CN219476652U - 一种定心对准机构 - Google Patents
一种定心对准机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN219476652U CN219476652U CN202320350794.9U CN202320350794U CN219476652U CN 219476652 U CN219476652 U CN 219476652U CN 202320350794 U CN202320350794 U CN 202320350794U CN 219476652 U CN219476652 U CN 219476652U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- base
- centering
- driving
- central hole
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 58
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 claims description 29
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 1
- 230000009471 action Effects 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本申请提供一种定心对准机构，包括基座，基座上沿第一方向设有中心孔，沿中心孔的径向方向设有导向槽；中心孔内可升降安装有转动机构，用于对晶圆进行支撑和旋转驱动；导向槽绕中心孔均匀排布，内部设有可相对滑动的定位杆；定位杆的轴线方向与第一方向平行，滑动方向与导向槽的延伸方向平行；基座的底部对应定位杆设有驱动机构，用于同步驱动所有定位杆相对导向槽进行滑动；基座的顶部设有缺口检测机构，用于检测晶圆上的缺口。根据本申请实施例提供的技术方案，通过在中心孔的外圈设置定位杆，利用定位杆同步移动的动作可以有效对晶圆进行定心；同时，通过在中心孔内设置既能升降又能旋转的转动机构，延伸功能可确保晶圆只与旋转机构接触。
Description
技术领域
本申请涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种定心对准机构。
背景技术
目前，在晶片的生产过程中，对圆心的定位是一个重要的环节；实现圆心定位的方法目前比较好的一种是光学的，此方法多是利用CCD相机的辅助，加上软件工程师大量的运算，找到晶圆片的中心和缺口的方向。
但是，该方法对软件开发人员的知识水平要求高，投入的精力大；且更要借助高清相机及相机的算法，成本特别的高；维修保养难度大，受用的企业有限；因此，如何进行低成本的对圆心进行定位的问题亟待进行解决。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种定心对准机构。
本申请提供一种定心对准机构，包括
基座，所述基座上沿第一方向设有中心孔，沿中心孔的径向方向设有导向槽；
所述中心孔内可升降安装有转动机构，用于对晶圆进行支撑和旋转驱动；
所述导向槽绕所述中心孔均匀排布，内部设有可相对滑动的定位杆；
所述定位杆的轴线方向与所述第一方向平行，滑动方向与所述导向槽的延伸方向平行；
所述基座的底部对应所述定位杆设有驱动机构，用于同步驱动所有所述定位杆相对所述导向槽进行滑动；
所述基座的顶部设有缺口检测机构，用于检测所述晶圆上的缺口。
进一步的，
所述转动机构包括旋转电机，所述旋转电机可升降安装在所述基座上，输出端安装有对接头；
所述对接头位于所述中心孔内，截面与所述中心孔的截面相匹配，端部设有真空槽，用于对所述晶圆进行吸附。
进一步的，
所述基座的底部设有与所述中心孔同轴的安装套；
所述安装套上对应所述旋转电机设有安装板；
所述安装板上沿所述第一方向设有滑轨；
所述旋转电机通过匹配的滑块与所述滑轨连接。
进一步的，
所述安装板上还安装有升降电机；
所述升降电机的轴线方向与所述第一方向平行，输出端安装有驱动丝杆；
所述旋转电机上对应所述驱动丝杆设有对接块，且通过对接块与所述驱动丝杆螺纹连接。
进一步的，
所述旋转电机远离所述对接头的一端还安装有真空管接头；
所述真空管接头与真空槽连接。
进一步的，
所述驱动机构包括驱动盘，所述驱动盘可转动安装在所述基座上，对应所述定位杆设有匹配的驱动槽；
所述驱动槽呈弧形，用于驱动所述定位杆相对所述导向槽进行滑动。
进一步的，
所述基座的底部还设有定心电机，所述定心电机与驱动盘之间通过同步带连接；
所述基座上对应所述同步带设有松紧调节机构；
所述松紧调节机构包括与所述同步带抵接的调节导轨；
所述调节导轨可滑动安装在所述基座上，远离所述同步带的一端与定心完成传感器连接。
进一步的，
所述调节导轨还与调节螺栓连接；
所述调节螺栓位于所述同步带远离所述调节导轨的一侧，与所述调节导轨之间通过拉簧连接。
进一步的，
所述缺口检测机构包括对射式缺口检测传感器，所述对射式缺口检测传感器一端安装在所述基座上，一端安装在安装座上；
所述安装座呈倒L型，固定安装在所述基座上。
进一步的，
所述基座的底部对应所述定位杆还设有安装盘；
所述安装盘上对应所述导向槽设有滑槽；
所述滑槽的宽度相对大于所述导向槽的宽度，且内部设有与所述定位杆连接的限位滑块；
所述限位滑块的厚度与所述滑槽的深度相同，一端抵在所述基座上，一端通过盖板限位。
本申请具有的优点和积极效果是：
本技术方案通过在中心孔的外圈设置定位杆，利用定位杆同步移动的动作可以有效对晶圆进行定心；同时，通过在中心孔内设置既能升降又能旋转的转动机构，延伸功能可确保晶圆只与旋转机构接触，避免同时与基座接触从而发生剐蹭；旋转动能则是可以对晶圆的角度进行调节，从而确保晶圆在定心完成后的输出位置统一。
附图说明
图1为本申请实施例提供的定心对准机构的结构示意图；
图2为本申请实施例提供的定心对准机构的底部的结构示意图；
图3为本申请实施例提供的定心对准机构的安装盘的结构示意图；
图4为本申请实施例提供的定心对准机构的对接头的结构示意图。
图中所述文字标注表示为：100－基座；110－导向槽；111－定位杆；120－安装套；121－安装板；122－滑轨；130－安装盘；131－滑槽；132－限位滑块；200－晶圆；300－旋转电机；301－滑块；302－真空管接头；310－对接头；311－真空槽；320－升降电机；400－驱动盘；410－驱动槽；420－定心电机；430－同步带；440－调节导轨；441－调节螺栓；442－拉簧；450－定心完成传感器；500－对射式缺口检测传感器；510－安装座。
具体实施方式
为了使本领域技术人员更好地理解本申请的技术方案，下面结合附图对本申请进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本申请的保护范围有任何的限制作用。
请参考图1－4，本实施例提供一种定心对准机构，包括基座100，基座100上沿第一方向设有中心孔，沿中心孔的径向方向设有导向槽110；中心孔内可升降安装有转动机构，用于对晶圆200进行支撑和旋转驱动；导向槽110绕中心孔均匀排布，内部设有可相对滑动的定位杆111；定位杆111的轴线方向与第一方向平行，滑动方向与导向槽110的延伸方向平行；基座100的底部对应定位杆111设有驱动机构，用于同步驱动所有定位杆111相对导向槽110进行滑动；基座100的顶部设有缺口检测机构，用于检测晶圆200上的缺口。
本实施例中，转动机构不仅可以相对基座100进行转动，还能相对基座100进行升降，当晶圆200通过机械后输入后，转动机构会先进行延伸，与晶圆200对接并固定，然后机械手在断开与晶圆200的连接并离开；同时，转动机构也会进行收缩，将晶圆200放置在基座100上并断开连接；此时，所有定位杆111同步向中心孔移动便可有效对晶圆200进行定心。
本实施例中，定位杆111对晶圆200完成定心后，便会自动复位，同时，转动机构也会再次延伸，将晶圆200顶升后转动到角度后输出，从而形成一个完整的定心操作。
在一优选实施例中，转动机构包括旋转电机300，旋转电机300可升降安装在基座100上，输出端安装有对接头310；对接头310位于中心孔内，截面与中心孔的截面相匹配，端部设有真空槽311，用于对晶圆200进行吸附。
本实施例中，对接头310处于收缩状态时，其端面与基座100处于同一平面，其截面与中心孔的截面相同，从而与基座100形成一个完整的平面；对接头310的端面上还设有真空槽311，与晶圆200对接后，只需与外部抽真空装置接通便可在晶圆200与对接头310之间形成负压，从而实现晶圆200与对接头310之间的相对固定；反之则是解除晶圆200与对接头310之间的相对固定关系。
在一优选实施例中，基座100的底部设有与中心孔同轴的安装套120；安装套120上对应旋转电机300设有安装板121；安装板121上沿第一方向设有滑轨122；旋转电机300通过匹配的滑块301与滑轨122连接。
本实施例中，安装套120与基座100之间固定连接，既为对接头310提供了伸缩通道，有为旋转电机300的安装提供了连接位置；安装板121与安装套120之间相对固定，因此，旋转电机300通过滑块301与滑轨122相对滑动的过程便是与安装套120的相对滑动，从而实现了对接头310与基座100的相对伸缩。
在一优选实施例中，安装板121上还安装有升降电机320；升降电机320的轴线方向与第一方向平行，输出端安装有驱动丝杆；旋转电机300上对应驱动丝杆设有对接块，且通过对接块与驱动丝杆螺纹连接。
本实施例中，旋转电机300的升降通过升降电机320驱动；升降电机320同样安装在安装板121上，且与安装板121固定安装，因此，其通过驱动丝杆便可有效驱动旋转电机300相对安装板121进行滑动。
在一优选实施例中，旋转电机300远离对接头310的一端还安装有真空管接头302；真空管接头302与真空槽311连接。
本实施例中，真空管接头302安装在旋转电机300远离对接头310的一端处，且通过管路与对接头310上的真空槽311连接，同时其还与外部抽真空装置连接，可有效对真空槽311进行抽真空操作。
在一优选实施例中，驱动机构包括驱动盘400，驱动盘400可转动安装在基座100上，对应定位杆111设有匹配的驱动槽410；驱动槽410呈弧形，用于驱动定位杆111相对导向槽110进行滑动。
本实施例中，驱动盘400套设在安装套120上，且可相对安装套120进行转动；弧形的驱动槽410则是可以在转动的过程中配合导向槽110的限制从而驱动定位杆111沿导向槽110的延伸方向进行移动。
在一优选实施例中，基座100的底部还设有定心电机420，定心电机420与驱动盘400之间通过同步带430连接；基座100上对应同步带430设有松紧调节机构；松紧调节机构包括与同步带430抵接的调节导轨440；调节导轨440可滑动安装在基座100上，远离同步带430的一端与定心完成传感器450连接。
本实施例中，定心电机420通过同步带430可有效驱动驱动盘400相对转动，从而驱动定位杆111相对滑动；此过程通过改变定心电机420的转动方向便可改变定位杆111的滑动方向，因此既能驱动定位杆111向中心孔移动从而完成定心，又能驱动定位杆111远离中心孔从而回复晶圆200的自由。
在一优选实施例中，调节导轨440还与调节螺栓441连接；调节螺栓441位于同步带430远离调节导轨440的一侧，与调节导轨440之间通过拉簧442连接。
本实施例中，调节导轨440通过拉簧442与调节螺栓141连接，配合调节导轨440可相对基座100滑动的特性，既能通过调节螺栓141驱动调节导轨440对同步带430压紧从而调节松紧度，又能因受到同步带430张力大小的不同而进行滑动，从而形成动态平衡。
本实施例中，定位杆111在对晶圆200进行夹紧定心时，当晶圆200已经定心后，定位杆111无法在继续前进时，同步带430便会绷紧，驱动调节导轨440向后移动，从而触发定心完成传感器450，使定心电机420停止转动。
在一优选实施例中，缺口检测机构包括对射式缺口检测传感器500，对射式缺口检测传感器500一端安装在基座100上，一端安装在安装座510上；安装座510呈倒L型，固定安装在基座100上。
本实施例中，缺口检测机构采用对射式缺口检测传感器500，当晶圆200定心完成后，除了缺口位置均会阻挡在对射式缺口检测传感器500两检测探头之间的，因此，在对接头310驱动晶圆200时，触发对射式缺口检测传感器500的点便是缺口所在位置，便可对晶圆200进行定位，确保输出时晶圆200的输出位置均处于同一位置。
在一优选实施例中，基座100的底部对应定位杆111还设有安装盘130；安装盘130上对应导向槽110设有滑槽131；滑槽131的宽度相对大于导向槽110的宽度，且内部设有与定位杆111连接的限位滑块132；限位滑块132的厚度与滑槽131的深度相同，一端抵在基座100上，一端通过盖板限位。
本实施例中，安装盘130套设在安装套120上，通过盖板压紧在基座100上；其中安装盘130上滑槽131的宽度相对大于导向槽110的宽度，同时，盖板上也设有与导向槽110相同的对接槽；定位杆111上套设有限位滑块132，限位滑块132的宽度及厚度均与滑槽131相匹配，由于受基座100与盖板的限制，其只能沿滑槽131的延伸方向滑动。
本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想。以上所述仅是本申请的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本申请的保护范围。
Claims (10)
1.一种定心对准机构，其特征在于，包括
基座(100)，所述基座(100)上沿第一方向设有中心孔，沿中心孔的径向方向设有导向槽(110)；
所述中心孔内可升降安装有转动机构，用于对晶圆(200)进行支撑和旋转驱动；
所述导向槽(110)绕所述中心孔均匀排布，内部设有可相对滑动的定位杆(111)；
所述定位杆(111)的轴线方向与所述第一方向平行，滑动方向与所述导向槽(110)的延伸方向平行；
所述基座(100)的底部对应所述定位杆(111)设有驱动机构，用于同步驱动所有所述定位杆(111)相对所述导向槽(110)进行滑动；
所述基座(100)的顶部设有缺口检测机构，用于检测所述晶圆(200)上的缺口。
2.在根据权利要求1所述的定心对准机构，其特征在于，
所述转动机构包括旋转电机(300)，所述旋转电机(300)可升降安装在所述基座(100)上，输出端安装有对接头(310)；
所述对接头(310)位于所述中心孔内，截面与所述中心孔的截面相匹配，端部设有真空槽(311)，用于对所述晶圆(200)进行吸附。
3.在根据权利要求2所述的定心对准机构，其特征在于，
所述基座(100)的底部设有与所述中心孔同轴的安装套(120)；
所述安装套(120)上对应所述旋转电机(300)设有安装板(121)；
所述安装板(121)上沿所述第一方向设有滑轨(122)；
所述旋转电机(300)通过匹配的滑块(301)与所述滑轨(122)连接。
4.在根据权利要求3所述的定心对准机构，其特征在于，
所述安装板(121)上还安装有升降电机(320)；
所述升降电机(320)的轴线方向与所述第一方向平行，输出端安装有驱动丝杆；
所述旋转电机(300)上对应所述驱动丝杆设有对接块，且通过对接块与所述驱动丝杆螺纹连接。
5.在根据权利要求2所述的定心对准机构，其特征在于，
所述旋转电机(300)远离所述对接头(310)的一端还安装有真空管接头(302)；
所述真空管接头(302)与真空槽(311)连接。
6.在根据权利要求1所述的定心对准机构，其特征在于，
所述驱动机构包括驱动盘(400)，所述驱动盘(400)可转动安装在所述基座(100)上，对应所述定位杆(111)设有匹配的驱动槽(410)；
所述驱动槽(410)呈弧形，用于驱动所述定位杆(111)相对所述导向槽(110)进行滑动。
7.在根据权利要求6所述的定心对准机构，其特征在于，
所述基座(100)的底部还设有定心电机(420)，所述定心电机(420)与驱动盘(400)之间通过同步带(430)连接；
所述基座(100)上对应所述同步带(430)设有松紧调节机构；
所述松紧调节机构包括与所述同步带(430)抵接的调节导轨(440)；
所述调节导轨(440)可滑动安装在所述基座(100)上，远离所述同步带(430)的一端与定心完成传感器(450)连接。
8.在根据权利要求7所述的定心对准机构，其特征在于，
所述调节导轨(440)还与调节螺栓(441)连接；
所述调节螺栓(441)位于所述同步带(430)远离所述调节导轨(440)的一侧，与所述调节导轨(440)之间通过拉簧(442)连接。
9.在根据权利要求1所述的定心对准机构，其特征在于，
所述缺口检测机构包括对射式缺口检测传感器(500)，所述对射式缺口检测传感器(500)一端安装在所述基座(100)上，一端安装在安装座(510)上；
所述安装座(510)呈倒L型，固定安装在所述基座(100)上。
10.在根据权利要求1所述的定心对准机构，其特征在于，
所述基座(100)的底部对应所述定位杆(111)还设有安装盘(130)；
所述安装盘(130)上对应所述导向槽(110)设有滑槽(131)；
所述滑槽(131)的宽度相对大于所述导向槽(110)的宽度，且内部设有与所述定位杆(111)连接的限位滑块(132)；
所述限位滑块(132)的厚度与所述滑槽(131)的深度相同，一端抵在所述基座(100)上，一端通过盖板限位。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320350794.9U CN219476652U (zh) | 2023-02-24 | 2023-02-24 | 一种定心对准机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320350794.9U CN219476652U (zh) | 2023-02-24 | 2023-02-24 | 一种定心对准机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN219476652U true CN219476652U (zh) | 2023-08-04 |
Family
ID=87463391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202320350794.9U Active CN219476652U (zh) | 2023-02-24 | 2023-02-24 | 一种定心对准机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN219476652U (zh) |
-
2023
- 2023-02-24 CN CN202320350794.9U patent/CN219476652U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110756636B (zh) | 一种用于可同步折弯多角度多方位零件的工装 | |
| CN117583809B (zh) | 一种阀门焊接加工设备 | |
| CN219476652U (zh) | 一种定心对准机构 | |
| CN101769344B (zh) | 轴承装配机的旋转集球装置 | |
| CN110640358B (zh) | 一种可深入式回转管道焊接机器人 | |
| CN217007403U (zh) | 掩膜及晶圆检测夹具 | |
| CN103471826B (zh) | 精密管件双向插拔力检测装置 | |
| CN216161693U (zh) | 一种晶圆智能量测载台 | |
| CN206480707U (zh) | 极耳定位装置 | |
| CN111190103B (zh) | 一种电机驱动性能检测系统及其检测方法 | |
| CN103624536A (zh) | 一种压缩机内排气管自动矫正装置 | |
| CN210156122U (zh) | 一种高温气冷堆传热管氦质谱检漏吸枪装置 | |
| CN204771648U (zh) | 一种工业机器人传动轴键槽的加工夹具 | |
| CN107214491B (zh) | 一种注射器针座接头与针筒自动组装机 | |
| CN111438650A (zh) | 一种蝶阀安装装置 | |
| CN115831846A (zh) | 一种晶圆预对准装置 | |
| CN109461508B (zh) | 一种高温气冷堆传热管氦质谱检漏吸枪装置 | |
| CN212398833U (zh) | 一种可调节管件夹具 | |
| CN219178420U (zh) | 一种齿圈加工生产用质检装置 | |
| CN118060898B (zh) | 一种内花键齿轮和外花键轴的自动对齿装置 | |
| CN221455707U (zh) | 一种水轮机外壳加工用夹持机构 | |
| CN220435799U (zh) | 一种x射线管道爬行器 | |
| CN219444226U (zh) | 一种法兰加工用车床自动夹具 | |
| CN221560080U (zh) | 一种辅助桩腿火焰切割销孔平台 | |
| CN217596306U (zh) | 一种滑块式万向联轴器焊接装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 101399 North Wenhuaying Village, Shunyi District, Beijing (No. 1, Shunchuang 2nd Road) Patentee after: Beijing Ruihuayu Semiconductor Equipment Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: 101318 0146, Floor 3, Building 1, Yard 1, Shuangyu South Street, Shunyi District, Beijing Patentee before: Beijing Ketai optical core semiconductor equipment Technology Co.,Ltd. Country or region before: China |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20240324 Address after: 528248, No. 16 Guangming Avenue, New Light Source Industrial Base, Shishan Town, Nanhai District, Foshan City, Guangdong Province (Residence application, multiple photos for one address) Patentee after: Foshan Xince Technology Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: 101399 North Wenhuaying Village, Shunyi District, Beijing (No. 1, Shunchuang 2nd Road) Patentee before: Beijing Ruihuayu Semiconductor Equipment Co.,Ltd. Country or region before: China |