CN219457532U - 一种电池片刻蚀设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种电池片刻蚀设备，属于光伏电池片及半导体制造领域。其中，电池片刻蚀设备包括喷液机构和吸附机构，喷液机构为沿第一方向依次设置的多个，相邻的两个喷液机构间隔设置可以形成安装间隙，多个喷液机构之间至少形成一个安装间隙，全部的安装间隙中的至少一个安装间隙内设置有吸附机构，每一个设置有吸附机构的安装间隙内沿第一方向依次设置至少一个吸附机构。本实用新型通过吸附机构吸附去除刻蚀液，腾出了电池片上的容纳空间，更多的再次喷洒的刻蚀液因此能够进入电池片上的容纳空间，使得再次刻蚀电池片的刻蚀液的浓度得以提升，刻蚀效率得以提升。

Description

一种电池片刻蚀设备

技术领域

本实用新型涉及光伏电池片及半导体制造领域，具体涉及一种电池片刻蚀设备。

背景技术

制备电池片的工艺中一般需要在电池片的表面形成种子层，在种子层上完成栅线制备之后，需要保留电池片上栅线正下方区域的种子层，即需要采用刻蚀方法去除电池片上其他区域的种子层(称为多余种子层)。例如，中国专利CN115117183A异质结电池的加工方法和中国专利CN113013295A一种防止光伏电池边缘短路的电极制作方法及通过该方法形成的光伏电池均介绍了种子层的相关信息，可以作为参考以进一步加深对本申请中种子层的理解。

电池片刻蚀设备中，一般采用喷洒刻蚀液的方法对多余种子层进行刻蚀去除，仅通过一次喷洒一般无法去除多余种子层，因此需要对多余种子层进行多次喷洒，进而多次刻蚀以去除多余种子层。刻蚀是刻蚀液与多余种子层发生化学反应以溶解多余种子层的过程，刻蚀液中的有效成分随着化学反应的进行会不断被消耗，有效成分被部分或者全部消耗的刻蚀液称为残留的刻蚀液，残留的刻蚀液会降低刻蚀效率。通过再次喷洒刻蚀液，可以提升残留的刻蚀液中的有效成分，但是再次喷洒的刻蚀液和残留的刻蚀液混合之后形成的混合刻蚀液，其有效成分仍然无法达到初次喷洒的刻蚀液的浓度。电池片上能够容纳刻蚀液的空间有限，当残留的刻蚀液占据电池片上的大部分容纳空间，再次喷洒的刻蚀液无法全部被容纳到电池片上的容纳空间内，再次喷洒的刻蚀液会溅射或者溢流到电池片之外，会进一步导致混合刻蚀液的浓度较低。

电池片边缘的残留的刻蚀液更容易流出电池片之外，能够腾出较多的容纳空间以容纳再次喷洒的刻蚀液，这使得位于电池片边缘的混合刻蚀液的浓度大于位于电池片中部的混合刻蚀液的浓度，导致电池片刻蚀不均匀，位于电池片边缘的多余种子层会被提前刻蚀去除，而位于电池片中部的多余种子层会被延后刻蚀去除或者无法刻蚀去除。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种电池片刻蚀设备，以解决背景技术中的问题之一。

本实用新型提供的一种电池片刻蚀设备包括：

输送机构，用于沿第一方向输送电池片，所述输送机构包括输送工作面；

喷液机构，用于向输送机构输送的电池片上喷洒刻蚀液，所述喷液机构至少设置在所述输送工作面的上方且邻近所述输送工作面；

吸附机构，用于吸附喷洒在电池片上残留的刻蚀液，所述吸附机构设置在所述输送工作面的上方且邻近所述输送工作面；

所述喷液机构为沿所述第一方向依次设置的多个，相邻的两个所述喷液机构间隔设置可以形成安装间隙，所述多个喷液机构之间至少形成一个安装间隙，全部的所述安装间隙中的至少一个安装间隙内设置有吸附机构，每一个设置有所述吸附机构的所述安装间隙内沿所述第一方向依次设置至少一个所述吸附机构。

在一些实施例中，所述吸附机构包括吸附辊，所述吸附辊上设置有吸附孔，所述吸附孔连通真空吸附设备。

在一些实施例中，所述吸附辊包括辊轴和围绕所述辊轴设置的辊筒，所述辊轴或辊筒轴向设置有第一吸附孔，所述辊筒的表面径向设置有连通第一吸附孔的第二吸附孔，所述第一吸附孔连通真空吸附设备。

在一些实施例中，所述辊筒套设于辊轴上，所述辊筒转动连接于辊轴；所述辊轴轴向设置有第一吸附孔，所述辊轴的表面径向设置有连通第一吸附孔的第三吸附孔，所述辊筒表面径向设置有与所述第三吸附孔可连通的第二吸附孔，所述第一吸附孔连通真空吸附设备。

在一些实施例中，所述第三吸附孔至少为一个，且存在一个第三吸附孔与所述输送工作面正对设置，M个所述第二吸附孔沿辊筒的周向环绕分布在辊筒的表面上，M个所述第二吸附孔能够分别与第三吸附孔连通；其中，M为大于1的整数。

在一些实施例中，T个所述第二吸附孔沿第二方向分布在辊筒的表面上，T个所述第二吸附孔均连通第一吸附孔；其中，T为大于1的整数。

在一些实施例中，T个所述第二吸附孔沿第二方向分布在辊筒的表面上；沿第二方向，相邻的两个所述第二吸附孔之间的辊筒侧壁上固定套设有滚轮圈。

在一些实施例中，所述吸附机构包括吸附块，所述吸附块面对所述输送工作面的一侧设置有第二吸附孔，所述吸附块上还设置有连通第二吸附孔的第一吸附孔，所述第一吸附孔连通真空吸附设备。

在一些实施例中，邻近所述吸附块设置有导向组件，所述导向组件包括设置在所述吸附块及输送工作面之间的导向部，所述导向部用于限制输送工作面上的电池片靠近吸附块。

在一些实施例中，所述喷液机构包括喷管、连通所述喷管的管网以及向所述管网提供蚀刻液的喷液动力机构；所述管网包括第一连通管、连通所述第一连通管的第二连通管和连通所述第二连通管的第三连通管，所述管网通过所述第三连通管连通所述喷液动力机构，多个所述第一连通管沿第一方向依次设置，每个所述第一连通管上沿第二方向依次设置有多个所述喷管。

在一些实施例中，沿第一方向依次设置的多个所述第一连通管中，位于中间位置的所述第一连通管的设置高度小于位于两侧位置的所述第一连通管的设置高度；每个所述第一连通管上沿第二方向依次设置的多个所述喷管中，位于中间位置的所述喷管的设置高度小于位于两侧位置的所述喷管的设置高度。

在一些实施例中，多个所述喷液机构和多个吸附机构沿第一方向交错设置。

在一些实施例中，所述喷液机构的喷液口在输送工作面上的正投影称为喷液口第一投影，所述喷液口第一投影在输送垂平面上的正投影称为喷液口第二投影；沿第一方向，间隔一组吸附机构设置的两组喷液机构称为第一组喷液机构和第二组喷液机构，所述第一组喷液机构的喷液口第二投影和所述第二组喷液机构的喷液口第二投影部分重叠或者不重叠；其中，所述输送垂平面为垂直于所述输送工作面且沿着所述第二方向延伸的平面。

在一些实施例中，所述吸附机构的吸附口在输送工作面上的正投影称为吸附口第一投影，所述吸附口第一投影在所述输送垂平面上的正投影称为吸附口第二投影；沿第一方向，间隔一组喷液机构设置的两组吸附机构称为第一组吸附机构和第二组吸附机构，所述第一组吸附机构的吸附口第二投影和所述第二组吸附机构的吸附口第二投影部分重叠或者不重叠。

在一些实施例中，相邻的一组喷液机构和一组吸附机构称为刻蚀单元，在同一刻蚀单元中，所述一组喷液机构的喷液口第二投影和所述一组吸附机构的吸附口第二投影重叠。

在一些实施例中，所述喷液机构还设置在输送机构的输送工作面的下方。

在一些实施例中，所述喷液机构的喷液口距离所述输送工作面的距离为30mm-100mm，所述吸附机构的吸附口距离所述输送工作面的距离为1mm-5mm。

本实用新型实施例中的电池片刻蚀设备与现有技术相比，具有下列优点：

所述喷液机构为沿所述第一方向间隔设置的多个，多个所述喷液机构的至少一个间隔内设置至少一个吸附机构；位于吸附机构上游的喷液机构喷洒的刻蚀液，会被吸附机构全部或者部分吸附去除，腾出了电池片上的容纳空间，更多的再次喷洒的刻蚀液因此能够进入电池片上的容纳空间，使得再次刻蚀电池片的刻蚀液的浓度得以提升，刻蚀效率得以提升。

采用吸附机构及时去除电池片中部和电池片边缘的残留的刻蚀液，在电池片的中部无法形成积液，使得在电池片中部和电池片边缘的再次刻蚀电池片的刻蚀液的浓度基本相同，降低了电池片刻蚀不均匀的风险。

附图说明

附图1为本实用新型实施例中第一种刻蚀单元的结构示意图；

附图2为本实用新型实施例中第一种刻蚀设备的主视示意图；

附图3为本实用新型实施例中第一种刻蚀设备的右视示意图；

附图4为一体成型方案中吸附辊的轴向剖视示意图，图中箭头为吸附过程中气体或残留刻蚀液的流向；

附图5为分别成型方案中吸附辊的第一种结构的轴向剖视示意图，图中箭头为吸附过程中气体或残留刻蚀液的流向；

附图6为分别成型方案中吸附辊的第二种结构的轴向剖视示意图，图中箭头为吸附过程中气体或残留刻蚀液的流向；

附图7为分别成型方案中吸附辊的第二种结构的径向剖视示意图，图中箭头为吸附过程中气体或残留刻蚀液的流向；

附图8为本实用新型实施例中吸附辊的第三种结构的轴向剖视示意图，图中箭头为吸附过程中气体或残留刻蚀液的流向；

附图9为本实用新型实施例中第二种刻蚀单元的结构示意图；

附图10为第二种刻蚀单元中吸附机构的剖视示意图；

附图11为本实用新型实施例中第三种刻蚀单元的结构示意图；

附图12为本实用新型实施例中喷液机构的结构示意图；

附图13为本实用新型实施例中喷液机构的喷液口第一投影和吸附机构的吸附口第一投影的第一种分布状态示意图；

附图14为本实用新型实施例中喷液机构的喷液口第一投影和吸附机构的吸附口第一投影的第二种分布状态示意图；

附图15为本实用新型实施例中第四种刻蚀单元的结构示意图；

附图16为本实用新型实施例中第二种刻蚀设备的主视示意图；

其中附图标记的意思如下：110-输送机构，120-喷液机构，130-吸附机构，1311-辊轴，1311a-第一吸附孔，1311b-第三吸附孔，1312-辊筒，1312a-第二吸附孔，1313-滚轮圈，1320-吸附块，140-导向组件，121-喷管，122-管网，1221-第一连通管，1222-第二连通管，1223-第三连通管，123-喷液动力机构，120t-喷液口第一投影，130t-吸附口第一投影，200-电池片。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域的技术人员理解。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。

电池片刻蚀设备中，一般采用喷洒刻蚀液的方法对多余种子层进行刻蚀去除，仅通过一次喷洒一般无法去除多余种子层，因此需要对多余种子层进行多次喷洒，进而多次刻蚀以去除多余种子层。刻蚀是刻蚀液与多余种子层发生化学反应以溶解多余种子层的过程，刻蚀液中的有效成分随着化学反应的进行会不断被消耗，有效成分被部分或者全部消耗的刻蚀液称为残留的刻蚀液，残留的刻蚀液会降低刻蚀效率。通过再次喷洒刻蚀液，可以提升残留的刻蚀液中的有效成分，但是再次喷洒的刻蚀液和残留的刻蚀液混合之后形成的混合刻蚀液，其有效成分仍然无法达到初次喷洒的刻蚀液的浓度。电池片上能够容纳刻蚀液的空间有限，当残留的刻蚀液占据电池片上的大部分容纳空间，再次喷洒的刻蚀液无法全部被容纳到电池片上的容纳空间内，再次喷洒的刻蚀液会溅射或者溢流到电池片之外，会进一步导致混合刻蚀液的浓度较低。

电池片边缘的残留的刻蚀液更容易流出电池片之外，能够腾出较多的容纳空间以容纳再次喷洒的刻蚀液，这使得位于电池片边缘的混合刻蚀液的浓度大于位于电池片中部的混合刻蚀液的浓度，导致电池片刻蚀不均匀，位于电池片边缘的多余种子层会被提前刻蚀去除，而位于电池片中部的多余种子层会被延后刻蚀去除或者无法刻蚀去除。

基于此，本申请的实施例提出一种电池片刻蚀设备，提升再次喷洒的刻蚀液的浓度，进而提升刻蚀效率。如图1-图3所示，电池片刻蚀设备，包括：输送机构110，用于沿第一方向输送电池片200，输送机构110包括输送工作面；喷液机构120，用于向输送机构110输送的电池片200上喷洒刻蚀液，喷液机构120至少设置在输送工作面的上方且邻近输送工作面；吸附机构130，用于吸附喷洒在电池片200上残留的刻蚀液，吸附机构130设置在输送工作面的上方且邻近输送工作面；喷液机构120为沿第一方向依次设置的多个，相邻的两个喷液机构120间隔设置可以形成安装间隙，多个喷液机构120之间至少形成一个安装间隙，全部的安装间隙中的至少一个安装间隙内设置有吸附机构130，每一个设置有吸附机构130的安装间隙内沿第一方向依次设置至少一个吸附机构130。位于吸附机构130上游的喷液机构120喷洒的刻蚀液，会被吸附机构130全部或者部分吸附去除，腾出了电池片200上的容纳空间，更多的再次喷洒的刻蚀液因此能够进入电池片200上的容纳空间，使得再次刻蚀电池片的刻蚀液的浓度得以提升，刻蚀效率得以提升。

再次喷洒的刻蚀液由位于吸附机构130下游的喷液机构120喷洒。当上游的喷液机构120喷洒的刻蚀液被吸附机构130全部吸附去除，再次刻蚀电池片的刻蚀液即为再次喷洒的刻蚀液，其浓度和初次喷洒的刻蚀液(或者位于吸附机构130上游的喷液机构120喷洒的刻蚀液)的浓度相当；当上游的喷液机构120喷洒的刻蚀液被吸附机构130部分吸附去除，再次刻蚀电池片的刻蚀液为混合刻蚀液，混合刻蚀液的浓度被提升。电池片200由吸附机构130的上游向吸附机构130的下游输送。

需要说明的是，相邻的两个喷液机构120间隔设置可以形成安装间隙，相邻的两个喷液机构120也可以连接设置不形成安装间隙。例如，沿第一方向设置5个喷液机构120，第1-3个喷液机构120依次连接设置不形成安装间隙，第3-5个喷液机构120依次间隔设置形成2个安装间隙。

本实施例的技术方案至少包括以下两种情况：多个喷液机构120和多个吸附机构130沿第一方向交错设置，以及多个喷液机构120之间至少形成两个安装间隙且每个安装间隙内设置至少一个吸附机构130；在间隔设置的全部喷液机构120和全部吸附机构130中，第一种情况以吸附机构130结束，第二种情况以喷液机构120结束。

针对第一种情况进行举例：例如，沿第一方向依次设置第1个喷液机构120、第1个吸附机构130、第2个喷液机构120、第2个吸附机构130、第3个喷液机构120和第3个吸附机构130。例如，沿第一方向依次设置第1-2个喷液机构120、第1个吸附机构130、第3-6个喷液机构120、第2-3个吸附机构130、第7-9个喷液机构120和第4个吸附机构130。

针对第二种情况进行举例：例如，沿第一方向依次设置第1个喷液机构120、第1个吸附机构130、第2个喷液机构120、第2个吸附机构130和第3个喷液机构120。例如，沿第一方向依次设置第1-2个喷液机构120、第1个吸附机构130、第3-6个喷液机构120、第2-3个吸附机构130和第7-9个喷液机构120。

具体地，皮带输送机构支撑电池片200的一面，可以称为输送机构110的输送工作面；在辊筒输送机构中，支撑电池片200的多个输送辊筒与电池片200相切形成对应的多个切线，包含该多个切线的平面可以称为输送机构110的输送工作面。

输送机构110的输送工作面简称为输送工作面，喷液机构120设置在输送工作面的上方且邻近输送工作面，可以理解为喷液机构120设置在输送工作面的上方合适的位置，当电池片200放置在输送工作面上被输送的过程中，电池片200经过喷液机构120的下方时，具体可以为电池片200经过喷液机构120的正下方时，喷液机构120能够向电池片200的上表面喷洒刻蚀液。

吸附机构130设置在输送工作面的上方且邻近输送工作面，可以理解为吸附机构130设置在输送工作面的上方合适的位置，当电池片200放置在输送工作面上被输送的过程中，电池片200经过吸附机构130的下方时，具体可以为电池片200经过吸附机构130的正下方时，吸附机构130能够吸附去除残留的刻蚀液。

吸附机构130的结构存在多种情况，为了更好地说明吸附机构130的工作原理，下文将示例性地描述吸附机构130的几种实施方式。

在吸附机构130的第一种实施方式中，如图4-8所示，吸附机构130包括吸附辊，吸附辊上设置有吸附孔，吸附孔连通真空吸附设备。吸附辊包括辊轴1311和围绕辊轴1311设置的辊筒1312，辊轴1311和辊筒1312一体成型或者分别成型，当分别成型时，辊筒1312套设于辊轴1311。如图4所示，在辊轴1311和辊筒1312一体成型的方案中，辊轴1311或辊筒1312轴向设置有第一吸附孔1311a，优选为辊轴1311轴向设置有第一吸附孔1311a，辊筒1312的表面径向设置有连通第一吸附孔1311a的第二吸附孔1312a，第一吸附孔1311a连通真空吸附设备。

工作状态下，辊轴1311和辊筒1312同步转动，真空吸附设备对第一吸附孔1311a和第二吸附孔1312a抽真空，使得第一吸附孔1311a和第二吸附孔1312a内形成负压；当辊筒1312上的第二吸附孔1312a转动到面对输送工作面的一侧，且第二吸附孔1312a的吸附行程能够达到输送工作面，此状态下的第二吸附孔1312a称为有效第二吸附孔1312a，有效第二吸附孔1312a能够吸附去除残留的刻蚀液，被有效第二吸附孔1312a吸附的残留的刻蚀液汇集到第一吸附孔1311a后流入真空吸附设备。

具体地，M个第二吸附孔1312a沿辊筒1312的周向环绕分布在辊筒1312的表面上，全部的第二吸附孔1312a均从辊筒1312的表面上径向连通到第一吸附孔1311a；这使得在任意时刻，辊筒1312上均存在有效第二吸附孔1312a，可以连续吸附去除残留的刻蚀液。优选地，M个第二吸附孔1312a沿辊筒1312的周向均匀分布在辊筒1312的表面上，使得辊筒1312能够均匀吸附去除残留的刻蚀液。

定义：辊筒1312的轴向为第二方向，在优选的实施例中，第一方向和第二方向相互垂直。在具体的实施例中，图2中的箭头方向表示第一方向，图3中的箭头方向或者箭头的相反方向表示第二方向，图4中的箭头方向或者箭头的相反方向表示第二方向。

具体地，T个第二吸附孔1312a沿第二方向分布在辊筒1312的表面上，T个第二吸附孔1312a均连通第一吸附孔1311a；T个第二吸附孔1312a的吸附作用范围能够一次覆盖一个电池片200更多的表面积，或者T个第二吸附孔1312a的吸附作用范围能够一次覆盖多个电池片200表面积，提升了吸附去除残留的刻蚀液的效率。T个第二吸附孔1312a沿第二方向均匀分布在辊筒1312的表面上，使得辊筒1312能够均匀吸附去除残留的刻蚀液。

优选地，M个第二吸附孔1312a沿辊筒1312的周向环绕分布在辊筒1312的表面上构成一圈第二吸附孔1312a；沿第二方向，辊筒1312上设置有T圈第二吸附孔1312a；即辊筒1312的表面上排布有M×T个第二吸附孔1312a。优选地，M×T个第二吸附孔1312a均匀分布在辊筒1312的表面上，使得辊筒1312能够均匀吸附去除残留的刻蚀液。

以上，M为大于1的整数，T为大于1的整数；优选为，M为大于3的整数，T为大于3的整数。

如图5-7所示，在辊轴1311和辊筒1312分别成型的方案中，辊轴1311固定设置，辊筒1312套设于辊轴1311上，辊筒1312转动连接于辊轴1311；辊轴1311轴向设置有第一吸附孔1311a，辊轴1311的表面径向设置有连通第一吸附孔1311a的第三吸附孔1311b，辊筒1312表面径向设置有第二吸附孔1312a，第一吸附孔1310a连通真空吸附设备。工作状态下，辊筒1312转动预设角度，第二吸附孔1312a和第三吸附孔1311b连通，真空吸附设备对第一吸附孔1311a、第三吸附孔1311b和第二吸附孔1312a抽真空，使得第一吸附孔1311a、第三吸附孔1311b和第二吸附孔1312a内形成负压；当辊筒1312上的第二吸附孔1312a转动到面对输送工作面的一侧，且第二吸附孔1312a的吸附行程能够达到输送工作面，此状态下的第二吸附孔1312a称为有效第二吸附孔1312a，有效第二吸附孔1312a能够吸附去除残留的刻蚀液，被有效第二吸附孔1312a吸附的残留的刻蚀液通过第三吸附孔1311b汇集到第一吸附孔1311a，然后流入真空吸附设备。

具体地，N个第三吸附孔1311b沿辊轴1311的周向环绕分布在辊轴1311的表面上，M个第二吸附孔1312a沿辊筒1312的周向环绕分布在辊筒1312的表面上；当第二吸附孔1312a和第三吸附孔1311b连通时，第二吸附孔1312a内形成负压，能够吸附电池片200上残留的刻蚀液；当第二吸附孔1312a和第三吸附孔1311b错位不连通时，第二吸附孔1312a内无法形成负压，无法吸附电池片200上残留的刻蚀液。其中，N为大于或等于1的整数，M为大于1的整数。优选地，N个第三吸附孔1311b沿辊轴1311的周向均匀环绕分布在辊轴1311的表面上，M个第二吸附孔1312a沿辊筒1312的周向均匀环绕分布在辊筒1312的表面上，N≤M；当辊筒1312围绕辊轴1311匀速转动时，每间隔预设的时间，M个第二吸附孔1312a中的N个能够分别与N个第三吸附孔1311b连通。

M个第二吸附孔1312a沿辊筒1312的周向环绕分布在辊筒1312的表面上构成一圈第二吸附孔1312a，与该一圈第二吸附孔1312a连通的有效第三吸附孔1311b的数量至少为1个。沿第二方向，辊筒1312上设置有T圈第二吸附孔1312a，在该T圈第二吸附孔1312a的任意一圈中，与该任意一圈第二吸附孔1312a连通的有效第三吸附孔1311b的数量至少为1个。

当辊筒1312上的第二吸附孔1312a转动到面对输送工作面的一侧，且第二吸附孔1312a的吸附行程能够达到输送工作面，此状态下的第二吸附孔1312a才为有效第二吸附孔1312a，其他状态的第二吸附孔1312a称为无效第二吸附孔1312a。能够与有效第二吸附孔1312a连通的第三吸附孔1311b称为，有效第三吸附孔1311b；反之为无效第三吸附孔1311b。连通无效第二吸附孔1312a会导致漏气，影响有效第二吸附孔1312a的吸附效果，因此需要避免设置无效第三吸附孔1311b来连通无效第二吸附孔1312a。

具体地，有效第二吸附孔1312a的延伸方向与输送工作面的夹角为α，30度≤α≤90度，优选为60度≤α≤90度。当α＝90度，第二吸附孔1312a正对输送工作面。有效第三吸附孔1311b的延伸方向与输送工作面的夹角为β，30度≤β≤90度，优选为60度≤β≤90度。当β＝90度，第三吸附孔1311b正对输送工作面。当有效第二吸附孔1312a为多个，多个有效第二吸附孔1312a的延伸方向与输送工作面的夹角均在α的范围内；当有效第三吸附孔1311b为多个，多个有效第三吸附孔1311b的延伸方向与输送工作面的夹角均在β的范围内。

优选地，第三吸附孔1311b至少为一个，且存在一个第三吸附孔1311b与输送工作面正对设置，M个第二吸附孔1312a沿辊筒1312的周向环绕分布在辊筒1312的表面上，M个第二吸附孔1312a能够分别与第三吸附孔1311b连通。

优选地，如图6-图7所示，6个第二吸附孔1312a沿辊筒1312的周向均匀分布在辊筒1312的表面上构成一圈第二吸附孔1312a，与该一圈第二吸附孔1312a连通的有效第三吸附孔1311b的数量为1个。沿第二方向，辊筒1312上设置有12圈第二吸附孔1312a，在该12圈第二吸附孔1312a的任意一圈中，与该任意一圈第二吸附孔1312a连通的有效第三吸附孔1311b的数量为1个。更优选地，与该任意一圈第二吸附孔1312a连通的有效第三吸附孔1311b，与输送工作面正对设置，即前文所述的β＝90度。在同一吸附辊中，保持一个有效第三吸附孔1311b与输送工作面正对设置，与该有效第三吸附孔1311b连通的第二吸附孔1312a也与输送工作面正对设置，该第二吸附孔1312a的吸附口与输送工作面的距离最短，能够对输送工作面上的电池片200产生更大的吸附力，进而更好地吸附残留的刻蚀液。

具体地，辊筒1312上设置有安装槽，安装槽内设置有轴承1313，轴承1313的外圈固定连接于安装槽内壁，轴承1313的内圈套设于辊轴1311上，轴承1313的内圈固定连接于辊轴1311。工作状态下，辊轴1311固定设置，辊筒1312通过轴承1313转动连接于辊轴1311。

在其他实施例中，吸附辊可能会吸住电池片200，导致电池片200无法被正常传输，因此在辊筒1312上套设滚轮圈1313，滚轮圈1313距离输送工作面的最小距离大于辊筒1312距离输送工作面的最小距离，在吸附辊吸附电池片200向自身靠近的过程中，滚轮圈1313会预先抵住电池片200，从而避免电池片200被吸附辊吸住。尤其是辊轴1311和辊筒1312均固定设置，吸附辊吸住电池片200的概率会大幅提升，有必要设置滚轮圈1313以降低该风险。

具体地，T个第二吸附孔1312a沿第二方向分布在辊筒1312的表面上；沿第二方向，相邻的两个第二吸附孔1312a之间的辊筒1312侧壁上固定套设有滚轮圈1313。

在吸附机构130的第二种实施方式中，如图9-11中，吸附机构130包括吸附块1320，吸附块1320正对电池片的一侧设置有第二吸附孔1312a，吸附块1320上还设置有连通第二吸附孔1312a的第一吸附孔1311a，第一吸附孔1311a连通真空吸附设备。吸附块1320可以棱柱结构，或者畸形块状结构，优选为四棱柱结构。工作状态下，真空吸附设备对第一吸附孔1311a和第二吸附孔1312a抽真空，使得第一吸附孔1311a和第二吸附孔1312a内形成负压；第二吸附孔1312a距离输送工作面设定距离，使得第二吸附孔1312a的吸附行程能够达到输送工作面，第二吸附孔1312a能够吸附去除残留的刻蚀液，被第二吸附孔1312a吸附的残留的刻蚀液汇集到第一吸附孔1311a后流入真空吸附设备。当吸附块1320固定设置，为了保持吸附效率，控制全部第二吸附孔1312a距离输送工作面为设定距离，可以使得全部第二吸附孔1312a为有效第二吸附孔1312a。

吸附块1320可能会吸住电池片200，导致电池片200无法被正常传输，因此设置导向组件140，用于限制电池片200靠近吸附块1320，避免电池片200被吸在吸附块1320上，导向组件140距离输送工作面的最小距离小于吸附块1320距离输送工作面的最小距离，在吸附块1320吸附电池片200向自身靠近的过程中，导向组件140会预先抵住电池片200，从而避免电池片200被吸附块1320吸住。具体地，导向组件140包括导向部，导向部包括导向点、导向棱和导向面中的任一者或者其组合，吸附块1320上开设第二吸附孔1312a的一面称为吸附面，吸附面平行于输送工作面，导向部距离输送工作面的最小距离小于吸附面距离输送工作面的距离。优选地，导向组件140包括滚轮、滚轮串、滚筒或者滚筒串。示例地，导向组件140包括滚轮，滚轮的转动轴沿第二方向设置，滚轮为不共线的三个，每个滚轮的至少部分设置在吸附块1320和输送工作面之间的空间内。滚轮串、滚筒或者滚筒串的设置方式可以参考示例中的滚轮。

以下继续对喷液机构120的结构进行介绍。喷液机构120包括喷管121、管网122以及喷液动力机构123。如图12所示，管网122包括第一连通管1221、第二连通管1222和第三连通管1223，多个第一连通管1221沿第一方向依次设置，优选地，多个第一连通管1221沿第一方向间隔设置，更优选地，多个第一连通管1221沿第一方向等间距间隔设置，全部的第一连通管1221通过第二连通管1222连通。每个第一连通管1221上沿第二方向依次设置有多个喷管121，优选地，多个喷管121沿第二方向间隔设置在第一连通管1221上，更优选地，多个喷管121沿第二方向等间距间隔设置在第一连通管1221上。第二连通管1222连接喷液动力机构123，具体地，第二连通管1222连通第三连通管1223，第三连通管1223连接喷液动力机构123，喷液动力机构123为液泵，液泵可以设置在刻蚀液的储存槽内的刻蚀液中，液泵也可以设置在第一连通管1221或第二连通管1222上。当然，喷液动力机构123也可以为其他动力机构，例如空压机，空压机压缩储存槽内的刻蚀液，可以将刻蚀液压入第一连通管1221内。第一连通管1221、第二连通管1222和第三连通管1223上均可以设置阀门，通过阀门控制第一连通管1221、第二连通管1222和第三连通管1223内的流量，具体地，阀门可以为流量阀，例如电磁流量阀。

如果全部喷管121喷出的刻蚀液的流量相同，电池片200边缘的残留的刻蚀液更容易流出电池片200之外，能够腾出较多的容纳空间以容纳再次喷洒的刻蚀液，这使得位于电池片200边缘的混合刻蚀液的浓度大于位于电池片200中部的混合刻蚀液的浓度，导致电池片200刻蚀不均匀，位于电池片200边缘的多余种子层会被提前刻蚀去除，而位于电池片200中部的多余种子层会被延后刻蚀去除或者无法刻蚀去除。为了降低这种情况导致的电池片200刻蚀不均匀的风险，可以采用前述的吸附机构130及时去除电池片200中部和电池片200边缘的残留的刻蚀液，或者通过控制喷管121喷出的刻蚀液的流量。

控制喷管121喷出的刻蚀液的流量可以采用以下方案实现：沿第二方向依次设置的多个喷管121中，位于中间位置的喷管121的流量大于位于两侧位置的喷管121的流量，优选地，位于中间位置的喷管121为一个或者两个，该一个或者两个喷管121的流量最大，位于两侧位置的喷管121的流量向远离中间位置的方向递减。沿第一方向依次设置的多个第一连通管1221中，位于中间位置的第一连通管1221的流量大于位于两侧位置的第一连通管1221的流量，优选地，位于中间位置的第一连通管1221为一个或者两个，该一个或者两个第一连通管1221的流量最大，位于两侧位置的第一连通管1221的流量向远离中间位置的方向递减。具体地，在全部喷管121上设置流量阀，通过流量阀控制各喷管121的流量。

需要说明的是，沿第二方向依次设置的多个喷管121根据位置被划分为：位于中间位置的喷管121和位于两侧位置的喷管121。位于中间位置的喷管121的数量至少为一个，位于两侧位置的喷管121的数量至少为一个。当位于中间位置的喷管121的数量为多个，位于两侧位置的喷管121的数量也为多个，位于中间位置的喷管121的流量大于位于两侧位置的喷管121的流量是指：位于中间位置的多个喷管121的平均流量大于位于两侧位置的多个喷管121的平均流量，或者位于中间位置的多个喷管121的最小流量大于位于两侧位置的多个喷管121的最大流量。特别地，位于中间位置的多个喷管121的流量均相等，位于两侧位置的多个喷管121的流量均相等。示例地，喷管121的数量为10个，第1-3个喷管121的流量均为1.8L/min，第4-6个喷管121的流量均为2.0L/min，第7-10个喷管121的流量均为1.7L/min。同理，位于中间位置的第一连通管1221的流量大于位于两侧位置的第一连通管1221的流量可以参考上述说明。

为了便于清楚描述，进一步定义：第一方向为前，与之相反的方向为后，第二方向为左，与之相反的方向为右。那么前文中，位于两侧位置的喷管121，是指位于中间位置左右两侧的喷管121，这里的中间位置是指左右方向上的中间位置；位于两侧位置的第一连通管1221，是指位于中间位置前后两侧的第一连通管1221，这里的中间位置是指前后方向上的中间位置。

优选地，电池片200沿第一方向被输送，导致电池片200上刻蚀速度最慢的位置为位于中部靠后的位置，该位置称为第一刻蚀位置。沿第一方向依次设置的多个第一连通管1221中，位于第一刻蚀位置的第一连通管1221的流量大于位于第一刻蚀位置前后两侧的第一连通管1221的流量，优选地，位于第一刻蚀位置的第一连通管1221为一个或者两个，该一个或者两个第一连通管1221的流量最大，位于第一刻蚀位置前后两侧的第一连通管1221的流量向远离第一刻蚀位置的方向递减。

为了更好地理解本方案，进一步作示例性的描述。沿第一方向依次设置p个第一连通管1221，p个第一连通管1221中的流量依次为v₁、v₂、v₃、v₄……v_p，p为大于2的整数，优选为大于5的整数。每一个第一连通管1221中，沿第二方向依次设置q个喷管121，在第1个第一连通管1221中，其q个喷管121中的流量依次为v₁₁、v₁₂、v₁₃、v₁₄……v_1q；在第2个第一连通管1221中，其q个喷管121中的流量依次为v₂₁、v₂₂、v₂₃、v₂₄……v_2q……在第p个第一连通管1221中，其q个喷管121中的流量依次为v_p1、v_p2、v_p3、v_p4……v_pq；q为大于2的整数，优选为大于5的整数。假设i为大于2且小于或等于p的任意整数，j为大于2且小于或等于q的任意整数；则第二连通管1222中的流量为V，其计算公式如下：

当p为奇数，位于中间位置的第一连通管1221为一个，位于中间位置的第一连通管1221的流量为则第i个第一连通管1221的流量为/>其中，v_s为位于前后两侧位置的第一连通管1221的单位流量递减量，为常数，a和n为递减指数，对单位流量递减量进行放大或者缩小，其取决于电池片200的被输送速度、电池片200的尺寸、刻蚀液的种类和浓度等因素。例如，a的取值为1.2或者2，n的取值为1或者2或者3。

当p为偶数，位于中间位置的第一连通管1221为两个，位于中间位置的第一连通管1221的流量均为则第i个第一连通管1221的流量为：

类似地，可以推导出第i个第一连通管1221上的q个喷管121中的流量公式。

当q为奇数，位于第i个第一连通管1221上中间位置的喷管121为一个，位于第i个第一连通管1221上中间位置的喷管121的流量为则第j个喷管121的流量为其中，v_is为位于第i个第一连通管1221上左右两侧位置的喷管121的单位流量递减量，为常数，b和n为递减指数，对单位流量递减量进行放大或者缩小，其取决于电池片200的被输送速度、电池片200的尺寸、刻蚀液的种类和浓度等因素。例如，b的取值为1.2或者2，n的取值为1或者2或者3。

当q为偶数，位于第i个第一连通管1221上中间位置的喷管121为两个，位于第i个第一连通管1221上中间位置的喷管121的流量均为则第j个喷管121的流量为：

通过以上公式，可以快速计算出各个喷管121中的流量需求，进而通过流量阀对各个喷管121中的流量进行精准控制，实现对电池片200的均匀刻蚀。优选地，v_i0的取值范围为0.4-3L/min，例如可以为0.4L/min、0.5L/min、0.8L/min、1.2L/min、1.6L/min、1.9L/min、2.0L/min、2.29L/min、2.6L/min或者3.06L/min；v_is的取值范围为0.05-0.3L/min，例如可以为0.05L/min、0.08L/min、0.11L/min、0.12L/min、0.15L/min、0.2L/min、0.25L/min或者0.3L/min。

当喷管121喷出的刻蚀液呈锥状分布，可以通过控制喷管121的设置高度以改变喷洒覆盖区间内单位刻蚀液的量，喷管121的设置高度越高，喷洒覆盖区间越大，单位刻蚀液的量越少。喷管121的设置高度是指喷管121与输送工作面的距离值。因此，可以采用以下方案提升电池片200刻蚀的均匀性：沿第二方向依次设置的多个喷管121中，位于中间位置的喷管121的设置高度较小，位于两侧位置的喷管121的设置高度较大，优选地，位于中间位置的喷管121为一个或者两个，该一个或者两个喷管121的设置高度最小，位于两侧位置的喷管121的设置高度向远离中间位置的方向递增。沿第一方向依次设置的多个第一连通管1221中，位于中间位置的第一连通管1221的设置高度较小，位于两侧位置的第一连通管1221的设置高度较大，优选地，位于中间位置的第一连通管1221为一个或者两个，该一个或者两个第一连通管1221的设置高度最小，位于两侧位置的第一连通管1221的设置高度向远离中间位置的方向递增。

优选地，电池片200沿第一方向被输送，导致电池片200上刻蚀速度最慢的位置为位于中部靠后的位置，该位置称为第一刻蚀位置。沿第一方向依次设置的多个第一连通管1221中，位于第一刻蚀位置的第一连通管1221的设置高度较小，位于第一刻蚀位置前后两侧的第一连通管1221的设置高度较大，优选地，位于第一刻蚀位置的第一连通管1221为一个或者两个，该一个或者两个第一连通管1221的设置高度最小，位于第一刻蚀位置前后两侧的第一连通管1221的设置高度向远离第一刻蚀位置的方向递增。

当喷液机构120为多个，如何更好地对多个喷液机构120喷洒的刻蚀液进行吸附去除，如何保证喷液机构120喷洒的刻蚀液能够覆盖整个电池片200，如何保证吸附机构130能够吸附整个电池片200上的残留刻蚀液。另外，位于输送工作面上方的空间位置有限，当多个喷液机构120和多个吸附机构130均需要设置在输送工作面上方，也需要合理进行布局，避免彼此干涉。例如，可以将多个喷液机构120和多个吸附机构130沿第一方向交错设置，通过每间隔不确定数量的喷液机构120设置不确定数量的吸附机构130，及时吸附去除电池片200上的残留刻蚀液。

多个喷液机构120和多个吸附机构130沿第一方向交错设置，是指沿第一方向每间隔一定数量的喷液机构120设置一定数量的吸附机构130。例如，沿第一方向依次设置第1个喷液机构120、第1个吸附机构130、第2个喷液机构120、第2个吸附机构130、第3个喷液机构120和第3个吸附机构130……每间隔1个喷液机构120设置1个吸附机构130。例如，沿第一方向依次设置第1-2个喷液机构120、第1个吸附机构130、第3-4个喷液机构120、第2个吸附机构130、第5-6个喷液机构120和第3个吸附机构130……每间隔2个喷液机构120设置1个吸附机构130。例如，沿第一方向依次设置第1-2个喷液机构120、第1个吸附机构130、第3-6个喷液机构120、第2-3个吸附机构130、第7-9个喷液机构120和第4个吸附机构130……每间隔不确定数量的喷液机构120设置不确定数量的吸附机构130。

为了方便描述喷液机构120的喷液口的空间位置，继续定义：输送垂平面是指，垂直于输送工作面且沿着第二方向延伸的平面；喷液机构120的喷液口在输送工作面上的正投影称为喷液口第一投影，喷液口第一投影在输送垂平面上的正投影，称为喷液口第二投影。沿第一方向，间隔一组吸附机构130设置的两组喷液机构120称为第一组喷液机构120和第二组喷液机构120，第一组喷液机构120的喷液口第二投影和第二组喷液机构120的喷液口第二投影部分重叠或者不重叠，避免第一组喷液机构120和第二组喷液机构120在电池片200上的喷洒覆盖区间完全重复，导致电池片200刻蚀不均匀。优选地，第一组喷液机构120的喷洒覆盖区间和第二组喷液机构120的喷洒覆盖区间部分重叠，使得第一组喷液机构120和第二组喷液机构120的喷洒覆盖区间能够在电池片200上形成连续的喷洒覆盖区间；更优选地，电池片200从第一组喷液机构120和第二组喷液机构120的下方被输送时，第一组喷液机构120和第二组喷液机构120的喷洒覆盖区间能够扫过整个电池片200。

具体地，第一组喷液机构120包括多个喷液机构120，该多个喷液机构120的喷液口第二投影重叠。第一组喷液机构120为1个以上，例如1个、2个、3个、4个、5个、6个、7个、8个、9个或者10个；第二组喷液机构120为1个以上，例如1个、2个、3个、4个、5个、6个、7个、8个、9个或者10个。

为了方便描述吸附机构130的吸附口的空间位置，继续定义：吸附机构130的吸附口在输送工作面上的正投影称为吸附口第一投影，吸附口第一投影在输送垂平面上的正投影，称为吸附口第二投影；沿第一方向，间隔一组喷液机构120设置的两组吸附机构130称为第一组吸附机构130和第二组吸附机构130，第一组吸附机构130的吸附口第二投影和第二组吸附机构130的吸附口第二投影部分重叠或者不重叠，避免第一组吸附机构130和第二组吸附机构130在电池片200上的吸附覆盖区间完全重复，导致电池片200上残留的刻蚀液无法全部被吸附去除。优选地，第一组吸附机构130的吸附覆盖区间和第二组吸附机构130的吸附覆盖区间部分重叠，使得第一组吸附机构130和第二组吸附机构130的吸附覆盖区间能够在电池片200上形成连续的吸附覆盖区间；更优选地，电池片200从第一组吸附机构130和第二组吸附机构130的下方被输送时，第一组吸附机构130和第二组吸附机构130的吸附覆盖区间能够扫过整个电池片200。

具体地，第一组吸附机构130包括多个吸附机构130，该多个吸附机构130的吸附口第二投影重叠。第一组吸附机构130为1个以上，例如1个、2个、3个、4个、5个、6个、7个、8个、9个或者10个；第二组吸附机构130为1个以上，例如1个、2个、3个、4个、5个、6个、7个、8个、9个或者10个。

相邻的一组喷液机构120和一组吸附机构130称为刻蚀单元，在同一刻蚀单元中，喷液机构120的喷液口第二投影和吸附机构130的吸附口第二投影重叠，优选为完全重叠。在同一刻蚀单元中，喷液机构120为1个以上，例如1个、2个、3个、4个、5个、6个、7个、8个、9个或者10个；吸附机构130为1个以上，例如1个、2个、3个、4个、5个、6个、7个、8个、9个或者10个。

示例地，如图13所示，图中x方向表示第一方向，y方向表示第二方向，多个喷液机构120的喷液口第一投影120t沿第二方向等间距间隔设置，多个吸附机构130的吸附口第一投影130t沿第二方向等间距间隔设置，喷液机构120的喷液口第一投影120t和吸附机构130的吸附口第一投影130t沿第一方向交错设置，喷液机构120的喷液口第二投影和吸附机构130的吸附口第二投影完全重叠。但是，沿第一方向，间隔一组吸附机构130设置的两组喷液机构120称为第一组喷液机构120和第二组喷液机构120，第一组喷液机构120的喷液口第二投影和第二组喷液机构120的喷液口第二投影完全重叠，即第一组喷液机构120和第二组喷液机构120在电池片200上的喷洒覆盖区间完全重复，导致电池片200上一部分位置的不断被喷洒刻蚀液，另一部分位置无法喷洒到刻蚀液。同理，第一组吸附机构130和第二组吸附机构130在电池片200上的吸附覆盖区间完全重复，导致电池片200上一部分位置的残留刻蚀液可以被吸附去除，另一部分位置的残留刻蚀液无法被吸附去除。为了改善这种情况，可以采用如图14所示的方案，第一组喷液机构120的喷液口第一投影120t和第二组喷液机构120的喷液口第一投影120t，在第一方向上相互交错设置，使得第一组喷液机构120和第二组喷液机构120在电池片200上的喷洒覆盖区间不完全重复或者不重复，提升了全部喷液机构120在电池片200上喷洒的均匀性；同理，第一组吸附机构130的吸附口第一投影130t和第二组吸附机构130的吸附口第一投影130t，在第一方向上相互交错设置，使得第一组吸附机构130和第二组吸附机构130在电池片200上的吸附覆盖区间不完全重复或者不重复，提升了全部吸附机构130在电池片200上吸附的均匀性。

需要说明的是，喷液机构120的喷洒覆盖区间一般大于喷液机构120的喷液口第一投影，因此即使第一组喷液机构120的喷液口第二投影和第二组喷液机构120的喷液口第二投影不重叠，第一组喷液机构120的喷洒覆盖区间和第二组喷液机构120的喷洒覆盖区间也可以部分重叠。同理，适用于吸附机构130的吸附覆盖区间。

为方便描述喷液机构120和吸附机构130的位置关系，定义相邻的一组喷液机构120和一组吸附机构130称为刻蚀单元。在同一刻蚀单元中，喷液机构120的喷液口第二投影和吸附机构130的吸附口第二投影重叠，保证同一刻蚀单元中的喷液机构120喷出的刻蚀液能够及时被同一刻蚀单元中的吸附机构130吸附去除。优选地，在同一刻蚀单元中，喷液机构120的喷液口第二投影的面积小于吸附机构130的吸附口第二投影的面积。

在具体的实施例中，喷液口可以为喷嘴，吸附口可以为吸嘴的；优选地，喷液口可以为喷嘴的出液口，吸附口可以为吸嘴的进气口。例如，喷液口为喷管121的出液口，吸附口为第二吸附孔1312a的进气口。

在具体的实施例中，除了其他必要部件，一个喷液机构120可以仅由一个第一连通管1221及在第一连通管1221上设置的多个喷管121组成。

当一些类型的电池片200为双面结构，需要进行双面刻蚀。喷液机构120还需要设置在输送机构110的输送工作面的下方附近，以对电池片200的下表面进行刻蚀。

在具体的实施例中，喷液机构120的喷液口距离输送工作面的距离为30mm-100mm，例如可以为30mm、35mm、40mm、45mm、50mm、55mm、60mm、65mm、70mm、75mm、80mm、85mm、95mm或者100mm，优选为40mm-80mm；喷液口距离输送工作面的距离太近，例如小于30mm，喷液口的喷洒范围太小，需要缩小喷液口之间的间距，增加喷液口的数量，这会提升制造成本；喷液口距离输送工作面的距离太远，例如大于100mm，喷液口的喷洒压力太小，无法较好地对电池片200进行刻蚀。吸附机构130的吸附口距离输送工作面的距离为1mm-5mm，例如可以为1mm、1.5mm、2.0mm、2.5mm、3.5mm、4.0mm、4.5mm或者5.0mm，优选为2mm-4mm；吸附口距离输送工作面的距离太近，吸附口容易吸住电池片200，影响电池片200的输送，吸附口距离输送工作面的距离太远，吸附口对残留的刻蚀液的吸附效果降低，无法较好地吸附去除残留的刻蚀液。

在具体的实施例中，输送机构包括沿第一方向间隔设置的多组对辊，每组对辊中的至少一个辊为主动辊，通过对辊转动以摩擦驱动电池片200沿第一方向移动。如图1-2所示，同一刻蚀单元中的喷液机构120和吸附机构130可以间隔至少一组对辊，如图15-16所示，同一刻蚀单元中的喷液机构120和吸附机构130可以相邻设置，同一刻蚀单元中的喷液机构120和吸附机构130之间不设置对辊。以上刻蚀单元的结构可以根据工艺改良的需要进行选用，本实施例不再作进一步说明。

需要说明的是，本申请不涉及刻蚀液的改进，刻蚀液可以采用HF、HNO3或者H2[SiF6]等酸性溶液，也可以采用现有技术中其他合适的药液。

需要说明的是，本申请所说的电池片200是处于生产过程中的电池片，并非市场销售的电池片成品。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (17)

1.一种电池片刻蚀设备，其特征在于，包括：

输送机构，用于沿第一方向输送电池片，所述输送机构包括输送工作面；

喷液机构，用于向输送机构输送的电池片上喷洒刻蚀液，所述喷液机构至少设置在所述输送工作面的上方且邻近所述输送工作面；

吸附机构，用于吸附喷洒在电池片上残留的刻蚀液，所述吸附机构设置在所述输送工作面的上方且邻近所述输送工作面；

所述喷液机构为沿所述第一方向依次设置的多个，相邻的两个所述喷液机构间隔设置可以形成安装间隙，所述多个喷液机构之间至少形成一个安装间隙，全部的所述安装间隙中的至少一个安装间隙内设置有吸附机构，每一个设置有所述吸附机构的所述安装间隙内沿所述第一方向依次设置至少一个所述吸附机构。

2.根据权利要求1所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，所述吸附机构包括吸附辊，所述吸附辊上设置有吸附孔，所述吸附孔连通真空吸附设备。

3.根据权利要求2所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，所述吸附辊包括辊轴和围绕所述辊轴设置的辊筒，所述辊轴或辊筒轴向设置有第一吸附孔，所述辊筒的表面径向设置有连通第一吸附孔的第二吸附孔，所述第一吸附孔连通真空吸附设备。

4.根据权利要求2所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，所述吸附辊包括辊轴和辊筒，所述辊筒套设于辊轴上，所述辊筒转动连接于辊轴；所述辊轴轴向设置有第一吸附孔，所述辊轴的表面径向设置有连通第一吸附孔的第三吸附孔，所述辊筒表面径向设置有与所述第三吸附孔可连通的第二吸附孔，所述第一吸附孔连通真空吸附设备。

5.根据权利要求4所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，所述第三吸附孔至少为一个，且存在一个第三吸附孔与所述输送工作面正对设置，M个所述第二吸附孔沿辊筒的周向环绕分布在辊筒的表面上，M个所述第二吸附孔能够分别与第三吸附孔连通；其中，M为大于1的整数。

6.根据权利要求3-5中任一项所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，T个所述第二吸附孔沿第二方向分布在辊筒的表面上，T个所述第二吸附孔均连通第一吸附孔；其中，T为大于1的整数。

7.根据权利要求3-5中任一项所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，T个所述第二吸附孔沿第二方向分布在辊筒的表面上；沿第二方向，相邻的两个所述第二吸附孔之间的辊筒侧壁上固定套设有滚轮圈。

8.根据权利要求1所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，所述吸附机构包括吸附块，所述吸附块面对所述输送工作面的一侧设置有第二吸附孔，所述吸附块上还设置有连通第二吸附孔的第一吸附孔，所述第一吸附孔连通真空吸附设备。

9.根据权利要求8所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，邻近所述吸附块设置有导向组件，所述导向组件包括设置在所述吸附块及输送工作面之间的导向部，所述导向部用于限制输送工作面上的电池片靠近吸附块。

10.根据权利要求1-5中任一项所述的电池片刻蚀设备，所述喷液机构包括喷管、连通所述喷管的管网以及向所述管网提供蚀刻液的喷液动力机构；所述管网包括第一连通管、连通所述第一连通管的第二连通管和连通所述第二连通管的第三连通管，所述管网通过所述第三连通管连通所述喷液动力机构，多个所述第一连通管沿第一方向依次设置，每个所述第一连通管上沿第二方向依次设置有多个所述喷管。

11.根据权利要求10所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，沿第一方向依次设置的多个所述第一连通管中，位于中间位置的所述第一连通管的设置高度小于位于两侧位置的所述第一连通管的设置高度；每个所述第一连通管上沿第二方向依次设置的多个所述喷管中，位于中间位置的所述喷管的设置高度小于位于两侧位置的所述喷管的设置高度。

12.根据权利要求1所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，多个所述喷液机构和多个吸附机构沿第一方向交错设置。

13.根据权利要求12所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，所述喷液机构的喷液口在输送工作面上的正投影称为喷液口第一投影，所述喷液口第一投影在输送垂平面上的正投影称为喷液口第二投影；沿第一方向，间隔一组吸附机构设置的两组喷液机构称为第一组喷液机构和第二组喷液机构，所述第一组喷液机构的喷液口第二投影和所述第二组喷液机构的喷液口第二投影部分重叠或者不重叠；其中，所述输送垂平面为垂直于所述输送工作面且沿着所述第二方向延伸的平面。

14.根据权利要求13所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，所述吸附机构的吸附口在输送工作面上的正投影称为吸附口第一投影，所述吸附口第一投影在所述输送垂平面上的正投影称为吸附口第二投影；沿第一方向，间隔一组喷液机构设置的两组吸附机构称为第一组吸附机构和第二组吸附机构，所述第一组吸附机构的吸附口第二投影和所述第二组吸附机构的吸附口第二投影部分重叠或者不重叠。

15.根据权利要求14所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，相邻的一组喷液机构和一组吸附机构称为刻蚀单元，在同一刻蚀单元中，所述一组喷液机构的喷液口第二投影和所述一组吸附机构的吸附口第二投影重叠。

16.根据权利要求1所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，所述喷液机构还设置在输送机构的输送工作面的下方。

17.根据权利要求1所述的电池片刻蚀设备，其特征在于，所述喷液机构的喷液口距离所述输送工作面的距离为30mm-100mm，所述吸附机构的吸附口距离所述输送工作面的距离为1mm-5mm。