CN219666473U - 拆装静电吸盘的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种拆装静电吸盘的装置，包括：基座、手摇杆和平衡受力机构，所述平衡受力机构包括：平衡受力组件、若干螺纹伸缩杆和若干静电吸盘固定件，其中，所述平衡受力组件包括：间隔叠放的星形结构的第一平衡受力杆和第二平衡受力杆。本申请通过旋转手摇杆，利用静电吸盘固定件带动静电吸盘工作台抬起或者降下，拆装更省时省力，节省了保养拆装静电吸盘机台的时间。进一步的，静电吸盘固定件均匀地分布在所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的各分支杆上，在拆装过程中，使得与静电吸盘固定件固定连接的静电吸盘工作台平衡受力，不会因为偏移导致安装失败，避免了静电吸盘的磕碰而导致零件损坏的情况，提高了拆装可靠性。
Description
技术领域
本实用新型涉及静电吸盘拆装技术领域，特别涉及一种拆装静电吸盘的装置。
背景技术
在半导体工艺中，按时对机台进行保养，是维持机台稳定运行的保障。如何快速安全拆装零部件并清洁腔体是半导体设备工程师日常维护的关键。
目前在静电吸盘(ESC)机台的维护保养过程中，传统的拆卸静电吸盘工作台的方法是用两个jig(其中，jig是一种拆卸静电吸盘的专用工具)去施力来人为控制力度拆卸静电吸盘，两端同时用力，将下端密封的O形密封圈分离拆卸出来，费时费力，且易造成静电吸盘的磕碰，导致零件损坏。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种拆装静电吸盘的装置，以解决拆卸静电吸盘的传统办法费时费力、容易造成静电吸盘的磕碰而导致零件损坏等问题中的至少一个问题。
为解决上述技术问题，本申请实施例提供一种拆装静电吸盘的装置，包括：基座、手摇杆和平衡受力机构，其中，
所述平衡受力机构包括：平衡受力组件、若干螺纹伸缩杆和若干静电吸盘固定件，其中，所述平衡受力组件包括：第一平衡受力杆和第二平衡受力杆，所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆均为星形结构，其中，
所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆上下间隔叠放；所述螺纹伸缩杆设于所述基座上并且通过螺纹贯穿所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的端部，以支撑所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆；所述静电吸盘固定件均匀地分布在所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的各分支杆上，并且所述静电吸盘固定件贯穿所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆；所述手摇杆通过螺纹贯穿上下间隔叠放的所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆的中心；
其中，所述拆装静电吸盘的装置被配置为：
将所述基座套设在静电吸盘的工作台的外围以使所述手摇杆和所述平衡受力机构位于所述工作台上方，将所有所述螺纹伸缩杆调节至相同的高度，利用所述静电吸盘固定件与所述工作台连接固定，通过旋转所述手摇杆，所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆沿着所述螺纹伸缩杆上的螺纹上升并带动所述静电吸盘固定件上升，以带动所述工作台升起；
或者，利用所述静电吸盘固定件与静电吸盘的工作台连接固定，将所述基座套设在静电吸盘的工作台的外围以使所述手摇杆和所述平衡受力机构位于所述工作台上方，将所有所述螺纹伸缩杆调节至相同的高度，通过旋转所述手摇杆，所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆沿着所述螺纹伸缩杆上的螺纹下降并带动所述静电吸盘固定件下降，以带动所述工作台下降至安装位置。
可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，静电吸盘固定件为螺丝。
可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，所述平衡受力机构还包括：多个限位滑轨，所述限位滑轨安装在所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的各分支杆上，所述静电吸盘固定件设于所述限位滑轨内。
可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，所述第一平衡受力杆的结构和所述第二平衡受力杆的结构相同。
可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆均包括：至少三个所述分支杆。
可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，所述拆装静电吸盘的装置还包括：把手，所述把手安装在所述第一平衡受力杆上。
可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，各所述螺纹伸缩杆上均设有高度调节旋钮，通过旋转所述高度调节旋钮，所述螺纹伸缩杆上升或者下降一定的高度。
可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，所述基座为圆环形结构。
可选的，在所述拆装静电吸盘的装置中，所述基座的内径大于所述工作台的外径。
本申请技术方案，至少包括如下优点：
本申请通过旋转手摇杆，利用静电吸盘固定件带动静电吸盘工作台抬起或者降下，拆装更省时省力。进一步的，静电吸盘固定件均匀地分布在所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的各分支杆上，在拆装过程中，使得与静电吸盘固定件固定连接的静电吸盘工作台平衡受力，不会因为偏移导致安装失败，避免了静电吸盘的磕碰而导致零件损坏的情况，提高了拆装安全性和可靠性。
进一步的，本申请可以通过高度调节旋钮来调整螺纹伸缩杆的高度以及通过限位滑轨来调整静电吸盘固定件的位置，使得本申请提供的拆装静电吸盘的装置能够适用于不同高度以及不同尺寸的静电吸盘，提高了拆装静电吸盘的装置的实用性。
附图说明
图1是本实用新型实施例的拆装静电吸盘的装置的结构示意图；
其中，附图标记说明如下：
1-手摇杆，2-把手，31-第一平衡受力杆，32-第二平衡受力杆，4-螺纹伸缩杆，5-静电吸盘固定件，6-基座，7-高度调节旋钮，8-限位滑轨。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的拆装静电吸盘的装置作进一步详细说明。根据下面说明，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
本实用新型提供一种拆装静电吸盘的装置，参考图1，图1是本实用新型实施例的拆装静电吸盘的装置的结构示意图，所述拆装静电吸盘的装置包括：基座6、手摇杆1和平衡受力机构，其中，所述平衡受力机构包括：平衡受力组件、若干螺纹伸缩杆4和若干静电吸盘固定件5。
进一步的，所述平衡受力组件包括：第一平衡受力杆31和第二平衡受力杆32，所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆均为星形结构。
优选的，所述第一平衡受力杆31、所述第二平衡受力杆32均包括：至少三个所述分支杆。
在本实施例中，所述第一平衡受力杆31的结构和所述第二平衡受力杆32的结构相同，所述第一平衡受力杆31、所述第二平衡受力杆32均包括：4个所述分支杆。
其中，所述第一平衡受力杆31和所述第二平衡受力杆32上下式地间隔叠放；所述螺纹伸缩杆4设于所述基座6上并且通过螺纹贯穿所述第一平衡受力杆31、所述第二平衡受力杆的端部(末端)32，以支撑所述第一平衡受力杆31和所述第二平衡受力杆32；所述静电吸盘固定件5均匀地分布在所述第一平衡受力杆31、所述第二平衡受力杆32的各分支杆上，并且所述静电吸盘固定件5贯穿所述第一平衡受力杆31和所述第二平衡受力杆32；所述手摇杆1通过螺纹贯穿上下间隔叠放的所述第一平衡受力杆31和所述第二平衡受力杆32的中心。
较佳的，所述静电吸盘固定件5为螺丝。其中，静电吸盘工作台上对应设有与所述静电吸盘固定件5的拆装螺纹孔。所述静电吸盘固定件5可以与静电吸盘工作台通过螺纹连接固定。
在本实施例中，所述静电吸盘固定件5的数量为4个，分别均匀分布在所述第一平衡受力杆31的4个所述分支杆以及所述第二平衡受力杆32的4个所述分支杆上，并且贯穿所述第一平衡受力杆31的4个所述分支杆以及所述第二平衡受力杆32的4个所述分支杆。
进一步的，俯视所述拆装静电吸盘的装置，所述静电吸盘固定件5可以分布在同一圆周上，并且相对于所述第一平衡受力杆31和/或所述第二平衡受力杆32的中心，所述静电吸盘固定件5两两对称。
优选的，所述平衡受力机构还可以包括：多个限位滑轨8，所述限位滑轨8安装在所述第一平衡受力杆31、所述第二平衡受力杆32的各分支杆上，所述静电吸盘固定件5设于所述限位滑轨8内。所述限位滑轨8的数量是所述静电吸盘固定件5数量的两倍。
在本申请中，在所述第一平衡受力杆31、所述第二平衡受力杆32的各分支杆上设置所述限位滑轨8，可以使得所述静电吸盘固定件5适应不同尺寸的静电吸盘工作台上的拆装螺纹孔，从而使得本申请提供的拆装静电吸盘的装置能够适用于不同尺寸的静电吸盘，提高了拆装静电吸盘的装置的实用性。
在本实施例中，所述限位滑轨8的数量为8个。
进一步的，各所述螺纹伸缩杆4上均设有高度调节旋钮7，通过旋转所述高度调节旋钮7，所述螺纹伸缩杆4能够上升或者下降一定的高度。
在本申请中，通过旋转所述高度调节旋钮7调节所述螺纹伸缩杆4的高度，使得本申请提供的拆装静电吸盘的装置能够适用于不同高度的静电吸盘，进一步提高了拆装静电吸盘的装置的实用性。
进一步的，所述拆装静电吸盘的装置还包括：把手2，所述把手2安装在所述第一平衡受力杆上31，所述把手2使得设备维护任意提起或放置所述拆装静电吸盘的装置更加便利。
较佳的，所述基座6为圆环形结构。在拆装静电吸盘机台的过程中，所述基座6需要套设在静电吸盘的工作台的外围，所以所述基座6的内径需要大于静电吸盘工作台的外径。
在本实施例中，所述拆装静电吸盘的装置的拆卸过程主要是：将所述基座6套设在静电吸盘的工作台的外围以使所述手摇杆1和所述平衡受力机构位于所述工作台上方，将所有所述螺纹伸缩杆7调节至相同的特定高度(此高度适应当前拆装的静电吸盘工作台的高度，本实施中所述螺纹伸缩杆7调节后的高度略高于静电吸盘工作台的高度)，利用所述静电吸盘固定件5与所述工作台连接固定，通过旋转(例如顺时针旋转)所述手摇杆1，所述第一平衡受力杆31和所述第二平衡受力杆32沿着所述螺纹伸缩杆4上的螺纹上升并带动所述静电吸盘固定件5上升，以带动所述工作台升起；
所述拆装静电吸盘的装置的安装过程主要是：先利用所述静电吸盘固定件5与所述工作台连接固定，将所述基座6套设在静电吸盘的工作台的外围以使所述手摇杆1和所述平衡受力机构位于所述工作台上方，将所有所述螺纹伸缩杆7调节至相同的特定高度(此高度适应当前拆装的静电吸盘工作台的高度，本实施中所述螺纹伸缩杆7调节后的高度略高于静电吸盘工作台的高度)，通过与拆卸过程反方向旋转(例如逆时针旋转)所述手摇杆1，所述第一平衡受力杆31和所述第二平衡受力杆32沿着所述螺纹伸缩杆上的螺纹下降并带动所述静电吸盘固定件5下降，以带动所述工作台下降至机台安装位置。
本申请中，通过旋转手摇杆，利用静电吸盘固定件带动静电吸盘工作台抬起或者降下，拆装节省了保养拆装静电吸盘机台的时间，节省了人力成本。进一步的，静电吸盘固定件均匀地分布在所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的各分支杆上，在拆装过程中，使得与静电吸盘固定件固定连接的静电吸盘工作台平衡受力，不会因为偏移导致安装失败，避免了静电吸盘的磕碰而导致零件损坏的情况，提高了拆装安全性和可靠性。
上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
Claims (9)
1.一种拆装静电吸盘的装置，其特征在于，包括：基座、手摇杆和平衡受力机构，其中，
所述平衡受力机构包括：平衡受力组件、若干螺纹伸缩杆和若干静电吸盘固定件，其中，所述平衡受力组件包括：第一平衡受力杆和第二平衡受力杆，所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆均为星形结构，其中，
所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆上下间隔叠放；所述螺纹伸缩杆设于所述基座上并且通过螺纹贯穿所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的端部，以支撑所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆；所述静电吸盘固定件均匀地分布在所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的各分支杆上，并且所述静电吸盘固定件贯穿所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆；所述手摇杆通过螺纹贯穿上下间隔叠放的所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆的中心；
其中，所述拆装静电吸盘的装置被配置为：
将所述基座套设在静电吸盘的工作台的外围以使所述手摇杆和所述平衡受力机构位于所述工作台上方，将所有所述螺纹伸缩杆调节至相同的高度，利用所述静电吸盘固定件与所述工作台连接固定，通过旋转所述手摇杆，所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆沿着所述螺纹伸缩杆上的螺纹上升并带动所述静电吸盘固定件上升，以带动所述工作台升起；
或者，利用所述静电吸盘固定件与静电吸盘的工作台连接固定，将所述基座套设在静电吸盘的工作台的外围以使所述手摇杆和所述平衡受力机构位于所述工作台上方，将所有所述螺纹伸缩杆调节至相同的高度，通过旋转所述手摇杆，所述第一平衡受力杆和所述第二平衡受力杆沿着所述螺纹伸缩杆上的螺纹下降并带动所述静电吸盘固定件下降，以带动所述工作台下降至安装位置。
2.根据权利要求1所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，静电吸盘固定件为螺丝。
3.根据权利要求1所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，所述平衡受力机构还包括：多个限位滑轨，所述限位滑轨安装在所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆的各分支杆上，所述静电吸盘固定件设于所述限位滑轨内。
4.根据权利要求1所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，所述第一平衡受力杆的结构和所述第二平衡受力杆的结构相同。
5.根据权利要求4所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，所述第一平衡受力杆、所述第二平衡受力杆均包括：至少三个所述分支杆。
6.根据权利要求1所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，所述拆装静电吸盘的装置还包括：把手，所述把手安装在所述第一平衡受力杆上。
7.根据权利要求1所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，各所述螺纹伸缩杆上均设有高度调节旋钮，通过旋转所述高度调节旋钮，所述螺纹伸缩杆上升或者下降一定的高度。
8.根据权利要求1所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，所述基座为圆环形结构。
9.根据权利要求8所述的拆装静电吸盘的装置，其特征在于，所述基座的内径大于所述工作台的外径。
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