例一
请参阅附图1-5,本实施例的目的在于提供了一种切棒夹装装置,包括:支架1、轴向夹装夹具2、径向夹装夹具3和切割锯4。
其中,支架1包括底座11,底座11的两侧分别设置有左立柱13和右立柱12,左立柱13和右立柱12的顶端连接横梁14。轴向夹装夹具2、径向夹装夹具3安装在支架1上部,切割锯4安装在支架1下部。
本实施例中,径向夹装夹具3为5个,分别为第一径向夹具31、第二径向夹具32、第三径向夹具33、第四径向夹具34,和第五径向夹具35,5个径向夹装夹具均匀布置在支架1的横梁14上,每个径向夹装夹具3的结构相同,具体地,每个径向夹装夹具3分别包括一个前夹块313和一个后夹块314,前夹块313设置在相应的前电动导轨311上,后夹块314设置在相应的后电动导轨312上,一组两个夹块可开合夹紧待切割硅棒。需要指出的是,一组前夹块313和后夹块314为对称结构,前夹块313和后夹块314分别设置有导向孔315和用于限位硅棒的弧形限位槽316。
本实施例中,轴向夹装夹具2包括设置在左立柱13上的左顶杆21和设置在右立柱12上的右顶杆22,左顶杆21、右顶杆22与硅棒接触的部位分别设置有胶垫。优选地,左顶杆21、右顶杆22为电动伸缩杆。
此外,切割锯4的电动滑块42沿设置于底座11上的滑轨41轴向滑动。电动滑块42上设置有升降杆43,升降杆43的顶部设置有支撑座44,支撑座44的两端分别安装有主动轮46和从动轮45,主动轮46和从动轮45上设置有切割线48。支撑座44上还设置有电机47,电机47的输出轴与主动轮46传动连接。
实施例二
请参阅附图1-5,本实施例的目的在于提供了一种切棒夹装装置,包括:支架1、轴向夹装夹具2、径向夹装夹具3和切割锯4。
其中,支架1包括底座11,底座11的两侧分别设置有左立柱13和右立柱12,左立柱13和右立柱12的顶端连接横梁14。轴向夹装夹具2、径向夹装夹具3安装在支架1上部,切割锯4安装在支架1下部。
本实施例中,径向夹装夹具3为3个,3个径向夹装夹具均匀布置在支架1的横梁14上,每个径向夹装夹具3的结构相同,具体地,每个径向夹装夹具3分别包括一个前夹块313和一个后夹块314,前夹块313设置在相应的前电动导轨311上,后夹块314设置在相应的后电动导轨312上,一组两个夹块可开合夹紧待切割硅棒。需要指出的是,一组前夹块313和后夹块314为对称结构,前夹块313和后夹块314分别设置有导向孔315和用于限位硅棒的弧形限位槽316。
本实施例中,轴向夹装夹具2包括设置在左立柱13上的左顶杆21和设置在右立柱12上的右顶杆22,左顶杆21、右顶杆22与硅棒接触的部位分别设置有胶垫。优选地,左顶杆21、右顶杆22为伸缩气缸。
此外,切割锯4的电动滑块42沿设置于底座11上的滑轨41轴向滑动。电动滑块42上设置有升降杆43,升降杆43的顶部设置有支撑座44,支撑座44的两端分别安装有主动轮46和从动轮45,主动轮46和从动轮45上设置有切割线48。支撑座44上还设置有电机47,电机47的输出轴与主动轮46传动连接。
使用时,将硅棒通过轴向夹装夹具2、径向夹装夹具3限位,切割锯4沿滑轨41移动,在靠近底座11一侧的相邻的两个径向夹装夹具之间停留,切割线48高速旋转向上移动第一次切断硅棒,之后切割锯4移动至其余切割工位多次对硅棒进行切割。切割锯4在一次移动行程中可将硅棒切割成多段,硅棒无需多次装夹即可被切割成多段,提高了切割效率。
本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种切棒夹装装置,包括:支架(1)、轴向夹装夹具(2)、径向夹装夹具(3)和切割锯(4);其中,所述轴向夹装夹具(2)、径向夹装夹具(3)安装在所述支架(1)上部,所述切割锯(4)安装在所述支架(1)下部;
其特征在于,所述径向夹装夹具(3)为三个以上,且均匀布置在所述支架(1)的横梁(14)上,每个所述径向夹装夹具(3)的结构相同,每个所述径向夹装夹具(3)包括两个夹块,两个所述夹块可开合夹紧待切割硅棒。
2.如权利要求1所述的切棒夹装装置,其特征在于,所述支架(1)包括底座(11),所述底座(11)的两侧分别设置有左立柱(13)和右立柱(12),所述左立柱(13)和右立柱(12)的顶端连接所述横梁(14)。
3.如权利要求1所述的切棒夹装装置,其特征在于,每个所述径向夹装夹具(3)分别包括一个前夹块(313)和一个后夹块(314),所述前夹块(313)设置在相应的前电动导轨(311)上,所述后夹块(314)设置在相应的后电动导轨(312)上。
4.如权利要求1所述的切棒夹装装置,其特征在于,所述径向夹装夹具(3)的数量为3个或5个。
5.根据权利要求3所述的切棒夹装装置,其特征在于,一组所述前夹块(313)和后夹块(314)为对称结构,所述前夹块(313)和后夹块(314)分别设置有导向孔(315)和用于限位所述硅棒的弧形限位槽(316)。
6.根据权利要求2所述的切棒夹装装置,其特征在于,所述轴向夹装夹具(2)包括设置在所述左立柱(13)上的左顶杆(21)和设置在所述右立柱(12)上的右顶杆(22),所述左顶杆(21)、右顶杆(22)与所述硅棒接触的部位分别设置有胶垫。
7.根据权利要求6所述的切棒夹装装置,其特征在于,所述左顶杆(21)、右顶杆(22)为电动伸缩杆或伸缩气缸。
8.根据权利要求2所述的切棒夹装装置,其特征在于,所述切割锯(4)的电动滑块(42)沿设置于所述底座(11)上的滑轨(41)轴向滑动。
9.根据权利要求8所述的切棒夹装装置,其特征在于,所述电动滑块(42)上设置有升降杆(43),所述升降杆(43)的顶部设置有支撑座(44),所述支撑座(44)的两端分别安装有主动轮(46)和从动轮(45),所述主动轮(46)和从动轮(45)上设置有切割线(48)。
10.根据权利要求9所述的切棒夹装装置,其特征在于,所述支撑座(44)上还设置有电机(47),所述电机(47)的输出轴与所述主动轮(46)传动连接。
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