CN217757587U - 一种靶材回收系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种靶材回收系统，属于光伏太阳能电池制造领域。靶材回收系统包括传输机构以及靶材回收装置，传输机构包括靶材镀膜工位和靶材回收工位，靶材回收工位设置于靶材镀膜工位的下游；靶材回收装置包括收集器、真空发生器和储存器，收集器设置于靶材回收工位且用于通过负压的方式收集靶材，真空发生器用于对收集器抽真空以提供负压，储存器用于储存靶材，该回收系统能够在一定程度上解决靶材浪费的问题，从而保证载板的洁净度以及产品良率。

Description

一种靶材回收系统

技术领域

本申请涉及光伏太阳能电池制造领域，具体而言，涉及一种靶材回收系统。

背景技术

现有技术中，硅片镀膜沉积工艺存在靶材浪费严重的问题，并且，浪费的靶材由于长时间沉积在载板上，还会对载板造成污染，减少载板使用寿命；此外，由于载板被靶材污染，产品良率也会受到影响。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种靶材回收系统，能够在一定程度上解决靶材浪费的问题，从而保证载板的洁净度以及产品良率。

本申请的实施例是这样实现的：

本申请实施例提供一种靶材回收系统，包括传输机构以及靶材回收装置，传输机构包括靶材镀膜工位和靶材回收工位，靶材回收工位设置于靶材镀膜工位的下游；靶材回收装置包括收集器、真空发生器和储存器，收集器设置于靶材回收工位且用于通过负压的方式收集靶材，真空发生器用于对收集器抽真空以提供负压，储存器用于储存靶材。

上述技术方案中，靶材回收装置包括收集器、真空发生器和储存器，其中，真空发生器用于对收集器提供负压，使得收集器能够通过负压的方式收集靶材，储存器用于容纳收集到的靶材。通过将靶材回收工位设置在靶材镀膜工位的下游，并且将收集器设置于靶材回收工位，能够通过收集器对沉积在载板上的多余靶材进行回收，该设置可以在一定程度上解决靶材浪费的问题，从而保证载板的洁净度以及产品良率。

在一些可选的实施方案中，在第一预设方向上，收集器设置有两个并排分布的具有第一吸气口的收集件，两个收集件分别与传输机构相对分布的两侧边缘对应设置，第一预设方向与传输机构的传输方向以及传输机构的高度方向垂直。

上述技术方案中，收集器沿第一预设方向设置两个并排分布的具有第一吸气口的收集件，并且将两个收集件设置为与传输机构沿第一预设方向相对分布的两侧边缘对应，能够使得收集件与靶材回收区一一对应，从而保证靶材回收率。

在一些可选的实施方案中，每个收集件在第一预设方向上的尺寸均不小于与其对应的传输机构边缘的尺寸。

上述技术方案中，该设置能够保证每个收集件在第一预设方向上均能覆盖整个传输机构的边缘，使得收集件拥有足够大的靶材收集面积，从而有助于提高靶材回收率。

在一些可选的实施方案中，每个收集件靠近传输机构的一侧均沿第一预设方向设置有多个并排平行分布的吸取件，每个吸取件对应设置一个第二吸气口。

上述技术方案中，每个收集件设置多个沿第一预设方向并排平行分布的吸取件，该设置使得收集件靠近传输机构的一侧能够形成均匀的风幕，从而为位于传输机构边缘的靶材提供均匀的吸力，以便更好地回收靶材。

在一些可选的实施方案中，多个吸取件沿第一预设方向均匀间隔分布。

上述技术方案中，多个吸取件均匀间隔分布的设置形式，能够进一步提高形成风幕的均匀性，从而更有利于靶材回收。

在一些可选的实施方案中，沿吸气方向，吸取件的内径逐渐减小。

上述技术方案中，将吸取件设置为上小下大的形式，能够在吸取件上端尺寸较小的情况下，保证吸取件靠近传输机构的一侧具有较大的吸取面积，从而可以在节约吸取件空间占位的情况下，兼顾提高靶材回收率。

在一些可选的实施方案中，在传输机构的高度方向上，吸取件上侧的正投影与吸取件下侧的正投影为同心圆。

上述技术方案中，将吸取件上侧的正投影和吸取件下侧的正投影设置为同心圆，该设置一方面能够为吸取件提供较大的吸取面积，另一方面，圆柱台的构型结构简单，便于进行工艺生产。

在一些可选的实施方案中，真空发生器还设置有压力调节件，压力调节件用于对真空发生器的压力进行调节。

上述技术方案中，真空发生器增设压力调节件，该设置能够根据实际收集情况对真空发生器的压力进行调节，保证收集件形成的风幕具有适宜的推动力，从而提高靶材回收系统的可控性。

在一些可选的实施方案中，靶材回收装置还包括设置在收集器上游的摩擦组件，摩擦组件包括驱动件和与驱动件连接的摩擦件，驱动件被配置为能够驱动摩擦件沿传输机构的高度方向运动并使得摩擦件与传输机构抵接，以使摩擦件能够对靶材进行摩擦。

上述技术方案中，在收集器上游增设摩擦组件，能够在载板移动过程中，通过摩擦组件对载板上结合比较牢固的靶材进行摩擦，使得靶材松动，从而便于收集器对脱落下来的靶材进行回收，从而提高收集器对靶材的回收率。

在一些可选的实施方案中，靶材回收装置还包括靶材感应器，靶材感应器设置在摩擦组件的上游，以使摩擦组件能够及时启动。

上述技术方案中，在摩擦组件的上游增设靶材感应器，能够通过靶材感应器对靶材位置的感应及时启动摩擦组件，从而提高靶材回收装置的靶材回收效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请实施例提供的一种靶材回收系统的传输机构的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的一种靶材回收装置的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的一种收集器的部分结构示意图；

图4为本申请实施例提供的另一种收集器的部分结构示意图；

图5为本申请实施例提供的一种摩擦组件的结构示意图。

图标：10-靶材回收系统；100-传输机构；110-靶材镀膜工位；120-靶材回收工位；130-传输机构边缘；200-靶材回收装置；210-收集器；211-收集件；2111-第一吸气口；2112-吸取件；2113-第二吸气口；2114-吸取件上侧；2115-吸取件下侧；220-摩擦组件；221-驱动件；222-摩擦件；230-靶材感应器；240-真空发生器；241-压力调节件；250-储存器；

a-第一预设方向；b-传输机构的传输方向。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”“垂直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“水平”、“垂直”等术语并不表示要求部件绝对水平或垂直，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“垂直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

现有技术中，硅片镀膜工艺需要使用真空镀膜自动化设备对位于载板上的硅片进行镀膜，但是，由于硅片仅覆盖载板的中心位置，使得在硅片镀膜工艺中，载板边缘也会被靶材覆盖，这在一定程度上造成了靶材浪费；此外，载板也会由于靶材的覆盖而受到污染，导致载板的使用寿命减少，并且，由于载板受到污染，产品良率也会受到影响。

基于此，技术人员一般采用人工吹扫的方式来对载板边缘的靶材进行清理，但是，该清理方式也存在部分问题：首先，人体表面本身吸附有灰尘，再加上人员流动又会导致自身灰尘以及环境中的灰尘扬起，使得生产车间的环境洁净度降低，影响产品良率；其次，人工吹扫方式的力度不可控，力度过小时无法有效清理靶材，力度过大时容易造成扬尘；再者，人工吹扫的方式费时费力。

发明人研究发现，在现有硅片镀膜工艺中增设靶材回收装置，通过自动化装置对浪费掉的靶材进行回收，能够在一定程度上解决靶材浪费的问题，从而保证载板的洁净度以及产品良率。

参阅图1和图2，本申请实施例提供一种靶材回收系统10，包括传输机构100以及靶材回收装置200，传输机构100包括靶材镀膜工位110和靶材回收工位120，靶材回收工位120设置于靶材镀膜工位110的下游；靶材回收装置200包括收集器210、真空发生器240和储存器250，收集器210设置于靶材回收工位120且用于通过负压的方式收集靶材，真空发生器240用于对收集器210抽真空以提供负压，储存器250用于储存靶材。

该实施方式中，靶材回收装置200包括收集器210、真空发生器240和储存器250，其中，真空发生器240用于对收集器210提供负压，使得收集器210能够通过负压的方式收集靶材，储存器250用于容纳收集到的靶材。通过将靶材回收工位120设置在靶材镀膜工位110的下游，并且将收集器210设置于靶材回收工位120，能够通过收集器210对沉积在载板上的多余靶材进行回收，该设置可以在一定程度上解决靶材浪费的问题，从而保证载板的洁净度以及产品良率。

需要注意的是，靶材回收装置200的具体材质不做限定。

作为一种示例，靶材回收装置200中各个结构的材质均为不锈钢。

需要注意的是，收集器210、真空发生器240和储存器250的具体形式不做限定。

作为一种示例，收集器210为具有开口的中空管路，且开口位于传输机构100上方。

作为一种示例，真空发生器240为真空泵。

作为一种示例，储存器250为具有空气滤网的中空箱体或罐体。

需要注意的是，收集器210、真空发生器240和储存器250的具体设置形式不做限定。

参阅图2，作为一种示例，真空发生器240与储存器250通过管路连通，收集器210与储存器250也通过管路连通。

需要注意的是，管路的具体走向不做限定，可以根据实际需要对应调整，可以理解的是，只要能够使得真空发生器240、储存器250和收集器210依次连通即可。

为了便于理解技术方案，此处对靶材回收装置200的工作原理进行说明：

当需要进行靶材回收时，启动真空发生器240，通过真空发生器240给储存器250抽真空，紧接着与储存器250连通的收集器210也形成真空，收集器210的出口处由于内外压强差形成风幕，通过风幕形成的吸力来回收靶材，靶材随着管道一直进入到储存器250，然后被储存器250中的空气滤网拦截，从而实现靶材回收。

需要注意的是，收集器210的具体数量不做限定。

作为一种示例，靶材回收装置200沿传输机构100的移动方向设置有多个并排分布的收集器210。

在一些可能的实施例中，靶材回收装置200还设置有驱动组件，驱动组件与收集器210连接，驱动组件被配置为能够驱动收集器210沿传输机构100的高度方向上下移动。

该实施方式中，靶材回收装置200增设驱动组件，能够使得收集器210与需要回收的靶材之间在传输机构100的高度方向上的距离可调，从而便于更好地控制靶材回收。

需要注意的是，驱动组件的具体形式不做限定。

作为一种示例，驱动组件为伸缩气缸，收集器210与伸缩气缸的动力输出端连接。

需要注意的是，靶材回收系统10的数量可以根据实际需要进行调整。

作为一种示例，靶材回收系统10设置为两组，载板沿传输机构100高度方向上的两侧均设置有一组靶材回收系统10。

参阅图2和图3，作为一种示例，在第一预设方向a上，收集器210设置有两个并排分布的具有第一吸气口2111的收集件211，两个收集件211分别与传输机构100相对分布的两侧边缘对应设置，第一预设方向a与传输机构的传输方向b以及传输机构100的高度方向垂直。

该实施方式中，收集器210沿第一预设方向a设置两个并排分布的具有第一吸气口2111的收集件211，并且将两个收集件211设置为与传输机构100沿第一预设方向a相对分布的两侧边缘对应，能够使得收集件211与靶材回收区一一对应，从而保证靶材回收率。

需要说明的是，收集件211靠近收集器210的一侧与收集器210连通，收集件211远离收集器210的一侧设有第一吸气口2111，第一吸气口2111利用压强差形成风幕来收集靶材。

在一些可能的实施例中，收集器210靠近收集件211的一侧的周向沿传输机构的传输方向b设置有弧形槽，收集件211设置有与弧形槽相匹配的滑块，收集器210与收集件211通过螺丝固定。

该实施方式中，收集器210和收集件211通过弧形槽和滑块可活动连接，并且通过螺丝固定，能够根据靶材回收的实际情况调整收集件211的吸气口与靶材之间的倾斜角，从而更好地回收靶材。

作为一种示例，每个收集件211在第一预设方向a上的尺寸均不小于与其对应的传输机构边缘130的尺寸。

该实施方式中，该设置能够保证每个收集件211在第一预设方向a上均能覆盖整个传输机构100的边缘，使得收集件211拥有足够大的靶材收集面积，从而有助于提高靶材回收率。

需要注意的是，收集件211的具体形式不做限定。

作为一种示例，在传输机构100的高度方向上，收集件211的立体构型为上小下大的圆柱台。

该实施方式中，将收集件211的立体构型设置为上小下大的圆柱台，能够起到使形成的风幕更为集中的作用。

参阅图4，作为一种示例，每个收集件211靠近传输机构100的一侧均沿第一预设方向a设置有多个并排平行分布的吸取件2112，每个吸取件2112对应设置一个第二吸气口2113。

该实施方式中，每个收集件211设置多个沿第一预设方向a并排平行分布的吸取件2112，该设置使得收集件211靠近传输机构100的一侧能够形成均匀的风幕，从而为位于传输机构边缘130的靶材提供均匀的吸力，以便更好地回收靶材。

需要说明的是，吸取件2112靠近收集件211的一侧与收集件211的第一吸气口2111连通，吸取件2112远离收集件211的一侧设有第二吸气口2113，第二吸气口2113利用压强差形成风幕来收集靶材。

需要注意的是，任意两个相邻吸取件2112在第一预设方向a上的间距不做具体限定。

作为一种示例，任意两个相邻吸取件2112在第一预设方向a上的间距不小于2cm。

该实施方式中，当任意两个相邻吸取件2112在第一预设方向a上的间距满足该条件时，能够避免相邻吸取件2112之间形成的风幕相互影响，从而有利于靶材回收。

作为一种示例，多个吸取件2112沿第一预设方向a均匀间隔分布。

该实施方式中，多个吸取件2112均匀间隔分布的设置形式，能够进一步提高形成风幕的均匀性，从而更有利于靶材回收。

需要注意的是，吸取件2112的具体数量不做限定，可以根据实际需要进行调整。

在一些可能的实施例中，沿吸气方向，吸取件2112的内径逐渐减小。

该实施方式中，将吸取件2112设置为上小下大的形式，能够在吸取件2112上端尺寸较小的情况下，保证吸取件2112靠近传输机构100的一侧具有较大的吸取面积，从而可以在节约吸取件2112空间占位的情况下，兼顾提高靶材回收率。

需要注意的是，吸取件2112的具体立体构型不做限定。

作为一种示例，在传输机构100的高度方向上，吸取件上侧2114的正投影与吸取件下侧2115的正投影为同心圆，即吸取件2112为上小下大的圆柱台。

该实施方式中，将吸取件上侧2114的正投影和吸取件下侧2115的正投影设置为同心圆，该设置一方面能够为吸取件2112提供较大的吸取面积，另一方面，圆柱台的构型结构简单，便于进行工艺生产。

在一些可能的实施例中，在第一预设方向a上，吸取件2112的侧壁与吸取件2112的轴心线之间的夹角为0～60°。

该实施方式中，将吸取件2112在第一预设方向a上的侧壁与吸取件2112的轴心线之间的夹角限定在0～60°的范围内，能够使得吸取件2112靠近传输机构100的一侧具有适宜的吸取面积，从而能够更好地进行靶材回收。

作为一种示例，真空发生器240还设置有压力调节件241，压力调节件241用于对真空发生器240的压力进行调节。

该实施方式中，真空发生器240增设压力调节件241，该设置能够根据实际收集情况对真空发生器240的压力进行调节，保证收集件211形成的风幕具有适宜的推动力，从而提高靶材回收系统10的可控性。

作为一种示例，靶材回收装置200还包括设置在收集器210上游的摩擦组件220，摩擦组件220包括驱动件221和与驱动件221连接的摩擦件222，驱动件221被配置为能够驱动摩擦件222沿传输机构100的高度方向运动并使得摩擦件222与传输机构100抵接，以使摩擦件222能够对靶材进行摩擦。

该实施方式中，在收集器210上游增设摩擦组件220，能够在载板移动过程中，通过摩擦组件220对载板上结合比较牢固的靶材进行摩擦，使得靶材松动，从而便于收集器210对脱落下来的靶材进行回收，从而提高收集器210对靶材的回收率。

需要说明的是，摩擦组件220的具体设置形式不做限定。

作为一种示例，在第一预设方向a上，摩擦组件220包括并排分布的两个摩擦件222，两个摩擦件222分别与传输机构100相对分布的两侧边缘对应设置。

需要注意的是，驱动件221的具体形式不做限定，可以理解的是，只要驱动件221能够驱动摩擦件222沿传输机构100的高度方向做往复运动即可。

参阅图5，作为一种示例，驱动件221为伸缩气缸，摩擦件222与伸缩气缸的动力输出端连接。

需要注意的是，摩擦件222的具体形式不做限定。

作为一种示例，摩擦件222为不锈钢材质的钢刷。

可以理解的是，摩擦件222的具体尺寸不做限定。

作为一种示例，每个摩擦件222在第一预设方向a上的尺寸均不小于与其对应的传输机构边缘130的尺寸。

在一些可能的实施例中，靶材回收装置200还包括靶材感应器230，靶材感应器230设置在摩擦组件220的上游，以使摩擦组件220能够及时启动。

该实施方式中，在摩擦组件220的上游增设靶材感应器230，能够通过靶材感应器230对靶材位置的感应及时启动摩擦组件220，从而提高靶材回收装置200的靶材回收效率。

需要注意的是，靶材感应器230的具体设置形式不做限定。

作为一种示例，在第一预设方向a上，靶材感应器230设置在传输机构100相对分布的两侧边缘中的任一侧，可以理解的是，只要靶材感应器230能够实现靶材定位功能即可。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种靶材回收系统，其特征在于，包括：

传输机构，所述传输机构包括靶材镀膜工位和靶材回收工位，所述靶材回收工位设置于所述靶材镀膜工位的下游；以及

靶材回收装置，所述靶材回收装置包括收集器、真空发生器和储存器，所述收集器设置于所述靶材回收工位且用于通过负压的方式收集靶材，所述真空发生器用于对所述收集器抽真空以提供负压，所述储存器用于储存靶材。

2.根据权利要求1所述的靶材回收系统，其特征在于，在第一预设方向上，所述收集器设置有两个并排分布的具有第一吸气口的收集件，两个所述收集件分别与所述传输机构相对分布的两侧边缘对应设置，所述第一预设方向与所述传输机构的传输方向以及所述传输机构的高度方向垂直。

3.根据权利要求2所述的靶材回收系统，其特征在于，每个所述收集件在所述第一预设方向上的尺寸均不小于与其对应的所述传输机构边缘的尺寸。

4.根据权利要求3所述的靶材回收系统，其特征在于，每个所述收集件靠近所述传输机构的一侧均沿所述第一预设方向设置有多个并排平行分布的吸取件，每个所述吸取件对应设置一个第二吸气口。

5.根据权利要求4所述的靶材回收系统，其特征在于，多个所述吸取件沿所述第一预设方向均匀间隔分布。

6.根据权利要求4所述的靶材回收系统，其特征在于，沿吸气方向，所述吸取件的内径逐渐减小。

7.根据权利要求6所述的靶材回收系统，其特征在于，在所述传输机构的高度方向上，所述吸取件上侧的正投影与所述吸取件下侧的正投影为同心圆。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的靶材回收系统，其特征在于，所述真空发生器还设置有压力调节件，所述压力调节件用于对所述真空发生器的压力进行调节。

9.根据权利要求1～7中任一项所述的靶材回收系统，其特征在于，所述靶材回收装置还包括设置在所述收集器上游的摩擦组件，所述摩擦组件包括驱动件和与所述驱动件连接的摩擦件，所述驱动件被配置为能够驱动所述摩擦件沿所述传输机构的高度方向运动并使得所述摩擦件与所述传输机构抵接，以使所述摩擦件能够对所述靶材进行摩擦。

10.根据权利要求9所述的靶材回收系统，其特征在于，所述靶材回收装置还包括靶材感应器，所述靶材感应器设置在所述摩擦组件的上游，以使所述摩擦组件能够及时启动。

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