CN220272447U - 载板搬运装置及硅片生产系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种载板搬运装置及硅片生产系统，该载板搬运装置包括：车架，车架具有移动机构和传送机构，移动机构用于带动车架移动，传送机构用于支撑并传送载板；及清洁机构，清洁机构设置在车架上，且清洁机构具有敲击部和抽吸口，敲击部用于敲击载板，抽吸口用于抽吸载板上杂质。因此，当载板被支撑在传送机构上进行运输时，可直接利用敲击部反复敲击载板，使得载板上膜层被击碎而形成细小灰尘、杂质，同时，再利用抽吸口吸附飞扬的灰尘、杂质，以完成对载板的清理作业。可见，利用上述载板搬运装置能实现自动搬运载板的同时还能对载板进行清洁作业，以降低劳动强度的同时还能提高对载板的清理和搬运效率。

Description

载板搬运装置及硅片生产系统

技术领域

本申请涉及太阳能光伏硅片技术领域，尤其是涉及一种载板搬运装置及硅片生产系统。

背景技术

太阳能因其清洁安全无污染的特点成为利用效率最高的可再生资源之一。光伏技术作为太阳能最重要的应用之一，可以有效的改变能源消费结构、减小全球变暖和生态环境的增长式恶化趋势。

为了提高光伏组件光电转化效率，生产过程中需要进行镀膜。镀膜时，硅片需放置在载板上，由人工将载板托入镀膜设备中，待镀膜完成后，再由人工将载板和硅片一同取出并转存至存放柜内，以供后续作业拿取硅片。由于镀膜过程在硅片表面镀上一层薄膜的同时在载板的其余地方也会镀上一层薄膜，随着载板使用次数增多，其表面镀上的膜层就越厚，而过厚的膜层直接会影响下次硅片的镀膜效果，因此，在人工搬运时需定期对载板进行清洁，该过程费时费力，导致转运和清洁效率偏低。

发明内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种载板搬运装置及硅片生产系统，该载板搬运装置能有效降低劳动强度的同时能够对载板进行清洁，以提高对载板的转运及清洁效率。

一种载板搬运装置，包括：车架，所述车架具有移动机构和传送机构，所述移动机构用于带动所述车架移动，所述传送机构用于支撑并传送载板；及清洁机构，所述清洁机构设置在所述车架上，且所述清洁机构具有敲击部和抽吸口，所述敲击部用于敲击所述载板，所述抽吸口用于抽吸所述载板上杂质。

在上述的载板搬运装置中，由于车架具有传送机构，因此，可通过传送机构将载板运输至车架上或从车架上移除。同时，由于车架还具有移动机构，因此，可通过移动机构带动车架自动移动至指定位置，以完成自动搬运作业。此外，由于车架上设有清洁机构，清洁机构包括敲击部和抽吸口，因此，当载板被支撑在传送机构上进行运输时，可直接利用敲击部反复敲击载板，使得载板上膜层被击碎而形成细小灰尘、杂质，同时，再利用抽吸口吸附飞扬的灰尘、杂质，以完成对载板的清理作业。可见，利用上述载板搬运装置能实现自动搬运载板的同时还能对载板进行清洁作业，以降低劳动强度的同时还能提高对载板的清理和搬运效率。

下面进一步对技术方案进行说明：

在其中一个实施例中，所述清洁机构包括驱动件、敲击筒以及负压管，所述驱动件设置在所述车架上并与所述敲击筒驱动连接，所述驱动件驱使所述敲击筒做靠近或远离所述传送机构的运动，所述敲击筒内设有抽吸腔且所述抽吸腔与所述负压管连通，所述敲击部和所述抽吸口设置于所述敲击筒上，且所述抽吸口与所述抽吸腔连通。

在其中一个实施例中，所述清洁机构还包括导向件，所述导向件活动设置在所述车架上且面朝所述传送机构设置，所述导向件具有第一导向部，所述驱动件可移动设置在所述第一导向部上，以使所述敲击筒能够沿所述第一导向部的导向方向敲击所述载板。

在其中一个实施例中，所述驱动件包括行走模块和敲击模块，所述行走模块与所述敲击筒驱动连接，所述行走模块驱使所述敲击筒在所述第一导向部上运动，所述敲击模块与所述敲击筒驱动连接，所述敲击模块驱使所述敲击筒做靠近或远离所述传送机构的运动。

在其中一个实施例中，所述车架包括第一架体和第二架体，所述第一架体设有第二导向部，且所述第二导向部沿竖直方向延伸，所述第二架体可移动设置在所述第二导向部上；所述移动机构设置在所述第一架体上，所述传送机构设置在所述第二架体上。

在其中一个实施例中，所述第二架体包括相连接且呈夹角设置的移动框以及支撑框，所述移动框活动设置在所述第二导向部上，所述支撑框上设有所述传送机构；所述移动框上设有第三导向部，所述导向件可移动设置在所述第三导向部上，以使所述敲击筒能够沿所述第三导向部的导向方向敲击所述载板，且所述第三导向部的导向方向与所述第一导向部的导向方向相交。

在其中一个实施例中，所述传送机构包括传送辊及传送带，所述传送辊设有多个且均可转动设置在所述第二架体上，所述传送带套设在各个所述传送辊外用于支撑所述载板。

在其中一个实施例中，所述清洁机构还包括灰尘收集箱，所述灰尘收集箱设置在所述车架上，且所述灰尘收集箱的内腔通过所述负压管与所述敲击筒的所述抽吸腔相连通。

本申请还提供一种硅片生产系统，包括：载板存储装置、镀膜设备及如上所述的载板搬运装置，所述载板搬运装置可移动设置在所述载板存储装置和所述镀膜设备之间。

在其中一个实施例中，所述硅片生产系统还包括控制器及位置传感器，所述位置传感器设有多个，且所有所述位置传感器均与所述控制器电性连接，所述载板存储装置、所述镀膜设备以及所述载板搬运装置上均设有所述位置传感器。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

此外，附图并不是1:1的比例绘制，并且各个元件的相对尺寸在附图中仅示例地绘制，而不一定按照真实比例绘制。在附图中：

图1为本申请一实施例中载板搬运装置的结构示意图。

图2为图1中清洁机构的结构示意图。

附图标记说明：

10、载板搬运装置；110、车架；111、第一架体；1111、第二导向部；112、第二架体；1121、移动框；1122、支撑框；120、清洁机构；121、驱动件；122、敲击筒；1221、敲击部；1222、抽吸口；123、负压管；124、导向件；125、灰尘收集箱；130、移动机构；131、车轮；20、载板。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

为了提高硅片光电转化效率，其生产过程中需要进行镀膜。因此，在硅片生产系统中，镀膜设备不可缺失。具体而言，在镀膜时，硅片需放置在载板上，由人工将载板托入镀膜设备中，待镀膜完成后，再由人工将载板和硅片一同取出并转存至载板存储装置内，以便后续作业拿取硅片。由于镀膜过程在硅片表面镀上一层薄膜的同时在载板的其余地方也会镀上一层薄膜，且随着载板使用次数增多，其表面镀上的膜层就越厚，而过厚的膜层直接会影响下次硅片的镀膜效果，因此，在人工搬运时需定期对载板进行清洁，该过程费时费力，导致转运和清洁效率偏低。

为解决上述问题，本申请一实施例提供一种载板搬运装置10。

请参阅图1和图2，本申请一实施例提供的载板搬运装置10，包括：车架110及清洁机构120。车架110具有移动机构130和传送机构。移动机构130用于带动车架110移动，传送机构用于支撑并传送载板20。清洁机构120设置在车架110上，且清洁机构120具有敲击部1221和抽吸口1222。敲击部1221用于敲击载板20，抽吸口1222用于抽吸载板20上杂质。

在上述的载板搬运装置10中，由于车架110具有传送机构，因此，可通过传送机构将载板20运输至车架110上或从车架110上移除。同时，由于车架110还具有移动机构130，因此，可通过移动机构130带动车架110自动移动至指定位置，以完成自动搬运作业。此外，由于车架110上设有清洁机构120，清洁机构120包括敲击部1221和抽吸口1222，因此，当载板20被支撑在传送机构上进行运输时，可直接利用敲击部1221反复敲击载板20，使得载板20上膜层被击碎而形成细小的颗粒(如灰尘、杂质等)，同时，再利用抽吸口1222吸附飞扬的细小的颗粒，以完成对载板20的清理作业。可见，利用上述载板搬运装置10能实现自动搬运载板20的同时还能对载板20进行清洁作业，以降低劳动强度的同时还能提高对载板20的清理和搬运效率。

在本实施例中，如图1所示，移动机构130包括多个车轮131，所有车轮131均可转动安装在车架110底部。

为了提高车架110移动的便捷性，各个车轮131均为万向轮。

请参阅图1和图2，在一实施例中，清洁机构120包括驱动件121、敲击筒122以及负压管123。驱动件121设置在车架110上并与敲击筒122驱动连接。驱动件121驱使敲击筒122做靠近或远离传送机构的运动。敲击筒122内设有抽吸腔且抽吸腔与负压管123连通。敲击部1221和抽吸口1222设置于敲击筒122上，且抽吸口1222与抽吸腔连通。因此，当载板20放置在传送机构上时，可通过驱动件121带动敲击筒122做靠近或远离载板20的运动，以反复敲击载板20使得载板20上的膜层破碎而形成细小的颗粒物。在负压管123的作用下可使抽吸腔和抽吸口1222形成负压，以便抽吸形成的细小颗粒物。

本实施例中，敲击筒122背离驱动件121的一端形成敲击部1221。且敲击筒122背离驱动件121的一端形成抽吸口1222，敲击部1221和抽吸口1222可视为位于同一位置，如此，可进行敲击的同时进行吸附作业，提高清洁效率的同时还可简化清洁机构120的结构。

可选地，在另一实施例中，敲击部1221和抽吸口1222可形成于敲击筒122上不同位置。

需要说明的是，“驱动件121设置在车架110上并与敲击筒122驱动连接”包括两种实施方式：驱动件121直接设置在车架110上并与敲击筒122驱动连接，或驱动件121间接设置在车架110上并与敲击筒122驱动连接。

在本实施例中，驱动件121通过间接的方式设置在车架110上。具体地，请参阅图1，清洁机构120还包括导向件124。导向件124活动设置在车架110上且面朝传送机构设置。导向件124具有第一导向部，驱动件121可移动设置在第一导向部上，以使敲击筒122能够沿第一导向部的导向方向敲击载板20。如此，有利于对载板20上各个区域进行清理作业。

具体地，在本实施例中，敲击筒122是沿第一导向部的导向方向逐一的敲击载板20。

可选地，第一导向部可以为导轨、导柱、导槽或其他导向结构。

具体地，在本实施例中，如图1所示，第一导向部的导向方向为水平方向且沿左右分布。如此，驱动件121可带动敲击筒122在水平方向上左右运动以清洁载板20不同区域。

其中，为了便于清楚理解本实施例中第一导向部的导向方向，以图1为例，第一导向部的导向方向为图1中S1所指的方向。

在一实施例中，驱动件121包括行走模块和敲击模块。行走模块与敲击筒122驱动连接，行走模块驱使敲击筒122在第一导向部上运动。敲击模块与敲击筒122驱动连接，敲击模块驱使敲击筒122做靠近或远离传送机构的运动。如此，行走模块与撞击模块独立控制两个方向的运动，有利于提高控制效率和维护便利性。

可选地，行走模块可以为电动行走轮。敲击模块可以为电动伸缩杆。

请继续参阅图1，在一实施例中，车架110包括第一架体111和第二架体112。第一架体111设有第二导向部1111，且第二导向部1111沿竖直方向延伸。第二架体112可移动设置在第二导向部1111上。移动机构130设置在第一架体111上，传送机构设置在第二架体112上。通过第二架体112在第一架体111上沿第二导向部1111进行上下移动的方式，可以便捷地调整载板20所处高度，如此，方便与镀膜设备或载板存储装置进行对接。

可选地，第二导向部也可以为导轨、导柱、导槽或其他导向结构。

其中，为了便于清楚理解本实施例中第二导向部1111的延伸方向，以图1为例，第二导向部1111的延伸方向为图1中S₂所指的方向。

请继续参阅图1，在一实施例中，第二架体112包括相连接且呈夹角设置的移动框1121以及支撑框1122。移动框1121活动设置在第二导向部1111上，支撑框1122上设有传送机构。

进一步地，移动框1121上设有第三导向部。导向件124可移动设置在第三导向部上，以使敲击筒122能够沿第三导向部的导向方向敲击载板20。第三导向部的导向方向与第一导向部的导向方向相交。当传送机构支撑有载板20时，导向件124在与第三导向部的配合协作下，能够使敲击筒122沿第三导向部的导向方向敲击载板20，以便对载板20上各个区域进行清理作业。

可选地，第三导向部也可以为导轨、导柱、导槽或其他导向结构。

具体地，在本实施例中，如图1所示，第三导向部的导向方向为水平方向且沿前后分布。如此，驱动件121可带动敲击筒122在水平方向上前后运动以清洁载板20不同区域。

其中，为了便于清楚理解本实施例中第三导向部的导向方向，以图1为例，第三导向部的导向方向为图1中S₃所指的方向。

在一实施例中，传送机构包括传送辊及传送带。传送辊设有多个且均可转动设置在第二架体112上，传送带套设在各个传送辊外用于支撑载板20。

请参阅图1，在一实施例中，清洁机构120还包括灰尘收集箱125。灰尘收集箱125设置在车架110上，且灰尘收集箱125的内腔通过负压管123与敲击筒122的抽吸腔相连通。如此，通过抽吸口1222吸附的灰尘、杂质等可容置在灰尘收集箱125内进行收集存储。

本申请一实施例还提供一种硅片生产系统，包括：载板存储装置、镀膜设备及如上所述的载板搬运装置10。载板搬运装置10可移动设置在载板存储装置和镀膜设备之间。

在一实施例中，硅片生产系统还包括控制器及位置传感器。位置传感器设有多个，且所有位置传感器均与控制器电性连接。载板存储装置、镀膜设备以及载板搬运装置10上均设有位置传感器。如此，可通过位置传感器可实现载板搬运装置10自动与载板存储装置以及镀膜设备对接。

在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。如若存在，本申请所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种载板搬运装置，其特征在于，包括：

车架(110)，所述车架(110)具有移动机构(130)和传送机构，所述移动机构(130)用于带动所述车架(110)移动，所述传送机构用于支撑并传送载板(20)；及

清洁机构(120)，所述清洁机构(120)设置在所述车架(110)上，且所述清洁机构(120)具有敲击部(1221)和抽吸口(1222)，所述敲击部(1221)用于敲击所述载板(20)，所述抽吸口(1222)用于抽吸所述载板(20)上杂质。

2.根据权利要求1所述的载板搬运装置，其特征在于，所述清洁机构(120)包括驱动件(121)、敲击筒(122)以及负压管(123)，所述驱动件(121)设置在所述车架(110)上并与所述敲击筒(122)驱动连接，所述驱动件(121)驱使所述敲击筒(122)做靠近或远离所述传送机构的运动，所述敲击筒(122)内设有抽吸腔且所述抽吸腔与所述负压管(123)连通，所述敲击部(1221)和所述抽吸口(1222)设置于所述敲击筒(122)上，且所述抽吸口(1222)与所述抽吸腔连通。

3.根据权利要求2所述的载板搬运装置，其特征在于，所述清洁机构(120)还包括导向件(124)，所述导向件(124)活动设置在所述车架(110)上且面朝所述传送机构设置，所述导向件(124)具有第一导向部，所述驱动件(121)可移动设置在所述第一导向部上，以使所述敲击筒(122)能够沿所述第一导向部的导向方向敲击所述载板(20)。

4.根据权利要求3所述的载板搬运装置，其特征在于，所述驱动件(121)包括行走模块和敲击模块，所述行走模块与所述敲击筒(122)驱动连接，所述行走模块驱使所述敲击筒(122)在所述第一导向部上运动，所述敲击模块与所述敲击筒(122)驱动连接，所述敲击模块驱使所述敲击筒(122)做靠近或远离所述传送机构的运动。

5.根据权利要求3所述的载板搬运装置，其特征在于，所述车架(110)包括第一架体(111)和第二架体(112)，所述第一架体(111)设有第二导向部(1111)，且所述第二导向部(1111)沿竖直方向延伸，所述第二架体(112)可移动设置在所述第二导向部(1111)上；所述移动机构(130)设置在所述第一架体(111)上，所述传送机构设置在所述第二架体(112)上。

6.根据权利要求5所述的载板搬运装置，其特征在于，所述第二架体(112)包括相连接且呈夹角设置的移动框(1121)以及支撑框(1122)，所述移动框(1121)活动设置在所述第二导向部(1111)上，所述支撑框(1122)上设有所述传送机构；所述移动框(1121)上设有第三导向部，所述导向件(124)可移动设置在所述第三导向部上，以使所述敲击筒(122)能够沿所述第三导向部的导向方向敲击所述载板(20)，且所述第三导向部的导向方向与所述第一导向部的导向方向相交。

7.根据权利要求5所述的载板搬运装置，其特征在于，所述传送机构包括传送辊及传送带，所述传送辊设有多个且均可转动设置在所述第二架体(112)上，所述传送带套设在各个所述传送辊外用于支撑所述载板(20)。

8.根据权利要求2所述的载板搬运装置，其特征在于，所述清洁机构(120)还包括灰尘收集箱(125)，所述灰尘收集箱(125)设置在所述车架(110)上，且所述灰尘收集箱(125)的内腔通过所述负压管(123)与所述敲击筒(122)的所述抽吸腔相连通。

9.一种硅片生产系统，其特征在于，包括：载板存储装置、镀膜设备及权利要求1-8任一项所述的载板搬运装置，所述载板搬运装置可移动设置在所述载板存储装置和所述镀膜设备之间。

10.根据权利要求9所述的硅片生产系统，其特征在于，所述硅片生产系统还包括控制器及位置传感器，所述位置传感器设有多个，且所有所述位置传感器均与所述控制器电性连接，所述载板存储装置、所述镀膜设备以及所述载板搬运装置上均设有所述位置传感器。